JP2980885B2 - 浅い条痕を有する磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
浅い条痕を有する磁気記録媒体およびその製造方法Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、主に磁気記録媒
体の製造方法に関するもので、特に浅い条痕を有する磁
気記録媒体およびその製造方法に関するものである。こ
の磁気記録媒体の製造方法は、２回の微研磨処理を施し
て、ディスク基板上の突起物や酸化物層を取り除き、夾
角を成した浅い条痕を円周方向に複数本形成することに
よって、レーザーで条痕を形成するさいの寸法・形状の
制御を容易にし、同時に磁性材料層の特性向上を図るも
のである。
体の製造方法に関するもので、特に浅い条痕を有する磁
気記録媒体およびその製造方法に関するものである。こ
の磁気記録媒体の製造方法は、２回の微研磨処理を施し
て、ディスク基板上の突起物や酸化物層を取り除き、夾
角を成した浅い条痕を円周方向に複数本形成することに
よって、レーザーで条痕を形成するさいの寸法・形状の
制御を容易にし、同時に磁性材料層の特性向上を図るも
のである。
【０００２】
【従来の技術】ハードディスクドライブは、磁気記録媒
体を利用してデータを保存する装置であり、今日情報産
業において幅広く応用されている。ハードディスクドラ
イブは主に、同心円を描いた複数本のトラックを有する
回転可能な磁気ディスクと、トラック上のデータを読み
書きするための磁気ヘッドと、磁気ヘッドを載せたキャ
リヤーに連結し、磁気ヘッドを必要なトラックの上まで
運ぶためのアクセスアームとからなる。
体を利用してデータを保存する装置であり、今日情報産
業において幅広く応用されている。ハードディスクドラ
イブは主に、同心円を描いた複数本のトラックを有する
回転可能な磁気ディスクと、トラック上のデータを読み
書きするための磁気ヘッドと、磁気ヘッドを載せたキャ
リヤーに連結し、磁気ヘッドを必要なトラックの上まで
運ぶためのアクセスアームとからなる。
【０００３】典型的なハードディスクドライブは、デー
タを保存するための磁気ディスクを複数枚有し、各ディ
スク間はスペーサリングで隔離され、駆動モーターで回
転するハブ上に積み重ねられている。また、ディスクを
保護膜で覆うことにより、磁気ヘッドの読み書き操作に
障害が生じるのを防いでいる。
タを保存するための磁気ディスクを複数枚有し、各ディ
スク間はスペーサリングで隔離され、駆動モーターで回
転するハブ上に積み重ねられている。また、ディスクを
保護膜で覆うことにより、磁気ヘッドの読み書き操作に
障害が生じるのを防いでいる。
【０００４】図１は、公知の磁気記録媒体と磁気ヘッド
を真上から見た図で、ハードディスクドライブの基本構
造とその連結関係を示すためのものである。図中示され
ているように、ディスク基板２０は、例えば燐化ニッケ
ル（ＮｉＰ）をメッキしたアルミニウム板などで、中心
部には回転軸を通すための穴が設けられている。
を真上から見た図で、ハードディスクドライブの基本構
造とその連結関係を示すためのものである。図中示され
ているように、ディスク基板２０は、例えば燐化ニッケ
ル（ＮｉＰ）をメッキしたアルミニウム板などで、中心
部には回転軸を通すための穴が設けられている。
【０００５】ディスク基板２０上で外周２０２に接する
環状区域２１は、磁性体の層で覆われ環状のデータ保存
区域２１を構成している。磁気ヘッド２７は、キャリヤ
ー２４の上に設置され、アクセスアーム２６は、磁気ヘ
ッド２７をディスク基板２０上の指定区域まで運べるよ
うキャリヤー２４に連結されている。一方、ディスク基
板２０上で内周２０１に接する狭い環状区域２３は、磁
気ヘッド２７の着地ゾーン２３を形成している。
環状区域２１は、磁性体の層で覆われ環状のデータ保存
区域２１を構成している。磁気ヘッド２７は、キャリヤ
ー２４の上に設置され、アクセスアーム２６は、磁気ヘ
ッド２７をディスク基板２０上の指定区域まで運べるよ
うキャリヤー２４に連結されている。一方、ディスク基
板２０上で内周２０１に接する狭い環状区域２３は、磁
気ヘッド２７の着地ゾーン２３を形成している。
【０００６】一般のハードディスクドライブでは、磁気
ヘッドを載せたキャリヤーはいわゆる空気軸受スライダ
ーである。空気軸受スライダーは、ディスクの回転速度
が操作速度に達すると、ディスク上方に形成された空気
による軸受けの上に浮かび、ディスクに触れることなく
データを読み書きする。
ヘッドを載せたキャリヤーはいわゆる空気軸受スライダ
ーである。空気軸受スライダーは、ディスクの回転速度
が操作速度に達すると、ディスク上方に形成された空気
による軸受けの上に浮かび、ディスクに触れることなく
データを読み書きする。
【０００７】一般的に、ディスク基板２０の耐摩耗性を
高め、同時に安定した磁性特性を維持するためには、デ
ィスク基板２０の表面を可能な限り平坦にしなければな
らない。しかしながら、表面が極端に平坦であると、今
度は静摩擦が大きすぎるという問題が生じる恐れがあ
る。すなわち、ディスク基板２０の着地ゾーン２３上に
一定時間停止した磁気ヘッド２７を、ディスク基板２０
を再び回転させて離陸させるさいの動作が非常に困難に
なる。程度が軽ければ磁気ヘッド２７の離陸に要する時
間が長くなり、深刻だと磁気ヘッド２７が損傷して離陸
できなくなる。
高め、同時に安定した磁性特性を維持するためには、デ
ィスク基板２０の表面を可能な限り平坦にしなければな
らない。しかしながら、表面が極端に平坦であると、今
度は静摩擦が大きすぎるという問題が生じる恐れがあ
る。すなわち、ディスク基板２０の着地ゾーン２３上に
一定時間停止した磁気ヘッド２７を、ディスク基板２０
を再び回転させて離陸させるさいの動作が非常に困難に
なる。程度が軽ければ磁気ヘッド２７の離陸に要する時
間が長くなり、深刻だと磁気ヘッド２７が損傷して離陸
できなくなる。
【０００８】通常磁気ヘッド２７は、着地ゾーン２３に
停止している時のみディスク基板２０と接触するので、
上述した静摩擦が多きすぎるという状態を避けるため
に、着地ゾーン２３にわざと条痕を掘って表面の粗さを
増すことにより磁気ヘッド２７とディスク基板２０の間
の静摩擦を小さくする方法が、現在広く使用されてい
る。
停止している時のみディスク基板２０と接触するので、
上述した静摩擦が多きすぎるという状態を避けるため
に、着地ゾーン２３にわざと条痕を掘って表面の粗さを
増すことにより磁気ヘッド２７とディスク基板２０の間
の静摩擦を小さくする方法が、現在広く使用されてい
る。
【０００９】磁気記録媒体の製造方法の詳細は、米国特
許第５，１０９，７８１号および第５，０６２，０２１
号に記されている。おおよその流れは図２のフローチャ
ートのとおりである。
許第５，１０９，７８１号および第５，０６２，０２１
号に記されている。おおよその流れは図２のフローチャ
ートのとおりである。
【００１０】まず、ステップ１０で示されるように、例
えば燐化ニッケル（ＮｉＰ）をメッキしたアルミニウム
板などのディスク基板を提供する。その後、ステップ１
２で示されように、前記のディスク基板に機械的研磨を
施し、表面を可能な限り平坦化する。
えば燐化ニッケル（ＮｉＰ）をメッキしたアルミニウム
板などのディスク基板を提供する。その後、ステップ１
２で示されように、前記のディスク基板に機械的研磨を
施し、表面を可能な限り平坦化する。
【００１１】次に、ステップ１４で示されるように、レ
ーザーパルスによってディスク基板の内側環状区域に条
痕を打ち出し、磁気ヘッドの着地ゾーンとする。この着
地ゾーンの表面の粗さは他の区域の粗さよりも大きい。
その後、ステップ１６に示されるように、ディスク基板
を磁性材料層で覆う。さらにその後、ステップ１８に示
されるように、ディスク基板上に保護膜層を形成する。
ーザーパルスによってディスク基板の内側環状区域に条
痕を打ち出し、磁気ヘッドの着地ゾーンとする。この着
地ゾーンの表面の粗さは他の区域の粗さよりも大きい。
その後、ステップ１６に示されるように、ディスク基板
を磁性材料層で覆う。さらにその後、ステップ１８に示
されるように、ディスク基板上に保護膜層を形成する。
【００１２】上述した公知の磁気記録媒体の製造方法で
は、レーザーで着地ゾーンに条痕を形成することによっ
て、静摩擦が大きすぎるという問題を回避し、ハードデ
ィスクドライブの質を改善している。しかし、メーカー
によってディスク基板の表面の粗さは異なり、１回の機
械的研磨を施してもやはり異常な突起物が残る。
は、レーザーで着地ゾーンに条痕を形成することによっ
て、静摩擦が大きすぎるという問題を回避し、ハードデ
ィスクドライブの質を改善している。しかし、メーカー
によってディスク基板の表面の粗さは異なり、１回の機
械的研磨を施してもやはり異常な突起物が残る。
【００１３】さらに、ディスク基板を空気中に長時間放
置すると、空気中の酸素と反応してディスク表面に酸化
物層が形成され易くなり、ディスク基板の表面平坦度お
よび表層元素組成に影響を及ぼす。その結果、レーザー
エネルギーは作用する材質によって異なる反応特性を示
すため、レーザーで条痕を形成するさいの寸法・形状の
制御が困難になる。
置すると、空気中の酸素と反応してディスク表面に酸化
物層が形成され易くなり、ディスク基板の表面平坦度お
よび表層元素組成に影響を及ぼす。その結果、レーザー
エネルギーは作用する材質によって異なる反応特性を示
すため、レーザーで条痕を形成するさいの寸法・形状の
制御が困難になる。
【００１４】ここで図３は、図２で述べた製造方法を利
用して製造された磁気記録媒体の局部立体図である。図
３から明らかなように、ディスク基板の表面には突起物
が沢山あり、表面の平坦度を下げているうえ、レーザー
で形成された条痕の寸法や形状にも変化が生じている。
用して製造された磁気記録媒体の局部立体図である。図
３から明らかなように、ディスク基板の表面には突起物
が沢山あり、表面の平坦度を下げているうえ、レーザー
で形成された条痕の寸法や形状にも変化が生じている。
【００１５】このほか、図３に示されているように、機
械的研磨によってディスク基板表面に生じた不規則なキ
ズが、後続の磁性材料層の形成過程に影響を及ぼし、例
えば飽和保磁力（Ｈｃｒ）や残留磁気（Ｍｒｔ）などの
磁性特性を予定範囲内に制御するのを困難にしている。
械的研磨によってディスク基板表面に生じた不規則なキ
ズが、後続の磁性材料層の形成過程に影響を及ぼし、例
えば飽和保磁力（Ｈｃｒ）や残留磁気（Ｍｒｔ）などの
磁性特性を予定範囲内に制御するのを困難にしている。
【００１６】
【発明が解決しようとする課題】以上の問題点に鑑み、
本願発明の１つの目的は、磁気記録媒体の製造方法を提
改良することにある。この改良された磁気記録媒体の製
造方法は、公知の磁気記録媒体の製造方法の欠点を改善
することによって、レーザーで条痕を形成するさいの寸
法・形状の制御を容易にし、かつ磁性材料層の特性を高
めるものである。
本願発明の１つの目的は、磁気記録媒体の製造方法を提
改良することにある。この改良された磁気記録媒体の製
造方法は、公知の磁気記録媒体の製造方法の欠点を改善
することによって、レーザーで条痕を形成するさいの寸
法・形状の制御を容易にし、かつ磁性材料層の特性を高
めるものである。
【００１７】本願発明の他の目的は、磁気記録媒体の構
造の改良にある。この改造された磁気記録媒体は、浅い
条痕が規則的に分布しており、ディスク基板表面の平坦
度を改善することによって、レーザーで条痕を形成する
操作を容易にし、磁性材料層の特性を高める。
造の改良にある。この改造された磁気記録媒体は、浅い
条痕が規則的に分布しており、ディスク基板表面の平坦
度を改善することによって、レーザーで条痕を形成する
操作を容易にし、磁性材料層の特性を高める。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本願発明の第１の目的を
達成するため、浅い条痕が形成された磁気記録媒体の製
造方法を提供する。この製造方法は主に、レーザーで条
痕を形成する前に微研磨処理を２回実施し、ディスク基
板を平坦化させると同時に浅い条痕を規則的に分布させ
る。この方法は、 （ａ）ディスク基板を提供する工程と、 （ｂ）前記ディスク基板に第１回目の微研磨処理を施し
て、前記ディスク基板上の突起物や酸化物層を取り除
き、交差することにより夾角をなす複数本の浅い条痕
を、円周方向に形成する工程と、 （ｃ）前記ディスク基板に第２回目の微研磨処理を施し
て、第１回目の微研磨処理のさいに新たに生じた前記デ
ィスク表面上の鋭い突起物を取り除き、平坦な表面を得
る工程と、 （ｄ）レーザーパルスによる処理を施して、前記ディス
ク基板の内側環状区域内に条痕を複数本形成し、データ
の読み書きを行う磁気ヘッドの着地ゾーンとする工程
と、 （ｅ）ディスク基板の表面を覆う磁性材料層を形成する
工程と、を備える。
達成するため、浅い条痕が形成された磁気記録媒体の製
造方法を提供する。この製造方法は主に、レーザーで条
痕を形成する前に微研磨処理を２回実施し、ディスク基
板を平坦化させると同時に浅い条痕を規則的に分布させ
る。この方法は、 （ａ）ディスク基板を提供する工程と、 （ｂ）前記ディスク基板に第１回目の微研磨処理を施し
て、前記ディスク基板上の突起物や酸化物層を取り除
き、交差することにより夾角をなす複数本の浅い条痕
を、円周方向に形成する工程と、 （ｃ）前記ディスク基板に第２回目の微研磨処理を施し
て、第１回目の微研磨処理のさいに新たに生じた前記デ
ィスク表面上の鋭い突起物を取り除き、平坦な表面を得
る工程と、 （ｄ）レーザーパルスによる処理を施して、前記ディス
ク基板の内側環状区域内に条痕を複数本形成し、データ
の読み書きを行う磁気ヘッドの着地ゾーンとする工程
と、 （ｅ）ディスク基板の表面を覆う磁性材料層を形成する
工程と、を備える。
【００１９】本願発明のもう１つの目的を達成するた
め、浅い条痕が彫られた磁気記録媒体を提供する。この
磁気記録媒体は、ディスク基板と、前記ディスク基板の
表面を覆う磁性材料の層とを備える。前記ディスク基板
の内側環状区域上にはレーザーで条痕が複数本彫られ、
データを読み書きする磁気ヘッドの着地ゾーンを形成し
ており、且つ前記ディスク基板上のその他の区域には、
交差することにより夾角をなす複数本の浅い条痕が円周
方向に形成されており、その粗さはレーザーで形成する
条痕の粗さよりも小さく、かつ前記夾角は、ディスク基
板の内側環状区域（ＩＤ）で６〜８度、中間環状区域
（ＭＤ）で４〜６度、外側環状区域（ＯＤ）で２〜４度
である。
め、浅い条痕が彫られた磁気記録媒体を提供する。この
磁気記録媒体は、ディスク基板と、前記ディスク基板の
表面を覆う磁性材料の層とを備える。前記ディスク基板
の内側環状区域上にはレーザーで条痕が複数本彫られ、
データを読み書きする磁気ヘッドの着地ゾーンを形成し
ており、且つ前記ディスク基板上のその他の区域には、
交差することにより夾角をなす複数本の浅い条痕が円周
方向に形成されており、その粗さはレーザーで形成する
条痕の粗さよりも小さく、かつ前記夾角は、ディスク基
板の内側環状区域（ＩＤ）で６〜８度、中間環状区域
（ＭＤ）で４〜６度、外側環状区域（ＯＤ）で２〜４度
である。
【００２０】本願発明の好ましい実施の形態によると、
磁気記録媒体の製造方法のうち、第１回目の微研磨工程
は、ディスク基板を回転速度１５０ｒｐｍで右回りに回
転させる段階と、研磨ベルトで１ポンドの外力をディス
ク基板に加え、ディスク基板を振り幅２ｍｍで振動させ
る段階と、さらに粒子の直径が１μｍのダイヤモンド・
スラリーを注入して６秒間研磨する段階とからなる。第
２回目の微研磨工程は、ディスク基板を回転速度１５０
ｒｐｍで左回りに回転させる段階と、研磨ベルトで１ポ
ンドの外力をディスク基板に加え、ディスク基板を振り
幅２ｍｍで振動させる段階と、粒子の直径が１μｍのダ
イヤモンド・スラリーを注入して８秒間研磨する段階と
からなる。また、こうして製造された磁気記録媒体構造
の表面の粗さＲａは８〜１２Åである。
磁気記録媒体の製造方法のうち、第１回目の微研磨工程
は、ディスク基板を回転速度１５０ｒｐｍで右回りに回
転させる段階と、研磨ベルトで１ポンドの外力をディス
ク基板に加え、ディスク基板を振り幅２ｍｍで振動させ
る段階と、さらに粒子の直径が１μｍのダイヤモンド・
スラリーを注入して６秒間研磨する段階とからなる。第
２回目の微研磨工程は、ディスク基板を回転速度１５０
ｒｐｍで左回りに回転させる段階と、研磨ベルトで１ポ
ンドの外力をディスク基板に加え、ディスク基板を振り
幅２ｍｍで振動させる段階と、粒子の直径が１μｍのダ
イヤモンド・スラリーを注入して８秒間研磨する段階と
からなる。また、こうして製造された磁気記録媒体構造
の表面の粗さＲａは８〜１２Åである。
【００２１】
【発明の実施の形態】本願発明のその他の目的、特徴、
長所をより明確にするため、以下に好ましい実施の形態
を挙げ、図を参照しながら詳しく説明する。
長所をより明確にするため、以下に好ましい実施の形態
を挙げ、図を参照しながら詳しく説明する。
【００２２】本願発明の主な精神は、レーザーで条痕を
形成する前に微研磨処理を２回実施し、磁気記録媒体と
してのディスク基板を平坦化させるとともに、浅い条痕
を規則的に分布させることによって、レーザーで着地ゾ
ーンの条痕を形成する際の操作を容易にし、磁性材料層
の特性を高めることにある。以下、図４および図５に基
づき、本願発明による製造方法およびその構造の好まし
い実施例を説明する。
形成する前に微研磨処理を２回実施し、磁気記録媒体と
してのディスク基板を平坦化させるとともに、浅い条痕
を規則的に分布させることによって、レーザーで着地ゾ
ーンの条痕を形成する際の操作を容易にし、磁性材料層
の特性を高めることにある。以下、図４および図５に基
づき、本願発明による製造方法およびその構造の好まし
い実施例を説明する。
【００２３】図４は、本実施の形態におけるディスク基
板の製造方法に基づくフローチャートである。まず、ス
テップ５０に示されるように、例えば燐化ニッケル（Ｎ
ｉＰ）をメッキしたアルミニウム板などのディスク基板
を提供する。その後、ステップ５２Ａで示されるよう
に、上述したディスク基板に第１回目の微研磨処理を施
して、ディスク基板上の異常な突起物および酸化物層を
取り除き、表面を可能な限り平坦化させ、ディスク基板
表面上に交差することにより夾角をなす複数本の浅い条
痕を円周方向に形成する。この浅い条痕の粗さは、後に
レーザーによって彫られる条痕の粗さよりも小さい。
板の製造方法に基づくフローチャートである。まず、ス
テップ５０に示されるように、例えば燐化ニッケル（Ｎ
ｉＰ）をメッキしたアルミニウム板などのディスク基板
を提供する。その後、ステップ５２Ａで示されるよう
に、上述したディスク基板に第１回目の微研磨処理を施
して、ディスク基板上の異常な突起物および酸化物層を
取り除き、表面を可能な限り平坦化させ、ディスク基板
表面上に交差することにより夾角をなす複数本の浅い条
痕を円周方向に形成する。この浅い条痕の粗さは、後に
レーザーによって彫られる条痕の粗さよりも小さい。
【００２４】この微研磨処理は、その他の特殊機器の助
けを借りずとも、市販のテクスチャーイングマシン（例
えば、ＥＤＣ１８００など）のみを使用して完成するこ
とができる。
けを借りずとも、市販のテクスチャーイングマシン（例
えば、ＥＤＣ１８００など）のみを使用して完成するこ
とができる。
【００２５】例えば、まず、ディスク基板を回転速度１
５０ｒｐｍで右回りに回転させ、続いて研磨ベルトで１
ポンドの外力をディスク基板に加え、ディスク基板を振
り幅２ｍｍで振動させ、さらに粒子の直径が１μｍのダ
イヤモンド・スラリーを注入して６秒間研磨すればよ
い。
５０ｒｐｍで右回りに回転させ、続いて研磨ベルトで１
ポンドの外力をディスク基板に加え、ディスク基板を振
り幅２ｍｍで振動させ、さらに粒子の直径が１μｍのダ
イヤモンド・スラリーを注入して６秒間研磨すればよ
い。
【００２６】上記のように、研磨工程に振動を組み合わ
せるため、円周方向に彫られた浅い条痕の交差によっ
て、夾角が自然に形成される。本実施の形態に関してい
えば、ディスク基板の内側環状区域で６〜８度、中間環
状区域で４〜６度、外側環状区域で２〜４度である。な
お、内側環状区域は、図１において、ディスク基板のほ
ぼ着地ゾーン２３の領域に該当し、中間環状区域は、デ
ィスク基板のほぼデータ保存区域２１の内周２０１側の
領域に該当し、外側環状区域は、ディスク基板のほぼデ
ータ保存区域２１の外周２０２側の領域に該当する。
せるため、円周方向に彫られた浅い条痕の交差によっ
て、夾角が自然に形成される。本実施の形態に関してい
えば、ディスク基板の内側環状区域で６〜８度、中間環
状区域で４〜６度、外側環状区域で２〜４度である。な
お、内側環状区域は、図１において、ディスク基板のほ
ぼ着地ゾーン２３の領域に該当し、中間環状区域は、デ
ィスク基板のほぼデータ保存区域２１の内周２０１側の
領域に該当し、外側環状区域は、ディスク基板のほぼデ
ータ保存区域２１の外周２０２側の領域に該当する。
【００２７】次に、ステップ５２Ｂに示されるように、
上述したディスク基板に第２回目の微研磨処理を施す。
この微研磨処理はディスク基板を平らに整えることを目
的とするものである。第２回目の微研磨処理も第１回目
と同様、市販のテクスチャーイングマシンを使用して行
うことができる。
上述したディスク基板に第２回目の微研磨処理を施す。
この微研磨処理はディスク基板を平らに整えることを目
的とするものである。第２回目の微研磨処理も第１回目
と同様、市販のテクスチャーイングマシンを使用して行
うことができる。
【００２８】例えば、ディスク基板を回転速度１５０ｒ
ｐｍで左回りに回転させ、研磨ベルトで１ポンドの外力
をディスク基板に加え、ディスク基板を振り幅２ｍｍで
振動させ、さらに粒子の直径が１μｍのダイヤモンド・
スラリーを注入して８秒間研磨すればよい。このように
して、浅い条痕を有し且つ表面が平らに整えられたディ
スク基板を製造することができる。表面の粗さＲａは８
〜１２Åである。
ｐｍで左回りに回転させ、研磨ベルトで１ポンドの外力
をディスク基板に加え、ディスク基板を振り幅２ｍｍで
振動させ、さらに粒子の直径が１μｍのダイヤモンド・
スラリーを注入して８秒間研磨すればよい。このように
して、浅い条痕を有し且つ表面が平らに整えられたディ
スク基板を製造することができる。表面の粗さＲａは８
〜１２Åである。
【００２９】次に、ステップ５４で示されるように、デ
ィスク基板の内側環状区域内にレーザーパルスで複数本
の条痕を彫って粗い表面構造を形成し、ハードディスク
の磁気ヘッドの着地ゾーンとする。その後、ステップ５
６で示されるように、磁性材料層をディスク基板上に覆
いかぶせる工程を実施して、図５に示されるような条痕
１００を有する構造の磁気記録媒体が完成する。なお、
図５中においてはクレータ状のレーザ痕（laser textur
e ）１０１も図示されている。
ィスク基板の内側環状区域内にレーザーパルスで複数本
の条痕を彫って粗い表面構造を形成し、ハードディスク
の磁気ヘッドの着地ゾーンとする。その後、ステップ５
６で示されるように、磁性材料層をディスク基板上に覆
いかぶせる工程を実施して、図５に示されるような条痕
１００を有する構造の磁気記録媒体が完成する。なお、
図５中においてはクレータ状のレーザ痕（laser textur
e ）１０１も図示されている。
【００３０】図３に示される従来の技術の構造と比較す
ると、上述の第１および第２回目の微研磨処理によっ
て、ディスク基板表面上の異常な突起物を取り除けるだ
けでなく、空気中に長時間放置しておいたために形成さ
れた酸化物層をも同時に取り除くことができ、レーザー
で条痕を形成するさいの寸法・形状の制御が容易にな
る。
ると、上述の第１および第２回目の微研磨処理によっ
て、ディスク基板表面上の異常な突起物を取り除けるだ
けでなく、空気中に長時間放置しておいたために形成さ
れた酸化物層をも同時に取り除くことができ、レーザー
で条痕を形成するさいの寸法・形状の制御が容易にな
る。
【００３１】さらに、微研磨処理後に形成される複数本
の浅い条痕はすべて円周方向に規則的に分布しているの
で、ディスク基板表面の微細構成を改善することがで
き、その結果、後続の磁性材料層の形成工程における磁
性特性の向上を図ることが可能になる。
の浅い条痕はすべて円周方向に規則的に分布しているの
で、ディスク基板表面の微細構成を改善することがで
き、その結果、後続の磁性材料層の形成工程における磁
性特性の向上を図ることが可能になる。
【００３２】図６〜図８は、表面分析および磁性特性測
定の結果を表したもので、本願発明の技術によって達成
できる効果・機能を一層詳しく説明することができる。
まず、図６はオージェ・スペクトルを利用してディスク
基板の表面部分の各元素の含有量を測定した結果で、微
研磨処理を経たか否かが表面元素組成に与える影響を説
明したものである。
定の結果を表したもので、本願発明の技術によって達成
できる効果・機能を一層詳しく説明することができる。
まず、図６はオージェ・スペクトルを利用してディスク
基板の表面部分の各元素の含有量を測定した結果で、微
研磨処理を経たか否かが表面元素組成に与える影響を説
明したものである。
【００３３】図６中において、白色の長方形は微研磨処
理を経ていない場合、黒色の長方形は微研磨処理を経た
場合の結果を表している。図６から明らかなように、微
研磨処理を経た後のディスク基板表面の酸素元素含有量
は、微研磨処理を経ていない場合のほぼ２０％から１５
％前後にまで減少しており、微研磨処理によってディス
ク基板表面の酸化物層を確かに取り除かれている。
理を経ていない場合、黒色の長方形は微研磨処理を経た
場合の結果を表している。図６から明らかなように、微
研磨処理を経た後のディスク基板表面の酸素元素含有量
は、微研磨処理を経ていない場合のほぼ２０％から１５
％前後にまで減少しており、微研磨処理によってディス
ク基板表面の酸化物層を確かに取り除かれている。
【００３４】一方、図７および図８は残留磁気モーメン
ト測定器を利用して、それぞれ飽和保磁力（Ｈｃｒ）お
よび残留磁気（Ｍｒｔ）の変化を測定した結果を示す図
であ理、微研磨処理を経たか否かが磁性材料層の磁性特
性に与える影響を説明したものである。図７および図８
中、白色の長方形は微研磨処理を経ていない場合を、黒
色の長方形は微研磨処理を経た場合を表している。
ト測定器を利用して、それぞれ飽和保磁力（Ｈｃｒ）お
よび残留磁気（Ｍｒｔ）の変化を測定した結果を示す図
であ理、微研磨処理を経たか否かが磁性材料層の磁性特
性に与える影響を説明したものである。図７および図８
中、白色の長方形は微研磨処理を経ていない場合を、黒
色の長方形は微研磨処理を経た場合を表している。
【００３５】図７に示されているように、微研磨処理を
経ずに浅い条痕を形成した磁気記録媒体の場合、中間環
状区域上あらゆる角度で磁性材料層の飽和保磁力を測定
した結果、全て２５５０（Ｏｅ）より小さく、２６００
±５０（Ｏｅ）の最低水準に達しなかった。微研磨処理
を経た本願発明によるディスク基板の場合、磁性材料層
の飽和保磁力は明らかに増加し、２６００±５０（Ｏ
ｅ）の最低水準を満たすことができる。
経ずに浅い条痕を形成した磁気記録媒体の場合、中間環
状区域上あらゆる角度で磁性材料層の飽和保磁力を測定
した結果、全て２５５０（Ｏｅ）より小さく、２６００
±５０（Ｏｅ）の最低水準に達しなかった。微研磨処理
を経た本願発明によるディスク基板の場合、磁性材料層
の飽和保磁力は明らかに増加し、２６００±５０（Ｏ
ｅ）の最低水準を満たすことができる。
【００３６】一方、図８に示されているように、微研磨
処理を経ずに浅い条痕を形成した磁気記録媒体の場合、
中間環状区域上あらゆる角度で磁性材料層の残留磁気を
測定した結果、全て０．７３（ｍｅｍｕ／ｃｍ2 ）より
小さく、０．７５±０．０５（ｍｅｍｕ／ｃｍ2 ）の最
低水準に達しなかった。微研磨処理を経た本願発明によ
るディスク基板の場合、磁性材料層の残留磁気は明らか
に増加し、前記した最低水準を満たすことができる。
処理を経ずに浅い条痕を形成した磁気記録媒体の場合、
中間環状区域上あらゆる角度で磁性材料層の残留磁気を
測定した結果、全て０．７３（ｍｅｍｕ／ｃｍ2 ）より
小さく、０．７５±０．０５（ｍｅｍｕ／ｃｍ2 ）の最
低水準に達しなかった。微研磨処理を経た本願発明によ
るディスク基板の場合、磁性材料層の残留磁気は明らか
に増加し、前記した最低水準を満たすことができる。
【００３７】
【発明の効果】以上より、本願発明の浅い条痕を有する
磁気記録媒体の製造方法およびその構造は、以下のよう
な長所を有する。
磁気記録媒体の製造方法およびその構造は、以下のよう
な長所を有する。
【００３８】（１）レーザーで条痕を形成する前に、デ
ィスク基板に微研磨処理を２回施すため、ディスク基板
上の異常な突起物や酸化物層を取り除くことができる。
その結果、ディスク基板表面の平坦度を高め、レーザー
で条痕を形成する際の形状・寸法の制御を容易にする。
ィスク基板に微研磨処理を２回施すため、ディスク基板
上の異常な突起物や酸化物層を取り除くことができる。
その結果、ディスク基板表面の平坦度を高め、レーザー
で条痕を形成する際の形状・寸法の制御を容易にする。
【００３９】（２）２回の微研磨処理によって形成され
た複数本の浅い条痕は、円周方向に規則的に分布してい
るため、ディスク基板表面の微細構成を改善することが
できる。その結果、磁性材料層を形成する工程に有利と
なり、磁気記録媒体の磁性特性を高めることができる。
た複数本の浅い条痕は、円周方向に規則的に分布してい
るため、ディスク基板表面の微細構成を改善することが
できる。その結果、磁性材料層を形成する工程に有利と
なり、磁気記録媒体の磁性特性を高めることができる。
【００４０】以上、好ましい実施の形態との関連のもと
で本願発明の説明をおこなったが、これらの実施の形態
の内容は本願発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨の
ものではなく、当該技術に熟知した者であれば、本願発
明の精神と領域を脱しない範囲で変更や潤色を加えられ
るべきである。したがって本願発明の保護範囲は特許請
求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が
含まれることが意図される。
で本願発明の説明をおこなったが、これらの実施の形態
の内容は本願発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨の
ものではなく、当該技術に熟知した者であれば、本願発
明の精神と領域を脱しない範囲で変更や潤色を加えられ
るべきである。したがって本願発明の保護範囲は特許請
求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が
含まれることが意図される。
【図１】磁気記録媒体と磁気ヘッドを真上から見た図で
ある。
ある。
【図２】公知の磁気記録媒体の製造方法のフローチャー
トである。
トである。
【図３】図２の従来技術における磁気記録媒体の製造方
法によって製造された磁気記録媒体の局部立体図であ
る。
法によって製造された磁気記録媒体の局部立体図であ
る。
【図４】本願発明の好ましい実施の形態における磁気記
録媒体の製造工程のフローチャートである。
録媒体の製造工程のフローチャートである。
【図５】図４の磁気記録媒体の製造方法によって製造さ
れた磁気記録媒体の局部立体図である。
れた磁気記録媒体の局部立体図である。
【図６】ディスク基板が微研磨処理を経たか否かが表面
の元素組成に与える影響を示した図である。
の元素組成に与える影響を示した図である。
【図７】ディスク基板の中間環状区域上の各角度におけ
る磁性材料層の飽和保磁力（Ｈｃｒ）の、ディスク基板
が微研磨処理を経たか否かによる変化を示した図であ
る。
る磁性材料層の飽和保磁力（Ｈｃｒ）の、ディスク基板
が微研磨処理を経たか否かによる変化を示した図であ
る。
【図８】ディスク基板の中間環状区域上の各角度におけ
る磁性材料層の残留磁気（Ｍｒｔ）の、ディスク基板が
微研磨処理を経たか否かによる変化を示した図である。
る磁性材料層の残留磁気（Ｍｒｔ）の、ディスク基板が
微研磨処理を経たか否かによる変化を示した図である。
２０ ディスク基板 ２１ データ保存区域 ２３ 着地ゾーン ２４ キャリヤー ２６ アクセスアーム ２７ 磁気ヘッド １００ 条痕 １０１ レーザ痕 ２０１ ディスク基板の内周 ２０２ ディスク基板の外周
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−3657（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−96355（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−106538（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−330518（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/82 G11B 5/84 G11B 5/66
Claims (10)
- 【請求項１】 （ａ）ディスク基板を提供する工程と、 （ｂ）前記ディスク基板に第１回目の微研磨処理を施し
て、前記ディスク基板上の突起物や酸化物層を取り除
き、交差することにより夾角を成す複数本の浅い条痕
を、円周方向に形成する工程と、 （ｃ）前記ディスク基板に第２回目の微研磨処理を施し
て、第１回目の微研磨処理によって新たに生じたディス
ク表面上の鋭い突起物を取り除き、平坦な表面をうる工
程と、 （ｄ）レーザーパルスによる処理を施して、前記ディス
ク基板の内側環状区域内に条痕を複数本形成し、データ
の読み書きを行う磁気ヘッドの着地ゾーンとする工程
と、 （ｅ）前記ディスク基板の表面を覆う磁性材料層を形成
する工程と、 を備える、浅い条痕を有する磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項２】 前記工程（ａ）の前記ディスク基板は、
燐化ニッケル（ＮｉＰ）をメッキしたアルミニウム板を
含む、請求項１記載の浅い条痕を有する磁気記録媒体の
製造方法。 - 【請求項３】 前記工程（ｂ）の前記第１回目の微研磨
処理は、 前記ディスク基板を回転速度１５０ｒｐｍで右回りに回
転させる段階と、 研磨ベルトで１ポンドの外力を前記ディスク基板に加
え、前記ディスク基板を振り幅２ｍｍで振動させる段階
と、 粒子の直径が１μｍのダイヤモンド・スラリーを注入し
て６秒間研磨する段階と、 を含む、請求項１記載の浅い条痕を有する磁気記録媒体
の製造方法。 - 【請求項４】 前記工程（ｃ）の前記第２回目の微研磨
工程は、 前記ディスク基板を回転速度１５０ｒｐｍで左回りに回
転させる段階と、 研磨ベルトで１ポンドの外力を前記ディスク基板に加
え、前記ディスク基板を振り幅２ｍｍで振動させる段階
と、 粒子の直径が１μｍのダイヤモンド・スラリーを注入し
て８秒間研磨する段階と、 を含む、請求項１記載の浅い条痕を有する磁気記録媒体
の製造方法。 - 【請求項５】 前記工程（ｃ）を実施後の前記ディスク
表面の粗さＲａが８〜１２Åである、請求項１記載の浅
い条痕を有する磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項６】 前記円周方向の浅い条痕の夾角が、前記
ディスク基板の内側環状区域で６〜８度、中間環状区域
で４〜６度、外側環状区域で２〜４度である、請求項１
記載の浅い条痕を有する磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項７】 内側環状区域上にはレーザーによる条痕
が複数本彫られ、データを読み書きする磁気ヘッドの着
地ゾーンを形成しており、且つその他の区域には、交差
することにより夾角をなす複数本の条痕が円周方向に形
成されており、その粗さはレーザーで彫られた条痕より
も小さく、且つ前記夾角が、前記ディスク基板の内側環
状区域で６〜８度、中間環状区域で４〜６度、外側環状
区域で２〜４度であるような前記ディスク基板と、 前記ディスク基板の表面を覆う磁性材料層と、 を備える、浅い条痕を有する磁気記録媒体。 - 【請求項８】 前記ディスク基板が、燐化ニッケル（Ｎ
ｉＰ）をメッキしたアルミニウム板を含む、請求項７記
載の浅い条痕を有する磁気記録媒体。 - 【請求項９】 前記円周方向の浅い条痕が、２回の微研
磨処理によって形成される、請求項７記載の浅い条痕を
有する磁気記録媒体。 - 【請求項１０】 前記ディスク基板上で浅い条痕が彫ら
れた区域の粗さＲａが８〜１２Åである、請求項７記載
の浅い条痕を有する磁気記録媒体。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW86117315 | 1997-11-19 | ||
| TW086117315A TW363183B (en) | 1997-11-19 | 1997-11-19 | Manufacturing method and structure of magnetic recording media with light texture |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11161945A JPH11161945A (ja) | 1999-06-18 |
| JP2980885B2 true JP2980885B2 (ja) | 1999-11-22 |
Family
ID=21627257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10163390A Expired - Fee Related JP2980885B2 (ja) | 1997-11-19 | 1998-06-11 | 浅い条痕を有する磁気記録媒体およびその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6103339A (ja) |
| JP (1) | JP2980885B2 (ja) |
| TW (1) | TW363183B (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6335080B1 (en) * | 1999-01-04 | 2002-01-01 | Seagate Technology Llc | Magnetic disk media and disk drives utilizing polymeric disk substrates |
| US6403919B1 (en) * | 1999-03-01 | 2002-06-11 | Komag, Incorporated | Disk marking system |
| US7019924B2 (en) * | 2001-02-16 | 2006-03-28 | Komag, Incorporated | Patterned medium and recording head |
| US7147790B2 (en) * | 2002-11-27 | 2006-12-12 | Komag, Inc. | Perpendicular magnetic discrete track recording disk |
| US20050036223A1 (en) * | 2002-11-27 | 2005-02-17 | Wachenschwanz David E. | Magnetic discrete track recording disk |
| US8727832B2 (en) * | 2011-09-27 | 2014-05-20 | HGST Netherlands B.V. | System, method and apparatus for enhanced cleaning and polishing of magnetic recording disk |
| US20180263693A1 (en) | 2017-03-14 | 2018-09-20 | Covidien Lp | Surgical instruments incorporating light energy tissue treatment functionality |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5108781A (en) * | 1990-03-12 | 1992-04-28 | Magnetic Peripherals Inc. | Process for manufacturing selectively textured magnetic recording media |
| US5586040A (en) * | 1995-01-27 | 1996-12-17 | International Business Machines Corporation | Process and apparatus for controlled laser texturing of magnetic recording disk |
-
1997
- 1997-11-19 TW TW086117315A patent/TW363183B/zh active
-
1998
- 1998-01-06 US US09/003,187 patent/US6103339A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-06-11 JP JP10163390A patent/JP2980885B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW363183B (en) | 1999-07-01 |
| JPH11161945A (ja) | 1999-06-18 |
| US6103339A (en) | 2000-08-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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