JP3007850B2 - 樹脂成形方法及び樹脂成形装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、トランスファー成
形における樹脂成形方法及び樹脂成形装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】エポキシ樹脂、フェノール樹脂、不飽和
ポリエステル樹脂などの熱硬化性樹脂を用いて、半導体
素子の封止成形等を行なうにあたって、従来からトラン
スファー成形が一般に行なわれている。図４はその成形
装置の一例を示すものであり、下型１１と上型１２とか
ら成形金型を形成すると共に上下型１１，１２間にキャ
ビティ５が形成されるようにしてある。そして下型１１
に設けたスリーブ１１ａ内にポット１を形成し、下型１
１の上面に凹設したランナー４でポット１とキャビティ
５とを連通させるようにしてあり、ポット１には注入プ
ランジャー３が設けてある。また上型１２に設けたスリ
ーブ１２ａ内には調圧プランジャー６が設けてある。

【０００３】そしてこの成形装置にあって、上下型１
１，１２を開いた状態でポット１に熱硬化性樹脂等の成
形材料２を供給し、図４（ａ）のように型締めしてポッ
ト１内で成形材料２を加熱しながら、注入プランジャー
３を図４（ｂ）のように前進させてポット１内の成形材
料２を加圧すると、ポット１内での加熱とこの加圧で成
形材料２は溶融し、ランナー４からキャビティ５へと成
形材料２が注入される。このとき図４（ｂ）に示すよう
に、注入プランジャー３の加圧力に応じて調圧プランジ
ャー６は後退し、注入圧力が調圧されるようになってい
る。そして次いで注入プランジャー３の前進とともに調
圧プランジャー６が前進して図４（ｃ）のように調圧プ
ランジャー６で成形材料２を加圧し、キャビティ５への
成形材料２の注入が完了するようになっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ここで、成形材料２は
一般にグラニュール状など粉粒状に形成されており、ポ
ット１内にこのような粉粒状の成形材料２を供給して成
形を行なうと、成形材料２の粒子間の空気が成形材料２
をキャビティ５に注入する際に同時に巻き込まれ、成形
した製品にボイド不良等が発生するおそれがある。

【０００５】そこで従来から、粉粒状の成形材料２を加
圧して圧縮することによって粒子間の空気を追い出すよ
うに成形したタブレットを用いるようにしている。この
ように圧縮して成形したタブレットをポット１に供給
し、後は上記と同じようにして成形を行なうのである。
しかしこの方法では、成形材料２を製造する際にタブレ
ットに成形する工程が必要になり、工数や設備が必要に
なってコストアップにもつながるものであった。

【０００６】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、タブレットに成形した成形材料を用いる必要な
く、ボイド不良の少ない成形品を得ることができる樹脂
成形方法及び樹脂成形装置を提供することを目的とする
ものである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に係る樹脂成形方
法は、下型１１に上面を開口させて形成されるポット１
と、ポット１に進退駆動自在に設けられる注入プランジ
ャー３と、注入プランジャー３と対向して上型１２に進
退駆動自在に設けられる調圧プランジャー６とを具備
し、ポット１内に供給された粉粒状の成形材料２を注入
プランジャー３と、注入プランジャー３と径が異なる調
圧プランジャー６との間で加圧して圧縮し、この後、圧
縮されたポット１内の成形材料２を注入プランジャー３
によってポット１からランナー４を介してキャビティ５
に注入することを特徴とするものである。

【０００８】また請求項２の発明は、ポット１内に供給
された粉粒状の成形材料２を注入プランジャー３とラン
ナー４を閉じた状態の調圧プランジャー６との間で加圧
して圧縮し、この後、調圧プランジャー６を後退させて
ランナー４を開くと共に注入プランジャー３によってポ
ット１内の成形材料２をランナー４からキャビティ５に
注入するようにしたことを特徴とするものである。

【０００９】また請求項３の発明は、ポット１への成形
材料２の供給からキャビティ５への成形材料２の注入に
至るまで所定の力でポット１内の成形材料を加圧するよ
うに注入プランジャー３を制御すると共に、調圧プラン
ジャー６に注入プランジャー３の力より大きい力を作用
させてポット１内に供給された粉粒状の成形材料２を注
入プランジャー３との間で圧縮し、次いで調圧プランジ
ャー６の力を解除して注入プランジャー３の力で調圧プ
ランジャー６を後退させると共に調圧プランジャー６の
後退によって開かれるランナー４から成形材料２がキャ
ビティ５に注入されるように調圧プランジャー６を制御
することを特徴とするものである。

【００１０】また請求項４の発明は、調圧プランジャー
６の後退後に注入プランジャー３の力よりも小さい力で
ポット１内の成形材料を加圧してキャビティ５への成形
材料２の注入が完了するように、調圧プランジャー６を
制御することを特徴とするものである。本発明に係る樹
脂成形装置は、下型１１に上面を開口させて形成され粉
粒状の成形材料２が供給されるポット１と、ポット１の
一端に開口するランナー４と、ランナー４に連通するキ
ャビティ５と、ポット１に進退駆動自在に設けられ前進
してポット１内の成形材料２を加圧する注入プランジャ
ー３と、注入プランジャー３と対向して上型１２に進退
駆動自在に設けられると共に注入プランジャー３と異な
る径に形成され、前進位置でランナー４のポット１への
開口部７を閉じると共に後退位置でランナー４の開口部
７を開かせる調圧プランジャー６とを具備し、注入プラ
ンジャー３はポット１への成形材料２の供給からキャビ
ティ５への成形材料２の注入に至るまで所定の力でポッ
ト１内の成形材料２を加圧するように制御されると共
に、調圧プランジャー６に注入プランジャー３の力より
大きい力を作用させてポット１内に供給された粉粒状の
成形材料２を注入プランジャー３との間で圧縮し、次い
で調圧プランジャー６の力を解除して注入プランジャー
３の力で後退すると共に調圧プランジャー６の後退によ
って開口されるランナー４から成形材料２がキャビティ
５に注入されるように、調圧プランジャー６は制御され
て成ることを特徴とするものである。

【００１１】また請求項６の発明は、調圧プランジャー
６の径を注入プランジャー３の径よりも大きく形成して
成ることを特徴とするものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。図１はトランスファー型の成形装置の一例を示す
ものであり、成形装置の成形金型１０は下型１１と上型
１２とから形成してあり、上下型１１，１２間にキャビ
ティ５が形成されるようにしてある。また下型１１には
円筒状のスリーブ１１ａが取着してあり、このスリーブ
１１ａ内に上面が開口するポット１を形成するようにし
てある。またスリーブ１１ａと対向して上型１２に円筒
状のスリーブ１２ａが取着してあり、スリーブ１２ａ内
に下面が開口する調圧ポット１３が形成されるようにし
てある。調圧ポット１３の径はポット１の径よりも大き
く形成してある。

【００１３】下型１１の上面と上型１２の下面にキャビ
ティ５と連通されるランナー４が設けてあるが、ランナ
ー４のキャビティ５と反対側の端部の開口部７は上型１
２に設け、調圧ポット１３に開口させてある。従ってこ
のランナー４の開口部７は調圧ポット１３を介してポッ
ト１に開口するようになっている。そしてポット１には
注入プランジャー３が進退駆動自在（上下駆動自在）に
設けてあり、また調圧ポット１３には調圧プランジャー
６が進退駆動自在（上下駆動自在）に設けてある。注入
プランジャー３や調圧プランジャー６は油圧装置などの
加圧装置で前進後退されるようになっている。上記のよ
うに調圧ポット１３の径はポット１の径よりも大きく形
成してあるので、調圧プランジャー６の径も注入プラン
ジャー３の径よりも大きく形成されるものである。

【００１４】初期状態では調圧プランジャー６は調圧ポ
ット１３の先端（下端）まで前進しており、ランナー４
の開口部７を調圧プランジャー６の側面で閉じるように
なっている。ここで、上記のように調圧プランジャー６
の径を注入プランジャー３の径より大きく形成すること
によって、このようにランナー４の開口部７を閉じる際
に、調圧プランジャー６の下端がスリーブ１１ａの上端
に当接してポット１の上面の開口を調圧プランジャー６
の下端面で閉塞することができるものであり、ポット１
内とランナー４との間を調圧プランジャー６で完全に遮
断することができると共に、ランナー４の開口部７を閉
じる位置への調圧プランジャー６の位置決めが容易にな
るものである。また、注入プランジャー３の径と調圧プ
ランジャー６の径を等しく形成する場合、ポット１の内
径と調圧ポット１３の内径が等しくなるため、ポット１
の中心と調圧ポット１３の中心が正確に一致しないと、
上下型１１，１２を型締めした際にポット１と調圧ポッ
ト１３の開口が合致しないことになり、上下型１１，１
２の加工精度を高く要求されるが、注入プランジャー３
の径と調圧プランジャー６の径が異なる場合は、ポット
１の内径と調圧ポット１３の内径も異なるため、ポット
１の中心と調圧ポット１３の中心を正確に一致させずと
も、上下型１１，１２を型締めした際にポット１と調圧
ポット１３の開口を合致させることができるので、上下
型１１，１２の加工精度を高く要求されることはないも
のである。

【００１５】図２は成形装置の全体構成を示すものであ
り、成形金型１０に複数のキャビティ５を設けると共に
各キャビティ５をランナー４を介してポット１に接続さ
せることによって、多数個取りの成形が行なえるように
してある。また成形金型１０にポット１を複数設けて、
マルチポット構造に成形装置を形成するようにしてもよ
い。図２において１４はエジェクタープレート１５で作
動されるエジェクターピンである。

【００１６】上記のような構造に形成される成形装置を
用いて成形を行なうにあたっては、まず上下型１１，１
２を開いた状態でポット１に熱硬化性樹脂などの粉粒状
の成形材料２を供給し、図１（ａ）のように上下型１
１，１２を型締めする。成形金型１０の上下型１１，１
２には加熱手段が設けられており、ポット１内に供給さ
れた成形材料２は加熱されるようになっている。このよ
うにポット１内に成形材料２を供給した後、注入プラン
ジャー３を図１（ｂ）のように前進させる。

【００１７】ここで、注入プランジャー３はポット１に
成形材料２が供給されてからキャビティ５に成形材料が
注入されるまで一定の力で前進するように、注入プラン
ジャー３に作用する加圧を制御するようにしてある。ま
たこのように注入プランジャー３が前進する初期の段階
では、調圧プランジャー６には注入プランジャー３の力
よりも大きな力が作用するように制御されている。従っ
て、図１（ｂ）のように注入プランジャー３が前進して
も調圧プランジャー６は後退せず、ポット１内の成形材
料２は注入プランジャー３と調圧プランジャー６の間で
加圧圧縮される。成形材料２をこのように圧縮すること
によって、粉粒体の成形材料２の粒子間の空気は追い出
されることになる。成形材料２の粒子間から追い出され
た空気は、下型１１と上型１２のパーティングラインの
クリアランスや、注入プランジャー３とポット１内周の
間のクリアランスなどを通して排出される。またこのと
き、ランナー４の開口部７は調圧プランジャー６の側面
で閉じられているので、成形材料２は注入プランジャー
３の加圧力でランナー４へと押し出されることはない。

【００１８】ポット１内の成形材料２を加圧圧縮する際
の加圧はポット１内圧力が１００〜３００ｋｇｆ／ｃｍ
² 以上になるようにするのが好ましく、加圧力が不足す
る場合には電動モータや油圧ポンプなどの別の出力源を
用いて調圧プランジャー６を加圧し、ポット１内圧力を
得ることができるようにしてある。尤も、成形材料２を
加圧してタブレットを成形する場合は、成形材料２に熱
履歴が加わることを防ぐために高温による加熱をしない
で加圧を行なっており、１５００ｋｇｆ／ｃｍ ² 以上の
高圧で加圧する必要があるが、本発明のように成形金型
１０で成形材料２を加圧圧縮する場合、成形材料２は成
形金型１０内で加熱され若干可塑化された状態になって
いるために、上記のような１００〜３００ｋｇｆ／ｃｍ
² 以上程度の圧力で成形材料２を圧縮することが可能に
なるものである。このように、従来のような高圧で圧縮
する必要がないため、成形金型１０の寿命が長くなるも
のである。

【００１９】上記のように成形材料２を圧縮した後、調
圧プランジャー６への力を解除するように制御されるよ
うになっている。そして注入プランジャー３が一定の力
で前進すると、力を解除されて無圧となった調圧プラン
ジャー６は、スプリング等の調圧部材による弾発力を受
けながら注入プランジャー３の力で後退し、図１（ｃ）
のようにランナー４の開口部７が開口される。この時点
では、ポット１内の成形材料２は加熱と加圧によって溶
融状態になっており、このようにランナー４の開口部７
が開口されると、注入プランジャー３による加圧でポッ
ト１内の成形材料２は開口部７からランナー４に流入
し、ランナー４を通ってキャビティ５に注入される。こ
のとき、スプリング等の調圧部材による弾発力を受けな
がら調圧プランジャー６が後退することによって、ポッ
ト１内の圧力は所定の一定圧力に調整され、一定の圧力
で成形材料２をキャビティ５に注入させることができ
る。また、調圧プランジャー６の後退位置を制御するこ
とによって、開口部７の開口断面積を調整し、ポット１
からランナー４へ流れる成形材料２を調整して成形条件
の最適化を行なうことができるものである。

【００２０】そして注入プランジャー３の先端が上下型
１１，１２のパーティングライン面から少し（１ｍｍ程
度）突出するまで注入プランジャー３を前進させた後、
注入プランジャー３の前進を停止させる。注入プランジ
ャー３の前進がこのように停止されると、調圧プランジ
ャー６に注入プランジャー３の力よりも小さな力が加わ
って前進するように制御されている。調圧プランジャー
６はランナー４の開口部７を閉じない範囲で前進するよ
うにしてあり、図１（ｄ）のように調圧プランジャー６
で成形材料２を加圧し、調圧ポット１３内に残留する成
形材料２をキャビティ５へと送り出し、キャビティ５へ
の成形材料２の注入が完了する。このように最終段階で
調圧プランジャー６を前進させて成形材料２をキャビテ
ィ５へ注入させるようにすることによって、成形材料２
の注入の最終段階に至るまでほぼ一定の注入速度（ほぼ
一定の樹脂圧力）で成形材料２をキャビティ５に注入す
ることができるものである。

【００２１】このように、キャビティ５に成形材料２を
注入するにあたって、成形材料２の粒子間の空気は上記
のように圧縮して追い出されているので、この空気が混
入されたままキャビティ５に成形材料２が充填されるこ
とはない。ここで、キャビティ５に成形材料２を注入す
る際に、真空装置でキャビティ５内の空気を抜くように
すれば、空気の混入を防ぐ効果を一層高く得ることがで
きるものである。

【００２２】上記のようにキャビティ５に注入した後、
キャビティ５内で成形材料２を硬化させる。成形材料２
には上記のように空気が混入されていないので、成形品
にボイド不良等が発生することを未然に防ぐことができ
るものである。この硬化の際には、図１（ｄ）に鎖線で
示すように注入プランジャー３を後退させておいてもよ
い。硬化が完了した後、上下型１１，１２を型開きし、
エジェクターピン１４でキャビティ５内の成形品を突き
出して、成形品を成形金型１０から取り出すことができ
る。このとき上記のように注入プランジャー３の先端が
上下型１１，１２のパーティングライン面から少し突出
させるようにしてあるので、カルの材料ロスを低減する
ことができるものである。

【００２３】尚、上記の例では図１（ｃ）の工程のよう
に、注入プランジャー３を前進させる際の力で調圧プラ
ンジャー６が後退してランナー４の開口部７が開口され
るようにしたが、調圧プランジャー６を強制的に後退さ
せてランナー４の開口部７が開口させるようにしてもよ
い。また、上記のトランスファー成形で半導体の封止成
形等を行なうことができるが、フレームをインサートし
て半導体の封止成形を行なうにあたって、長尺のフープ
材を連続して送りながら行なう連続成形や、短冊フレー
ムを用いて行なう成形など、任意の方式に対応して成形
を行なうことができるものである。尚、本発明において
粉粒状の成形材料２には、ベレットやミニタブレット状
のものも含むものである。

【００２４】また、上記の図１の例では、調圧ポット１
３の径をポット１の径よりも大きく形成すると共に調圧
プランジャー６の径を注入プランジャー３の径よりも大
きく形成するようにしてあるが、図３の例では、ポット
１の径を調圧ポット１３の径よりも大きく形成すると共
に注入プランジャー３の径を調圧プランジャー６の径よ
りも大きく形成するようにしてある。その他の構成は、
上型１２のスリーブ１２ａを上下駆動自在にした他は、
図１のものとほぼ同じように形成してあり、この図３の
成形装置においても、上記と同様に成形を行なうことが
できる。

【００２５】すなわち、まず図３（ａ）のように調圧プ
ランジャー６とともにスリーブ１２ａを下降させてスリ
ーブ１２ａでランナー４の開口部７を閉じた状態でポッ
ト１に粉粒状の成形材料２を供給し、次いで注入プラン
ジャー３を図３（ｂ）のように前進させる。このとき調
圧プランジャー６には注入プランジャー３の力よりも大
きな力が作用しているので調圧プランジャー６は後退せ
ず、ポット１内の成形材料２は注入プランジャー３と調
圧プランジャー６の間で加圧圧縮され、粉粒体の成形材
料２の粒子間の空気が追い出される。このように成形材
料２を圧縮した後、調圧プランジャー６への力を解除
し、小さい力に切り換えると共に、スリーブ１２ａを上
昇させてランナー４の開口部７を開く。そして注入プラ
ンジャー３が一定の力で前進すると、力を解除された調
圧プランジャー６は注入プランジャー３の力で後退し、
図３（ｃ）のように注入プランジャー３による加圧でポ
ット１内の成形材料２は開口部７からランナー４に流入
し、ランナー４を通ってキャビティ５に注入される。こ
のとき、調圧プランジャー６は低圧の反発力を受けなが
ら後退するために、ポット１内の圧力は所定の一定圧力
に調整され、一定の圧力で成形材料２をキャビティ５に
注入させることができる。そして注入プランジャー６が
所定位置まで前進して停止すると、調圧プランジャー６
は注入プランジャー３の力よりも小さな力で前進し、調
圧ポット１３内に残留する成形材料２をキャビティ５へ
と送り出してキャビティ５への成形材料２の注入が完了
する。

【００２６】

【発明の効果】上記のように本発明に係る樹脂成形方法
は、下型に上面を開口させて形成されるポットと、ポッ
トに進退駆動自在に設けられる注入プランジャーと、注
入プランジャーと対向して上型に進退駆動自在に設けら
れる調圧プランジャーとを具備し、ポット内に供給され
た粉粒状の成形材料を調圧プランジャーと、調圧プラン
ジャーと径が異なる注入プランジャーとの間で加圧して
圧縮し、この後、圧縮されたポット内の成形材料を注入
プランジャーによってポットからランナーを介してキャ
ビティに注入するようにしたので、ポット内に供給され
た成形材料をまず注入プランジャーで圧縮して粉粒体の
成形材料の粒子間の空気を追い出した後に、キャビティ
に成形材料を注入する成形を行なうことができるもので
あり、ボイド等の不良が発生することなく高品質な成形
を行なうことができると共に、成形の際に粉粒体の成形
材料の粒子間の空気を追い出すことができる結果、成形
材料を予めタブレットに成形して用いる必要がなくな
り、低コスト化が可能になるものである。

【００２７】また請求項２の発明は、ポット内に供給さ
れた粉粒状の成形材料を注入プランジャーとランナーを
閉じた状態の調圧プランジャーとの間で加圧して圧縮
し、この後、調圧プランジャーを後退させてランナーを
開くと共に注入プランジャーによってポット内の成形材
料をランナーからキャビティに注入するようにしたの
で、ランナーを開閉するための機構などを用いて成形装
置を特別な構造に形成する必要なく、成形装置の注入プ
ランジャーと調圧プランジャーを利用して、ポット内の
粉粒状の成形材料を圧縮することができるものである。

【００２８】また請求項３の発明は、ポットへの成形材
料の供給からキャビティへの成形材料の注入に至るまで
所定の力でポット内の成形材料を加圧するように注入プ
ランジャーを制御すると共に、調圧プランジャーに注入
プランジャーの力より大きい力を作用させてポット内に
供給された粉粒状の成形材料を注入プランジャーとの間
で圧縮し、次いで調圧プランジャーの力を解除して注入
プランジャーの力で調圧プランジャーを後退させると共
に調圧プランジャーの後退によって開かれるランナーか
ら成形材料がキャビティに注入されるように調圧プラン
ジャーを制御するようにしたので、成形装置の注入プラ
ンジャーと調圧プランジャーの加圧の制御によって、成
形装置を特別な構造に形成する必要なく、ポット内の粉
粒状の成形材料を圧縮し、次いでキャビティに成形材料
を注入する成形を行なうことができるものである。

【００２９】また請求項４の発明は、調圧プランジャー
の後退後に注入プランジャーの力よりも小さい力でポッ
ト内の成形材料を加圧してキャビティへの成形材料の注
入が完了するように、調圧プランジャーを制御するよう
にしたので、キャビティへの成形材料の注入の最終段階
では調圧プランジャーによって成形材料をキャビティに
注入することができ、成形材料の注入の最終段階に至る
までほぼ一定の注入速度で成形材料をキャビティに注入
することができるものである。

【００３０】次に、本発明に係る樹脂成形装置は、下型
に上面を開口させて形成され粉粒状の成形材料が供給さ
れるポットと、ポットの一端に開口するランナーと、ラ
ンナーに連通するキャビティと、ポットに進退駆動自在
に設けられ前進してポット内の成形材料を加圧する注入
プランジャーと、注入プランジャーと対向して上型に進
退駆動自在に設けられると共に注入プランジャーと異な
る径に形成され、前進位置でランナーのポットへの開口
部を閉じると共に後退位置でランナーの開口部を開かせ
る調圧プランジャーとを具備し、注入プランジャーはポ
ットへの成形材料の供給からキャビティへの成形材料の
注入に至るまで所定の力でポット内の成形材料を加圧す
るように制御されると共に、調圧プランジャーに注入プ
ランジャーの力より大きい力を作用させてポット内に供
給された粉粒状の成形材料を注入プランジャーとの間で
圧縮し、次いで調圧プランジャーの力を解除して注入プ
ランジャーの力で後退すると共に調圧プランジャーの後
退によって開口されるランナーから成形材料がキャビテ
ィに注入されるように、調圧プランジャーは制御されて
成ることを特徴とするものであり、成形装置の注入プラ
ンジャーと調圧プランジャーの加圧の制御によって、成
形装置を特別な構造に形成する必要なく、ポット内の粉
粒状の成形材料を圧縮し、次いでキャビティに成形材料
を注入する成形を行なうことができるものであり、しか
も注入プランジャーと調圧プランジャーを異なる径に形
成することによって、注入プランジャーが挿着されるポ
ットの内径と調圧プランジャーが挿着される調圧ポット
の内径も異なるように形成され、ポットの中心と調圧ポ
ットの中心を正確に一致させずとも、型締めした際にポ
ットと調圧ポットを合致させることができ、型の加工精
度を高く要求されることがなくなるものである。

【００３１】また請求項６の発明は、調圧プランジャー
の径を注入プランジャーの径よりも大きく形成するよう
にしたので、調圧プランジャーでランナーの開口部を閉
じる際にポットの開口を調圧プランジャーで閉塞するこ
とができるものであり、ポットとランナーとの間を調圧
プランジャーで完全に遮断することができるものであ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の一例を示すものであり、
（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）はそれぞれ各工程の成
形金型の断面図である。

【図２】同上の成形装置を示す縮小した断面図である。

【図３】本発明の実施の形態の他例を示すものであり、
（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）はそれぞれ各工程の成
形金型の断面図である。

【図４】従来例を示すものであり、（ａ），（ｂ），
（ｃ）はそれぞれ各工程の成形金型の断面図である。

【符号の説明】

１ ポット ２ 成形材料 ３ 注入プランジャー ４ ランナー ５ キャビティ ６ 調圧プランジャー ７ 開口部

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−251211（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−251635（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−28042（ＪＰ，Ａ) 特開 昭64−59925（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B29C 45/00 - 45/84 H01L 21/56

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下型に上面を開口させて形成されるポッ
   トと、ポットに進退駆動自在に設けられる注入プランジ
   ャーと、注入プランジャーと対向して上型に進退駆動自
   在に設けられる調圧プランジャーとを具備し、ポット内
   に供給された粉粒状の成形材料を調圧プランジャーと、
   調圧プランジャーと径が異なる注入プランジャーとの間
   で加圧して圧縮し、この後、圧縮されたポット内の成形
   材料を注入プランジャーによってポットからランナーを
   介してキャビティに注入することを特徴とする樹脂成形
   方法。
2. 【請求項２】 ポット内に供給された粉粒状の成形材料
   を注入プランジャーとランナーを閉じた状態の調圧プラ
   ンジャーとの間で加圧して圧縮し、この後、調圧プラン
   ジャーを後退させてランナーを開くと共に注入プランジ
   ャーによってポット内の成形材料をランナーからキャビ
   ティに注入するようにしたことを特徴とする請求項１に
   記載の樹脂成形方法。
3. 【請求項３】 ポットへの成形材料の供給からキャビテ
   ィへの成形材料の注入に至るまで所定の力でポット内の
   成形材料を加圧するように注入プランジャーを制御する
   と共に、調圧プランジャーに注入プランジャーの力より
   大きい力を作用させてポット内に供給された粉粒状の成
   形材料を注入プランジャーとの間で圧縮し、次いで調圧
   プランジャーの力を解除して注入プランジャーの力で調
   圧プランジャーを後退させると共に調圧プランジャーの
   後退によって開かれるランナーから成形材料がキャビテ
   ィに注入されるように調圧プランジャーを制御すること
   を特徴とする請求項２に記載の樹脂成形方法。
4. 【請求項４】 調圧プランジャーの後退後に注入プラン
   ジャーの力よりも小さい力でポット内の成形材料を加圧
   してキャビティへの成形材料の注入が完了するように、
   調圧プランジャーを制御することを特徴とする請求項２
   に記載の樹脂成形方法。
5. 【請求項５】 下型に上面を開口させて形成され粉粒状
   の成形材料が供給されるポットと、ポットの一端に開口
   するランナーと、ランナーに連通するキャビティと、ポ
   ットに進退駆動自在に設けられ前進してポット内の成形
   材料を加圧する注入プランジャーと、注入プランジャー
   と対向して上型に進退駆動自在に設けられると共に注入
   プランジャーと異なる径に形成され、前進位置でランナ
   ーのポットへの開口部を閉じると共に後退位置でランナ
   ーの開口部を開かせる調圧プランジャーとを具備し、注
   入プランジャーはポットへの成形材料の供給からキャビ
   ティへの成形材料の注入に至るまで所定力でポット内の
   成形材料を加圧するように制御されると共に、調圧プラ
   ンジャーに注入プランジャーの力より大きい力を作用さ
   せてポット内に供給された粉粒状の成形材料を注入プラ
   ンジャーとの間で圧縮し、次いで調圧プランジャーの力
   を解除して注入プランジャーの力で後退すると共に調圧
   プランジャーの後退によって開口されるランナーから成
   形材料がキャビティに注入されるように、調圧プランジ
   ャーは制御されて成ることを特徴とする樹脂成形装置。
6. 【請求項６】 調圧プランジャーの径を注入プランジャ
   ーの径よりも大きく形成して成ることを特徴とする請求
   項５に記載の樹脂成形装置。