JP3043896B2 - 焦点合わせ駆動装置付き顕微鏡の試料保護用の所定のオーバランを有するリミット制御装置 - Google Patents
焦点合わせ駆動装置付き顕微鏡の試料保護用の所定のオーバランを有するリミット制御装置Info
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- JP3043896B2 JP3043896B2 JP4118505A JP11850592A JP3043896B2 JP 3043896 B2 JP3043896 B2 JP 3043896B2 JP 4118505 A JP4118505 A JP 4118505A JP 11850592 A JP11850592 A JP 11850592A JP 3043896 B2 JP3043896 B2 JP 3043896B2
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- G02B21/24—Base structure
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- G—PHYSICS
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- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は焦点合わせ駆動装置の移
動制限のための制御装置に関する。特に、移動自在な戴
物台を供えた顕微鏡用の焦点合わせ駆動装置の移動制限
を行う制御装置に関する。
動制限のための制御装置に関する。特に、移動自在な戴
物台を供えた顕微鏡用の焦点合わせ駆動装置の移動制限
を行う制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】焦点合わせにおいて、試料が選択された
対物レンズと接触して試料と対物レンズとが損傷を受け
ることがないように、顕微鏡では試料と対物レンズは安
全な位置に配置されなければならない。
対物レンズと接触して試料と対物レンズとが損傷を受け
ることがないように、顕微鏡では試料と対物レンズは安
全な位置に配置されなければならない。
【０００３】上記問題は手動の焦点合わせ駆動装置の場
合、焦点装置を指定された位置にて止める機械ストッパ
が備えられているため解消されている。さらに、調節さ
れた戴物台の位置を再現可能に固定することができる機
械的に調節可能な停止位置が知られている。
合、焦点装置を指定された位置にて止める機械ストッパ
が備えられているため解消されている。さらに、調節さ
れた戴物台の位置を再現可能に固定することができる機
械的に調節可能な停止位置が知られている。
【０００４】現代の顕微鏡には、焦点合わせ駆動装置を
自在に処理して焦点位置への移動と焦点位置の記憶格納
とが行われる電気的又は電子的制御装置が備えられてい
る。
自在に処理して焦点位置への移動と焦点位置の記憶格納
とが行われる電気的又は電子的制御装置が備えられてい
る。
【０００５】焦点合わせ駆動装置が備えられた顕微鏡シ
ステムは、例えば半導体産業等において連続検査用に益
々設置されている。しかし、電子制御装置はある状況下
でその動作に信頼性を欠き、絶対的に必要とされる試料
の保護を電子的手段で実現した場合、安全性が保証でき
ないことが明らかとなった。
ステムは、例えば半導体産業等において連続検査用に益
々設置されている。しかし、電子制御装置はある状況下
でその動作に信頼性を欠き、絶対的に必要とされる試料
の保護を電子的手段で実現した場合、安全性が保証でき
ないことが明らかとなった。
【０００６】さらに、実際の運用では連続検査の際、被
検試料には製造許容差が存在している。例えば、被検試
料の厚みが変化する時、電子的又は機械的な試料保護機
構が備えられた顕微鏡では十分正確に焦点合わせができ
ない。作動された試料保護機構により、戴物台はあらか
じめ記憶された焦点位置から対物レンズにさらに近づい
て移動するということはなく、このため焦点が合わない
場合がある。
検試料には製造許容差が存在している。例えば、被検試
料の厚みが変化する時、電子的又は機械的な試料保護機
構が備えられた顕微鏡では十分正確に焦点合わせができ
ない。作動された試料保護機構により、戴物台はあらか
じめ記憶された焦点位置から対物レンズにさらに近づい
て移動するということはなく、このため焦点が合わない
場合がある。
【０００７】このことは連続検査のために不利であるこ
とが明きらかとなった。例えば、半導体産業において被
検査ウェハーは約＋−20μmの許容差が存在しているか
らである。このような試料の正確な焦点合わせのため
に、作動された試料保護機構は先ずこと細かに停止さ
れ、つぎに新たに調整されなければならない。
とが明きらかとなった。例えば、半導体産業において被
検査ウェハーは約＋−20μmの許容差が存在しているか
らである。このような試料の正確な焦点合わせのため
に、作動された試料保護機構は先ずこと細かに停止さ
れ、つぎに新たに調整されなければならない。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の目
的は、顕微鏡用のモータ移動の焦点合わせ駆動装置にお
いて、試料及び対物レンズの保護を行うとともに固定し
た焦点から一定幅の焦点合わせを可能とした改良された
リミット制御装置を提供することにある。
的は、顕微鏡用のモータ移動の焦点合わせ駆動装置にお
いて、試料及び対物レンズの保護を行うとともに固定し
た焦点から一定幅の焦点合わせを可能とした改良された
リミット制御装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明は、移動可能な戴物台を有する顕微鏡用の焦
点合わせ駆動装置の移動制限のための制御装置におい
て、記憶された焦点位置の所定のオーバランのために電
気的スイッチ（８）が制御軸（９）と共に送り棒（７）
のハウジング内に配設され、制御軸（９）が顕微鏡の戴
物台（３）に当接され、軸（９）と電気的スイッチ
（８）間に自由作動ストロークが設けられたことを特徴
とするリミット制御装置を提供する。
に、本発明は、移動可能な戴物台を有する顕微鏡用の焦
点合わせ駆動装置の移動制限のための制御装置におい
て、記憶された焦点位置の所定のオーバランのために電
気的スイッチ（８）が制御軸（９）と共に送り棒（７）
のハウジング内に配設され、制御軸（９）が顕微鏡の戴
物台（３）に当接され、軸（９）と電気的スイッチ
（８）間に自由作動ストロークが設けられたことを特徴
とするリミット制御装置を提供する。
【００１０】なお本発明の好ましい構成は従属項によっ
て示されている。
て示されている。
【００１１】本発明によれば、戴物台と対物レンズの間
の行程は補助的な短絡スイッチによって制限されてお
り、このため、制御電気回路が停止した場合でも試料と
対物レンズとの衝突は起こらないものとされている。
の行程は補助的な短絡スイッチによって制限されてお
り、このため、制御電気回路が停止した場合でも試料と
対物レンズとの衝突は起こらないものとされている。
【００１２】さらに、電気的スイッチと制御軸との間の
所定の間隔によって、記憶された焦点位置のためのオー
バランストロークが明白に定められている。
所定の間隔によって、記憶された焦点位置のためのオー
バランストロークが明白に定められている。
【００１３】
【実施例】本発明の実施例を、図面を参照して以下に詳
説する。
説する。
【００１４】図１には顕微鏡スタンド１の一部、顕微鏡
対物レンズ２、第１の制御出張り４が備えられ且つ矢印
方向にモータにより移動可能な戴物台３が示されてい
る。また、同図には、図示されない焦点モータに組み込
まれる電気回路とケーブル接続される短絡スイッチ２１
が示されている。
対物レンズ２、第１の制御出張り４が備えられ且つ矢印
方向にモータにより移動可能な戴物台３が示されてい
る。また、同図には、図示されない焦点モータに組み込
まれる電気回路とケーブル接続される短絡スイッチ２１
が示されている。
【００１５】リミット制御装置５は顕微鏡スタンド１と
バネ６を介して結合されている。リミット制御装置５
は、送り棒７、制御軸９、バネ１０、電気的スイッチ８
から構成され、電気制御焦点モータ（図示せず）と導線
によって接続されている。
バネ６を介して結合されている。リミット制御装置５
は、送り棒７、制御軸９、バネ１０、電気的スイッチ８
から構成され、電気制御焦点モータ（図示せず）と導線
によって接続されている。
【００１６】制御軸９は圧縮バネ１０の上部で送り棒７
内に保持され、第１の制御出張り４に当接される。リミ
ット制御装置５の送り棒７は顕微鏡スタンド１の戴物台
３の移動方向と平行に、取り外し可能な締付け具によっ
て固定される。締付けは回転移動可能なローレット付合
栓１１、バネ１９、クランプ部１２、球１３、クランプ
ハウジング１４、受けバネ１５とで行われる。
内に保持され、第１の制御出張り４に当接される。リミ
ット制御装置５の送り棒７は顕微鏡スタンド１の戴物台
３の移動方向と平行に、取り外し可能な締付け具によっ
て固定される。締付けは回転移動可能なローレット付合
栓１１、バネ１９、クランプ部１２、球１３、クランプ
ハウジング１４、受けバネ１５とで行われる。
【００１７】制御軸９と電気的スイッチ８との間の間隔
Ｘは、記憶された焦点位置から対物レンズ２への戴物台
３のオーバランストロークＸを定義する。これによって
試料の厚さに存在する許容差の調整が可能とされる。
Ｘは、記憶された焦点位置から対物レンズ２への戴物台
３のオーバランストロークＸを定義する。これによって
試料の厚さに存在する許容差の調整が可能とされる。
【００１８】送り棒７の調節とそれと連動した焦点位置
の決定は、先ず手動調節による顕微鏡の焦点合わせによ
って行われる。焦点位置の記憶は、例えば、焦点モータ
がパルスモータとして構成され、戴物台がその基底位置
から焦点位置に達するまでのパルス数が計数され、該パ
ルス計数値が顕微鏡に附属した計算機の記憶装置に記憶
されるというようにして行われる。
の決定は、先ず手動調節による顕微鏡の焦点合わせによ
って行われる。焦点位置の記憶は、例えば、焦点モータ
がパルスモータとして構成され、戴物台がその基底位置
から焦点位置に達するまでのパルス数が計数され、該パ
ルス計数値が顕微鏡に附属した計算機の記憶装置に記憶
されるというようにして行われる。
【００１９】このように顕微鏡を最初に焦点を合わせた
後に合栓１１は取り外される。送り棒７は自分自身の重
さとバネ６の力によって移動する。制御軸９は第１の制
御出張り４上に当接している。スタンド１のクリアラン
ス２２における合栓１１の押込みとクランプによって送
り棒７はクランプハウジング１４に固定される。
後に合栓１１は取り外される。送り棒７は自分自身の重
さとバネ６の力によって移動する。制御軸９は第１の制
御出張り４上に当接している。スタンド１のクリアラン
ス２２における合栓１１の押込みとクランプによって送
り棒７はクランプハウジング１４に固定される。
【００２０】バネ１０の力はバネ６の力と共同でリミッ
ト制御装置５の自重よりも大きい。このため制御軸９と
電気的スイッチ８との間に制御ストロークＸが生じる。
ト制御装置５の自重よりも大きい。このため制御軸９と
電気的スイッチ８との間に制御ストロークＸが生じる。
【００２１】試料が変化し、それと連動して戴物台３が
降下した後に台３は、例えば自動的に記憶された焦点位
置に戻ることができる。
降下した後に台３は、例えば自動的に記憶された焦点位
置に戻ることができる。
【００２２】試料が変化した場合、焦点は最適に位置決
めされていず、手動または自動焦点合わせ駆動装置によ
って調節される焦点合わせを後で行う必要がある。新し
い焦点位置が記憶された焦点位置より下にある場合、す
なわち、試料と対物レンズ２との間の間隔がさらに大き
い場合には、台３をそのまま降下させればよい。
めされていず、手動または自動焦点合わせ駆動装置によ
って調節される焦点合わせを後で行う必要がある。新し
い焦点位置が記憶された焦点位置より下にある場合、す
なわち、試料と対物レンズ２との間の間隔がさらに大き
い場合には、台３をそのまま降下させればよい。
【００２３】これに対して新しい焦点位置が記憶された
位置よりも上方にある、すなわち、試料と対物レンズ２
の間の間隔がさらに小さい場合がある。この場合、戴物
台３は対物レンズ２の方向にさらに移動されなければな
らない。
位置よりも上方にある、すなわち、試料と対物レンズ２
の間の間隔がさらに小さい場合がある。この場合、戴物
台３は対物レンズ２の方向にさらに移動されなければな
らない。
【００２４】しかも、この移動によって試料１８と対物
レンズ２とが衝突しないように安全に位置決めされなけ
ればならない。これは制御軸９が第１の制御出張り４に
当接していること、及びこのような焦点合わせの過程に
おいて軸９が送り棒７内に押込まれることによって保証
されている。
レンズ２とが衝突しないように安全に位置決めされなけ
ればならない。これは制御軸９が第１の制御出張り４に
当接していること、及びこのような焦点合わせの過程に
おいて軸９が送り棒７内に押込まれることによって保証
されている。
【００２５】許容オーバランストローク、すなわち、記
憶された焦点位置を越えて対物レンズ２方向に戴物台３
が移動可能な行程は、制御軸９と電気式スイッチ８の開
閉点との間の間隔Ｘによって制限されている。
憶された焦点位置を越えて対物レンズ２方向に戴物台３
が移動可能な行程は、制御軸９と電気式スイッチ８の開
閉点との間の間隔Ｘによって制限されている。
【００２６】制御軸９が送り棒７内に押込まれ、これに
よって電気的スイッチ８が作動すると、焦点合わせ駆動
装置はその電気的制御スイッチが遮断される。
よって電気的スイッチ８が作動すると、焦点合わせ駆動
装置はその電気的制御スイッチが遮断される。
【００２７】例として、焦点合わせ駆動装置のための制
御電気回路が停止して焦点モータが戴物台３を制御不能
のまま移動させた場合、制御出張り４上に設けられた短
絡スイッチ２１の指令によって試料と対物レンズとの衝
突は排除される。
御電気回路が停止して焦点モータが戴物台３を制御不能
のまま移動させた場合、制御出張り４上に設けられた短
絡スイッチ２１の指令によって試料と対物レンズとの衝
突は排除される。
【００２８】すなわち、戴物台３が許容オーバランスト
ロークＸを越えた後に送り棒７内に押込まれた制御軸９
によって短絡スイッチ２１が作動される。スイッチ２１
は前述したように焦点モータの電気回路の一部として組
み込まれている。
ロークＸを越えた後に送り棒７内に押込まれた制御軸９
によって短絡スイッチ２１が作動される。スイッチ２１
は前述したように焦点モータの電気回路の一部として組
み込まれている。
【００２９】本実施例では、送り棒７のこのような制御
機能は、電気的スイッチ８が開閉点方向に制御軸９によ
って作動され、ハウジング内においてなおも余分なスト
ロークを進むことができる場合にのみ与えられるもので
ある。
機能は、電気的スイッチ８が開閉点方向に制御軸９によ
って作動され、ハウジング内においてなおも余分なスト
ロークを進むことができる場合にのみ与えられるもので
ある。
【００３０】短絡スイッチ２１の機能は、すべりクラッ
チを備えた焦点モータが設置され締付けハウジング１４
と送り棒７との間の締付け力を焦点モータの力よりも大
きくすることによっても実現することができる。
チを備えた焦点モータが設置され締付けハウジング１４
と送り棒７との間の締付け力を焦点モータの力よりも大
きくすることによっても実現することができる。
【００３１】制御軸９が送り棒７内に押込まれ許容オー
バランストロークＸを通過することによって、すべりク
ラッチが作動される。
バランストロークＸを通過することによって、すべりク
ラッチが作動される。
【００３２】このような機械的制限が定められた値（制
御ストローク Ｘ）にバネ１０が圧縮され、ついでモー
タのすべりクラッチが作動されることによって可能とさ
れることは勿論である。
御ストローク Ｘ）にバネ１０が圧縮され、ついでモー
タのすべりクラッチが作動されることによって可能とさ
れることは勿論である。
【００３３】すべりクラッチを使った機械的制限の更な
る可能性として、焦点モータが送り棒７とクランプハウ
ジング１４間の締付け力と相殺しバネ６が機械的ブロッ
クとして機能することによって実現される。
る可能性として、焦点モータが送り棒７とクランプハウ
ジング１４間の締付け力と相殺しバネ６が機械的ブロッ
クとして機能することによって実現される。
【００３４】図２は図１の電気的スイッチ８の代わり
に、戴物台３の２番目に配設された制御出張り１７に並
列して配設される二又光バリア（Gabellichtschranke）
１６を有する本発明の別の実施例を示したものである。
に、戴物台３の２番目に配設された制御出張り１７に並
列して配設される二又光バリア（Gabellichtschranke）
１６を有する本発明の別の実施例を示したものである。
【００３５】光バリア１６は焦点モータ制御装置と導線
２０により接続されている。光バリア１６と制御出張り
１７と間の間隔Ｘは、記憶された焦点位置から対物レン
ズ２への戴物台３のオーバランストロークＸを定義する
ものである。
２０により接続されている。光バリア１６と制御出張り
１７と間の間隔Ｘは、記憶された焦点位置から対物レン
ズ２への戴物台３のオーバランストロークＸを定義する
ものである。
【００３６】制御出張り４には短絡スイッチ２１が配設
され、ケーブル接続により焦点モータの電気回路に組み
込まれている。制御軸９はバネ１０と結合され、送り棒
７内に配設されている。
され、ケーブル接続により焦点モータの電気回路に組み
込まれている。制御軸９はバネ１０と結合され、送り棒
７内に配設されている。
【００３７】送り棒７の調節は図１の場合と同様に顕微
鏡の最初の焦点合わせに続いて行われる。
鏡の最初の焦点合わせに続いて行われる。
【００３８】制御出張り１７が二又光バリア１６を通過
し、制御軸９が送り棒７内に押込まれると、焦点合わせ
駆動装置は制御電気回路を遮断する。図１の詳細実施例
と同様に制御電気回路が停止した際の試料と対物レンズ
の保護は、許容オーバランストロークＸを超過したとき
短絡スイッチ２１が作動することにより保証されてい
る。
し、制御軸９が送り棒７内に押込まれると、焦点合わせ
駆動装置は制御電気回路を遮断する。図１の詳細実施例
と同様に制御電気回路が停止した際の試料と対物レンズ
の保護は、許容オーバランストロークＸを超過したとき
短絡スイッチ２１が作動することにより保証されてい
る。
【００３９】前記短絡スイッチ２１の機能は焦点モータ
用のすべりクラッチを利用した、すでに説明済みの機械
的代替手段によっても実現されることは勿論である。
用のすべりクラッチを利用した、すでに説明済みの機械
的代替手段によっても実現されることは勿論である。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、焦点合わ
せ駆動装置を有する顕微鏡において、試料と対物レンズ
保護のために記憶された焦点位置から一定の範囲での焦
点合わせを可能とするリミット制御装置を提供したもの
で、焦点制御用の電気回路が停止した場合でも試料と対
物レンズとの衝突を回避すべく戴物台の移動は制限さ
れ、さらに電気的スイッチと記憶された焦点位置のオー
バラン制御用の制御軸との間に一定の間隔を設けたこと
によって試料と対物レンズの間に一定の間隔が確保さ
れ、試料と対物レンズの安全性が常に保証されるという
利点を有している。
せ駆動装置を有する顕微鏡において、試料と対物レンズ
保護のために記憶された焦点位置から一定の範囲での焦
点合わせを可能とするリミット制御装置を提供したもの
で、焦点制御用の電気回路が停止した場合でも試料と対
物レンズとの衝突を回避すべく戴物台の移動は制限さ
れ、さらに電気的スイッチと記憶された焦点位置のオー
バラン制御用の制御軸との間に一定の間隔を設けたこと
によって試料と対物レンズの間に一定の間隔が確保さ
れ、試料と対物レンズの安全性が常に保証されるという
利点を有している。
【図１】顕微鏡に配設されたリミット制御装置。
【図２】二又光バリアを用いた顕微鏡のリミット制御装
置。
置。
１ 顕微鏡スタンド ２ 対物レンズ ３ 戴物台 ４ 第１の制御出張り ５ 制御装置 ６ バネ ７ 送り棒 ８ 電気的スイッチ ９ 制御軸 １０ 押しバネ １１ 合栓 １２ クランプ部 １３ 球 １４ クランプハウジング １５ 受けバネ １６ 二又光バリア １７ 第２の制御出張り １８ 試料 １９ バネ ２０ ケーブル接続 ２１ 短絡スイッチ ２２ クリアランス ２３ ケーブル接続
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ローラント ヘドリッヒ ドイツ連邦共和国、6332 エーリングス ハウゼン、ハーメザッカー 21 (56)参考文献 特開 昭57−172417（ＪＰ，Ａ) 実開 平２−140516（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭59−38417（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 21/24
Claims (6)
- 【請求項１】特に移動可能な戴物台を有する顕微鏡用の
焦点合わせ駆動装置の移動制限のための制御装置におい
て、記憶された焦点位置の所定のオーバランのために電
気的スイッチ（８）が制御軸（９）と共に送り棒（７）
のハウジング内に配設され、制御軸（９）が顕微鏡の戴
物台（３）に当接され、制御軸（９）と電気的スイッチ
（８）との間に自由作動ストロークが設けられたことを
特徴とするリミット制御装置。 - 【請求項２】送り棒（７）が顕微鏡の調節可能な戴物台
（３）の移動方向に沿って配設されたことを特徴とする
請求項１記載のリミット制御装置。 - 【請求項３】制御軸（９）が戴物台（３）と当接するた
めに弾力的に保持されることを特徴とする請求項１また
は２記載のリミット制御装置。 - 【請求項４】送り棒（７）により作動される短絡スイッ
チ（２１）を有する制御出張り（４）が戴物台（３）に
配設されたことを特徴とする請求項１〜３の各一に記載
されたリミット制御装置。 - 【請求項５】短絡スイッチ（２１）が電気的スイッチ
（８）の後にその開閉点に到達することを特徴とする請
求項４記載のリミット制御装置。 - 【請求項６】電気的スイッチ（８）の代わりに二又光バ
リア（１６）が設けられ、且つ顕微鏡台（３）に第２の
制御出張り（１７）が配設されたことを特徴とする請求
項１〜５の各一に記載されたリミット制御装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4112010.8 | 1991-04-12 | ||
| DE4112010A DE4112010A1 (de) | 1991-04-12 | 1991-04-12 | Endschaltvorrichtung mit definiertem ueberlauf zum objektschutz bei mikroskopen mit motorischem fokussiertrieb |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05127098A JPH05127098A (ja) | 1993-05-25 |
| JP3043896B2 true JP3043896B2 (ja) | 2000-05-22 |
Family
ID=6429479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4118505A Expired - Fee Related JP3043896B2 (ja) | 1991-04-12 | 1992-04-13 | 焦点合わせ駆動装置付き顕微鏡の試料保護用の所定のオーバランを有するリミット制御装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5315080A (ja) |
| EP (1) | EP0508076B1 (ja) |
| JP (1) | JP3043896B2 (ja) |
| AT (1) | ATE130442T1 (ja) |
| DE (2) | DE4112010A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108801316A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-11-13 | 芜湖市奥尔特光电科技有限公司 | 一种显微镜防沙尘装置 |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11248994A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-09-17 | Asahi Seimitsu Kk | レンズの直流モータの端点リミット回路 |
| US6507433B2 (en) | 1999-10-08 | 2003-01-14 | Westover Scientific, Inc. | Method and apparatus for preventing application of excessive force between microscope objective and stage |
| US6357333B1 (en) * | 2000-01-10 | 2002-03-19 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Dual Adjusting override precision switch activator |
| FR2808888B1 (fr) * | 2000-05-15 | 2003-06-20 | Trophos | Dispositif d'observation sequentielle d'echantillons et procedes l'utilisant |
| US6266183B1 (en) * | 2000-09-18 | 2001-07-24 | Veeco Instruments Inc. | Self-centering crash protection mechanism for interference microscope objective |
| JP4253482B2 (ja) * | 2002-09-19 | 2009-04-15 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置 |
| DE10246275A1 (de) * | 2002-10-02 | 2004-04-15 | Leica Microsystems Wetzlar Gmbh | Tragbares Mikroskop mit Beleuchtungseinrichtung und Mikroskoptisch |
| DE102004048295A1 (de) * | 2004-10-01 | 2006-04-06 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Endlagenschaltung für Stereomikroskope mit motorisiertem Fokussiertrieb |
| DE102005029381B4 (de) * | 2005-06-24 | 2007-04-26 | Olympus Soft Imaging Solutions Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Abtastung einer Probe |
| DE102005040750A1 (de) * | 2005-08-26 | 2007-03-15 | Olympus Soft Imaging Solutions Gmbh | Optische Aufzeichnungs- oder Wiedergabeeinheit |
| JP5931538B2 (ja) | 2011-09-26 | 2016-06-08 | オリンパス株式会社 | 倒立型顕微鏡 |
| JP5969808B2 (ja) | 2012-04-27 | 2016-08-17 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡装置 |
| CN105977109A (zh) * | 2016-06-12 | 2016-09-28 | 国网山东省电力公司临朐县供电公司 | 一种可扩充连接回路的跳闸压板及信息传输电路 |
| DE102017120651B3 (de) * | 2017-09-07 | 2018-11-08 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Mikroskop mit Kollisionsschutz und entsprechendes Verfahren |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE939170C (de) * | 1952-12-09 | 1956-02-16 | Optische Werke C Reichert Ag | Praeparatschuetzende Vorrichtung fuer automatische Vorfokussierung von Mikroskopen |
| US2713407A (en) * | 1953-03-13 | 1955-07-19 | Edwin G Miller | Chuck key safety switch mechanism |
| CH518562A (de) * | 1970-02-24 | 1972-01-31 | Zeiss Carl Fa | Verfahren und Vorrichtung zur automatischen Fokussierung von Mikroskopen |
| DD96790A1 (ja) * | 1972-02-10 | 1973-04-12 | ||
| DE2627486A1 (de) * | 1976-06-18 | 1977-12-29 | Leitz Ernst Gmbh | Grob- und feinverstellungsgetriebe fuer mikroskope mit automatischer scharfstellung |
| US4480163A (en) * | 1983-01-05 | 1984-10-30 | Acorn Engineering Company | Vandal-resistant push button electrical switch assembly |
| DE3410201A1 (de) * | 1983-03-22 | 1984-10-04 | Olympus Optical Co., Ltd., Tokio/Tokyo | Mikroskop |
| FR2638888A1 (fr) * | 1988-11-09 | 1990-05-11 | Crouzet Sa | Dispositif perfectionne de commutation electrique |
-
1991
- 1991-04-12 DE DE4112010A patent/DE4112010A1/de not_active Withdrawn
-
1992
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- 1992-04-13 JP JP4118505A patent/JP3043896B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108801316A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-11-13 | 芜湖市奥尔特光电科技有限公司 | 一种显微镜防沙尘装置 |
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