JP2977592B2 - デバイス測定回路 - Google Patents
デバイス測定回路Info
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- JP2977592B2 JP2977592B2 JP2253799A JP25379990A JP2977592B2 JP 2977592 B2 JP2977592 B2 JP 2977592B2 JP 2253799 A JP2253799 A JP 2253799A JP 25379990 A JP25379990 A JP 25379990A JP 2977592 B2 JP2977592 B2 JP 2977592B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、DUTのI/Oピンに負荷回路を接続して、DU
TのＩモードとＯモードをリアルタイムで切り換え、DUT
の出力波形を判定するときに、Ｏモードのときだけ負荷
回路を有効にし、Ｉモードのときは負荷回路を無効にす
るデバイス測定回路についてのものである。
TのＩモードとＯモードをリアルタイムで切り換え、DUT
の出力波形を判定するときに、Ｏモードのときだけ負荷
回路を有効にし、Ｉモードのときは負荷回路を無効にす
るデバイス測定回路についてのものである。
［従来の技術］ 次に、従来技術によるデバイス測定回路の構成を第２
図により説明する。
図により説明する。
第２図の１はドライバ、２はスイッチ、３は比較器、
４はDUT、５は負荷回路である。
４はDUT、５は負荷回路である。
第２図の端子11には切換信号が入力され、ドライバ１
は電圧VIHと電圧VILを交互に出力する。
は電圧VIHと電圧VILを交互に出力する。
スイッチ２はドライバ１の出力を入力とし、Ｉモード
とＯモードを切り換える。Ｉモードはドライバ１からDU
T4に電圧を印加し、ＯモードはDUT4の出力波形を負荷回
路５により劣化させ、比較器３に入力し、試験をする。
スイッチ２の出力は、DUT4のI/Oピンに接続されてい
る。
とＯモードを切り換える。Ｉモードはドライバ１からDU
T4に電圧を印加し、ＯモードはDUT4の出力波形を負荷回
路５により劣化させ、比較器３に入力し、試験をする。
スイッチ２の出力は、DUT4のI/Oピンに接続されてい
る。
端子13は、負荷回路５を介してDUT4と接続されてお
り、端子13に負荷電圧VLが加えられている。
り、端子13に負荷電圧VLが加えられている。
次に、第２図でDUT4がＯモードの場合について説明す
る。
る。
DUT4がＯモードのとき、スイッチ２はオフであり、DU
T4には負荷回路５が接続されている。そして、負荷回路
５が接続された状態のDUT4の出力電圧を比較器３に入力
して、DUT4の出力波形を判定する。
T4には負荷回路５が接続されている。そして、負荷回路
５が接続された状態のDUT4の出力電圧を比較器３に入力
して、DUT4の出力波形を判定する。
次に、第２図でDUT4がＩモードの場合について説明す
る。
る。
DUT4がＩモードのとき、スイッチ２はオンであり、ド
ライバ１の出力電圧は図示を省略した切換回路により、
ドライバ信号が「Ｈ」レベルのときVIH、「Ｌ」レベル
のときVILをDUT4に印加する。このとき、ドライバ１の
出力には負荷回路５が接続されている。
ライバ１の出力電圧は図示を省略した切換回路により、
ドライバ信号が「Ｈ」レベルのときVIH、「Ｌ」レベル
のときVILをDUT4に印加する。このとき、ドライバ１の
出力には負荷回路５が接続されている。
［発明が解決しようとする課題］ 第２図では、ＩモードのときもDUT4には負荷回路５が
接続されており、負荷回路５がコンデンサ成分をもって
いる場合、DUT4に印加されるドライバ１の出力電圧波形
品質が負荷による周波数特性の劣化やインピーダンスの
ミスマッチによるリンギングの発生により劣化し、高速
レイトでのテストができないという問題がある。
接続されており、負荷回路５がコンデンサ成分をもって
いる場合、DUT4に印加されるドライバ１の出力電圧波形
品質が負荷による周波数特性の劣化やインピーダンスの
ミスマッチによるリンギングの発生により劣化し、高速
レイトでのテストができないという問題がある。
この発明は、ドライバ１の他に負荷回路５に第２のド
ライバを追加し、第２のドライバがドライバ１に同期し
てドライバ１の出力電圧振幅と同振幅の変圧振幅を負荷
回路５に印加するようにし、ＯモードからＩモードにリ
アルタイムに切り換えても、Ｉモード時にデバイスに入
力するドライバ波形の品質が劣下しないデバイス測定回
路の提供を目的とする。
ライバを追加し、第２のドライバがドライバ１に同期し
てドライバ１の出力電圧振幅と同振幅の変圧振幅を負荷
回路５に印加するようにし、ＯモードからＩモードにリ
アルタイムに切り換えても、Ｉモード時にデバイスに入
力するドライバ波形の品質が劣下しないデバイス測定回
路の提供を目的とする。
［課題を解決するための手段］ この目的を達成するため、この発明では、電圧VIHと
電圧VILを交互に出力するドライバ１と、ドライバ１の
出力を入力とし、DUT4への印加電圧をオン・オフし、Ｉ
モードとＯモードを切り換えるスイッチ２と、DUT4の出
力を入力とする比較器３と、DUT4に負荷を加える負荷回
路５と、負荷回路５を駆動するドライバ６とを備え、ス
イッチ２がオンのとき、ドライバ１の出力をDUT4に印加
するとともに、ドライバ１に同期してドライバ６がドラ
イバ１の出力電圧振幅と同振幅の電圧振幅を負荷回路５
に印加し、負荷回路５のコンデンサ成分を無効にする。
電圧VILを交互に出力するドライバ１と、ドライバ１の
出力を入力とし、DUT4への印加電圧をオン・オフし、Ｉ
モードとＯモードを切り換えるスイッチ２と、DUT4の出
力を入力とする比較器３と、DUT4に負荷を加える負荷回
路５と、負荷回路５を駆動するドライバ６とを備え、ス
イッチ２がオンのとき、ドライバ１の出力をDUT4に印加
するとともに、ドライバ１に同期してドライバ６がドラ
イバ１の出力電圧振幅と同振幅の電圧振幅を負荷回路５
に印加し、負荷回路５のコンデンサ成分を無効にする。
［作用］ 次に、この発明によるデバイス測定回路の構成を第１
図により説明する。
図により説明する。
第１図の６はドライバであり、その他は第２図と同じ
ものである。すなわち、第１図は第２図の負荷回路５に
ドライバ６を接続したものである。
ものである。すなわち、第１図は第２図の負荷回路５に
ドライバ６を接続したものである。
次に、DUT4がＯモードの場合について説明する。
スイッチ２をオフすると、ドライバ１の出力抵抗はハ
イインピーダンスとなる。
イインピーダンスとなる。
ドライバ６の出力電圧は切換信号によりハイレベルと
ローレベルを交互に負荷回路５に入力するが、スイッチ
２がオフのときは、ドライバの出力電圧はハイレベルに
保持し、第２図の端子13に印加している電圧と同じ負荷
電圧VLを負荷回路５に入力する。比較器３では、負荷回
路５が接続された状態のDUT4の出力電圧を判定する。
ローレベルを交互に負荷回路５に入力するが、スイッチ
２がオフのときは、ドライバの出力電圧はハイレベルに
保持し、第２図の端子13に印加している電圧と同じ負荷
電圧VLを負荷回路５に入力する。比較器３では、負荷回
路５が接続された状態のDUT4の出力電圧を判定する。
次に、DUT4がＩモードの場合について説明する。
スイッチ２をオンすると、ドライバ１の出力電圧が切
換信号により交互に「Ｈ」・「Ｌ」を切り換えて、DUT4
に印加される。
換信号により交互に「Ｈ」・「Ｌ」を切り換えて、DUT4
に印加される。
端子11から供給されるドライバ１の出力電圧は、第２
図と同じようにドライバ信号が「Ｈ」のときVIH、
「Ｌ」のときVILとする。また、端子12から供給される
ドライバ６の出力電圧は、ドライバ信号が「Ｈ」のとき
VL、「Ｌ」のとき｛VL−（VIH−VIL）｝に設定し、ドラ
イバ１の出力の「Ｈ」・Ｌ」に同期してドライバ６の
「Ｈ」・「Ｌ」を切り換えて出力する。ドライバ４の
「Ｌ」レベル電圧｛VL−（VIH−VIL）｝は、Ｉモードの
ときドライバ１がDUT4に印加する出力電圧の電圧振幅
（VIH−VIL）とドライバ６が負荷回路５に印加する出力
電圧の電圧振幅とは等しいことを意味している。
図と同じようにドライバ信号が「Ｈ」のときVIH、
「Ｌ」のときVILとする。また、端子12から供給される
ドライバ６の出力電圧は、ドライバ信号が「Ｈ」のとき
VL、「Ｌ」のとき｛VL−（VIH−VIL）｝に設定し、ドラ
イバ１の出力の「Ｈ」・Ｌ」に同期してドライバ６の
「Ｈ」・「Ｌ」を切り換えて出力する。ドライバ４の
「Ｌ」レベル電圧｛VL−（VIH−VIL）｝は、Ｉモードの
ときドライバ１がDUT4に印加する出力電圧の電圧振幅
（VIH−VIL）とドライバ６が負荷回路５に印加する出力
電圧の電圧振幅とは等しいことを意味している。
以上のように各端子に印加する電圧を設定し、端子11
に供給するドライバ信号と、端子12に供給するドライバ
信号を同じパターンと同じタイミングで動作させること
により、負荷回路５のコンデンサ成分はみかけ上無効に
なり、ドライバ１のDUT4に対する入力波形を劣下させる
ことなく、DUT4に印加することができる。
に供給するドライバ信号と、端子12に供給するドライバ
信号を同じパターンと同じタイミングで動作させること
により、負荷回路５のコンデンサ成分はみかけ上無効に
なり、ドライバ１のDUT4に対する入力波形を劣下させる
ことなく、DUT4に印加することができる。
［実施例］ 次に、第１図の各部波形図を第３図により説明する。
第３図アはスイッチ２の切換えタイミング波形であ
り、時間T0からT3がオフ、時間T3以降がオンである。つ
まり、時間T0からT3がＯモードになり、時間T3以降がＩ
モードになる。
り、時間T0からT3がオフ、時間T3以降がオンである。つ
まり、時間T0からT3がＯモードになり、時間T3以降がＩ
モードになる。
第３図イは端子11からドライバ１に供給されるドライ
バ信号の波形であり、第３図ウは端子12からドライバ６
に供給されるドライバ信号の波形である。第３図イ・ウ
とも時間T0からT4まで「Ｈ」パターンに固定しておき、
時間T4で「Ｌ」パターンに切り換え、さらに時間T5で
「Ｈ」パターンに切り換えている。
バ信号の波形であり、第３図ウは端子12からドライバ６
に供給されるドライバ信号の波形である。第３図イ・ウ
とも時間T0からT4まで「Ｈ」パターンに固定しておき、
時間T4で「Ｌ」パターンに切り換え、さらに時間T5で
「Ｈ」パターンに切り換えている。
第３図エはドライブ１の出力電圧波形であり、スイッ
チ２が第３図アの時間T0からT3の間はオフなので、時間
T0からT3の間はハイインピーダンスとなっている。時間
T3でスイッチ２がオンになると、ドライバ１は電圧VIH
を出力する。
チ２が第３図アの時間T0からT3の間はオフなので、時間
T0からT3の間はハイインピーダンスとなっている。時間
T3でスイッチ２がオンになると、ドライバ１は電圧VIH
を出力する。
次に、第３図イで端子11の信号は時間T4からT5の間が
「Ｌ」レベルになり、時間T5で再び「Ｈ」レベルになる
ので、ドライバ１の出力は時間T4でVILに切り換わり、
時刻T5でVIHに切り換わる。例えばVIHを2.5V、VILを0.5
Vとする。
「Ｌ」レベルになり、時間T5で再び「Ｈ」レベルになる
ので、ドライバ１の出力は時間T4でVILに切り換わり、
時刻T5でVIHに切り換わる。例えばVIHを2.5V、VILを0.5
Vとする。
第３図オはドライバ６の出力電圧波形であり、第３図
ウで時間T0からT4までは「Ｈ」レベルなので、ドライバ
６は電圧VLを出力し、時間T4からT5の間は「Ｌ」レベル
なので、時間T4でVL−（VIH−VIL）に切り換わり、時間
T5で再びVLに切り換わる。例えばVLを1.5V、VL−（VIH
−VIL）を−0.5Vとする。
ウで時間T0からT4までは「Ｈ」レベルなので、ドライバ
６は電圧VLを出力し、時間T4からT5の間は「Ｌ」レベル
なので、時間T4でVL−（VIH−VIL）に切り換わり、時間
T5で再びVLに切り換わる。例えばVLを1.5V、VL−（VIH
−VIL）を−0.5Vとする。
第３図イ・ウに示すように、ドライバ１の出力電圧と
ドライバ６の出力電圧を同じタイミングと同じパターン
で切り換えられる。
ドライバ６の出力電圧を同じタイミングと同じパターン
で切り換えられる。
スイッチ２がオンのとき、ドライバ１の出力が「Ｈ」
・「Ｌ」を切り換えながらDUT4に印加される。このと
き、ドライバ６がドライバ１の出力に対し常に一定の電
圧振幅で出力するので、負荷回路５の両端の電位差は常
に一定であるので、コンデンサ成分がみかけ上無効とな
り、DUT4にはドライバ１から高品質の波形を印加するこ
とができる。
・「Ｌ」を切り換えながらDUT4に印加される。このと
き、ドライバ６がドライバ１の出力に対し常に一定の電
圧振幅で出力するので、負荷回路５の両端の電位差は常
に一定であるので、コンデンサ成分がみかけ上無効とな
り、DUT4にはドライバ１から高品質の波形を印加するこ
とができる。
第３図カは、DUT4の測定ピンの出力波形であり、時刻
T0からT1の間はDUT4はハイインピーダンスである。時刻
T1でDUT4の出力波形は比較器３に印加される。このと
き、ドライバ６の出力はVLになり、DUT4の出力は、負荷
回路５により歪んだ波形となる とともに、電圧VOに達する。電圧VOは、例えば0Vとす
る。時刻T2でDUT4は再びハイインピーダンスとなる。
T0からT1の間はDUT4はハイインピーダンスである。時刻
T1でDUT4の出力波形は比較器３に印加される。このと
き、ドライバ６の出力はVLになり、DUT4の出力は、負荷
回路５により歪んだ波形となる とともに、電圧VOに達する。電圧VOは、例えば0Vとす
る。時刻T2でDUT4は再びハイインピーダンスとなる。
スイッチ２がオンとなり、Ｉモードとなった第３図ア
の時間T3では、負荷回路５のコンデンサ成分がドライバ
６の出力により無効となり、波形は歪むことなく、時間
T3からT5に示すようにドライバ１の動作に応じてDUT4に
印加される。
の時間T3では、負荷回路５のコンデンサ成分がドライバ
６の出力により無効となり、波形は歪むことなく、時間
T3からT5に示すようにドライバ１の動作に応じてDUT4に
印加される。
［発明の効果］ この発明によれば、ドライバ１の他の負荷回路５にド
ライバ６を追加し、ドライバ６がドライバ１に同期して
ドライバ１の出力電圧振幅と同振幅の電圧振幅を負荷回
路５に印加するようにしているので、ＯモードからＩモ
ードにリアルタイムに切り換えても、Ｉモード時にデバ
イスに入力するドライバ波形の品質が劣化せず、高速レ
イトで測定をすることができる。
ライバ６を追加し、ドライバ６がドライバ１に同期して
ドライバ１の出力電圧振幅と同振幅の電圧振幅を負荷回
路５に印加するようにしているので、ＯモードからＩモ
ードにリアルタイムに切り換えても、Ｉモード時にデバ
イスに入力するドライバ波形の品質が劣化せず、高速レ
イトで測定をすることができる。
第１図はこの発明によるデバイス測定回路の構成図、第
２図は従来技術によるデバイス測定回路の構成図、第３
図は第１図のタイムチャートである。 １……ドライバ、２……スイッチ、３……比較器、４…
…DUT、５……負荷回路、６……ドライバ。
２図は従来技術によるデバイス測定回路の構成図、第３
図は第１図のタイムチャートである。 １……ドライバ、２……スイッチ、３……比較器、４…
…DUT、５……負荷回路、６……ドライバ。
Claims (1)
- 【請求項１】電圧VIHと電圧VILを交互に出力する第１の
ドライバ（１）と、 第１のドライバ（１）の出力を入力とし、DUT（４）へ
の印加電圧をオン・オフし、ＩモードとＯモードを切り
換えるスイッチ（２）と、 DUT（４）の出力を入力とする比較器（３）と、 DUT（４）に負荷を加える負荷回路（５）と、 負荷回路（５）を駆動する第２のドライバ（６）とを備
え、 スイッチ（２）がオンのとき、第１のドライバ（１）の
出力をDUT（４）に印加するとともに、第１のドライバ
（１）に同期して第２のドライバ（６）が第１のドライ
バ１の出力電圧振幅と同振幅の電圧振幅を負荷回路
（５）に印加し、負荷回路（５）のコンデンサ成分を無
効にすることを特徴とするデバイス測定回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2253799A JP2977592B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | デバイス測定回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2253799A JP2977592B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | デバイス測定回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04131776A JPH04131776A (ja) | 1992-05-06 |
| JP2977592B2 true JP2977592B2 (ja) | 1999-11-15 |
Family
ID=17256316
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2253799A Expired - Lifetime JP2977592B2 (ja) | 1990-09-21 | 1990-09-21 | デバイス測定回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2977592B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5524540B2 (ja) | 2009-09-01 | 2014-06-18 | 株式会社東海理化電機製作所 | 電流センサ |
-
1990
- 1990-09-21 JP JP2253799A patent/JP2977592B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04131776A (ja) | 1992-05-06 |
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