JP3032738U - ローラーコンベア - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ガラス基板搬送用クリーンコンベア 【解決手段】 左右対称な搬送ユニットを連結棒で連結
し、ローラーコンベア装置とする。搬送ユニットは片側
ユニットのみ駆動源を装備し、駆動伝達軸により従動搬
送ユニットと同期運転する。搬送駆動系は平ベルトを使
用し、バックラッシュをなくし、プーリー、アイドラー
の組合せ配置により各ローラーに均一な搬送力を伝達す
る。搬送駆動系は密閉カバーで覆い低発塵性能を向上さ
せる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、クリーンルーム内の無塵環境のもとでガラスの搬送手段として使用 する装置、例えばＬＣＤ製造装置間のつなぎ搬送コンベアであり、又製造装置に 装備されるローダー、アンローダーコンベアがその一例であり、フラットディス プレイ製造工程におけるガラス基板搬送に利用される。

【０００２】

【従来の技術】

従来のクリーンルーム内コンベアとしては、例えば図６に示すように駆動源の 回転力を、歯車、又はベルトの伝達手段により駆動伝達軸に伝達し、その回転力 を丸ベルトにより搬送軸に伝達し、搬送ローラーを回転させガラス基板を搬送す るコンベアが公知である。

【０００３】 しかしながら、上記のようなコンベアは、丸ベルトと駆動伝達軸の間、従動プ ーリーと丸ベルトの間、搬送軸受けなどにスベリ発塵があり、ガラス搬送面のク リーン度を確保するためにクリーンルーム内の空気の流れを強制ダウンフローす る必要がある。又、クリーンルーム内にコンベア発塵物が飛散し蓄積する。

【０００４】 搬送軸への駆動伝達としては、上記の他、図７に示すベルトによる伝達方法が ある。使用するベルトは丸ベルトであり、あるいは伝達を確実にするため歯付き タイミングベルトを伝達手段としている。しかしながら、丸ベルトの場合は摩擦 伝動でありベルト張力範囲内で使用され各ベルトに対するテンションを省く。こ のため、丸ベルトは張力を強めに使用するため摩耗が激しく寿命も短く、またベ ルトからの発塵が多い。歯付きタイミングベルトの場合は、噛み合い伝動のため プーリーアライメントが正しく設定されなければ、ベルト片寄り側面磨耗やベル ト歯部破損が起こりやすく、発塵も発生しやすいためクリーンルーム内の搬送コ ンベア駆動手段としては不都合がある。

【０００５】 その他、駆動伝達として図８に示す歯車による伝達方法がある。歯車伝達は噛 み合い伝動のため駆動歯車・搬送歯車・伝達歯車の各噛み合いピッチを一定にし 、歯車の軸の平行度を出さなければ歯車からの異音・磨耗が発生する。また、歯 車の構造上バックラッシュは避けられないものであり、多数の歯車の組合せでは バックラッシュが累積される。このため起動停止時に搬送ローラーの動作が同期 しないため搬送物と搬送ローラー間にスベリが発生する。また、歯車の寿命を延 ばすためには、潤滑油は欠くことが出来ず、潤滑油の飛散によるクリーンルーム 内の汚染が発生する。

【０００６】

【考案が解決しようとする課題】

本考案は従来技術に於ける、上記問題を解決し、さらにクリーンルーム内で使 用する搬送コンベアのベルト磨耗によるメンテナンスを軽減させ、コンベアから の発塵が少ないガラス基板搬送用ローラーコンベアを提供することを課題とする 。

【０００７】

【課題を解決するための手段】

本考案は、上記課題を解決するために、クリーンルーム内でガラス基板を搬送 するコンベアにおいて、コンベアの川巾方向に設けられる搬送軸を分割短軸化し 左右対称の搬送ユニットを組合せ中央部に空間エリアを形成し、構造物を無くし た。搬送、ユニットの発塵源である駆動伝達手段として平ベルトを採用し、面当 たりによる低発塵構造と、搬送ローラー回転力確保のため、アイドラーを配置し 各搬送ローラー軸に均一な駆動トルクを与え、駆動系からの発塵物の影響を周囲 に発生させない駆動系密閉防塵構造を設けたことを特徴とする。

【０００８】

【考案の実施する形態】

考案によれば、本コンベアは、左右対称な搬送ユニット１、２を組合わせ構成 したことにより、川巾中央部外観は搬送軸が無く、構造物が無い。このためコン ベアによるクリーンルーム内ダウンフローの流れを乱さない。搬送ユニット１、 ２の駆動伝達手段を平ベルト８とし、平ベルトとプーリー、アイドラーは面当た りのため、プーリー間のアライメントは不要となり、アライメント不良によるベ ルト磨耗が少なく、ベルト寿命が長い。従動プーリー３ｃとアイドラー４の組合 せにより平ベルト８と従動プーリー３ｃの接触面積を増やして摩擦伝動作用を確 実なものとし、運転時のベルトスリップを防いでいる。安全作用として搬送側か らの強制ロック、例えば搬送物のジャミング、作業員の身体挟み込み、工具、器 具による挟み込み発生時は従動プーリー３ｃと平ベルト８の間でスリップが発生 し、平ベルト８の破損を防止し、作業員保護もできる。この場合でも他の搬送ロ ーラー３ａは動作し、搬送物は搬送方向に進み装置全体を停止する必要はない。 ２台の搬送ユニット１、２を向かい合わせに構成し内側を搬送系、外側を駆動伝 達系を配置し発塵の多い駆動伝達系を集中的に密閉することにより、クリーンル ーム内への発塵飛散を防いでいる。

【０００９】

【実施例】

図１は、コンベアの実施例として概略構造を示す斜視図であり、図２は平面、 図４は断面、図５は駆動伝達構造を示す。本装置は、駆動源を持つ駆動搬送ユニ ット１と駆動伝達軸５ｂにより連動する従動搬送ユニット２を備え、左右のユニ ットは連結棒１０で結合されローラーコンベア装置を構成し、搬送ローラー３ａ の上面をガラス基板等のワークが搬送される。

【００１０】 駆動搬送ユニット１はサイドプレート９に取り付けられた駆動モジュール６、 テンションモジュール７、搬送ローラーモジュール３、アイドラー４、及び駆動 手段である平ベルト８で構成される。駆動モーター６ａの駆動トルクはテンショ ンモジュール７により張力を与えられた平ベルト８に索引力として伝わり、平ベ ルト８は各従動プーリー３ｃへベルト摩擦作用により回転力として伝達しながら 同一軌跡上を周回する。

【００１１】 搬送ローラーモジュール３では、各搬送ローラー３ａの回転力を均一にするた め、搬送ローラーモジュール３に相対するアイドラー４を配置し、従動プーリー ３ｃと平ベルト８の摩擦面積を確保し、各搬送ローラー３ａを同期運転させてい る。このため搬送ワークは、ワーク裏面と搬送ローラーのスベリが無く、クリー ンな搬送を可能とした。

【００１２】 従動搬送ユニット２の駆動は、ワーク搬送方向先端側の駆動伝達モジュール５ により伝達される。駆動伝達モジュール５は搬送ユニット１、２に組み込まれた 駆動伝達軸５ｂを連結カップリング５ｃにより接続し回転力を伝達している。従 動搬送ユニット２の搬送ローラーモジュール３配置は駆動搬送ユニット１と対称 であり、伝達された回転力により左右の搬送ユニット１、２は同期し運転される 。

【００１３】 搬送ローラーモジュール３は厚みを持つサイドプレート９の底面基準より精度 よく加工されたローラーモジュール３取付穴に対し２個の軸受ベアリング３ｄを 嵌合し、ベアリング内輪にローラー軸３ｂを通すことにより、ローラー軸３ｂ平 行度を確保し、ベアリング寿命低下を防ぎ、磨耗によるクリーン度低下を防いで いる。又、各搬送ローラー３ａの搬送面高さ精度を確保している。

【００１４】

【考案の効果】

以上の如く本考案によるローラーコンベアは確実な搬送機能をもち、摩擦伝動 作用によるバックラッシュのない高い停止精度を実現できる。又、クリーンルー ム内設備機器として要求される低発塵性能を持つガラス基板搬送用ローラーコン ベアを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例のローラーコンベアの斜視図である。

【図２】上記ローラーコンベアの平面図である。

【図３】上記ローラーコンベアの正面図である。

【図４】図２のΛ−Ａ矢視図である。

【図５】上記ローラーコンベアの構造説明図である。

【図６】従来のローラーコンベアの構造説明図である。

【図７】従来の駆動伝達説明図である。

【図８】従来の駆動伝達説明図である。

【符号の説明】

１ 駆動搬送ユニット ２ 従動搬送ユニット ３ 搬送ローラーモジュール ３ａ 搬送ローラー ３ｂ ローラー軸 ３ｃ 従動プーリー ３ｄ 軸受ベアリング ４ アイドラー ５ 駆動伝達モジュール ５ａ 駆動伝達プーリー ５ｂ 駆動伝達軸 ５ｃ 連結カップリング ６ 駆動モジュール ６ａ 駆動モーター ６ｂ 駆動プーリー ７ テンションモジュール ７ａ テンションブロック ７ｂ テンションシャフト ７ｃ テンションローラー ８ ベルト ９ サイドプレート １０ 連結棒 １１ 密閉カバー １２ 従動歯車 １３ 駆動伝達歯車

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【手続補正書】

【提出日】平成８年７月１８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】実用新案登録請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【実用新案登録請求の範囲】

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス基板を搬送するローラーコンベア
   において、複数の短形搬送ローラー３ａを装備し、左右
   対称な搬送ユニット１、２を１本の駆動伝達軸５ｂによ
   り連結し、片側の搬送ユニット１に装着された駆動モー
   ター６ａにより、左右の搬送ユニット１、２を同期運転
   する構造と、搬送ユニット１、２の駆動伝達を搬送ロー
   ラー軸３ｂに取り付けられた数個の従動プーリー３ｃと
   １個の駆動プーリー６ｂに連掛けされた平ベルト８を備
   え、連掛けされた平ベルト８の環の１箇所にテンション
   モジュール７を備える。従動プーリー３ｃ２個に対しア
   イドラー４を１個配置し、平ベルト８と従動プーリー３
   ｃの接触面積を同一にする構造を備える。駆動伝達系を
   搬送ユニット１、２のベースプレート９の片側に構成
   し、密閉カバー１１を取り付け、ベルト駆動系を密閉し
   た構造を特徴とするガラス基板搬送用ローラーコンベ
   ア。