JP3060190B2 - 半導体装置の酸化膜の製造法 - Google Patents
半導体装置の酸化膜の製造法Info
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Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、LSIの製造プロセス
で用いられるPドープのSiO2膜(以下PSG膜とい
う)の製造法に関するものである。
で用いられるPドープのSiO2膜(以下PSG膜とい
う)の製造法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、SiO2の成膜にはシランSiH
4の酸化により形成されていた。また、PSG膜はSi
H4とO2の反応時にホスフィンPH3を添加すること
によって得られていた。この時の反応式は次式の通りで
あり、リンがSiO2に取り込まれる。
4の酸化により形成されていた。また、PSG膜はSi
H4とO2の反応時にホスフィンPH3を添加すること
によって得られていた。この時の反応式は次式の通りで
あり、リンがSiO2に取り込まれる。
【0003】
【化1】
【0004】しかし、集積回路に使用されるパターン寸
法は回路パターンの高密度化とともに年々微細化の一途
をたどり、今やサブミクロンの時代に入っている。ま
た、LSIの微細化、高集積化に伴い、配線のチップに
占める面積が大きくなり、配線の多層化がますます進展
している。さらに、今後の多層配線においては、配線抵
抗を小さく維持する必要から配線のアスペクト比が大き
くなり、その結果、基板表面の凹凸はますます激しくな
っている。したがって、PSG膜のような絶縁膜の平坦
化は欠くことのできない必須技術となっている。
法は回路パターンの高密度化とともに年々微細化の一途
をたどり、今やサブミクロンの時代に入っている。ま
た、LSIの微細化、高集積化に伴い、配線のチップに
占める面積が大きくなり、配線の多層化がますます進展
している。さらに、今後の多層配線においては、配線抵
抗を小さく維持する必要から配線のアスペクト比が大き
くなり、その結果、基板表面の凹凸はますます激しくな
っている。したがって、PSG膜のような絶縁膜の平坦
化は欠くことのできない必須技術となっている。
【0005】従来のSiH4,PH3等の気体原料を用
いるCVDプロセスでは基板上の段差や凹凸を平坦化で
きない。この欠点を克服するために、最近、SiH4に
代わってテトラエトキシシランのようなアルコキシシラ
ン、PH3に代わってPO(OCH3)3あるいはP
(OCH3)3のような液体原料を用いるCVD法が実
用化され、盛んになってきている。これはリン酸アルキ
ルがケイ素のアルコキシドと複合アルコキシドをつくり
ホスフィンに比べるとリンの不混和性が小さくなるため
である。
いるCVDプロセスでは基板上の段差や凹凸を平坦化で
きない。この欠点を克服するために、最近、SiH4に
代わってテトラエトキシシランのようなアルコキシシラ
ン、PH3に代わってPO(OCH3)3あるいはP
(OCH3)3のような液体原料を用いるCVD法が実
用化され、盛んになってきている。これはリン酸アルキ
ルがケイ素のアルコキシドと複合アルコキシドをつくり
ホスフィンに比べるとリンの不混和性が小さくなるため
である。
【0006】元来、PSG膜はNaイオンなどのアルカ
リイオンに対するバリヤ効果があるため、パッシベーシ
ョン膜として広く用いられている。パッシベーション用
PSG膜中のP濃度は約1〜3重量%である。一方、P
SG膜は多結晶Siゲートと上層金属間の層間絶縁膜と
しても用いられる。この場合、今日では7〜15重量%
のP濃度が要求されている。
リイオンに対するバリヤ効果があるため、パッシベーシ
ョン膜として広く用いられている。パッシベーション用
PSG膜中のP濃度は約1〜3重量%である。一方、P
SG膜は多結晶Siゲートと上層金属間の層間絶縁膜と
しても用いられる。この場合、今日では7〜15重量%
のP濃度が要求されている。
【0007】しかし、PO(OCH3)3,P(OCH
3)3等は極めて撥水性で酸化されにくいため、酸化さ
れて親水性になったSiO2との親和性に乏しい。この
ため分解生成物はP2O3,P2O5等の形態をとり易
い。
3)3等は極めて撥水性で酸化されにくいため、酸化さ
れて親水性になったSiO2との親和性に乏しい。この
ため分解生成物はP2O3,P2O5等の形態をとり易
い。
【0008】本来、Si−O−Pの結合をして高分子化
したものは、蒸気圧が低く堆積層にPが取り込まれ易
い。一方、P2O3あるいはP2O5の形態のPは蒸気
圧が高く反応系外に排除される。
したものは、蒸気圧が低く堆積層にPが取り込まれ易
い。一方、P2O3あるいはP2O5の形態のPは蒸気
圧が高く反応系外に排除される。
【0009】P源としてP(OCH3)3よりPO(O
CH3)3を用いた方が高いP濃度のSiO2膜を得る
ことができる。その理由はPO(OCH3)3の方が蒸
気圧が低く分解までの滞在時間が長いこととPO(OC
H3)3の分解生成物であるP2O5の蒸気圧の方がP
(OCH3)3の分解生成物であるP2O3の蒸気圧よ
り極めて低いこととの複合効果によると考えられる。
CH3)3を用いた方が高いP濃度のSiO2膜を得る
ことができる。その理由はPO(OCH3)3の方が蒸
気圧が低く分解までの滞在時間が長いこととPO(OC
H3)3の分解生成物であるP2O5の蒸気圧の方がP
(OCH3)3の分解生成物であるP2O3の蒸気圧よ
り極めて低いこととの複合効果によると考えられる。
【0010】したがって、P(OCH3)3を用いるP
SG膜ではP濃度4重量%以下であり、それ以上高濃度
にできない欠点がある。また、この材料は極めて強い悪
臭を発し、作業環境を著しく汚染する欠点がある。
SG膜ではP濃度4重量%以下であり、それ以上高濃度
にできない欠点がある。また、この材料は極めて強い悪
臭を発し、作業環境を著しく汚染する欠点がある。
【0011】PO(OCH3)3を用いるPSG膜では
要求されるP濃度7〜15重量%は達成されるが、Pの
大きい濃度むらを起こすこと、Al配線を腐食するこ
と、生成した膜が吸水性であること等の欠点がある。
要求されるP濃度7〜15重量%は達成されるが、Pの
大きい濃度むらを起こすこと、Al配線を腐食するこ
と、生成した膜が吸水性であること等の欠点がある。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、P濃度が7
〜15重量%と高く、かつ、Pの濃度むらがなく、その
他上記の欠点のない極めて良質のPSG膜をCVD法に
よって製造する方法を提供しようとするものである。
〜15重量%と高く、かつ、Pの濃度むらがなく、その
他上記の欠点のない極めて良質のPSG膜をCVD法に
よって製造する方法を提供しようとするものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】本発明は、PSG膜を液
体原料を用いてCVD法で形成する場合、ドープ剤とし
てリン酸モノアルキルあるいはリン酸ジアルキルあるい
はこれらの混合物を用いるものである。
体原料を用いてCVD法で形成する場合、ドープ剤とし
てリン酸モノアルキルあるいはリン酸ジアルキルあるい
はこれらの混合物を用いるものである。
【0014】リン酸モノアルキルはPO(OH)2O
R,HPO(OH)OR等であり、リン酸ジアルキルは
PO(OH)(OR)2,HPO(OR)2等である。
ここでRはCH3基、C2H5基、C3H7基、C4H
9基,C5H11基等であり、分子量がC3H7以上の
基はそれらの異性体も含むものである。
R,HPO(OH)OR等であり、リン酸ジアルキルは
PO(OH)(OR)2,HPO(OR)2等である。
ここでRはCH3基、C2H5基、C3H7基、C4H
9基,C5H11基等であり、分子量がC3H7以上の
基はそれらの異性体も含むものである。
【0015】アルコキシシラン類とともに用いるリン酸
アルキルとしてのP源は、少なくとも膜形成段階でこの
Si源と同程度に親水性であり、かつ、酸素原子の配位
数が多いことが好ましい。
アルキルとしてのP源は、少なくとも膜形成段階でこの
Si源と同程度に親水性であり、かつ、酸素原子の配位
数が多いことが好ましい。
【0016】しかるに、リン酸エステル類は難燃性であ
り、酸素による酸化がSi源より著しく遅い。ケイ酸エ
ステル類は加水分解され易いのに比較し、リン酸エステ
ルは水溶液中でも合成が可能な程加水分解されにくい。
り、酸素による酸化がSi源より著しく遅い。ケイ酸エ
ステル類は加水分解され易いのに比較し、リン酸エステ
ルは水溶液中でも合成が可能な程加水分解されにくい。
【0017】本発明において用いるリン酸モノアルキル
あるいはリン酸ジアルキルは、リン酸トリアルキルが加
水分解された分子であり、RがCH3基、C2H5基の
ものは水溶性を有するものである。したがって、生成し
たPSG膜中のP濃度を容易に高めることができ、か
つ、Pの濃度むらのない均一な濃度分布を得ることがで
きる。
あるいはリン酸ジアルキルは、リン酸トリアルキルが加
水分解された分子であり、RがCH3基、C2H5基の
ものは水溶性を有するものである。したがって、生成し
たPSG膜中のP濃度を容易に高めることができ、か
つ、Pの濃度むらのない均一な濃度分布を得ることがで
きる。
【0018】本発明は、PSG膜のみならず、B,Pド
ープのSiO2膜(BPSG膜)にも適用できるもので
ある。この場合、B源としては一般的にB(OCH3)
3あるいはB(OC2H5)3が用いられる。
ープのSiO2膜(BPSG膜)にも適用できるもので
ある。この場合、B源としては一般的にB(OCH3)
3あるいはB(OC2H5)3が用いられる。
【0019】従来のPSG膜は堆積後900〜1000
℃程度の高温でアニールが行われている。このアニール
はPSGを軟化させて流動を起こさせ、下地の段差や凹
凸を平坦化するためである。PSG膜中のP濃度が高い
程、より低温でリフローすることができ、かつ、平坦化
の効果も大きいので、本発明は優れたリフロー性を実現
することができるものである。
℃程度の高温でアニールが行われている。このアニール
はPSGを軟化させて流動を起こさせ、下地の段差や凹
凸を平坦化するためである。PSG膜中のP濃度が高い
程、より低温でリフローすることができ、かつ、平坦化
の効果も大きいので、本発明は優れたリフロー性を実現
することができるものである。
【0020】
【実施例】CVD反応室内で大気圧下でシリコン基板を
設置し、400℃に基板加熱した。その反応室内にO2
を20%、O3を3%、Si(OC2H5)4を1%、
HPO2(OCH3)2+H2PO3(OCH3)を
0.2%、He残量を導入し、シリコン基板上にPSG
膜を形成した。
設置し、400℃に基板加熱した。その反応室内にO2
を20%、O3を3%、Si(OC2H5)4を1%、
HPO2(OCH3)2+H2PO3(OCH3)を
0.2%、He残量を導入し、シリコン基板上にPSG
膜を形成した。
【0021】形成したPSG膜のP濃度を測定した結
果、8重量%であった。また、使用した5インチシリコ
ンウェハーをX線マイクロアナライザーでPの濃度分布
を測定した結果、全面8±0.8重量%であり、極めて
均一であることがわかった。また、生成したPSG膜の
水洗液のpHを測定した結果、pH5〜6でありほとん
どPの溶脱がないことがわかった。
果、8重量%であった。また、使用した5インチシリコ
ンウェハーをX線マイクロアナライザーでPの濃度分布
を測定した結果、全面8±0.8重量%であり、極めて
均一であることがわかった。また、生成したPSG膜の
水洗液のpHを測定した結果、pH5〜6でありほとん
どPの溶脱がないことがわかった。
【0022】
【発明の効果】本発明によれば、P濃度が高く、かつ、
Pの濃度むらがないPSG膜を製造できる特徴がある。
また、Al配線を腐食せず、生成した膜の吸水性がない
特徴がある。
Pの濃度むらがないPSG膜を製造できる特徴がある。
また、Al配線を腐食せず、生成した膜の吸水性がない
特徴がある。
Claims (2)
- 【請求項1】 PドープのSiO2膜を液体原料を用い
てCVD法で形成する場合、ドープ剤としてリン酸モノ
アルキルあるいはリン酸ジアルキルあるいはこれらの混
合物を用いることを特徴とする半導体装置の酸化膜の製
造法。 - 【請求項2】 リン酸モノアルキルがPO(OH)2O
R,HPO(OH)OR等であり、リン酸ジアルキルが
PO(OH)(OR)2,HPO(OR)2等であり、
RはCH3基、C2H5基、C3H7基、C4H9基、
C5H11基等であることを特徴とする請求項1の半導
体装置の酸化膜の製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3361037A JP3060190B2 (ja) | 1991-12-17 | 1991-12-17 | 半導体装置の酸化膜の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3361037A JP3060190B2 (ja) | 1991-12-17 | 1991-12-17 | 半導体装置の酸化膜の製造法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05166738A JPH05166738A (ja) | 1993-07-02 |
JP3060190B2 true JP3060190B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
ID=18471928
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3361037A Expired - Fee Related JP3060190B2 (ja) | 1991-12-17 | 1991-12-17 | 半導体装置の酸化膜の製造法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3060190B2 (ja) |
-
1991
- 1991-12-17 JP JP3361037A patent/JP3060190B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH05166738A (ja) | 1993-07-02 |
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Legal Events
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