JP2987990B2 - クリーンルーム空調システム - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルーム空調シ
ステムに関し、特に外気をダクトにより直接設備内に導
入するクリーンルーム空調システムに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のクリーンルームは、例えば半導体
製造ラインにおいては、作業者が実際にウェハーを取り
扱う清浄度の高い作業エリアと、設備やポンプ類を設置
してある特に高い清浄度を必要としないメインテナンス
エリアとに区分し、各々の空調系統を分割し、各々の雰
囲気が混合しないようにしており、そこに供給される外
気は外気調和機より、ダクトを介して直接循環空調機又
はサプライプレナムに供給され、クリーンルーム内に供
給される空気は、クリーンルームの上流側で循環空気と
混合されていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】最近の半導体生産設備
はインザウォール型になっており、設備の大部分はメイ
ンテナンスエリアに設置され、実際にウェハーが処理さ
れる部分もメインテナンスエリアに位置している。この
ため、通常設備内には、設備上面に設置されたＨＥＰＡ
フィルタを通してメインテナンスエリアの雰囲気を導入
することとなり、メインテナンスエリアの雰囲気がウェ
ハーに触れてしまう結果となり、ウェハープロセス上の
問題となって歩留り低下の原因となる。

【０００４】本発明の目的は、ウェハープロセス上の歩
留りを向上させるクリーンルーム空調システムを提供す
ることにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るクリーンルーム空調システムは、外気
供給系と、循環空調系とを有するクリーンルーム空調シ
ステムであって、外気供給系は、外気調和機と、外気供
給ダクトと、フィルタとを有するものであり、外気調和
機は、外気を取り入れ、温湿度調整を行って供給するも
のであり、外気供給ダクトは、外気調和機と、高い清浄
度を要求する生産設備との間に配管され、直接生産設備
に外気を供給するものであり、フィルタは、生産設備に
外気供給ダクトより供給される外気を濾過するものでで
あり、循環空調系は、循環空調機と、サプライプレナム
と、フィルタと、リターンエアプレナムとを有するもの
であり、循環空調機は、循環エアを供給するものであ
り、サプライプレナムは、循環空調機と高い清浄度が要
求されないエリア部との間に配管されたものであり、フ
ィルタは、サプライプレナムよりエリア部に供給される
エアを濾過するものであり、リターンエアプレナムは、
エリア部からのエアに生産設備からのエアを取込んで循
環空調機に戻すものである。また高い清浄度を要求する
エリア部と高い清浄度が要求されないエリア部とに分離
し、前記高い清浄度を要求するエリア部に前記生産設備
を設置したものである。

【０００６】

【作用】本発明のクリーンルーム空調システムは、外気
調和機から生産設備にフレッシュエアを直接導入するた
めのダクトとＨＥＰＡフィルタを有しており、メインテ
ナンス室内の雰囲気を生産設備内に混入することを防止
したものである。

【０００７】

【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。

【０００８】（実施例１）図１は、本発明の実施例１を
示す断面図である。

【０００９】図において、本実施例は、外気供給系と、
循環空調系とを有する。外気供給系は、外気調和機８
と、外気供給ダクト９と、設備用ＨＥＰＡフィルタ１０
とを有するものである。外気調和機８は、外気を取り入
れ、温湿度調整を行って供給するものであり、外気供給
ダクト９は、外気調和機８と、清浄度の高い生産設備１
１との間に配管されたものである。フィルタ１０は、生
産設備１１に外気供給ダクト９より供給される外気を濾
過するものである。

【００１０】循環空調系は、循環空調機２と、サプライ
プレナム３と、ＨＥＰＡフィルタ４と、リターンエアプ
レナム６とを有するものである。循環空調機２は、循環
エアを供給するものであり、サプライプレナム３は、循
環空調機２と高い清浄度が要求されないメインテナンス
エリア１との間に配管されたものであり、フィルタ４
は、サプライプレナム３よりメインテナンスエリア１に
供給されるエアを濾過するものであり、リターンエアプ
レナム６は、メインテナンスエリア１からのエアに生産
設備１１からのエアを取込んで循環空調機２に戻すもの
である。

【００１１】メインテナンスエリア１へ流れる空気は、
循環空調機２により、サプライプレナム３，ＨＥＰＡフ
ィルタ４を通り供給され、パンチングフロア５ａを通
り、リターンエアプレナム６により循環空調機２へ戻
る。

【００１２】生産設備１１に供給される外気は、まず外
気導入口７より外気調和機８に導入され、温湿度調整さ
れ、外気供給ダクト９により設備用ＨＥＰＡフィルタ１
０を介し直接生産設備１１に供給される。生産設備１１
を通過した空気は生産設備１１直下のパンチングフロア
５ｂを通り、リターンエアプレナム６内で外気としてメ
インテナンスエリア１のリターンエアと混合され、循環
空調機２へ導入される。これにより、生産設備１１内を
流れる空気は全て新鮮外気ということになり、メインテ
ナンスエリア１の雰囲気が混入することが無くなる。

【００１３】（実施例２）図２は、本発明の実施例２を
示す断面図である。

【００１４】本実施例においては、メインテナンスエリ
アをメインテナンス室２１と設備室２２との２つに分け
てある。

【００１５】メインテナンス室２１に供給される空気
は、循環空調機２３により、サプライエアプレナム２
４，ＨＥＰＡフィルタ２５ａを通して供給され。パンチ
ングフロア２６ａを通過し、リターンエアプレナム２７
により循環空調機２３に戻る。

【００１６】設備室２２に導入される空気は、全て外気
導入口２８から導入され外気調和機２９により温湿度調
整された外気であり、外気ダクト３０を介し外気サプラ
イチャンバ３１に導入され、ＨＥＰＡフィルタ２５ｂを
通過して設備室２２に入る。そして、生産設備３３内の
空気取入れ口３２より外気が生産設備３３を通過し、パ
ンチングフロア２６ｂを通して、リターンエアプレナム
２７に入り、メインテナンス室２１のリターンエアに混
合される。このようにメインテナンス室２１と設備室２
２とに分けることにより、外気を設備に導入する際の構
造が前述の実施例１よりも簡素化される。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように本発明は外気調和機
から外気をダクトにより直接生産設備に導入し、メイン
テナンスエリア室内の雰囲気を生産設備内に混入するこ
とが無くなったために、メインテナンスエリア内を漂う
プロセス上有害な雰囲気がウェハーに接触しないという
効果を有する。また、設備内を通過した空気は外気とし
てリターンエアプレナムにてメインテナンスクリーンル
ーム内の循環空気とミックスされるので、空調バランス
を崩すことがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１を示す断面図である。

【図２】本発明の実施例２を示す断面図である。

【符号の説明】

１ メインテナンスエリア ２ 循環空調機 ３ サプライエアプレナム ４ ＨＥＰＡフィルタ ５ａ，５ｂ パンチングフロア ６ リターンエアプレナム ７ 外気導入口 ８ 外気調和機 ９ 外気供給ダクト １０ 設備用ＨＥＰＡフィルタ １１ 生産設備 ２１ メインテナンス室 ２２ 設備室 ２３ 循環空調機 ２４ サプライエアプレナム ２５ａ，２５ｂ ＨＥＰＡフィルタ ２６ａ，２６ｂ パンチングフロア ２７ リターンエアプレナム ２８ 外気導入口 ２９ 外気調和機 ３０ 外気ダクト ３１ 外気サプライチャンバ ３２ 設備内空気取入口 ３３ 生産設備

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外気供給系と、循環空調系とを有するク
   リーンルーム空調システムであって、 外気供給系は、外気調和機と、外気供給ダクトと、フィ
   ルタとを有するものであり、 外気調和機は、外気を取り入れ、温湿度調整を行って供
   給するものであり、 外気供給ダクトは、外気調和機と、高い清浄度を要求す
   る生産設備との間に配管され、直接生産設備に外気を供
   給するものであり、 フィルタは、生産設備に外気供給ダクトより供給される
   外気を濾過するものでであり、 循環空調系は、循環空調機と、サプライプレナムと、フ
   ィルタと、リターンエアプレナムとを有するものであ
   り、 循環空調機は、循環エアを供給するものであり、 サプライプレナムは、循環空調機と高い清浄度が要求さ
   れないエリア部との間に配管されたものであり、 フィルタは、サプライプレナムよりエリア部に供給され
   るエアを濾過するものであり、 リターンエアプレナムは、エリア部からのエアに生産設
   備からのエアを取込んで循環空調機に戻すものであるこ
   とを特徴とするクリーンルーム空調システム。
2. 【請求項２】 高い清浄度を要求するエリア部と高い清
   浄度が要求されないエリア部とに分離し、前記高い清浄
   度を要求するエリア部に前記生産設備を設置したことを
   特徴とする請求項１に記載のクリーンルーム空調システ
   ム。