KR980005178A - 정전접합 방법을 이용한 평판 표시소자의 밀봉방법 - Google Patents
정전접합 방법을 이용한 평판 표시소자의 밀봉방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 내부가 진공을 요하는 평판 표시소자의 진공밀봉방법에 관한 것으로, 특히, 상하부기판을 접합한 후 배기용 세관을 이용하여 진공상태로 만들고 용융절단하던 방법을 대신하여 평판 표시소자의 상하부 기판에 각각 플릿 글라스와 금속박막으로 테두리를 형성하고 진공챔버 내에서 정전접합장치를 이용하여 정전접합 방법에 의해 진공밀봉함으로써, 구조적으로 안정되고 아웃겟싱의 문제점을 줄인 평판 표시소자를 제조하는 방법이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 사용되는 정전접합 장치를 나타낸 사시도.
제2도는 본 발명에 따른 한 실시예로 정전접합으로 진공밀봉한 평판표시로자의 일부분을 나타낸 단면도.
제3도는 본 발명에 따른 다른 실시예로 정전접합으로 진공밀봉하는 평판 표시소자의 하부기판 상부에 형성되는 플릿그라스와 금속박막 테두리를 나타내는 평면도.
Claims (7)
- 평판 표시소자를 구성할 하부기판에 플릿 글라스를 이용하여 일정한 폭과 높이를 갖는 테두리를 형성하는 단계와, 상기 형성된 테두리의 표면을 매끄럽게 연마하는 단계와, 상기 하부 기판 상부에 정렬접합될 상부기판의 플릿 글라스 테두리와 접하는 부분에 금속박막 테두리를 형성하는 단계와, 상기 플릿 글라스 테두리가 형성된 하부기판과 금속박막 테두리가 형성된 상부기판을 진공챔버내의 정전접합 장치의 상하부 시편지지대에 설치하는 단계와, 상기 상하부 기판을 설치한 후, 진공챔버 내부를 원하는 진공상태로 만든 다음, 상부지지대와 상부 시편지지대를 움직여 상하부 기판의 테두리들이 일정한 압력으로 정렬전합하는 단계와, 상기 접합된 상하부 기판이 설치된 정전 접합장치의 열판을 가열하여 일정한 온도를 유지하면서 전원을 인가하여 정전접합을 실시하는 단계를 포함하는 정전접합 방법을 이용한 평판표시소자의 진공밀봉 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 금속박막의 재료는 알루미늄, 구리, 모리브덴 또는 티타늄을 사용하는 것을 특징으로 하는 정전접합 방법을 이용한 평판표시소자의 진공밀봉방법.
- 제1항에 있어서, 상기 금속 박막은 연마된 플릿 글라스 상부에 형성할 수 있는 것을 특징으로 하는 정전접합 방법을 이용한 평판표시소자의 진공밀봉방법.
- 제3항에 있어서, 상기 플릿 글라스 테두리의 한쪽 모서리에 전극 연결부분을 형성하는 것을 특징으로 하는 정전접합 방법을 이용한 평판표시소자의 진공밀봉방법.
- 제4항에 있어서, 상기 플릿글라스의 전극 연결부에는 양극을 연결하는 것을 특징으로 하는 정전접합 방법을 이용한 평판표시소자의 진공밀봉방법.
- 제1항에 있어서, 상기 정전접합시의 인가되는 전압은 약 1000~3000Volt인 것을 특징으로 하는 정전접합 방법을 이용한 평판표시소자의 진공밀봉방법.
- 제1항에 있어서, 상기 정전접합시 유지되는 온도는 약 150~400℃로 유지하는 것을 특징으로 하는 정전접합 방법을 이용한 평판표시소자의 진공밀봉방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960021496A KR980005178A (ko) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 정전접합 방법을 이용한 평판 표시소자의 밀봉방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960021496A KR980005178A (ko) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 정전접합 방법을 이용한 평판 표시소자의 밀봉방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005178A true KR980005178A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66287923
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960021496A KR980005178A (ko) | 1996-06-14 | 1996-06-14 | 정전접합 방법을 이용한 평판 표시소자의 밀봉방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005178A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010017512A (ko) * | 1999-08-12 | 2001-03-05 | 구자홍 | 소자의 봉착방법 |
| KR100646275B1 (ko) * | 1999-10-04 | 2006-11-17 | 엘지전자 주식회사 | 소자의 접합 방법 |
-
1996
- 1996-06-14 KR KR1019960021496A patent/KR980005178A/ko active IP Right Grant
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20010017512A (ko) * | 1999-08-12 | 2001-03-05 | 구자홍 | 소자의 봉착방법 |
| KR100646275B1 (ko) * | 1999-10-04 | 2006-11-17 | 엘지전자 주식회사 | 소자의 접합 방법 |
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