JP3018251B1 - フィ―ドスル―用フラットケ―ブル - Google Patents
フィ―ドスル―用フラットケ―ブルInfo
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- JP3018251B1 JP3018251B1 JP11079982A JP7998299A JP3018251B1 JP 3018251 B1 JP3018251 B1 JP 3018251B1 JP 11079982 A JP11079982 A JP 11079982A JP 7998299 A JP7998299 A JP 7998299A JP 3018251 B1 JP3018251 B1 JP 3018251B1
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- cable
- flat cable
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- Insertion, Bundling And Securing Of Wires For Electric Apparatuses (AREA)
Abstract
【要約】
【課題】 従来の密閉容器の内部からゴム“Ｏ”リング
等のシール面と密閉容器のシール面との間を通してケー
ブルを密閉容器の外部に引き出すための、ケーブルとこ
れを挟持する樹脂系シート及び粘着材層より成るフィー
ドスルー用フラットケーブルにおいては、ケーブルの形
状が丸線であるため、ケーブルとそれを挟む粘着材層と
の間に隙間が生じ、また、フラットケーブルの端面が直
角の切り落としであるため、密閉容器及びシール材との
間に隙間を生じ、これらの隙間から気密が漏れてしまう
という欠点があった。 【解決手段】 本発明のフィードスルー用フラットケー
ブルにおいては、ケーブルを粘着材層を介して２枚のシ
ートによって挟持せしめる。上記粘着材層の合計の厚さ
を、ケーブルの線径の少なくとも半分以上とする。ま
た、上記フラットケーブルの上記ケーブルの延びる方向
と直交する側の上記２枚のシート及び粘着材層の端面を
ナイフエッジ状とする。
等のシール面と密閉容器のシール面との間を通してケー
ブルを密閉容器の外部に引き出すための、ケーブルとこ
れを挟持する樹脂系シート及び粘着材層より成るフィー
ドスルー用フラットケーブルにおいては、ケーブルの形
状が丸線であるため、ケーブルとそれを挟む粘着材層と
の間に隙間が生じ、また、フラットケーブルの端面が直
角の切り落としであるため、密閉容器及びシール材との
間に隙間を生じ、これらの隙間から気密が漏れてしまう
という欠点があった。 【解決手段】 本発明のフィードスルー用フラットケー
ブルにおいては、ケーブルを粘着材層を介して２枚のシ
ートによって挟持せしめる。上記粘着材層の合計の厚さ
を、ケーブルの線径の少なくとも半分以上とする。ま
た、上記フラットケーブルの上記ケーブルの延びる方向
と直交する側の上記２枚のシート及び粘着材層の端面を
ナイフエッジ状とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はフィードスルー用フ
ラットケーブル、特に、真空容器等の密閉容器の内部か
ら外部に電線等のケーブルを気密に引き出すためのフィ
ードスルー用フラットケーブルに関するものである。
ラットケーブル、特に、真空容器等の密閉容器の内部か
ら外部に電線等のケーブルを気密に引き出すためのフィ
ードスルー用フラットケーブルに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体や液晶基板等の製造作業は、高真
空系や腐食ガス中での作業となるため、一般にこのよう
な作業は隔離された容器内で行う事が多い。
空系や腐食ガス中での作業となるため、一般にこのよう
な作業は隔離された容器内で行う事が多い。
【０００３】この密閉容器内から外部への動力源や、各
種計測信号の取り出しには、予めシール加工した装置が
必要となるが、この様な専用装置を用いる事は不経済で
あり、シール加工した装置を追加する場合には加工に時
間が掛かる等の問題が有る。
種計測信号の取り出しには、予めシール加工した装置が
必要となるが、この様な専用装置を用いる事は不経済で
あり、シール加工した装置を追加する場合には加工に時
間が掛かる等の問題が有る。
【０００４】そのため、近年、密閉容器の開口部のシー
ル部分にシート状のフラットケーブルを挟み込む事によ
り、簡便容易に装置の改造をする事なく目的を達する方
法が取られている。
ル部分にシート状のフラットケーブルを挟み込む事によ
り、簡便容易に装置の改造をする事なく目的を達する方
法が取られている。
【０００５】図３〜図６は上記従来のフィードスルー用
フラットケーブルを示し、１は上面を開放した密閉容
器、２は上記密閉容器１の蓋、３は上記密閉容器１と上
記蓋２間に介在したゴム“Ｏ”リングなどのシール部
材、４は上記密閉容器１の上面のフランジ面１ａと上記
シール部材３との間に挟み込んだフラットケーブルであ
る。このフラットケーブル４は２枚の矩形状樹脂フィル
ム又はシート５，５と、この樹脂系シート５，５間に接
着剤又は粘着材層６，６を介して気密に挟み込んだ電線
等のケーブル７とよりなる。
フラットケーブルを示し、１は上面を開放した密閉容
器、２は上記密閉容器１の蓋、３は上記密閉容器１と上
記蓋２間に介在したゴム“Ｏ”リングなどのシール部
材、４は上記密閉容器１の上面のフランジ面１ａと上記
シール部材３との間に挟み込んだフラットケーブルであ
る。このフラットケーブル４は２枚の矩形状樹脂フィル
ム又はシート５，５と、この樹脂系シート５，５間に接
着剤又は粘着材層６，６を介して気密に挟み込んだ電線
等のケーブル７とよりなる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、上記電線
等のケーブル７の形状は丸線であるため、図５及び図６
に示すようにケーブル７の下側両側においてシート５と
フランジ面１ａとの間にケーブル７に沿った方向に延び
る隙間８ａが生じ、また、樹脂系シート５，５及び粘着
材層６，６の端面は直角の切り落としであるため、上記
端面と密閉容器１のフランジ面１ａ及びシール部材３と
の間にも上記ケーブル７に並行して延びる隙間８ｂを生
じ、これらの隙間８ａ，８ｂを介して密閉容器１内が外
部に連通し、気密が破れてしまうという欠点があった。
等のケーブル７の形状は丸線であるため、図５及び図６
に示すようにケーブル７の下側両側においてシート５と
フランジ面１ａとの間にケーブル７に沿った方向に延び
る隙間８ａが生じ、また、樹脂系シート５，５及び粘着
材層６，６の端面は直角の切り落としであるため、上記
端面と密閉容器１のフランジ面１ａ及びシール部材３と
の間にも上記ケーブル７に並行して延びる隙間８ｂを生
じ、これらの隙間８ａ，８ｂを介して密閉容器１内が外
部に連通し、気密が破れてしまうという欠点があった。
【０００７】このような欠点を除くため、フラットケー
ブルを図７に示すように、その下面を平坦にしたもので
は、ケーブル７とそれを挟む粘着材層６，６との間にケ
ーブル７に沿った方向に延びる隙間８ｃを生ずるように
なる。
ブルを図７に示すように、その下面を平坦にしたもので
は、ケーブル７とそれを挟む粘着材層６，６との間にケ
ーブル７に沿った方向に延びる隙間８ｃを生ずるように
なる。
【０００８】このような欠点を除くため、シール部材３
による押圧力を強め、上記隙間８ｃを除くようにした場
合には図８に示すようにシート５とシール部材３との間
に新たな隙間８ｄを生ずるようになる。
による押圧力を強め、上記隙間８ｃを除くようにした場
合には図８に示すようにシート５とシール部材３との間
に新たな隙間８ｄを生ずるようになる。
【０００９】本発明者は種々実験，研究の結果，上記隙
間８ｄを生ずる理由は粘着材層６，６の合計の厚さＡが
ケーブル７の線径Ｂの半分以下であるためであることを
見出した。
間８ｄを生ずる理由は粘着材層６，６の合計の厚さＡが
ケーブル７の線径Ｂの半分以下であるためであることを
見出した。
【００１０】本発明はかかる知見をもとになされたもの
である。
である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明のフィードスルー
用フラットケーブルは、夫々粘着材層を介して２枚のシ
ートによってケーブルを挟持せしめると共に、上記２枚
のシートのうちの一枚を平坦なものとし、上記粘着材層
の合計の厚さを、上記ケーブルの線径の少なくとも半分
以上としたことを特徴とする。
用フラットケーブルは、夫々粘着材層を介して２枚のシ
ートによってケーブルを挟持せしめると共に、上記２枚
のシートのうちの一枚を平坦なものとし、上記粘着材層
の合計の厚さを、上記ケーブルの線径の少なくとも半分
以上としたことを特徴とする。
【００１２】上記ケーブルの延びる方向と直交する側の
上記２枚のシート及び粘着材層の端面はナイフエッジ状
にカットされていることを特徴とする。
上記２枚のシート及び粘着材層の端面はナイフエッジ状
にカットされていることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下図面によって本発明の実施例
を説明する。
を説明する。
【００１４】本発明のフィードスルー用フラットケーブ
ルにおいては、図１に示すようにケーブル７を挟持する
粘着材層６，６の合計の厚さを、ケーブル７の直径の少
なくとも半分以上とする。
ルにおいては、図１に示すようにケーブル７を挟持する
粘着材層６，６の合計の厚さを、ケーブル７の直径の少
なくとも半分以上とする。
【００１５】また、図２に示すように、フラットケーブ
ルの上記ケーブル７の延びる方向と直交する方向の側の
上記２枚のシート５，５及び粘着材層６，６の端面をそ
の上面から下面に斜めに外方に向かって傾斜しているナ
イフエッジ状とする。
ルの上記ケーブル７の延びる方向と直交する方向の側の
上記２枚のシート５，５及び粘着材層６，６の端面をそ
の上面から下面に斜めに外方に向かって傾斜しているナ
イフエッジ状とする。
【００１６】なお、上記ケーブルは電線の他、熱電対、
補償導線、ファイバーグラス又はパワー用もしくは信号
取り出し用電線であってもよい。
補償導線、ファイバーグラス又はパワー用もしくは信号
取り出し用電線であってもよい。
【００１７】本発明のフィードスルー用フラットケーブ
ルは上記のような構成であるから、ケーブル７の線径の
少くとも半分以上が上記粘着材層６内に埋め込まれ、上
記従来における隙間８ｂ〜８ｄが粘着材層６によって充
填され、完全に埋められるので、気体又は液体の漏れを
完全に遮断することができるようになる。
ルは上記のような構成であるから、ケーブル７の線径の
少くとも半分以上が上記粘着材層６内に埋め込まれ、上
記従来における隙間８ｂ〜８ｄが粘着材層６によって充
填され、完全に埋められるので、気体又は液体の漏れを
完全に遮断することができるようになる。
【００１８】（実施例１）
【００１９】ケーブル７として線径０．１ｍｍのものを
厚さ３０μの粘着材層を有する厚さ２５μのポリイミド
フィルムで挟み、これらをクッション材が敷かれた熱プ
レスにセットし、３５０℃、４×１０6 Ｐａの圧力をか
け２分間熱融着を行ない、フィードスルー用フラットケ
ーブルを作成し、このフィードスルー用フラットケーブ
ルの端面をナイフエッジ形状に加工した。
厚さ３０μの粘着材層を有する厚さ２５μのポリイミド
フィルムで挟み、これらをクッション材が敷かれた熱プ
レスにセットし、３５０℃、４×１０6 Ｐａの圧力をか
け２分間熱融着を行ない、フィードスルー用フラットケ
ーブルを作成し、このフィードスルー用フラットケーブ
ルの端面をナイフエッジ形状に加工した。
【００２０】このフィードスルー用フラットケーブルを
Ｏ−リング開閉部を有する真空チャンバーにセットし、
真空テストを行った結果１０-7Ｐａの真空度を得ること
ができた。従来のフィードスルー用フラットケーブルに
おいては１０-5Ｐａであった。
Ｏ−リング開閉部を有する真空チャンバーにセットし、
真空テストを行った結果１０-7Ｐａの真空度を得ること
ができた。従来のフィードスルー用フラットケーブルに
おいては１０-5Ｐａであった。
【００２１】（実施例２）
【００２２】線径０．３ｍｍのケーブルと、厚さ１００
μの粘着材層を有する厚さ２５μのポリイミドフィルム
を用い、その他の条件は実施例１と同じにしたフィード
スルー用フラットケーブルの真空テストを行った結果１
０-6Ｐａの真空度を得ることができた。従来のフィード
スルー用フラットケーブルにおいては１０-2Ｐａであっ
た。
μの粘着材層を有する厚さ２５μのポリイミドフィルム
を用い、その他の条件は実施例１と同じにしたフィード
スルー用フラットケーブルの真空テストを行った結果１
０-6Ｐａの真空度を得ることができた。従来のフィード
スルー用フラットケーブルにおいては１０-2Ｐａであっ
た。
【００２３】
【発明の効果】上記のように本発明のフィードスルー用
フラットケーブルによれば、高度のシーリングを達成で
き、簡便容易に製作が可能で、密閉系装置の改造や加工
をする事なく、外部にリアルタイムの情報を取り出せ、
又外部から内部に信号やパワーを送り込む事も容易に出
来るようになる等大きな利益がある。
フラットケーブルによれば、高度のシーリングを達成で
き、簡便容易に製作が可能で、密閉系装置の改造や加工
をする事なく、外部にリアルタイムの情報を取り出せ、
又外部から内部に信号やパワーを送り込む事も容易に出
来るようになる等大きな利益がある。
【図１】本発明のフィードスルー用フラットケーブルに
おけるケーブル部分の一部の拡大縦断側面図である。
おけるケーブル部分の一部の拡大縦断側面図である。
【図２】本発明のフィードスルー用フラットケーブルに
おける端部の一部の拡大縦断側面図である。
おける端部の一部の拡大縦断側面図である。
【図３】従来のフィードスルー用フラットケーブルを用
いた密閉容器の縦断側面図である。
いた密閉容器の縦断側面図である。
【図４】図３に示す従来のフィードスルー用フラットケ
ーブルの拡大平面図である。
ーブルの拡大平面図である。
【図５】図３に示す従来の密閉容器の一部の拡大縦断正
面図である。
面図である。
【図６】従来のフィードスルー用フラットケーブルにお
けるケーブル部分の一部の拡大縦断側面図である。
けるケーブル部分の一部の拡大縦断側面図である。
【図７】従来のフィードスルー用フラットケーブルにお
けるケーブル部分の一部の拡大縦断側面図である。
けるケーブル部分の一部の拡大縦断側面図である。
【図８】従来のフィードスルー用フラットケーブルにお
けるケーブル部分の一部の拡大縦断側面図である。
けるケーブル部分の一部の拡大縦断側面図である。
１ 密閉容器 １ａ フランジ面 ２ 蓋 ３ シール部材 ４ フラットケーブル ５ 樹脂系シート ６ 粘着材層 ７ ケーブル ８ａ 隙間 ８ｂ 隙間 ８ｃ 隙間 ８ｄ 隙間
Claims (2)
- 【請求項１】 夫々粘着材層を介して２枚のシートによ
ってケーブルを挟持せしめると共に、上記２枚のシート
のうちの一枚を平坦なものとし、上記粘着材層の合計の
厚さを、上記ケーブルの線径の少なくとも半分以上とし
たことを特徴とするフィードスルー用フラットケーブ
ル。 - 【請求項２】 上記ケーブルの延びる方向と直交する側
の上記２枚のシート及び粘着材層の端面がナイフエッジ
状にカットされていることを特徴とする請求項１記載の
フィードスルー用フラットケーブル。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11079982A JP3018251B1 (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | フィ―ドスル―用フラットケ―ブル |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11079982A JP3018251B1 (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | フィ―ドスル―用フラットケ―ブル |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3018251B1 true JP3018251B1 (ja) | 2000-03-13 |
| JP2000277942A JP2000277942A (ja) | 2000-10-06 |
Family
ID=13705539
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11079982A Expired - Fee Related JP3018251B1 (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | フィ―ドスル―用フラットケ―ブル |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3018251B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4199124B2 (ja) * | 2001-12-27 | 2008-12-17 | 富士通株式会社 | リムーバブル記憶装置ユニット |
-
1999
- 1999-03-24 JP JP11079982A patent/JP3018251B1/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000277942A (ja) | 2000-10-06 |
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