JP3029546B2 - クロム拡散浸透耐熱合金部材とその製法 - Google Patents
クロム拡散浸透耐熱合金部材とその製法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クロム拡散浸透耐熱合
金部材に係り、特に高温の腐食性雰囲気中で機械的に高
度な負荷を受ける環境下で使用されるクロム拡散浸透層
を有するＮｉ又はＣｏを基材とする耐熱合金部材に関す
る。
金部材に係り、特に高温の腐食性雰囲気中で機械的に高
度な負荷を受ける環境下で使用されるクロム拡散浸透層
を有するＮｉ又はＣｏを基材とする耐熱合金部材に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来から一般に行われている鉄鋼部材に
対するクロム拡散浸透処理方法（以下クロム浸透法）
は、金属クロムを多量に含む浸透剤を炭素鋼製の容器中
に被処理体とともに入れ、不活性ガス又は水素ガス雰囲
気中で高温状態に加熱して、被処理体表面に金属クロム
を析出させるとともに、被処理体内部へ拡散浸透させる
ものである。使用する浸透剤の形態によって、固体法
（粉末法）、気体法、液体法などがある。このうち固体
法は、金属クロム粉末５０〜５５％、アルミナ４５〜５
５％、塩化アンモン０．５〜１．０％（何れも重量％）
から構成される浸透剤を炭素鋼製の容器に被処理体とと
もに入れ、アルゴンガス又は水素ガスを流しつつ、８０
０〜１０００℃の温度に数時間〜数十時間維持して、ク
ロム浸透層を形成させる方法である。
対するクロム拡散浸透処理方法（以下クロム浸透法）
は、金属クロムを多量に含む浸透剤を炭素鋼製の容器中
に被処理体とともに入れ、不活性ガス又は水素ガス雰囲
気中で高温状態に加熱して、被処理体表面に金属クロム
を析出させるとともに、被処理体内部へ拡散浸透させる
ものである。使用する浸透剤の形態によって、固体法
（粉末法）、気体法、液体法などがある。このうち固体
法は、金属クロム粉末５０〜５５％、アルミナ４５〜５
５％、塩化アンモン０．５〜１．０％（何れも重量％）
から構成される浸透剤を炭素鋼製の容器に被処理体とと
もに入れ、アルゴンガス又は水素ガスを流しつつ、８０
０〜１０００℃の温度に数時間〜数十時間維持して、ク
ロム浸透層を形成させる方法である。
【０００３】一方、気体法によるクロム浸透法は、塩化
クロム、臭化クロムなどのハロゲン化クロムを気体状態
で被処理体と反応させて、クロム浸透層を形成させる方
法である。例えば、塩化クロムガスと水素ガスを高温の
被処理体に接触させると、その表面に金属クロムが析出
し、このクロムが内部へ拡散することによって浸透層が
形成される。また、液体法では、クロムを含む溶融塩中
に被処理体を浸漬して、クロム浸透層を形成する方法で
ある。その他、電気めっき法によってクロムを被処理体
表面に形成させた後、これを加熱して内部へ拡散させ、
クロム浸透層を形成させる方法も知られている。
クロム、臭化クロムなどのハロゲン化クロムを気体状態
で被処理体と反応させて、クロム浸透層を形成させる方
法である。例えば、塩化クロムガスと水素ガスを高温の
被処理体に接触させると、その表面に金属クロムが析出
し、このクロムが内部へ拡散することによって浸透層が
形成される。また、液体法では、クロムを含む溶融塩中
に被処理体を浸漬して、クロム浸透層を形成する方法で
ある。その他、電気めっき法によってクロムを被処理体
表面に形成させた後、これを加熱して内部へ拡散させ、
クロム浸透層を形成させる方法も知られている。
【０００４】以上のようにクロム浸透法には、各種のプ
ロセスが知られているが工業的規模で実施されている方
法は固体法と気体法であり、他の処理方法は生産性が低
く経済性に劣るため、特殊な分野で行われているに過ぎ
ない。上記固体法と気体法における被処理体へのクロム
の析出機構は両方法とも全く同一である。すなわち、固
体法の浸透剤を用いても、これを高温状態にすると、塩
化アンモンなどのハロゲン化合物の作用によって、気体
状のハロゲン化クロムが生成し、これが被処理体と反応
してクロム浸透層を形成するので、浸透剤中の金属クロ
ム粉末の役割りは、ハロゲン化クロムの供給源として存
在しているだけであるので、ハロゲン化クロムを用いる
気体法と機構的には差異がない。
ロセスが知られているが工業的規模で実施されている方
法は固体法と気体法であり、他の処理方法は生産性が低
く経済性に劣るため、特殊な分野で行われているに過ぎ
ない。上記固体法と気体法における被処理体へのクロム
の析出機構は両方法とも全く同一である。すなわち、固
体法の浸透剤を用いても、これを高温状態にすると、塩
化アンモンなどのハロゲン化合物の作用によって、気体
状のハロゲン化クロムが生成し、これが被処理体と反応
してクロム浸透層を形成するので、浸透剤中の金属クロ
ム粉末の役割りは、ハロゲン化クロムの供給源として存
在しているだけであるので、ハロゲン化クロムを用いる
気体法と機構的には差異がない。
【０００５】以上のクロムの析出反応を示すと概略次の
通りである。 ＣｒＸ2 ＋Ｍｅ → Ｃｒ＋ＭｅＸ2 （１） ＣｒＸ2 ＋Ｈ2 → Ｃｒ＋２ＨＸ （２） ここで、ＸはＣｌ、Ｂｒ、Ｆなどのハロゲン元素、Ｍｅ
は被処理体を構成する金属元素である。また（１）式は
交換反応と呼ばれるもので、Ｃｒより蒸気圧の高いハロ
ゲン化合物を形成する金属元素が被処理体を構成する場
合（例えはＦｅ）には、この反応によって容易にＣｒが
析出する。しかし、被処理体がＮｉ、Ｃｏ、Ｍｏなどの
ような非鉄金属を主成分とする場合には、これらのハロ
ゲン化合物の蒸気圧はＣｒＸ2 より低いので、（１）式
ではＣｒの析出は殆んど起こらない。したがって、非鉄
金属の被処理体に対しては、（２）式の水素還元反応に
よるＣｒの析出を利用する必要がある。
通りである。 ＣｒＸ2 ＋Ｍｅ → Ｃｒ＋ＭｅＸ2 （１） ＣｒＸ2 ＋Ｈ2 → Ｃｒ＋２ＨＸ （２） ここで、ＸはＣｌ、Ｂｒ、Ｆなどのハロゲン元素、Ｍｅ
は被処理体を構成する金属元素である。また（１）式は
交換反応と呼ばれるもので、Ｃｒより蒸気圧の高いハロ
ゲン化合物を形成する金属元素が被処理体を構成する場
合（例えはＦｅ）には、この反応によって容易にＣｒが
析出する。しかし、被処理体がＮｉ、Ｃｏ、Ｍｏなどの
ような非鉄金属を主成分とする場合には、これらのハロ
ゲン化合物の蒸気圧はＣｒＸ2 より低いので、（１）式
ではＣｒの析出は殆んど起こらない。したがって、非鉄
金属の被処理体に対しては、（２）式の水素還元反応に
よるＣｒの析出を利用する必要がある。
【０００６】このため、ガスタービン、ジェットエンジ
ンのブレード、燃焼器ライナーなどの高温被曝部材など
に適用されるＮｉ基やＣｏ基耐熱合金に対するクロム浸
透法では、もっぱら前記（２）式の反応を利用したプロ
セスが推奨されている（例えば特公昭４５−３０３２１
号公報、特公昭４２−４９６２７号公報）。このよう
に、固体法、ガス法ともＮｉ基やＣｏ基耐熱合金に対す
るクロム浸透処理は、Ｃｒの析出反応を重視し、被処理
体内部への拡散現象とその利用については殆んど関心が
払われていない。特に従来のこの種耐熱合金へのクロム
浸透法が、耐高温酸化性や耐高温腐食性（以下耐高温腐
食性）を目的としていたため、拡散現象より表面に形成
される浸透層のＣｒ濃度に注目する結果、高Ｃｒ浸透層
を形成し易いＣｒの析出条件を探究してきた経緯があ
る。この背景にはＮｉ基やＣｏ基耐熱合金に対するＣｒ
の拡散速度が一般に小さく、気相中に析出したＣｒが耐
熱合金の表面に付着すれば、必然的に高Ｃｒ浸透層が形
成されるという事象がある。
ンのブレード、燃焼器ライナーなどの高温被曝部材など
に適用されるＮｉ基やＣｏ基耐熱合金に対するクロム浸
透法では、もっぱら前記（２）式の反応を利用したプロ
セスが推奨されている（例えば特公昭４５−３０３２１
号公報、特公昭４２−４９６２７号公報）。このよう
に、固体法、ガス法ともＮｉ基やＣｏ基耐熱合金に対す
るクロム浸透処理は、Ｃｒの析出反応を重視し、被処理
体内部への拡散現象とその利用については殆んど関心が
払われていない。特に従来のこの種耐熱合金へのクロム
浸透法が、耐高温酸化性や耐高温腐食性（以下耐高温腐
食性）を目的としていたため、拡散現象より表面に形成
される浸透層のＣｒ濃度に注目する結果、高Ｃｒ浸透層
を形成し易いＣｒの析出条件を探究してきた経緯があ
る。この背景にはＮｉ基やＣｏ基耐熱合金に対するＣｒ
の拡散速度が一般に小さく、気相中に析出したＣｒが耐
熱合金の表面に付着すれば、必然的に高Ｃｒ浸透層が形
成されるという事象がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記した既存のＣｒ浸
透法で得られるＮｉ基やＣｏ基耐熱合金上の高Ｃｒ浸透
層は、耐高温腐食性には効果を発揮するものの、硫黄化
合物を含む高温の雰囲気中で、強い引張応力、疲労、機
械的接触などが負荷される環境条件下では、浸透層の最
表層部の高Ｃｒ濃度部にき裂が発生し易いうえ、これが
起点となってき裂が成長進展して重大な事故を誘発する
欠点がある。そこで、本発明は、上記従来技術の問題点
を解消し、Ｎｉ基やＣｏ基耐熱合金上に形成されるＣｒ
浸透層の耐高温腐食性を維持しつつ、機械的諸性質を改
善したクロム拡散浸透耐熱合金部材とその製法を提供す
ることを課題とする。
透法で得られるＮｉ基やＣｏ基耐熱合金上の高Ｃｒ浸透
層は、耐高温腐食性には効果を発揮するものの、硫黄化
合物を含む高温の雰囲気中で、強い引張応力、疲労、機
械的接触などが負荷される環境条件下では、浸透層の最
表層部の高Ｃｒ濃度部にき裂が発生し易いうえ、これが
起点となってき裂が成長進展して重大な事故を誘発する
欠点がある。そこで、本発明は、上記従来技術の問題点
を解消し、Ｎｉ基やＣｏ基耐熱合金上に形成されるＣｒ
浸透層の耐高温腐食性を維持しつつ、機械的諸性質を改
善したクロム拡散浸透耐熱合金部材とその製法を提供す
ることを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明では、クロム拡散浸透層を有するＮｉ又はＣ
ｏを基材とする耐熱合金部材において、該クロム拡散浸
透層が表面クロム濃度２５〜７５％で、浸透層の厚さ１
０〜４０μｍであるクロム拡散浸透耐熱合金部材とした
ものである。
に、本発明では、クロム拡散浸透層を有するＮｉ又はＣ
ｏを基材とする耐熱合金部材において、該クロム拡散浸
透層が表面クロム濃度２５〜７５％で、浸透層の厚さ１
０〜４０μｍであるクロム拡散浸透耐熱合金部材とした
ものである。
【０００９】また、本発明では、Ｎｉ又はＣｏを基材と
する耐熱合金をクロム拡散浸透処理するに際し、処理時
のハロゲン化クロムの蒸気圧及び処理温度を制御するこ
とによって、形成されるクロム拡散浸透層が、表面クロ
ム濃度２５〜７５％、浸透層の厚さ１０〜４０μｍの範
囲となるように調整しながら処理するクロム拡散浸透耐
熱合金部材の製法としたものである。前記の製法におい
て、クロム拡散浸透処理は、固体法又はガス法により行
うのがよい。
する耐熱合金をクロム拡散浸透処理するに際し、処理時
のハロゲン化クロムの蒸気圧及び処理温度を制御するこ
とによって、形成されるクロム拡散浸透層が、表面クロ
ム濃度２５〜７５％、浸透層の厚さ１０〜４０μｍの範
囲となるように調整しながら処理するクロム拡散浸透耐
熱合金部材の製法としたものである。前記の製法におい
て、クロム拡散浸透処理は、固体法又はガス法により行
うのがよい。
【００１０】上記のように、本発明では、Ｎｉ基又はＣ
ｏ基耐熱合金のクロム浸透処理において、次に示す処理
手順で、形成されるクロム浸透層のＣｒ濃度及び拡散層
の厚さを前記範囲内とすることにより、耐硫化腐食性と
機械的強度に優れた耐熱合金部材を作る。 Ｃｒの析出反応に関与するハロゲン化クロムの分圧
を制御して析出するＣｒ量を調整する。 のハロゲン化クロムの分圧を制御しつつ、処理温
度を変化させ浸透層Ｃｒ濃度とＣｒ拡散層の厚さを調整
する。
ｏ基耐熱合金のクロム浸透処理において、次に示す処理
手順で、形成されるクロム浸透層のＣｒ濃度及び拡散層
の厚さを前記範囲内とすることにより、耐硫化腐食性と
機械的強度に優れた耐熱合金部材を作る。 Ｃｒの析出反応に関与するハロゲン化クロムの分圧
を制御して析出するＣｒ量を調整する。 のハロゲン化クロムの分圧を制御しつつ、処理温
度を変化させ浸透層Ｃｒ濃度とＣｒ拡散層の厚さを調整
する。
【００１１】本発明の具体的な製法としては、Ｎｉ基を
基材とする耐熱合金をクロム拡散浸透処理するに際して
は、塩化クロムの蒸気圧を０．７〜７ｍｍＨｇ、処理温
度を８５０〜９７０℃の範囲に制御することによって、
形成されるクロム拡散浸透層が、表面クロム濃度２５〜
７５％、浸透層の厚さ１０〜４０μｍの範囲となるよう
に調整しながら処理するものである。
基材とする耐熱合金をクロム拡散浸透処理するに際して
は、塩化クロムの蒸気圧を０．７〜７ｍｍＨｇ、処理温
度を８５０〜９７０℃の範囲に制御することによって、
形成されるクロム拡散浸透層が、表面クロム濃度２５〜
７５％、浸透層の厚さ１０〜４０μｍの範囲となるよう
に調整しながら処理するものである。
【００１２】また、Ｃｏ基を基材とする耐熱合金をクロ
ム拡散浸透処理するに際しては、塩化クロムの蒸気圧を
４〜４７ｍｍＨｇ、処理温度が９５０〜１１００℃の範
囲に制御することによって、形成されるクロム拡散浸透
層が、表面クロム濃度２５〜７５％、浸透層の厚さ１０
〜４０μｍの範囲となるように調整しながら処理するも
のである。また、クロム拡散浸透層を上記のような範囲
内に維持することによって、該処理による成型品の面粗
度及び寸法精度を設計許容値内に維持でき、そのまま製
品として用いることができる。
ム拡散浸透処理するに際しては、塩化クロムの蒸気圧を
４〜４７ｍｍＨｇ、処理温度が９５０〜１１００℃の範
囲に制御することによって、形成されるクロム拡散浸透
層が、表面クロム濃度２５〜７５％、浸透層の厚さ１０
〜４０μｍの範囲となるように調整しながら処理するも
のである。また、クロム拡散浸透層を上記のような範囲
内に維持することによって、該処理による成型品の面粗
度及び寸法精度を設計許容値内に維持でき、そのまま製
品として用いることができる。
【００１３】
【作用】本発明が適用されるＣｒ浸透法の機構について
説明する。上記したように、固体法及びガス法によるＣ
ｒ浸透法とも、そのプロセスを分解すると、次のような
順序によって行われている。 （１）処理雰囲気中において、水素還元反応によってハ
ロゲン化ＣｒからＣｒが遊離析出する。 （２）（１）の反応で析出したＣｒの微粒子が被処理体
の表面に析出する。 （３）付着したＣｒの微粒子が被処理体の内部へ拡散浸
透する。 （２）の反応が（３）の反応より速い場合には、被処理
体の表面に形成されるＣｒ浸透層の断面は、図１（Ａ）
に示すように、Ｃｒ濃度の高い浸透層が生成する。な
お、図１〜３において、１は被処理体、２はＣｒ濃度の
高い付着層、３は拡散層である。
説明する。上記したように、固体法及びガス法によるＣ
ｒ浸透法とも、そのプロセスを分解すると、次のような
順序によって行われている。 （１）処理雰囲気中において、水素還元反応によってハ
ロゲン化ＣｒからＣｒが遊離析出する。 （２）（１）の反応で析出したＣｒの微粒子が被処理体
の表面に析出する。 （３）付着したＣｒの微粒子が被処理体の内部へ拡散浸
透する。 （２）の反応が（３）の反応より速い場合には、被処理
体の表面に形成されるＣｒ浸透層の断面は、図１（Ａ）
に示すように、Ｃｒ濃度の高い浸透層が生成する。な
お、図１〜３において、１は被処理体、２はＣｒ濃度の
高い付着層、３は拡散層である。
【００１４】一方、（２）の反応が（３）の反応より遅
い場合は図１（Ｂ）に示すようにＣｒ濃度の高い付着層
は生成せず、拡散層だけとなる。耐食性のみを目的とし
て、クロム拡散処理したままで使用する場合は、図１
（Ｂ）の様な被膜で充分である。一方、Ｎｉ基・Ｃｏ基
耐熱合金においてはクロム拡散浸透処理をした後に安定
化処理、あるいは時効処理等の後熱処理を付与し、母材
の機械的性質を回復させる場合も多い。この様に後熱処
理を付与する場合、これらの熱処理によってクロム拡散
層の一部が酸化されたり、脱クロム現象が生じ、また母
材の内部へ拡散する場合がある。
い場合は図１（Ｂ）に示すようにＣｒ濃度の高い付着層
は生成せず、拡散層だけとなる。耐食性のみを目的とし
て、クロム拡散処理したままで使用する場合は、図１
（Ｂ）の様な被膜で充分である。一方、Ｎｉ基・Ｃｏ基
耐熱合金においてはクロム拡散浸透処理をした後に安定
化処理、あるいは時効処理等の後熱処理を付与し、母材
の機械的性質を回復させる場合も多い。この様に後熱処
理を付与する場合、これらの熱処理によってクロム拡散
層の一部が酸化されたり、脱クロム現象が生じ、また母
材の内部へ拡散する場合がある。
【００１５】一方、Ｃｒ濃度の高い付着層は、拡散層と
比較すると緻密である為、腐食性のガス成分が侵入しに
くくなる特徴がある。この為、この様な脱クロム現象が
生ずる場合には、Ｃｒ濃度の高い付着層を若干残した方
が有利である。図２（Ａ）、図３（Ａ）は若干のＣｒ濃
度の高い付着層を残した場合のクロム拡散浸透後の断面
を示している。また、図２（Ｂ）、図３（Ｂ）は後熱処
理を付与した場合の断面を示しており、４は後熱処理後
に拡散した中Ｃｒ濃度の付着層である。Ｃｒ濃度の高い
付着層の厚さに対して、この様な２種の形態がある。図
３（Ｂ）の様な被膜が本発明の目的には最も良好である
が、図２（Ｂ）の様に薄い厚さのＣｒ濃度の高い付着層
が残留していても問題はない。但し、図１（Ａ）のよう
な過度のＣｒ濃度の高い付着層は先に述べたごとくき裂
発生の危険性がある。
比較すると緻密である為、腐食性のガス成分が侵入しに
くくなる特徴がある。この為、この様な脱クロム現象が
生ずる場合には、Ｃｒ濃度の高い付着層を若干残した方
が有利である。図２（Ａ）、図３（Ａ）は若干のＣｒ濃
度の高い付着層を残した場合のクロム拡散浸透後の断面
を示している。また、図２（Ｂ）、図３（Ｂ）は後熱処
理を付与した場合の断面を示しており、４は後熱処理後
に拡散した中Ｃｒ濃度の付着層である。Ｃｒ濃度の高い
付着層の厚さに対して、この様な２種の形態がある。図
３（Ｂ）の様な被膜が本発明の目的には最も良好である
が、図２（Ｂ）の様に薄い厚さのＣｒ濃度の高い付着層
が残留していても問題はない。但し、図１（Ａ）のよう
な過度のＣｒ濃度の高い付着層は先に述べたごとくき裂
発生の危険性がある。
【００１６】本発明は図１（Ｂ）、図２（Ｂ）あるいは
図３（Ｂ）のような構造を有し、その処理層の全厚が１
０〜４０μｍとなるような皮膜を得ようとするものであ
る。全処理層の厚さが１０μｍより薄いと耐高温腐食性
の効果が乏しく、４０μｍより厚い場合には機械的強度
が劣化し、き裂の発生とその伝播（進展）速度が早くな
る欠点がある。このような性状を有するＣｒ浸透層を得
るため、具体的には、次に示すような方法を用いる。す
なわち （１）処理雰囲気中のハロゲン化Ｃｒの蒸気分圧を調整
し、雰囲気中に析出するＣｒ量を制御する。 （２）処理雰囲気中のＨ2 分圧を調整し、析出するＣｒ
量を制御する。 （３）（１）と（２）の条件を維持しながら、処理温度
を変化させることによって、被処理体内部へのＣｒの拡
散浸透層厚さを調整する。
図３（Ｂ）のような構造を有し、その処理層の全厚が１
０〜４０μｍとなるような皮膜を得ようとするものであ
る。全処理層の厚さが１０μｍより薄いと耐高温腐食性
の効果が乏しく、４０μｍより厚い場合には機械的強度
が劣化し、き裂の発生とその伝播（進展）速度が早くな
る欠点がある。このような性状を有するＣｒ浸透層を得
るため、具体的には、次に示すような方法を用いる。す
なわち （１）処理雰囲気中のハロゲン化Ｃｒの蒸気分圧を調整
し、雰囲気中に析出するＣｒ量を制御する。 （２）処理雰囲気中のＨ2 分圧を調整し、析出するＣｒ
量を制御する。 （３）（１）と（２）の条件を維持しながら、処理温度
を変化させることによって、被処理体内部へのＣｒの拡
散浸透層厚さを調整する。
【００１７】ハロゲンとして塩化物のＣｒＣｌ2 を例に
とると、その蒸気圧（ｍｍＨｇ）と温度との関係は次式
で表わされている。 ｌｏｇＰ＝２７．５０−５．０３ｌｏｇＴ−１３８００／Ｔ ここに、Ｐは蒸気圧（ｍｍＨｇ）、Ｔは絶対温度であ
る。この式から１０００℃におけるＣｒＣｌ2 の蒸気圧
は約１１ｍｍＨｇである。これにＨ2 ガスを十分供給す
るとすべてのＣｒＣｌ2 が還元されて、Ｃｒ微粒子とな
って被処理体表面に付着し、その一部が内部へ拡散浸透
することとなる。
とると、その蒸気圧（ｍｍＨｇ）と温度との関係は次式
で表わされている。 ｌｏｇＰ＝２７．５０−５．０３ｌｏｇＴ−１３８００／Ｔ ここに、Ｐは蒸気圧（ｍｍＨｇ）、Ｔは絶対温度であ
る。この式から１０００℃におけるＣｒＣｌ2 の蒸気圧
は約１１ｍｍＨｇである。これにＨ2 ガスを十分供給す
るとすべてのＣｒＣｌ2 が還元されて、Ｃｒ微粒子とな
って被処理体表面に付着し、その一部が内部へ拡散浸透
することとなる。
【００１８】従来のＣｒ浸透法では、このようにして被
処理体表面に付着するＣｒ量を多くして、耐食性を向上
させることを目的としているが、本発明では上記のよう
な場合、反応するＨ2 ガス量を少なくしたり、またＣｒ
Ｃｌ2 蒸気圧を低く抑えることによって、雰囲気中に析
出するＣｒ量すなわち被処理体表面に付着するＣｒ量を
調整し、最終的にはＣｒ浸透層の表面濃度２５〜７５
％、拡散浸透層の厚さ１０〜４０μｍの範囲に制御する
ものである。
処理体表面に付着するＣｒ量を多くして、耐食性を向上
させることを目的としているが、本発明では上記のよう
な場合、反応するＨ2 ガス量を少なくしたり、またＣｒ
Ｃｌ2 蒸気圧を低く抑えることによって、雰囲気中に析
出するＣｒ量すなわち被処理体表面に付着するＣｒ量を
調整し、最終的にはＣｒ浸透層の表面濃度２５〜７５
％、拡散浸透層の厚さ１０〜４０μｍの範囲に制御する
ものである。
【００１９】上記Ｃｒ浸透層の表面濃度及び拡散浸透層
の厚さに調整するための塩化クロムの蒸気圧及び処理温
度は、Ｎｉ基合金では蒸気圧が０．７〜７ｍｍＨｇ、処
理温度が８５０〜９７０℃、Ｃｏ基合金では蒸気圧が４
〜４７ｍｍＨｇ、処理温度が９５０〜１１００℃の範囲
であり、これらの範囲内で蒸気圧及び処理温度を制御す
ることによって、本発明のクロム拡散浸透層を得ること
ができる。
の厚さに調整するための塩化クロムの蒸気圧及び処理温
度は、Ｎｉ基合金では蒸気圧が０．７〜７ｍｍＨｇ、処
理温度が８５０〜９７０℃、Ｃｏ基合金では蒸気圧が４
〜４７ｍｍＨｇ、処理温度が９５０〜１１００℃の範囲
であり、これらの範囲内で蒸気圧及び処理温度を制御す
ることによって、本発明のクロム拡散浸透層を得ること
ができる。
【００２０】また、このようにして行うクロム拡散浸透
処理は、成型品にそのまま適用しても成型品の面粗度及
び寸法精度を設計許容値内に維持することができる。以
上クロム浸透処理をＣｒＣｌ2 を用いて行う場合につい
て説明したが、ＣｒＢｒ2 、ＣｒＦ2 などを用いる場合
にはそれぞれの蒸気圧及び処理温度を調整することによ
って本発明の目的とするＣｒ浸透層表面の濃度と拡散層
厚さを得ることが可能であり、ＣｒＣｌ2 のみに限定さ
れるものではない。
処理は、成型品にそのまま適用しても成型品の面粗度及
び寸法精度を設計許容値内に維持することができる。以
上クロム浸透処理をＣｒＣｌ2 を用いて行う場合につい
て説明したが、ＣｒＢｒ2 、ＣｒＦ2 などを用いる場合
にはそれぞれの蒸気圧及び処理温度を調整することによ
って本発明の目的とするＣｒ浸透層表面の濃度と拡散層
厚さを得ることが可能であり、ＣｒＣｌ2 のみに限定さ
れるものではない。
【００２１】
【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。 実施例１ 本発明の耐熱合金部材を得るために図４に示すような装
置を用いて実験した。図４において１１はＮｉ製の処理
容器、１２はハロゲン化Ｃｒ蒸気導入管、１３はＡｒガ
ス導入管、１４はＨ2 ガス導入管、１５はガス排出管で
あり、それぞれの管にはガスの供給あるいは排出調整が
可能なバルブを備えている。また処理容器全体は電気炉
中に置かれ、外部から加熱されるようになっており、１
６は処理容器内の温度計測用の管である。１７は被処理
体でアルミナ焼結体の多孔質な板１８の上に設置できる
ようになっている。
るが、本発明はこれらに限定されるものではない。 実施例１ 本発明の耐熱合金部材を得るために図４に示すような装
置を用いて実験した。図４において１１はＮｉ製の処理
容器、１２はハロゲン化Ｃｒ蒸気導入管、１３はＡｒガ
ス導入管、１４はＨ2 ガス導入管、１５はガス排出管で
あり、それぞれの管にはガスの供給あるいは排出調整が
可能なバルブを備えている。また処理容器全体は電気炉
中に置かれ、外部から加熱されるようになっており、１
６は処理容器内の温度計測用の管である。１７は被処理
体でアルミナ焼結体の多孔質な板１８の上に設置できる
ようになっている。
【００２２】この実験装置を用い、次に示す２種類の耐
熱合金を用いてＣｒ浸透処理を行った後、耐熱合金表面
に形成される浸透層のＣｒ濃度と拡散層の厚さをＸ線マ
イクロアナライザーで測定した。 （１）Ｎｉ基耐熱合金（０．０４Ｃ−１５Ｃｒ−２５Ｔ
ｉ−７Ｆｅ−残Ｎｉ） （２）Ｃｏ基耐熱合金（０．５Ｃ−２６Ｃｒ−１０Ｎｉ
−７．５Ｗ−２Ｆｅ−１Ｍｎ−残Ｃｏ） なお、数字は重量％を示し、試験片寸法は直径１５ｍｍ
×長８０ｍｍの管である。
熱合金を用いてＣｒ浸透処理を行った後、耐熱合金表面
に形成される浸透層のＣｒ濃度と拡散層の厚さをＸ線マ
イクロアナライザーで測定した。 （１）Ｎｉ基耐熱合金（０．０４Ｃ−１５Ｃｒ−２５Ｔ
ｉ−７Ｆｅ−残Ｎｉ） （２）Ｃｏ基耐熱合金（０．５Ｃ−２６Ｃｒ−１０Ｎｉ
−７．５Ｗ−２Ｆｅ−１Ｍｎ−残Ｃｏ） なお、数字は重量％を示し、試験片寸法は直径１５ｍｍ
×長８０ｍｍの管である。
【００２３】これらの試験片を用い、１１００℃におけ
るＣｒＣｌ2 飽和蒸気圧（約４７ｍｍＨｇ）雰囲気を構
成させ、これにＨ2 ガスをＣｒＣｌ2 ＋Ｈ2 →Ｃｒ＋２
ＨＣｌ反応当量の１．５倍流し、１０時間処理した。一
方、処理温度は１１００℃に維持しながら、ＣｒＣｌ2
の蒸気圧を２ｍｍＨｇ（９００℃の蒸気圧に等しい）と
し、Ｈ2 ガスを反応当量の１．５倍流し、１０時間処理
した。表１は、この結果を示したものである。
るＣｒＣｌ2 飽和蒸気圧（約４７ｍｍＨｇ）雰囲気を構
成させ、これにＨ2 ガスをＣｒＣｌ2 ＋Ｈ2 →Ｃｒ＋２
ＨＣｌ反応当量の１．５倍流し、１０時間処理した。一
方、処理温度は１１００℃に維持しながら、ＣｒＣｌ2
の蒸気圧を２ｍｍＨｇ（９００℃の蒸気圧に等しい）と
し、Ｈ2 ガスを反応当量の１．５倍流し、１０時間処理
した。表１は、この結果を示したものである。
【００２４】
【表１】 （備考）（１）Ｃｒ濃度は重量％を示す。 （２）厚さはμｍを示す。
【００２５】表１から、ＣｒＣｌ2 蒸気圧の高い雰囲気
で処理されたＮｉ基及びＣｏ基耐熱合金はともに、その
表面に形成されるＣｒ浸透層のＣｒ濃度が非常に高く、
しかもその厚さもＮｉ基で３０μｍ、Ｃｏ基でも１５μ
ｍに達していた。また、拡散層の厚さはＮｉ基で７０μ
ｍ、Ｃｏ基では３０μｍであった。（Ｃｏ基の拡散層厚
さの小さいのは合金中のＣ量が多く、浸透したＣｒが炭
化物として析出固定されたためである。）これに対し、
ＣｒＣｌ2 蒸気圧の低い雰囲気中で処理されたＮｉ基及
びＣｏ基耐熱合金では、表層部のＣｒ濃度がＮｉ基で４
０〜４５％、Ｃｏ基で４８〜５３％と低下した。しかし
拡散層の厚さは１０％程度の減少にとどまっているのが
認められた。すなわち、ＣｒＣｌ2 蒸気圧の低い雰囲気
では、試験片表面に付着するＣｒ量が低下する一方、温
度が高いため試験片内部への拡散速度は余り変化しない
ため、表面のＣｒ濃度が低下したものと考えられる。
で処理されたＮｉ基及びＣｏ基耐熱合金はともに、その
表面に形成されるＣｒ浸透層のＣｒ濃度が非常に高く、
しかもその厚さもＮｉ基で３０μｍ、Ｃｏ基でも１５μ
ｍに達していた。また、拡散層の厚さはＮｉ基で７０μ
ｍ、Ｃｏ基では３０μｍであった。（Ｃｏ基の拡散層厚
さの小さいのは合金中のＣ量が多く、浸透したＣｒが炭
化物として析出固定されたためである。）これに対し、
ＣｒＣｌ2 蒸気圧の低い雰囲気中で処理されたＮｉ基及
びＣｏ基耐熱合金では、表層部のＣｒ濃度がＮｉ基で４
０〜４５％、Ｃｏ基で４８〜５３％と低下した。しかし
拡散層の厚さは１０％程度の減少にとどまっているのが
認められた。すなわち、ＣｒＣｌ2 蒸気圧の低い雰囲気
では、試験片表面に付着するＣｒ量が低下する一方、温
度が高いため試験片内部への拡散速度は余り変化しない
ため、表面のＣｒ濃度が低下したものと考えられる。
【００２６】実施例２ 本実施例では固体法によるＣｒ浸透処理を行った。使用
した試験片材料及びその形状・寸法は実施例１と同じも
のである。図５は本実施例で用いた処理装置の概要を示
す。すなわち１１はＮｉ製処理容器、１４はＨ2 ガス供
給管、１５はガス排出管、１７は試験片、１６は温度計
測用挿入管であり、処理容器全体は電気炉中に設置さ
れ、外部から加熱されるようになっている。また、１９
はＣｒ浸透剤であり、その組成はＣｒ粉末７０％とＡｌ
2 Ｏ3 ２９％、塩化アンモン（ＮＨ4 Ｃｌ）１．０％
（重量％）である。
した試験片材料及びその形状・寸法は実施例１と同じも
のである。図５は本実施例で用いた処理装置の概要を示
す。すなわち１１はＮｉ製処理容器、１４はＨ2 ガス供
給管、１５はガス排出管、１７は試験片、１６は温度計
測用挿入管であり、処理容器全体は電気炉中に設置さ
れ、外部から加熱されるようになっている。また、１９
はＣｒ浸透剤であり、その組成はＣｒ粉末７０％とＡｌ
2 Ｏ3 ２９％、塩化アンモン（ＮＨ4 Ｃｌ）１．０％
（重量％）である。
【００２７】固体法では処理時間を１０時間一定とし、
処理温度を６００〜１１００℃まで変化させて処理し、
処理後の試験片表面のＣｒ濃度と拡散層の厚さを測定し
た。この処理温度におけるＣｒＣｌ2 の蒸気圧は１３×
１０-4〜４７ｍｍＨｇである。なお、固体法ではＣｒＣ
ｌ2 の蒸気を外部から供給できないが、浸透剤中に含ま
れているＮＨ4 Ｃｌが、３３８℃以上の温度で、次のよ
うに分解して、ＨＣｌを発生し、これがＣｒ粉末と反応
してＣｒＣｌ2 を生成する。 ＮＨ4 Ｃｌ → ＮＨ3 ＋ＨＣｌ ２ＨＣｌ＋Ｃｒ → ＣｒＣｌ2 ＋Ｈ2
処理温度を６００〜１１００℃まで変化させて処理し、
処理後の試験片表面のＣｒ濃度と拡散層の厚さを測定し
た。この処理温度におけるＣｒＣｌ2 の蒸気圧は１３×
１０-4〜４７ｍｍＨｇである。なお、固体法ではＣｒＣ
ｌ2 の蒸気を外部から供給できないが、浸透剤中に含ま
れているＮＨ4 Ｃｌが、３３８℃以上の温度で、次のよ
うに分解して、ＨＣｌを発生し、これがＣｒ粉末と反応
してＣｒＣｌ2 を生成する。 ＮＨ4 Ｃｌ → ＮＨ3 ＋ＨＣｌ ２ＨＣｌ＋Ｃｒ → ＣｒＣｌ2 ＋Ｈ2
【００２８】ここで、生成するＣｒＣｌ2 の蒸気圧は温
度によって一定値となるので、雰囲気中にＨ2 ガスが十
分存在すると、Ｈ2 ガスによって還元されるＣｒ量も一
定値を示すことが予想される。 ＣｒＣｌ2 ＋Ｈ2 → Ｃｒ＋２ＨＣｌ 図６は各温度で処理した試験片表面のＣｒ濃度、図７は
拡散層の厚さを示したものである。この結果から明らか
なように、温度が高くなるほど、浸透層表面のＣｒ濃度
が高く、拡散層厚さが大きくなることが認められる。こ
のようなことから、本発明を固体法で実施する場合に
は、処理温度を変化させることによってＣｒ濃度を制御
することが可能である。
度によって一定値となるので、雰囲気中にＨ2 ガスが十
分存在すると、Ｈ2 ガスによって還元されるＣｒ量も一
定値を示すことが予想される。 ＣｒＣｌ2 ＋Ｈ2 → Ｃｒ＋２ＨＣｌ 図６は各温度で処理した試験片表面のＣｒ濃度、図７は
拡散層の厚さを示したものである。この結果から明らか
なように、温度が高くなるほど、浸透層表面のＣｒ濃度
が高く、拡散層厚さが大きくなることが認められる。こ
のようなことから、本発明を固体法で実施する場合に
は、処理温度を変化させることによってＣｒ濃度を制御
することが可能である。
【００２９】またこの結果から、本発明が求めるＮｉ基
合金上に形成されるＣｒ濃度２５〜７５％、拡散層厚さ
１０〜４０μｍが得られる条件は処理温度８５０〜９７
０℃の範囲であることがわかる。一方、Ｃｏ基合金では
Ｃｒ濃度の高い浸透層は得られるものの、合金中に含ま
れるＣ量が多いため、拡散層厚さは比較的小さくなる特
徴がある。このため本発明が好適とするＣｒ濃度２５〜
７５％、拡散層厚さ１０〜４０μｍが得られる処理温度
はＮｉ基合金の場合より高く９５０〜１１００℃の範囲
にあることがわかる。また本実施例の結果からわかるよ
うに、実際の拡散浸透処理においては拡散層の厚さを管
理する処理温度を選定すれば、Ｃｒ濃度は本発明の好適
範囲に入ることがわかった。
合金上に形成されるＣｒ濃度２５〜７５％、拡散層厚さ
１０〜４０μｍが得られる条件は処理温度８５０〜９７
０℃の範囲であることがわかる。一方、Ｃｏ基合金では
Ｃｒ濃度の高い浸透層は得られるものの、合金中に含ま
れるＣ量が多いため、拡散層厚さは比較的小さくなる特
徴がある。このため本発明が好適とするＣｒ濃度２５〜
７５％、拡散層厚さ１０〜４０μｍが得られる処理温度
はＮｉ基合金の場合より高く９５０〜１１００℃の範囲
にあることがわかる。また本実施例の結果からわかるよ
うに、実際の拡散浸透処理においては拡散層の厚さを管
理する処理温度を選定すれば、Ｃｒ濃度は本発明の好適
範囲に入ることがわかった。
【００３０】実施例３ 実施例１及び２の方法で、Ｎｉ基合金上に各種濃度のＣ
ｒ浸透層を形成させ、Ｎｏ１〜１０としこれを下記条件
で高温硫化腐食試験を行った。 （１）腐食試験ガス ５ｍｏｌ％Ｈ2 Ｓ （２）温 度 ６００℃ （３）時 間 １００時間 なお、Ｎｏ１とＮｏ６は比較のため無処理のＮｉ基及び
Ｃｏ基合金試験片であり、Ｎｏ５とＮｏ１０は本発明の
範囲外の表面濃度を有するものである。耐食性の評価は
腐食試験前後の重量を測定することによって行った。表
２はこの結果を示したものである。
ｒ浸透層を形成させ、Ｎｏ１〜１０としこれを下記条件
で高温硫化腐食試験を行った。 （１）腐食試験ガス ５ｍｏｌ％Ｈ2 Ｓ （２）温 度 ６００℃ （３）時 間 １００時間 なお、Ｎｏ１とＮｏ６は比較のため無処理のＮｉ基及び
Ｃｏ基合金試験片であり、Ｎｏ５とＮｏ１０は本発明の
範囲外の表面濃度を有するものである。耐食性の評価は
腐食試験前後の重量を測定することによって行った。表
２はこの結果を示したものである。
【００３１】
【表２】
【００３２】この結果から明らかなようにＮｉ基及びＣ
ｏ基合金上に形成されるＣｒ浸透層の濃度は３５％以上
あれば、拡散層厚さの大小に関係せず８０％程度の高濃
度浸透層と同等の耐食性を示すことが確認されて、耐食
性に関する限り、過度の高Ｃｒ濃度は必要でないことが
判明した。
ｏ基合金上に形成されるＣｒ浸透層の濃度は３５％以上
あれば、拡散層厚さの大小に関係せず８０％程度の高濃
度浸透層と同等の耐食性を示すことが確認されて、耐食
性に関する限り、過度の高Ｃｒ濃度は必要でないことが
判明した。
【００３３】実施例４ 次に、クロム拡散浸透処理における成型品の面粗度及び
寸法精度を調べるための試験を行った。試験は、径３０
ｍｍ、厚さ１０ｍｍの円柱状の成型品として、実施例３
で用いたＮｉ基合金で行った。上記成型品を実施例２に
準じてＣｒ拡散浸透処理を行い、実施例３のＮｏ２〜５
の浸透層の性状をもつ成型品を得た。その処理における
成型品の変形量及び面粗度を表３に示す。
寸法精度を調べるための試験を行った。試験は、径３０
ｍｍ、厚さ１０ｍｍの円柱状の成型品として、実施例３
で用いたＮｉ基合金で行った。上記成型品を実施例２に
準じてＣｒ拡散浸透処理を行い、実施例３のＮｏ２〜５
の浸透層の性状をもつ成型品を得た。その処理における
成型品の変形量及び面粗度を表３に示す。
【００３４】
【表３】 このように、本発明の範囲内（Ｎｏ２〜４）のものは、
処理における変形量及び面粗度ともに小さく、成型品を
そのまま使用できる。本発明の範囲外の表面濃度及び拡
散層厚のＮｏ５のものは変形量及び面粗度ともに大き
い。
処理における変形量及び面粗度ともに小さく、成型品を
そのまま使用できる。本発明の範囲外の表面濃度及び拡
散層厚のＮｏ５のものは変形量及び面粗度ともに大き
い。
【００３５】
【発明の効果】以上実施例で詳述したように、本発明の
Ｃｒ濃度と拡散層厚さを備えたＮｉ基及びＣｏ基耐熱合
金部材は、高温の腐食性環境において、優れた耐食性を
示すとともに、機械的に高度な負荷がかかる環境におい
ても、き裂の発生が少ないうえ、その進展が緩慢である
などの性能を発揮する。また、本発明の範囲内のＣｒ拡
散浸透処理では、成型品にそのまま適用しても面粗度及
び寸法精度を設計許容値内に維持でき、嵌合部材等の成
型品にそのまま使用できる。このため、ガスタービン、
ジェットエンジンの高温被曝部材をはじめ、高温の腐食
性ガス体を輸送する各種送風機部材の寿命を延長し、稼
動率の向上、プラントの安全、操業コストの低減などに
大きな効果が期待できる。
Ｃｒ濃度と拡散層厚さを備えたＮｉ基及びＣｏ基耐熱合
金部材は、高温の腐食性環境において、優れた耐食性を
示すとともに、機械的に高度な負荷がかかる環境におい
ても、き裂の発生が少ないうえ、その進展が緩慢である
などの性能を発揮する。また、本発明の範囲内のＣｒ拡
散浸透処理では、成型品にそのまま適用しても面粗度及
び寸法精度を設計許容値内に維持でき、嵌合部材等の成
型品にそのまま使用できる。このため、ガスタービン、
ジェットエンジンの高温被曝部材をはじめ、高温の腐食
性ガス体を輸送する各種送風機部材の寿命を延長し、稼
動率の向上、プラントの安全、操業コストの低減などに
大きな効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】Ｃｒ浸透処理したＮｉ基耐熱合金の断面模式図
で、（Ａ）従来例、（Ｂ）本発明のものを示す。
で、（Ａ）従来例、（Ｂ）本発明のものを示す。
【図２】Ｃｒ浸透処理したＮｉ基耐熱合金の他の断面模
式図で、（Ａ）従来例、（Ｂ）本発明のものを示す。
式図で、（Ａ）従来例、（Ｂ）本発明のものを示す。
【図３】Ｃｒ浸透処理したＮｉ基耐熱合金のもう一つの
断面模式図で、（Ａ）従来例、（Ｂ）本発明のものを示
す。
断面模式図で、（Ａ）従来例、（Ｂ）本発明のものを示
す。
【図４】実施例１で用いた装置の概略構成図。
【図５】実施例２で用いた装置の概略構成図。
【図６】固体法による処理温度と表面Ｃｒ濃度の関係を
示すグラフ。
示すグラフ。
【図７】固体法による処理温度と拡散層厚さの関係を示
すグラフ。
すグラフ。
１：被処理体、２：高Ｃｒ濃度の付着層、３：拡散層、
４：中Ｃｒ濃度の付着層、１１：処理容器、１２：ハロ
ゲン化クロム蒸気導入管、１３：Ａｒガス導入管、１
４：Ｈ2 ガス導入管、１５：ガス排出管、１６：温度計
測用挿入管、１７：被処理体、１８：アルミナ製多孔質
板、１９：クロム浸透剤
４：中Ｃｒ濃度の付着層、１１：処理容器、１２：ハロ
ゲン化クロム蒸気導入管、１３：Ａｒガス導入管、１
４：Ｈ2 ガス導入管、１５：ガス排出管、１６：温度計
測用挿入管、１７：被処理体、１８：アルミナ製多孔質
板、１９：クロム浸透剤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河崎 正道 東京都大田区羽田旭町11番１号 株式会 社荏原製作所内 (72)発明者 原田 良夫 兵庫県神戸市東灘区深江北町４丁目13番 ４号 トーカロ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭50−90541（ＪＰ，Ａ) 特開 昭49−78643（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23C 10/00 - 10/60
Claims (5)
- 【請求項１】 クロム拡散浸透層を有するＮｉ又はＣｏ
を基材とする耐熱合金部材において、該クロム拡散浸透
層が表面クロム濃度２５〜７５％で、浸透層の厚さ１０
〜４０μｍであることを特徴とするクロム拡散浸透耐熱
合金部材。 - 【請求項２】 Ｎｉ又はＣｏを基材とする耐熱合金をク
ロム拡散浸透処理するに際し、処理時のハロゲン化クロ
ムの蒸気圧及び処理温度を制御することによって、形成
されるクロム拡散浸透層が、表面クロム濃度２５〜７５
％、浸透層の厚さ１０〜４０μｍの範囲となるように調
整しながら処理することを特徴とするクロム拡散浸透耐
熱合金部材の製法。 - 【請求項３】 前記クロム拡散浸透処理は、固体法又は
ガス法により行うことを特徴とする請求項２記載のクロ
ム拡散浸透耐熱合金部材の製法。 - 【請求項４】 Ｎｉ基を基材とする耐熱合金をクロム拡
散浸透処理するに際し、塩化クロムの蒸気圧を０．７〜
７ｍｍＨｇ、処理温度を８５０〜９７０℃の範囲に制御
することによって、形成されるクロム拡散浸透層が、表
面クロム濃度２５〜７５％、浸透層の厚さ１０〜４０μ
ｍの範囲となるように調整しながら処理することを特徴
とするクロム拡散浸透耐熱合金部材の製法。 - 【請求項５】 Ｃｏ基を基材とする耐熱合金をクロム拡
散浸透処理するに際し、塩化クロムの蒸気圧を４〜４７
ｍｍＨｇ、処理温度が９５０〜１１００℃の範囲に制御
することによって、形成されるクロム拡散浸透層が、表
面クロム濃度２５〜７５％、浸透層の厚さ１０〜４０μ
ｍの範囲となるように調整しながら処理することを特徴
とするクロム拡散浸透耐熱合金部材の製法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7032813A JP3029546B2 (ja) | 1994-03-09 | 1995-01-31 | クロム拡散浸透耐熱合金部材とその製法 |
| DE69511922T DE69511922T2 (de) | 1994-03-09 | 1995-03-08 | Chromierte wärmebeständige Legierungselemente und Verfahren zur ihrer Herstellung |
| EP95103354A EP0671479B1 (en) | 1994-03-09 | 1995-03-08 | Chromized heat-resistant alloy members and a process for the production thereof |
| US08/712,180 US5882439A (en) | 1994-03-09 | 1996-09-11 | Chromized heat-resistant alloy members and a process for the production thereof |
| US08/862,692 US5958152A (en) | 1994-03-09 | 1997-05-23 | Chromized heat-resistant alloy members and a process for the production thereof |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6-64398 | 1994-03-09 | ||
| JP6439894 | 1994-03-09 | ||
| JP7032813A JP3029546B2 (ja) | 1994-03-09 | 1995-01-31 | クロム拡散浸透耐熱合金部材とその製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07300663A JPH07300663A (ja) | 1995-11-14 |
| JP3029546B2 true JP3029546B2 (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=26371400
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7032813A Expired - Lifetime JP3029546B2 (ja) | 1994-03-09 | 1995-01-31 | クロム拡散浸透耐熱合金部材とその製法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5882439A (ja) |
| EP (1) | EP0671479B1 (ja) |
| JP (1) | JP3029546B2 (ja) |
| DE (1) | DE69511922T2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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