JP2806223B2 - 赤外顕微鏡 - Google Patents
赤外顕微鏡Info
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- JP2806223B2 JP2806223B2 JP24175693A JP24175693A JP2806223B2 JP 2806223 B2 JP2806223 B2 JP 2806223B2 JP 24175693 A JP24175693 A JP 24175693A JP 24175693 A JP24175693 A JP 24175693A JP 2806223 B2 JP2806223 B2 JP 2806223B2
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- reflection
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、赤外顕微鏡、特にその
対物鏡の保護機構に関する。
対物鏡の保護機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】赤外顕微鏡といえども可視観察に関して
は、対物レンズの代わりに反射対物鏡を用いる以外は普
通の顕微鏡と同様である。従って、通常ピント合わせは
試料ステージを上下に移動させて行うが、これをモータ
駆動で走査させると共に、別途フォーカス検出機構によ
り焦点位置を求めるものもある。
は、対物レンズの代わりに反射対物鏡を用いる以外は普
通の顕微鏡と同様である。従って、通常ピント合わせは
試料ステージを上下に移動させて行うが、これをモータ
駆動で走査させると共に、別途フォーカス検出機構によ
り焦点位置を求めるものもある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、試料ステージ
の反射対物鏡に対する移動をモータなどにより電動駆動
で行う場合、特にオートフォーカスの目的のため下方か
ら上方に試料ステージを自動走査すると、試料ないしス
テージに反射対物鏡がぶつかり、いずれか、あるいは双
方を破損するという問題点があった。また、全反射吸収
測定用反射対物鏡のように、先端部にクリスタルを有
し、これを試料に密着して測定するモードでは、試料ス
テージの自動走査を禁止しないと衝突により必ず破損す
るので、測定モードによっては試料ステージの自動走査
を禁止し、これを区別する必要もあった。
の反射対物鏡に対する移動をモータなどにより電動駆動
で行う場合、特にオートフォーカスの目的のため下方か
ら上方に試料ステージを自動走査すると、試料ないしス
テージに反射対物鏡がぶつかり、いずれか、あるいは双
方を破損するという問題点があった。また、全反射吸収
測定用反射対物鏡のように、先端部にクリスタルを有
し、これを試料に密着して測定するモードでは、試料ス
テージの自動走査を禁止しないと衝突により必ず破損す
るので、測定モードによっては試料ステージの自動走査
を禁止し、これを区別する必要もあった。
【０００４】本発明は、モータ駆動などにより試料ステ
ージを反射対物鏡に対し移動させて焦点合わせを行う場
合における試料ないしステージと反射対物鏡との衝突、
これに伴う一方あるいは双方の破損を防止するようにし
た赤外顕微鏡を提供することを目的としている。
ージを反射対物鏡に対し移動させて焦点合わせを行う場
合における試料ないしステージと反射対物鏡との衝突、
これに伴う一方あるいは双方の破損を防止するようにし
た赤外顕微鏡を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の赤外顕微鏡では、試料ステージに対向して
反射対物鏡を備え、試料ステージを反射対物鏡に対し移
動させて焦点合わせを行う赤外顕微鏡において、反射対
物鏡自体を顕微鏡本体に対しその光軸方向に変位可能に
保持すると共に、その対物鏡の変位を検出する手段と、
検出手段からの信号を受けて試料ステージの光軸方向の
移動を自動停止する制御手段とを備えたものである。
め、本発明の赤外顕微鏡では、試料ステージに対向して
反射対物鏡を備え、試料ステージを反射対物鏡に対し移
動させて焦点合わせを行う赤外顕微鏡において、反射対
物鏡自体を顕微鏡本体に対しその光軸方向に変位可能に
保持すると共に、その対物鏡の変位を検出する手段と、
検出手段からの信号を受けて試料ステージの光軸方向の
移動を自動停止する制御手段とを備えたものである。
【０００６】
【作用】上記のように構成された本発明の赤外顕微鏡で
は、試料ステージの移動により同ステージあるいはステ
ージ上の試料が反射対物鏡に衝突しても、反射対物鏡は
その光軸方向に逃げる（変位する）。そして、この反射
対物鏡の変位は、適宜の手段、例えば反射対物鏡に設け
たシャッターと反射対物鏡近傍に配置したホトインタラ
プタによって検出され、試料ステージの駆動が停止さ
れ、両者の衝突が未然に防止される。
は、試料ステージの移動により同ステージあるいはステ
ージ上の試料が反射対物鏡に衝突しても、反射対物鏡は
その光軸方向に逃げる（変位する）。そして、この反射
対物鏡の変位は、適宜の手段、例えば反射対物鏡に設け
たシャッターと反射対物鏡近傍に配置したホトインタラ
プタによって検出され、試料ステージの駆動が停止さ
れ、両者の衝突が未然に防止される。
【０００７】なお、全反射吸収測定モードのように、試
料ステージの自動走査を禁止したい場合には、反射対物
鏡の変位検出手段を常に動作（ＯＮ）状態とすることに
よりたやすく実現することができる。
料ステージの自動走査を禁止したい場合には、反射対物
鏡の変位検出手段を常に動作（ＯＮ）状態とすることに
よりたやすく実現することができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の赤外顕微鏡について図面を参
照して説明すると、第２図に一般的な赤外顕微鏡の概要
が示されている。
照して説明すると、第２図に一般的な赤外顕微鏡の概要
が示されている。
【０００９】図２において、２は赤外測定を行う際の測
定モードを透過モードか反射モードかに切り替える透過
／反射切替鏡で、４は平面鏡、６は球面鏡、８は半透
鏡、１０は反射対物鏡であり、反射対物鏡１０の下部に
は試料ステージ１２が設けられている。１４は反射対物
鏡１０による試料（図示せず）上の焦点位置である。反
射対物鏡１０で試料上に照射された赤外線による反射赤
外線は再び反射対物鏡１０で集光される。
定モードを透過モードか反射モードかに切り替える透過
／反射切替鏡で、４は平面鏡、６は球面鏡、８は半透
鏡、１０は反射対物鏡であり、反射対物鏡１０の下部に
は試料ステージ１２が設けられている。１４は反射対物
鏡１０による試料（図示せず）上の焦点位置である。反
射対物鏡１０で試料上に照射された赤外線による反射赤
外線は再び反射対物鏡１０で集光される。
【００１０】１６は反射対物鏡１０で集光された赤外線
を通す可変アパーチャで、１８は赤外測定と可視観察と
を切り替える平面鏡、２０、２２は平面鏡、２４は軸外
し楕円鏡、２６は赤外検出用のＭＣＴ検出器である。赤
外透過測定モードで赤外線を試料の下面から透過させる
ために、下部に平面鏡２８、球面鏡３０、ピンホール３
１、平面鏡３２及びコンデンサ鏡３４が設けられてい
る。
を通す可変アパーチャで、１８は赤外測定と可視観察と
を切り替える平面鏡、２０、２２は平面鏡、２４は軸外
し楕円鏡、２６は赤外検出用のＭＣＴ検出器である。赤
外透過測定モードで赤外線を試料の下面から透過させる
ために、下部に平面鏡２８、球面鏡３０、ピンホール３
１、平面鏡３２及びコンデンサ鏡３４が設けられてい
る。
【００１１】可視反射観察モードで試料に可視光を照射
するために、上部にハロゲンランプ３６、レンズ系３
８、反射照明光導入用半透鏡４０が設けられており、反
射照明光導入用半透鏡４０から平面鏡１８、反射対物鏡
１０を経て可視光が試料に入射する。他方、可視透過観
察モードで試料に可視光を照射するためには、下部にハ
ロゲンランプ４２、透過照明光導入用平面鏡４３が設け
られており、平面鏡４３から平面鏡３２、コンデンサ鏡
３４を経て可視光が試料を透過する。
するために、上部にハロゲンランプ３６、レンズ系３
８、反射照明光導入用半透鏡４０が設けられており、反
射照明光導入用半透鏡４０から平面鏡１８、反射対物鏡
１０を経て可視光が試料に入射する。他方、可視透過観
察モードで試料に可視光を照射するためには、下部にハ
ロゲンランプ４２、透過照明光導入用平面鏡４３が設け
られており、平面鏡４３から平面鏡３２、コンデンサ鏡
３４を経て可視光が試料を透過する。
【００１２】可視光による観察を行うために、反射対物
鏡１０で集光された光は半透鏡８、アパーチャ１６、平
面鏡１８、半透鏡４０及びプリズム４４などを経て接眼
レンズ４６、４８に導かれる。
鏡１０で集光された光は半透鏡８、アパーチャ１６、平
面鏡１８、半透鏡４０及びプリズム４４などを経て接眼
レンズ４６、４８に導かれる。
【００１３】ところで、本発明赤外顕微鏡では、第１図
に示されるように、反射対物鏡１０は顕微鏡本体（鏡
筒）に対しその光軸方向に変位可能に保持されている。
具体的な構造は示されていないが、例えば、反射対物鏡
１０内光路を形成する筒状突起と鏡筒とをスライド可能
に嵌合させることにより構成することができる。
に示されるように、反射対物鏡１０は顕微鏡本体（鏡
筒）に対しその光軸方向に変位可能に保持されている。
具体的な構造は示されていないが、例えば、反射対物鏡
１０内光路を形成する筒状突起と鏡筒とをスライド可能
に嵌合させることにより構成することができる。
【００１４】他方、試料Ｓが載置される試料ステージ１
２はモータ５０によりネジ送り機構５２を介して上下動
できるようになっている。
２はモータ５０によりネジ送り機構５２を介して上下動
できるようになっている。
【００１５】反射対物鏡１０にはシャッター５４が取り
付けられており、反射対物鏡１０の変位許容限界付近に
は同シャッター５４に対応してホトインタラプタ５６が
配置され、反射対物鏡１０の変位を検出するようになっ
ている。従って、試料ステージ１２が上方向に移動し、
同ステージ１２上の試料Ｓの厚みが厚すぎるなどの理由
によって試料Ｓが反射対物鏡１０にぶつかり、反射対物
鏡１０が図中点線位置まで後退（変位）すると、シャッ
ター５４によりホトインタラプタ５６がＯＮとなり、制
御部５８はこれを判断してモータ５０の駆動を直ちに停
止し、さらに試料ステージ１２の位置を若干下げ、反射
対物鏡１０及び試料Ｓが破損するのを防ぐことができ
る。
付けられており、反射対物鏡１０の変位許容限界付近に
は同シャッター５４に対応してホトインタラプタ５６が
配置され、反射対物鏡１０の変位を検出するようになっ
ている。従って、試料ステージ１２が上方向に移動し、
同ステージ１２上の試料Ｓの厚みが厚すぎるなどの理由
によって試料Ｓが反射対物鏡１０にぶつかり、反射対物
鏡１０が図中点線位置まで後退（変位）すると、シャッ
ター５４によりホトインタラプタ５６がＯＮとなり、制
御部５８はこれを判断してモータ５０の駆動を直ちに停
止し、さらに試料ステージ１２の位置を若干下げ、反射
対物鏡１０及び試料Ｓが破損するのを防ぐことができ
る。
【００１６】また、シャッタ５４の位置を最初から図中
点線の位置に設置した別の反射対物鏡を取り付けると、
常にホトインタラプタ５６はＯＮの状態となり、制御部
５８は試料ステージ１２の自動走査を禁止することにな
り、全反射吸収測定モードのように試料ステージの自動
走査を禁止したい場合に対応することができる。このよ
うに、反射対物鏡の種類（シャッターの取り付け位置の
変更）により、試料ステージの自動走査を可能にするか
禁止するかを自動で判別させることができ、誤った走査
により反射対物鏡を破損することを防止することができ
る。
点線の位置に設置した別の反射対物鏡を取り付けると、
常にホトインタラプタ５６はＯＮの状態となり、制御部
５８は試料ステージ１２の自動走査を禁止することにな
り、全反射吸収測定モードのように試料ステージの自動
走査を禁止したい場合に対応することができる。このよ
うに、反射対物鏡の種類（シャッターの取り付け位置の
変更）により、試料ステージの自動走査を可能にするか
禁止するかを自動で判別させることができ、誤った走査
により反射対物鏡を破損することを防止することができ
る。
【００１７】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、オートフォーカス時に試料ステージが反射対
物鏡ないし試料にぶつかってこれらを破損するのを防止
でき、また全反射吸収用反射対物鏡などのように試料ス
テージの自動走査を適用しにくい場合にも容易に自動走
査を禁止することができ、これにより反射対物鏡の破損
を防げる、という効果がある。
いるので、オートフォーカス時に試料ステージが反射対
物鏡ないし試料にぶつかってこれらを破損するのを防止
でき、また全反射吸収用反射対物鏡などのように試料ス
テージの自動走査を適用しにくい場合にも容易に自動走
査を禁止することができ、これにより反射対物鏡の破損
を防げる、という効果がある。
【図１】本発明の赤外顕微鏡の要部一実施例の概要を示
す図である。
す図である。
【図２】赤外顕微鏡の一般的な概要を示す図である。
１０…反射対物鏡 １２…試料ステージ ５０…モータ ５４…シャッター ５６…ホトインタラプタ ５８…制御部 Ｓ…試料
Claims (1)
- 【請求項１】試料ステージに対向して反射対物鏡を備
え、試料ステージを反射対物鏡に対し移動させて焦点合
わせを行う赤外顕微鏡において、 反射対物鏡自体を顕微鏡本体に対しその光軸方向に変位
可能に保持すると共に、その対物鏡の変位を検出する手
段と、検出手段からの信号を受けて試料ステージの光軸
方向の移動を自動停止する制御手段とを備えたことを特
徴とする赤外顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24175693A JP2806223B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 赤外顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24175693A JP2806223B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 赤外顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798433A JPH0798433A (ja) | 1995-04-11 |
| JP2806223B2 true JP2806223B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=17079068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24175693A Expired - Fee Related JP2806223B2 (ja) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 赤外顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2806223B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4515570B2 (ja) * | 1999-11-19 | 2010-08-04 | 日本分光株式会社 | プリズム破損防止機構を備える全反射吸収スペクトル測定装置 |
| KR101872434B1 (ko) * | 2017-02-21 | 2018-06-28 | 나노스코프시스템즈 주식회사 | 두께 측정 장치 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4615621A (en) * | 1982-04-02 | 1986-10-07 | Eaton Corporation | Auto-focus alignment and measurement system and method |
| JPS6266215A (ja) * | 1985-09-19 | 1987-03-25 | Mitsutoyo Mfg Corp | 自動駆動型光学機器 |
| JPS6349721A (ja) * | 1986-08-19 | 1988-03-02 | Shimadzu Corp | 赤外顕微鏡 |
-
1993
- 1993-09-28 JP JP24175693A patent/JP2806223B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0798433A (ja) | 1995-04-11 |
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