JPH07191757A - 位置決めステージ装置 - Google Patents
位置決めステージ装置Info
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- JPH07191757A JPH07191757A JP34783393A JP34783393A JPH07191757A JP H07191757 A JPH07191757 A JP H07191757A JP 34783393 A JP34783393 A JP 34783393A JP 34783393 A JP34783393 A JP 34783393A JP H07191757 A JPH07191757 A JP H07191757A
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70716—Stages
- G03F7/70725—Stages control
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Control Of Position Or Direction (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 位置決めステージ装置の移動体が支持枠に衝
突するのを防ぐ。 【構成】 Ｙステージ２は支持枠１内をＹ電動シリンダ
５によって上下動される。Ｙステージ２が支持枠１の天
井面１ｂまたは底面１ｃに近づくと距離センサ１０ａま
た１０ｂによってＹステージ２の位置が検出され、その
検出値からＹステージ２の移動速度が検出される。検出
されたＹステージ２の位置とその移動速度に基づいて該
位置における移動速度の許容値を算出し、これが、検出
された移動速度以下であるときに異常信号を発生させ、
Ｙ電動シリンダ５の駆動を停止するとともにダイナミッ
クブレーキを作動させる。
突するのを防ぐ。 【構成】 Ｙステージ２は支持枠１内をＹ電動シリンダ
５によって上下動される。Ｙステージ２が支持枠１の天
井面１ｂまたは底面１ｃに近づくと距離センサ１０ａま
た１０ｂによってＹステージ２の位置が検出され、その
検出値からＹステージ２の移動速度が検出される。検出
されたＹステージ２の位置とその移動速度に基づいて該
位置における移動速度の許容値を算出し、これが、検出
された移動速度以下であるときに異常信号を発生させ、
Ｙ電動シリンダ５の駆動を停止するとともにダイナミッ
クブレーキを作動させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体露光装置、各種
精密加工機あるいは各種精密測定器等に用いる位置決め
ステージ装置に関するものである。
精密加工機あるいは各種精密測定器等に用いる位置決め
ステージ装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体露光装置や、各種精密加工機ある
いは各種精密測定器等の位置決めステージ装置は、近年
特にその高精度化や高速化が著しく進み、装置全体が高
度に精密化されている。従って、このような位置決めス
テージ装置においては、床面等の振動が位置決めステー
ジに伝わるのを防ぐための防振対策や、駆動系の異常等
によって過大な衝撃が発生するのを防ぐための安全対策
が重視されている。加えて、近年開発された荷電粒子蓄
積リング放射光を露光光とする露光装置では、位置決め
ステージ装置が縦型であるために、位置決めステージを
垂直に移動させる駆動系の異常によって位置決めステー
ジが落下し、支持枠等に衝突すると、装置全体に極めて
大きな機械的損傷を与えるおそれがある。そこで、位置
決めステージが所定のストローク長を越えて支持枠に近
づいたときにこれを感知するストロークリミットセンサ
を二重に設けるなどの工夫がなされている。
いは各種精密測定器等の位置決めステージ装置は、近年
特にその高精度化や高速化が著しく進み、装置全体が高
度に精密化されている。従って、このような位置決めス
テージ装置においては、床面等の振動が位置決めステー
ジに伝わるのを防ぐための防振対策や、駆動系の異常等
によって過大な衝撃が発生するのを防ぐための安全対策
が重視されている。加えて、近年開発された荷電粒子蓄
積リング放射光を露光光とする露光装置では、位置決め
ステージ装置が縦型であるために、位置決めステージを
垂直に移動させる駆動系の異常によって位置決めステー
ジが落下し、支持枠等に衝突すると、装置全体に極めて
大きな機械的損傷を与えるおそれがある。そこで、位置
決めステージが所定のストローク長を越えて支持枠に近
づいたときにこれを感知するストロークリミットセンサ
を二重に設けるなどの工夫がなされている。
【０００３】図８はこのように二重のストロークリミッ
トセンサによる安全装置を有する縦型の位置決めステー
ジ装置の一例を示すもので、これは、支持枠１０１と一
体である一対のＹガイド１０１ａに沿って垂直方向（以
下、「Ｙ軸方向」という。）に往復移動自在であるＹス
テージ１０２と、Ｙステージ１０２と一体である一対の
Ｘガイド１０２ａに沿って一水平方向（以下、「Ｘ軸方
向」という。）に往復移動自在であるＸステージ１０３
と、図示しない微動調節機構を介してＸステージ１０３
に保持されたウエハチャック１０４と、Ｙステージ１０
２をＹ軸方向に移動させるＹ電動シリンダ１０５と、Ｘ
ステージ１０３をＸ軸方向に移動させるＸ電動シリンダ
１０６と、揺動アーム１０２ｂを介してＹステージ１０
２を懸下し、張力によってＹステージ１０２の重さを相
殺する一対のバランスベルト１０７を有し、各バランス
ベルト１０７は支持枠１０１の頂部に回転自在に支持さ
れた回転軸１０７ａに巻つけられており、Ｙステージ１
０２の重さを相殺する張力は、バランスシリンダ１０７
ｂから回転軸１０７ａに与えられるトルクによって制御
される。
トセンサによる安全装置を有する縦型の位置決めステー
ジ装置の一例を示すもので、これは、支持枠１０１と一
体である一対のＹガイド１０１ａに沿って垂直方向（以
下、「Ｙ軸方向」という。）に往復移動自在であるＹス
テージ１０２と、Ｙステージ１０２と一体である一対の
Ｘガイド１０２ａに沿って一水平方向（以下、「Ｘ軸方
向」という。）に往復移動自在であるＸステージ１０３
と、図示しない微動調節機構を介してＸステージ１０３
に保持されたウエハチャック１０４と、Ｙステージ１０
２をＹ軸方向に移動させるＹ電動シリンダ１０５と、Ｘ
ステージ１０３をＸ軸方向に移動させるＸ電動シリンダ
１０６と、揺動アーム１０２ｂを介してＹステージ１０
２を懸下し、張力によってＹステージ１０２の重さを相
殺する一対のバランスベルト１０７を有し、各バランス
ベルト１０７は支持枠１０１の頂部に回転自在に支持さ
れた回転軸１０７ａに巻つけられており、Ｙステージ１
０２の重さを相殺する張力は、バランスシリンダ１０７
ｂから回転軸１０７ａに与えられるトルクによって制御
される。
【０００４】支持枠１０１は、Ｙステージ１０２が支持
枠１０１の天井面１０１ｂまたは底面１０１ｃに接近し
すぎたときにこれをそれぞれ感知する一対の第１のスト
ロークリミットセンサ１０８ａ，１０８ｂと、各第１の
ストロークリミットセンサ１０８ａ，１０８ｂに異常が
あってＹステージ１０２がさらに支持枠１０１の天井面
１０１ｂまたは底面１０１ｃに近づいたときにこれをそ
れぞれ感知する一対の第２のストロークリミットセンサ
１０９ａ，１０９ｂを有し、Ｙ電動シリンダ１０５のモ
ータ１０５ａを駆動する駆動回路は、図９に示すよう
に、モータ１０５ａに駆動信号Ｄ0 を発信するモータド
ライバ１１１と、これにパルス信号Ｐ0 を発信するパル
スジェネレータ１１２と、外部からの指令によってパル
スジェネレータ１１２を駆動するコントローラ１１３を
有し、第２のストロークリミットセンサ１０９ａ，１０
９ｂはモータドライバ１１１に接続され、第１のストロ
ークリミットセンサ１０８ａ，１０８ｂはパルスジェネ
レータ１１２に接続されており、第１のストロークリミ
ットセンサ１０８ａ，１０８ｂのうちの上方に位置する
ものはＹステージ１０２の上昇時にのみパルスジェネレ
ータ１１２のパルス信号Ｐ0 をカットし、第１のストロ
ークリミットセンサ１０８ａ，１０８ｂのうちの下方に
位置するものはＹステージ１０２の下降時にのみパルス
ジェネレータ１１２のパルス信号Ｐ0 をカットするよう
に構成され、また、第２のストロークリミットセンサ１
０９ａ，１０９ｂは少なくとも一方がＹステージ１０２
の接近を感知したときにモータドライバ１１１の駆動信
号Ｄ0 をカットするように構成されている。さらに、パ
ルスジェネレータ１１２を制御するコントローラ１１３
は、Ｙステージ１０２の自重を相殺するバランスシリン
ダ１０７ｂのエアバランス制御系１１４の異常発生にと
もなってパルスジェネレータ１１２のパルス信号Ｐ0 の
発信を停止するように構成されている。
枠１０１の天井面１０１ｂまたは底面１０１ｃに接近し
すぎたときにこれをそれぞれ感知する一対の第１のスト
ロークリミットセンサ１０８ａ，１０８ｂと、各第１の
ストロークリミットセンサ１０８ａ，１０８ｂに異常が
あってＹステージ１０２がさらに支持枠１０１の天井面
１０１ｂまたは底面１０１ｃに近づいたときにこれをそ
れぞれ感知する一対の第２のストロークリミットセンサ
１０９ａ，１０９ｂを有し、Ｙ電動シリンダ１０５のモ
ータ１０５ａを駆動する駆動回路は、図９に示すよう
に、モータ１０５ａに駆動信号Ｄ0 を発信するモータド
ライバ１１１と、これにパルス信号Ｐ0 を発信するパル
スジェネレータ１１２と、外部からの指令によってパル
スジェネレータ１１２を駆動するコントローラ１１３を
有し、第２のストロークリミットセンサ１０９ａ，１０
９ｂはモータドライバ１１１に接続され、第１のストロ
ークリミットセンサ１０８ａ，１０８ｂはパルスジェネ
レータ１１２に接続されており、第１のストロークリミ
ットセンサ１０８ａ，１０８ｂのうちの上方に位置する
ものはＹステージ１０２の上昇時にのみパルスジェネレ
ータ１１２のパルス信号Ｐ0 をカットし、第１のストロ
ークリミットセンサ１０８ａ，１０８ｂのうちの下方に
位置するものはＹステージ１０２の下降時にのみパルス
ジェネレータ１１２のパルス信号Ｐ0 をカットするよう
に構成され、また、第２のストロークリミットセンサ１
０９ａ，１０９ｂは少なくとも一方がＹステージ１０２
の接近を感知したときにモータドライバ１１１の駆動信
号Ｄ0 をカットするように構成されている。さらに、パ
ルスジェネレータ１１２を制御するコントローラ１１３
は、Ｙステージ１０２の自重を相殺するバランスシリン
ダ１０７ｂのエアバランス制御系１１４の異常発生にと
もなってパルスジェネレータ１１２のパルス信号Ｐ0 の
発信を停止するように構成されている。
【０００５】すなわち、第１、第２のストロークリミッ
トセンサ１０８ａ，１０８ｂ，１０９ａ，１０９ｂはＹ
ステージ１０２が支持枠１０１に接近しすぎたときにＹ
電動シリンダ１０５のモータ１０５ａの駆動を停止する
ための二重の安全装置として機能するものであり、ま
た、バランスベルト１０７ｂのエアバランス制御系１１
４に異常な空気圧の低下等があったときには、これを感
知する図示しない空気圧センサ等の出力信号がモータ１
０５ａの駆動回路のコントローラ１１３に入力され、直
ちにモータ１０５ａの駆動を停止するとともに、図示し
ないシリンダブレーキ等が駆動されてＹステージ１０２
の落下を防ぐように構成されている。
トセンサ１０８ａ，１０８ｂ，１０９ａ，１０９ｂはＹ
ステージ１０２が支持枠１０１に接近しすぎたときにＹ
電動シリンダ１０５のモータ１０５ａの駆動を停止する
ための二重の安全装置として機能するものであり、ま
た、バランスベルト１０７ｂのエアバランス制御系１１
４に異常な空気圧の低下等があったときには、これを感
知する図示しない空気圧センサ等の出力信号がモータ１
０５ａの駆動回路のコントローラ１１３に入力され、直
ちにモータ１０５ａの駆動を停止するとともに、図示し
ないシリンダブレーキ等が駆動されてＹステージ１０２
の落下を防ぐように構成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の技術によれば、第１または第２のストロークリミット
センサによってＹステージが所定のストローク長を越え
て支持枠に近づいたことを感知し、モータの駆動を停止
するのみであるため、第１または第２のストロークリミ
ットセンサによってＹステージが支持枠に接近しすぎた
ことを感知してモータの駆動を停止しても、Ｙステージ
の移動速度が大きいときは、Ｙステージの移動が停止す
る前に支持枠に衝突するおそれがあり、これを防ぐため
に図示しないブレーキ等によって大きな制動力を発生さ
せれば、その反力によってＹステージ上の微動調節機構
等に大きな影響を及ぼし、位置決め精度を著しく低下さ
せる。他方、支持枠の寸法をＹステージのストローク長
よりはるかに大きくすれば、制動力が小さくてもＹステ
ージが支持枠に衝突するのを避けることができるが、装
置全体の大型化を招き、好ましくない。
の技術によれば、第１または第２のストロークリミット
センサによってＹステージが所定のストローク長を越え
て支持枠に近づいたことを感知し、モータの駆動を停止
するのみであるため、第１または第２のストロークリミ
ットセンサによってＹステージが支持枠に接近しすぎた
ことを感知してモータの駆動を停止しても、Ｙステージ
の移動速度が大きいときは、Ｙステージの移動が停止す
る前に支持枠に衝突するおそれがあり、これを防ぐため
に図示しないブレーキ等によって大きな制動力を発生さ
せれば、その反力によってＹステージ上の微動調節機構
等に大きな影響を及ぼし、位置決め精度を著しく低下さ
せる。他方、支持枠の寸法をＹステージのストローク長
よりはるかに大きくすれば、制動力が小さくてもＹステ
ージが支持枠に衝突するのを避けることができるが、装
置全体の大型化を招き、好ましくない。
【０００７】本発明は上記従来の技術の有する問題点に
鑑みてなされたものであり、Ｙステージ等の移動体と支
持枠の干渉や過大な制動力ために移動体や支持枠が破損
したり移動体の駆動装置や移動体上の微動調節機構等の
性能が劣化するのを防ぐことができる位置決めステージ
装置を提供することを目的とするものである。
鑑みてなされたものであり、Ｙステージ等の移動体と支
持枠の干渉や過大な制動力ために移動体や支持枠が破損
したり移動体の駆動装置や移動体上の微動調節機構等の
性能が劣化するのを防ぐことができる位置決めステージ
装置を提供することを目的とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明の位置決めステージ装置は、所定の移動路に沿
って移動自在である移動体と、これを移動させる駆動手
段と、前記移動路に沿った前記移動体の位置を検出する
位置検出手段と、前記移動体の移動速度を検出する速度
検出手段と、該速度検出手段の出力が前記位置検出手段
の出力に基づいて算出された許容値以上であるときに異
常信号を発生する異常信号発生手段を有することを特徴
とする。
め本発明の位置決めステージ装置は、所定の移動路に沿
って移動自在である移動体と、これを移動させる駆動手
段と、前記移動路に沿った前記移動体の位置を検出する
位置検出手段と、前記移動体の移動速度を検出する速度
検出手段と、該速度検出手段の出力が前記位置検出手段
の出力に基づいて算出された許容値以上であるときに異
常信号を発生する異常信号発生手段を有することを特徴
とする。
【０００９】また、許容値が、位置検出手段の出力に加
えて、移動体が移動路の末端に到達するまでに前記移動
体を停止させるのに必要な制動力の許容値に基づいて算
出されるように構成されているとよい。
えて、移動体が移動路の末端に到達するまでに前記移動
体を停止させるのに必要な制動力の許容値に基づいて算
出されるように構成されているとよい。
【００１０】
【作用】異常信号に基づいて駆動手段の駆動を停止する
ことにより、移動体が移動路の末端に到達する前に、移
動体の移動を所定の値以下の制動力で停止させることが
できる。また、駆動手段の駆動を停止するとともにダイ
ナミックブレーキ等の制動手段を駆動すれば、移動体と
移動路の末端に設けられた部材との干渉を防ぐことがで
きるうえに、制動力の反力による衝撃のために移動体や
支持枠が破損したり移動体の駆動手段や移動体上の微動
調節機構等の性能が劣化するのを防ぐことができる。
ことにより、移動体が移動路の末端に到達する前に、移
動体の移動を所定の値以下の制動力で停止させることが
できる。また、駆動手段の駆動を停止するとともにダイ
ナミックブレーキ等の制動手段を駆動すれば、移動体と
移動路の末端に設けられた部材との干渉を防ぐことがで
きるうえに、制動力の反力による衝撃のために移動体や
支持枠が破損したり移動体の駆動手段や移動体上の微動
調節機構等の性能が劣化するのを防ぐことができる。
【００１１】
【実施例】本発明の実施例を図面に基いて説明する。
【００１２】図１は一実施例を示す模式断面図であっ
て、これは、支持枠１と一体である一対のＹガイド１ａ
に案内されて垂直方向（以下、「Ｙ軸方向」という。）
の移動路に沿って往復移動自在な移動体であるＹステー
ジ２と、Ｙステージ２と一体である一対のＸガイド２ａ
に沿って一水平方向（以下、「Ｘ軸方向」という。）に
往復移動自在であるＸステージ３と、図示しない微動調
節機構を介してＸステージ３に保持されたウエハチャッ
ク４と、Ｙステージ２をＹ軸方向に移動させる駆動手段
であるＹ電動シリンダ５と、Ｘステージ３をＸ軸方向に
移動させるＸ電動シリンダ６と、Ｙステージ２と一体で
あるピボット２ｂに枢着された揺動アーム２ｃを介して
Ｙステージ２を懸下し、張力によってＹステージ２の重
さを相殺する一対のバランスベルト７を有し、各バラン
スベルト７は、支持枠１の頂部に回転自在に支持された
回転軸７ａに巻つけられており、各バランスベルト７の
張力は、バランスシリンダ７ｂから回転軸７ａに与えら
れるトルクによって制御される。
て、これは、支持枠１と一体である一対のＹガイド１ａ
に案内されて垂直方向（以下、「Ｙ軸方向」という。）
の移動路に沿って往復移動自在な移動体であるＹステー
ジ２と、Ｙステージ２と一体である一対のＸガイド２ａ
に沿って一水平方向（以下、「Ｘ軸方向」という。）に
往復移動自在であるＸステージ３と、図示しない微動調
節機構を介してＸステージ３に保持されたウエハチャッ
ク４と、Ｙステージ２をＹ軸方向に移動させる駆動手段
であるＹ電動シリンダ５と、Ｘステージ３をＸ軸方向に
移動させるＸ電動シリンダ６と、Ｙステージ２と一体で
あるピボット２ｂに枢着された揺動アーム２ｃを介して
Ｙステージ２を懸下し、張力によってＹステージ２の重
さを相殺する一対のバランスベルト７を有し、各バラン
スベルト７は、支持枠１の頂部に回転自在に支持された
回転軸７ａに巻つけられており、各バランスベルト７の
張力は、バランスシリンダ７ｂから回転軸７ａに与えら
れるトルクによって制御される。
【００１３】Ｙ電動シリンダ５は、モータ５ａと、これ
によって回転されるボールねじ５ｂと、ボールねじ５ｂ
に螺合するナットとともにＹ軸方向に移動するシリンダ
シャフト５ｃを有し、モータ５ａとボールねじ５ｂは支
持枠１に支持されたケース５ｄ内に収納されており、シ
リンダシャフト５ｃは、ケース５ｄの底壁に設けられた
開口を通って支持枠１の内部にのびており、その下端は
Ｙステージ２と一体的に結合され、モータ５ａの駆動に
よってボールねじ５ｂが回転すると、前述のナットとも
にシリンダシャフト５ｃがＹ軸方向に移動し、Ｙステー
ジ２を上下動させるように構成されている。
によって回転されるボールねじ５ｂと、ボールねじ５ｂ
に螺合するナットとともにＹ軸方向に移動するシリンダ
シャフト５ｃを有し、モータ５ａとボールねじ５ｂは支
持枠１に支持されたケース５ｄ内に収納されており、シ
リンダシャフト５ｃは、ケース５ｄの底壁に設けられた
開口を通って支持枠１の内部にのびており、その下端は
Ｙステージ２と一体的に結合され、モータ５ａの駆動に
よってボールねじ５ｂが回転すると、前述のナットとも
にシリンダシャフト５ｃがＹ軸方向に移動し、Ｙステー
ジ２を上下動させるように構成されている。
【００１４】Ｙ電動シリンダ５のケース５ｄの内部に
は、Ｙステージ２がそれぞれ支持枠１の天井面１ｂまた
は底面１ｃに接近しすぎたときにこれを感知する一対の
第１のストロークリミットセンサ８ａ，８ｂと、Ｙステ
ージ２のＹ軸方向のストローク長の中央を感知する原点
センサ８ｃが設けられており、また、支持枠１は、各第
１のストロークリミットセンサ８ａ，８ｂに異常があっ
てＹステージ２がさらに支持枠１の天井面１ｂまたは底
面１ｃに近づいたときにこれを感知する一対の第２のス
トロークリミットセンサ９ａ，９ｂを有する。
は、Ｙステージ２がそれぞれ支持枠１の天井面１ｂまた
は底面１ｃに接近しすぎたときにこれを感知する一対の
第１のストロークリミットセンサ８ａ，８ｂと、Ｙステ
ージ２のＹ軸方向のストローク長の中央を感知する原点
センサ８ｃが設けられており、また、支持枠１は、各第
１のストロークリミットセンサ８ａ，８ｂに異常があっ
てＹステージ２がさらに支持枠１の天井面１ｂまたは底
面１ｃに近づいたときにこれを感知する一対の第２のス
トロークリミットセンサ９ａ，９ｂを有する。
【００１５】支持枠１の天井面１ｂおよび底面１ｃには
これらとＹステージ２の離間距離を検出する位置検出手
段である一対の距離センサ１０ａ，１０ｂがそれぞれ設
けられており、距離センサ１０ａ，１０ｂは、図２に示
すように、Ｙステージ２の端面に設けられたミラー２ｄ
にレーザ光Ｌ1 を照射し、その反射光による干渉縞から
Ｙステージ２との離間距離Ｓを検出する測長用のレーザ
干渉計であり、その出力電圧は、離間距離Ｓが例えば４
ｃｍから１２ｃｍまでの間で変化するとき、図３の
（ａ）に示すように直線的に変化するものであり、離間
距離Ｓが４ｃｍ以内あるいは１２ｃｍ以上になったとき
の出力を無効にするために、図３の（ｂ）に示すような
センサ出力有効信号を発生するセンサ出力有効判別回路
（図７に示す）に接続されている。すなわち、各距離セ
ンサ１０ａ，１０ｂは、Ｙステージ２と支持枠１の離間
距離Ｓが所定の範囲内に減少したときにこれを継続的に
検出するものである。
これらとＹステージ２の離間距離を検出する位置検出手
段である一対の距離センサ１０ａ，１０ｂがそれぞれ設
けられており、距離センサ１０ａ，１０ｂは、図２に示
すように、Ｙステージ２の端面に設けられたミラー２ｄ
にレーザ光Ｌ1 を照射し、その反射光による干渉縞から
Ｙステージ２との離間距離Ｓを検出する測長用のレーザ
干渉計であり、その出力電圧は、離間距離Ｓが例えば４
ｃｍから１２ｃｍまでの間で変化するとき、図３の
（ａ）に示すように直線的に変化するものであり、離間
距離Ｓが４ｃｍ以内あるいは１２ｃｍ以上になったとき
の出力を無効にするために、図３の（ｂ）に示すような
センサ出力有効信号を発生するセンサ出力有効判別回路
（図７に示す）に接続されている。すなわち、各距離セ
ンサ１０ａ，１０ｂは、Ｙステージ２と支持枠１の離間
距離Ｓが所定の範囲内に減少したときにこれを継続的に
検出するものである。
【００１６】Ｙ電動シリンダ５のモータ５ａを駆動する
駆動回路は、図４に示すように、モータ５ａに駆動信号
Ｄ1 を発信するモータドライバ１１ａと、これにパルス
信号Ｐ1 を発信するパルスジェネレータ１１ｂと、外部
からの指令によってパルスジェネレータ１１ｂを駆動す
るコントローラ１１ｃを有し、モータドライバ１１ａか
ら発信された駆動信号Ｄ1 は制動手段であるダイナミッ
クブレーキ５ｅを経てモータ５ａに導入される。ダイナ
ミックブレーキ５ｅは、第２のストロークリミットセン
サ９ａ，９ｂのそれぞれと、各距離センサ１０ａ，１０
ｂの出力に基づいて駆動される異常判別回路１０ｃに接
続され、これらの出力に基づいてコントローラ１１ｃを
制御し、モータ５ａの駆動信号Ｄ1 をカットするととも
にモータ５ａに所定の制動力を発生させる。ダイナミッ
クブレーキ５ｅは、後述するように、モータ回路を短絡
させる切換スイッチと、モータの駆動電流を消費する抵
抗からなり、その制動力はモータ５ａの速度とともに変
化する。第１のストロークリミットセンサ８ａ，８ｂは
パルスジェネレータ１１ｂに接続されており、第１のス
トロークリミットセンサ８ａ，８ｂのうちの上方に位置
するものはＹステージ２の上昇時にのみパルスジェネレ
ータ１１ｂのパルス信号Ｐ1 をカットし、第１のストロ
ークリミットセンサ８ａ，８ｂのうちの下方に位置する
ものはＹステージ２の下降時にのみパルスジェネレータ
１１ｂのパルス信号Ｐ1 をカットするように構成され
る。さらに、パルスジェネレータ１１ｂを制御するコン
トローラ１１ｃは、Ｙステージ２の自重を相殺する両バ
ランスベルト７のうちの一方にベルト切れが発生したと
きに、ピボット２ｂのまわりの揺動アーム２ｃの揺動を
感知するベルト切れセンサ７ｃの出力やバランスシリン
ダ７ｂのエアバランス制御系７ｄの異常発生にともなっ
てパルスジェネレータ１１ｂのパルス信号Ｐ1 の発信を
停止するように構成されている。
駆動回路は、図４に示すように、モータ５ａに駆動信号
Ｄ1 を発信するモータドライバ１１ａと、これにパルス
信号Ｐ1 を発信するパルスジェネレータ１１ｂと、外部
からの指令によってパルスジェネレータ１１ｂを駆動す
るコントローラ１１ｃを有し、モータドライバ１１ａか
ら発信された駆動信号Ｄ1 は制動手段であるダイナミッ
クブレーキ５ｅを経てモータ５ａに導入される。ダイナ
ミックブレーキ５ｅは、第２のストロークリミットセン
サ９ａ，９ｂのそれぞれと、各距離センサ１０ａ，１０
ｂの出力に基づいて駆動される異常判別回路１０ｃに接
続され、これらの出力に基づいてコントローラ１１ｃを
制御し、モータ５ａの駆動信号Ｄ1 をカットするととも
にモータ５ａに所定の制動力を発生させる。ダイナミッ
クブレーキ５ｅは、後述するように、モータ回路を短絡
させる切換スイッチと、モータの駆動電流を消費する抵
抗からなり、その制動力はモータ５ａの速度とともに変
化する。第１のストロークリミットセンサ８ａ，８ｂは
パルスジェネレータ１１ｂに接続されており、第１のス
トロークリミットセンサ８ａ，８ｂのうちの上方に位置
するものはＹステージ２の上昇時にのみパルスジェネレ
ータ１１ｂのパルス信号Ｐ1 をカットし、第１のストロ
ークリミットセンサ８ａ，８ｂのうちの下方に位置する
ものはＹステージ２の下降時にのみパルスジェネレータ
１１ｂのパルス信号Ｐ1 をカットするように構成され
る。さらに、パルスジェネレータ１１ｂを制御するコン
トローラ１１ｃは、Ｙステージ２の自重を相殺する両バ
ランスベルト７のうちの一方にベルト切れが発生したと
きに、ピボット２ｂのまわりの揺動アーム２ｃの揺動を
感知するベルト切れセンサ７ｃの出力やバランスシリン
ダ７ｂのエアバランス制御系７ｄの異常発生にともなっ
てパルスジェネレータ１１ｂのパルス信号Ｐ1 の発信を
停止するように構成されている。
【００１７】すなわち、第１のストロークリミットセン
サ８ａ，８ｂはＹステージ２が支持枠１の天井面１ｂま
たは底面１ｃに接近しすぎたときにＹ電動シリンダ５の
モータ５ａの駆動信号Ｄ1 をカットするための第１の安
全装置として機能するものであり、第２のストロークリ
ミットセンサ９ａ，９ｂは第１のスクロークリミットセ
ンサ８ａ，８ｂに異常があってこれらが不作動であった
ときにＹステージ２の支持枠１に対する接近を感知して
モータドライバ１１ａの駆動信号Ｄ1 をカットすると同
時にダイナミックブレーキ５ｅを駆動してモータ５ａに
制動力を発生させる第２の安全装置であり、さらに距離
センサ１０ａ，１０ｂは、Ｙステージ２と支持枠１の離
間距離Ｓを検出し、これを異常判別回路１０ｃに導入し
てＹステージ２の移動速度Ｖを算出し、該移動速度Ｖが
後述する許容値Ｖ0 を越えたときに異常判別回路１０ｃ
から発生させる異常信号によってモータドライバ１１ａ
の駆動信号Ｄ1 をカットするとともにダイナミックブレ
ーキ５ｅを駆動してモータ５ａに制動力を発生させる第
３の安全装置である。
サ８ａ，８ｂはＹステージ２が支持枠１の天井面１ｂま
たは底面１ｃに接近しすぎたときにＹ電動シリンダ５の
モータ５ａの駆動信号Ｄ1 をカットするための第１の安
全装置として機能するものであり、第２のストロークリ
ミットセンサ９ａ，９ｂは第１のスクロークリミットセ
ンサ８ａ，８ｂに異常があってこれらが不作動であった
ときにＹステージ２の支持枠１に対する接近を感知して
モータドライバ１１ａの駆動信号Ｄ1 をカットすると同
時にダイナミックブレーキ５ｅを駆動してモータ５ａに
制動力を発生させる第２の安全装置であり、さらに距離
センサ１０ａ，１０ｂは、Ｙステージ２と支持枠１の離
間距離Ｓを検出し、これを異常判別回路１０ｃに導入し
てＹステージ２の移動速度Ｖを算出し、該移動速度Ｖが
後述する許容値Ｖ0 を越えたときに異常判別回路１０ｃ
から発生させる異常信号によってモータドライバ１１ａ
の駆動信号Ｄ1 をカットするとともにダイナミックブレ
ーキ５ｅを駆動してモータ５ａに制動力を発生させる第
３の安全装置である。
【００１８】また、バランスベルト７ｂのエアバランス
制御系７ｄに異常な空気圧の低下等があったときには、
これを感知する図示しない空気圧センサ等の出力信号が
コントローラ１１ｃに入力され、直ちにモータ５ａの駆
動を停止するように構成されている。
制御系７ｄに異常な空気圧の低下等があったときには、
これを感知する図示しない空気圧センサ等の出力信号が
コントローラ１１ｃに入力され、直ちにモータ５ａの駆
動を停止するように構成されている。
【００１９】なお、ダイナミックブレーキ５ｅに導入さ
れる第２のストロークリミットセンサ９ａ，９ｂの出力
や異常判別回路１０ｃの出力は、コントローラ１１ｃと
モータドライバ１１ａにも導入され、ダイナミックブレ
ーキ５ｅが作動されると同時にモータドライバ１１ａの
駆動信号Ｄ1 をカットするとともに、ダイナミックブレ
ーキ５ｅによってＹステージ２が停止したのちに、Ｙ電
動シリンダ５に内蔵されたシリンダブレーキ５ｆが駆動
され、Ｙステージ２を停止位置にロックするように構成
されている。
れる第２のストロークリミットセンサ９ａ，９ｂの出力
や異常判別回路１０ｃの出力は、コントローラ１１ｃと
モータドライバ１１ａにも導入され、ダイナミックブレ
ーキ５ｅが作動されると同時にモータドライバ１１ａの
駆動信号Ｄ1 をカットするとともに、ダイナミックブレ
ーキ５ｅによってＹステージ２が停止したのちに、Ｙ電
動シリンダ５に内蔵されたシリンダブレーキ５ｆが駆動
され、Ｙステージ２を停止位置にロックするように構成
されている。
【００２０】次に前述のＹステージ２の移動速度Ｖの許
容値Ｖ0 について説明する。
容値Ｖ0 について説明する。
【００２１】該許容値Ｖ0 は、Ｙステージ２が支持枠１
の天井面１ｂまたは底面１ｃに向って移動していると
き、これに接触する前にＹステージ２を減速停止させる
に必要な制動力が所定の許容値を越えることなく、制動
力の反力による大きな機械的損失を位置決めステージ装
置が受けるおそれがないようにするためのＹステージ２
の移動速度Ｖの上限であり、以下のように求められる。
の天井面１ｂまたは底面１ｃに向って移動していると
き、これに接触する前にＹステージ２を減速停止させる
に必要な制動力が所定の許容値を越えることなく、制動
力の反力による大きな機械的損失を位置決めステージ装
置が受けるおそれがないようにするためのＹステージ２
の移動速度Ｖの上限であり、以下のように求められる。
【００２２】前記制動力の許容値から算出されるＹステ
ージ２の許容減速度αｍと、移動速度Ｖで移動するＹス
テージ２が前記許容減速度αｍで停止するまでの時間ｔ
と、Ｙステージ２が停止するまでに移動する移動距離Ａ
の間には以下の関係が成立する。
ージ２の許容減速度αｍと、移動速度Ｖで移動するＹス
テージ２が前記許容減速度αｍで停止するまでの時間ｔ
と、Ｙステージ２が停止するまでに移動する移動距離Ａ
の間には以下の関係が成立する。
【００２３】 ｔ＝Ｖ／αｍ ・・・・・（１） Ａ＝αｍ・ｔ・ｔ／２ ・・・・・（２） （１）式および（２）式より Ａ＝αｍ・Ｖ・Ｖ／（２αｍ・αｍ） すなわち Ａ＝Ｖ2 ／（２・αｍ） ・・・・・（３） Ｙステージ２が支持枠１に接触する前にＹステージ２を
停止させるためには、移動距離ＡがＹステージ２と支持
枠１の天井面１ｂまたは底面１ｃの間の離間距離Ｓより
小でなければならない。
停止させるためには、移動距離ＡがＹステージ２と支持
枠１の天井面１ｂまたは底面１ｃの間の離間距離Ｓより
小でなければならない。
【００２４】すなわち Ａ＜Ｓ ・・・・・（４） （３）式と（４）式から Ｓ＞Ｖ2 ／（２・αｍ） すなわち Ｖ＜（２・αｍ・Ｓ）1/2 ・・・・・（５） （５）式からＹステージ２の移動速度Ｖの許容値Ｖ0 は
以下のように算出される。
以下のように算出される。
【００２５】 Ｖ0 ＝（２・αｍ・Ｓ）1/2 ・・・・・（６） 図５は各距離センサ１０ａ，１０ｂの出力とＹステージ
２の移動速度の許容値Ｖ0 の関係を曲線（ａ）で示すも
のである。各距離センサ１０ａ，１０ｂはＹステージ２
が支持枠１に所定距離だけ近づいたときに両者の離間距
離Ｓの測定を開始し、異常判別回路１０ｃは該離間距離
Ｓの変化に基づいてＹステージ２の移動速度Ｖを検出
し、同時に前記離間距離ＳにおけるＹステージ２の移動
速度の許容値Ｖ0 を算出して前記Ｙステージ２の移動速
度Ｖと比較し、該移動速度Ｖが前記許容値Ｖ0 以上であ
るときに異常信号を発生してダイナミックブレーキ５ｅ
を駆動する。なお、ダイナミックブレーキ５ｅの減速特
性は図５の曲線（ｂ）で示すように移動速度の許容値Ｖ
0 の曲線（ａ）に沿ったものであるのが望ましい。異常
信号が発生される前に第２のストロークリミットセンサ
９ａ，９ｂが支持枠１に対するＹステージ２の異常接近
を感知すれば、前述のようにこれらの出力によってダイ
ナミックブレーキ５ｅが駆動され、モータ５ａの駆動信
号Ｄ1 をカットするとともにモータ５ａに制動力を発生
する。
２の移動速度の許容値Ｖ0 の関係を曲線（ａ）で示すも
のである。各距離センサ１０ａ，１０ｂはＹステージ２
が支持枠１に所定距離だけ近づいたときに両者の離間距
離Ｓの測定を開始し、異常判別回路１０ｃは該離間距離
Ｓの変化に基づいてＹステージ２の移動速度Ｖを検出
し、同時に前記離間距離ＳにおけるＹステージ２の移動
速度の許容値Ｖ0 を算出して前記Ｙステージ２の移動速
度Ｖと比較し、該移動速度Ｖが前記許容値Ｖ0 以上であ
るときに異常信号を発生してダイナミックブレーキ５ｅ
を駆動する。なお、ダイナミックブレーキ５ｅの減速特
性は図５の曲線（ｂ）で示すように移動速度の許容値Ｖ
0 の曲線（ａ）に沿ったものであるのが望ましい。異常
信号が発生される前に第２のストロークリミットセンサ
９ａ，９ｂが支持枠１に対するＹステージ２の異常接近
を感知すれば、前述のようにこれらの出力によってダイ
ナミックブレーキ５ｅが駆動され、モータ５ａの駆動信
号Ｄ1 をカットするとともにモータ５ａに制動力を発生
する。
【００２６】図６は異常判別回路１０ｃを説明するもの
で、これは、各距離センサ１０ａ，１０ｂに接続された
バッファアンプ１０ｄの出力からＹステージ２の移動速
度Ｖを算出する速度検出手段である微分回路１０ｅと、
バッファアンプ１０ｄの出力に補正用のオフセット電圧
を加算したものから（６）式に基づいてＹステージ２の
移動速度の許容値Ｖ0 を算出する平方根演算回路１０ｆ
およびゲインコントロール回路１０ｇと、微分回路１０
ｅの出力とゲインコントロール回路１０ｇの出力を比較
する比較回路１０ｈと、その出力と、各距離センサ１０
ａ，１０ｂの出力が所定の範囲にあるか否かを判断する
センサ出力有効判別回路１０ｉの出力に基づいて異常信
号を発生し、ダイナミックブレーキ５ｅを駆動する異常
信号発生手段である信号発生器１０ｊからなる。
で、これは、各距離センサ１０ａ，１０ｂに接続された
バッファアンプ１０ｄの出力からＹステージ２の移動速
度Ｖを算出する速度検出手段である微分回路１０ｅと、
バッファアンプ１０ｄの出力に補正用のオフセット電圧
を加算したものから（６）式に基づいてＹステージ２の
移動速度の許容値Ｖ0 を算出する平方根演算回路１０ｆ
およびゲインコントロール回路１０ｇと、微分回路１０
ｅの出力とゲインコントロール回路１０ｇの出力を比較
する比較回路１０ｈと、その出力と、各距離センサ１０
ａ，１０ｂの出力が所定の範囲にあるか否かを判断する
センサ出力有効判別回路１０ｉの出力に基づいて異常信
号を発生し、ダイナミックブレーキ５ｅを駆動する異常
信号発生手段である信号発生器１０ｊからなる。
【００２７】また、図７はダイナミックブレーキ５ｅを
説明するもので、これは、モータドライバ１１ａとモー
タ５ａの接続回路５ｇに設けられた過電流検出抵抗ｒt
と、リレー５ｈのトリップによって前記接続回路を短絡
させる短絡回路５ｉからなり、リレー５ｈは第２のスト
ロークリミットセンサ９ａ，９ｂまたは異常判別回路１
０ｃの出力信号または過電流検出抵抗ｒt の過熱によっ
てトリップされて接点の切換が行われ、これによって前
記接続回路が短絡されると、モータ５ａに蓄積された駆
動電流は短絡回路５ｉの抵抗ｒs とモータ５ａの内部抵
抗ｒb によって消費され、モータ５ａのインダクタンス
Ｌa と、内部抵抗ｒb と短絡回路５ｉの抵抗ｒs 等に基
づく所定の制動力が発生される。
説明するもので、これは、モータドライバ１１ａとモー
タ５ａの接続回路５ｇに設けられた過電流検出抵抗ｒt
と、リレー５ｈのトリップによって前記接続回路を短絡
させる短絡回路５ｉからなり、リレー５ｈは第２のスト
ロークリミットセンサ９ａ，９ｂまたは異常判別回路１
０ｃの出力信号または過電流検出抵抗ｒt の過熱によっ
てトリップされて接点の切換が行われ、これによって前
記接続回路が短絡されると、モータ５ａに蓄積された駆
動電流は短絡回路５ｉの抵抗ｒs とモータ５ａの内部抵
抗ｒb によって消費され、モータ５ａのインダクタンス
Ｌa と、内部抵抗ｒb と短絡回路５ｉの抵抗ｒs 等に基
づく所定の制動力が発生される。
【００２８】本実施例によれば、Ｙステージ２が支持枠
１に向って異常接近したときにＹステージ２を所定の許
容値以下の制動力で支持枠１に接触させることなく停止
させるための安全装置が設けられており、Ｙステージ２
が支持枠１に衝突するおそれがないうえにモータの制動
力の反力による衝撃のために位置決めステージ装置が破
損したり性能が低下するおそれがない。
１に向って異常接近したときにＹステージ２を所定の許
容値以下の制動力で支持枠１に接触させることなく停止
させるための安全装置が設けられており、Ｙステージ２
が支持枠１に衝突するおそれがないうえにモータの制動
力の反力による衝撃のために位置決めステージ装置が破
損したり性能が低下するおそれがない。
【００２９】
【発明の効果】本発明は上述のように構成されているの
で、以下に記載するような効果を奏する。
で、以下に記載するような効果を奏する。
【００３０】位置決めステージ装置のＹステージ等の移
動体と支持枠の干渉や過大な制動力のために移動体や支
持枠が破損したり移動体の駆動装置や移動体上の微動調
節機構等の性能が劣化するのを防ぐことができる。その
結果、安全性と信頼性にすぐれた位置決めステージ装置
を実現できる。
動体と支持枠の干渉や過大な制動力のために移動体や支
持枠が破損したり移動体の駆動装置や移動体上の微動調
節機構等の性能が劣化するのを防ぐことができる。その
結果、安全性と信頼性にすぐれた位置決めステージ装置
を実現できる。
【図１】一実施例を示す模式断面図である。
【図２】図１の装置の一部分を拡大して示す部分拡大断
面図である。
面図である。
【図３】図１の装置の距離センサの出力信号を説明する
もので、（ａ）は距離センサの出力電圧、（ｂ）は距離
センサに接続されたセンサ出力有効判別回路の出力電圧
をそれぞれ説明するものである。
もので、（ａ）は距離センサの出力電圧、（ｂ）は距離
センサに接続されたセンサ出力有効判別回路の出力電圧
をそれぞれ説明するものである。
【図４】図１の装置の制御回路を説明するものである。
【図５】図４の制御回路の異常判別回路の出力とダイナ
ミックブレーキの減速特性を示すグラフである。
ミックブレーキの減速特性を示すグラフである。
【図６】異常判別回路を説明するブロック図である。
【図７】ダイナミックブレーキを説明する回路図であ
る。
る。
【図８】従来例を示す模式断面図である。
【図９】従来例の制御回路を説明するものである。
１ 支持枠 １ｂ 天井面 １ｃ 底面 ２ Ｙステージ ３ Ｘステージ ４ ウエハチャック ５ Ｙ電動シリンダ ５ａ モータ ５ｅ ダイナミックブレーキ ５ｆ シリンダブレーキ ６ Ｘ電動シリンダ ７ バランスベルト ７ｂ バランスシリンダ ８ａ，８ｂ 第１のストロークリミットセンサ ９ａ，９ｂ 第２のストロークリミットセンサ １０ａ，１０ｂ 距離センサ １０ｃ 異常判別回路 １０ｅ 微分回路 １０ｊ 信号発生器 １１ａ モータドライバ １１ｂ パルスジェネレータ １１ｃ コントローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027 21/68 Ｋ
Claims (8)
- 【請求項１】 所定の移動路に沿って移動自在である移
動体と、これを移動させる駆動手段と、前記移動路に沿
った前記移動体の位置を検出する位置検出手段と、前記
移動体の移動速度を検出する速度検出手段と、該速度検
出手段の出力が前記位置検出手段の出力に基づいて算出
された許容値以上であるときに異常信号を発生する異常
信号発生手段を有することを特徴とする位置決めステー
ジ装置。 - 【請求項２】 許容値が、位置検出手段の出力に加え
て、移動体が移動路の末端に到達するまでに前記移動体
を停止させるのに必要な制動力の許容値に基づいて算出
されるように構成されていることを特徴とする請求項１
記載の位置決めステージ装置。 - 【請求項３】 異常信号発生手段の出力に基づいて駆動
される制動手段が設けられていることを特徴とする請求
項２記載の位置決めステージ装置。 - 【請求項４】 制動手段がダイナミックブレーキである
ことを特徴とする請求項３記載の位置決めステージ装
置。 - 【請求項５】 速度検出手段が、位置検出手段の出力に
基づいて移動体の移動速度を算出するように構成されて
いることを特徴とする請求項１ないし４いずれか１項記
載の位置決めステージ装置。 - 【請求項６】 移動体と移動路の末端の離間距離が所定
の値まで減少したときこれを感知するストロークリミッ
トセンサが設けられていることを特徴とする請求項１な
いし５いずれか１項記載の位置決めステージ装置。 - 【請求項７】 ストロークリミットセンサの出力に基づ
いて駆動手段の駆動が停止されるように構成されている
ことを特徴とする請求項６記載の位置決めステージ装
置。 - 【請求項８】 ストロークリミットセンサの出力に基づ
いて異常信号発生手段が駆動されるように構成されてい
ることを特徴とする請求項６記載の位置決めステージ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34783393A JPH07191757A (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 位置決めステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34783393A JPH07191757A (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 位置決めステージ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07191757A true JPH07191757A (ja) | 1995-07-28 |
Family
ID=18392918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34783393A Pending JPH07191757A (ja) | 1993-12-24 | 1993-12-24 | 位置決めステージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07191757A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2023206A1 (en) * | 2007-08-07 | 2009-02-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus and device manufacturing method |
| JP2009058630A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Ulvac Japan Ltd | 光照射装置 |
| CN101866115A (zh) * | 2009-04-15 | 2010-10-20 | Asml荷兰有限公司 | 光刻设备、定位系统以及定位方法 |
| DE102019219442A1 (de) | 2018-12-26 | 2020-07-09 | Fanuc Corporation | Steuerverfahren, Steuervorrichtung und Programm |
-
1993
- 1993-12-24 JP JP34783393A patent/JPH07191757A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2023206A1 (en) * | 2007-08-07 | 2009-02-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus and device manufacturing method |
| JP2009043852A (ja) * | 2007-08-07 | 2009-02-26 | Canon Inc | 位置決め装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
| US7639344B2 (en) | 2007-08-07 | 2009-12-29 | Canon Kabushiki Kaisha | Exposure apparatus and method of manufacturing device |
| JP2009058630A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Ulvac Japan Ltd | 光照射装置 |
| CN101866115A (zh) * | 2009-04-15 | 2010-10-20 | Asml荷兰有限公司 | 光刻设备、定位系统以及定位方法 |
| DE102019219442A1 (de) | 2018-12-26 | 2020-07-09 | Fanuc Corporation | Steuerverfahren, Steuervorrichtung und Programm |
| US11086300B2 (en) | 2018-12-26 | 2021-08-10 | Fanuc Corporation | Control method, control device and program recording medium |
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