JP2977421B2 - 水晶用研磨機のキャリア - Google Patents

水晶用研磨機のキャリア

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JP2977421B2 JP23918593A JP23918593A JP2977421B2 JP 2977421 B2 JP2977421 B2 JP 2977421B2 JP 23918593 A JP23918593 A JP 23918593A JP 23918593 A JP23918593 A JP 23918593A JP 2977421 B2 JP2977421 B2 JP 2977421B2
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幸博 増田
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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】水晶用研磨機のキャリアの孔形状
に関する。
【０００２】
【従来の技術】水晶用研磨機に使用するキャリアのワー
クを入れる孔が、多重環状に配置されている場合該環の
数に関係なく、全て同一孔形状で使用されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】水晶用研磨機に使用す
るキャリアのワークを入れる孔が、多重環状に配置され
ている場合該環の数に関係なく、従来通り全て同一孔形
状が使用されていると、キャリアの周囲に一番近い環を
成している孔の軌跡が一番長く、キャリアの中心近くな
る環を成している孔の軌跡は順次短くなる傾向にある。
この軌跡の長短は、即ワークの研磨量に関連する。キャ
リアの周囲に一番近い環を成している孔の研磨量が一番
多く、キャリアの中心近くなる環を成している孔の研磨
量は順次少なくなる。この様に環相互間で研磨量が異な
るため、水晶板の研磨後の厚みのバラツキが大きくな
り、再度厚みの修正を行わなければならない割合が多い
という課題があった。
【０００４】
【課題を解決する手段】課題を解決する手段として、水
晶用研磨機に使用するキャリアのワークを入れる孔が、
多重環状に配列されている場合おいて、各環を形成して
いる孔の形状が隣接する環相互間において、外側の環の
孔形状より内側の環の孔形状がより多角形にすることに
より、軌跡が短くなって研磨量が減少した分ワークの自
転回数を増やして研磨量を増すことにより、水晶板の研
磨後の厚みのバラツキが非常に小さくなり、再度厚みの
修正しなければならない割合が格段に少なくなった。特
に八角形において、優れた特性が得られた。
【０００５】
【作用】プラネタリウム・ラッピング方式の水晶用研磨
機に使用するキャリアのワークを入れる孔が、同心円状
に多重環状に配置されている場合、キャリアの周囲に一
番近い環を成している孔の軌跡が一番長く、キャリアの
中心近くなる環を成している孔の軌跡は順次短くなる傾
向にある。この軌跡の長短は、即ワークの研磨量に関連
する。キャリアの周囲に一番近い環を成している孔の研
磨量が一番多く、キャリアの中心近くなる環を成してい
る孔の研磨量は順次少なくなる。この様に環相互間で研
磨量が異なることを補正するために、キャリアのワーク
を入れる孔の形状の角数が多い方が中に入れたワークの
自転回数が多くなることを利用して、キャリアのワーク
を複数個の孔が、同心円状の多重環状にある場合、同心
円状の各環を形成している、ワークを入れる孔の形状か
隣接する環相互間で、外側の環の孔より内側の環の孔形
状がより多角形になる様にすることで、軌跡が短くなる
ことで研磨量が減った分をワークの自転回数を増やすこ
とで研磨量を増やす手法を用いて、ワーク全体の研磨量
の均一化を達成した。
【０００６】
【実施例】図１にプラネタリウム・ラッピング方式の研
磨機に使用するキャリア及びキャリア１のワークを入れ
る孔２の形状の一例を示す。キャリアのワークを入れる
孔は、外側の環を形成する孔は八角形とし、中側の環を
形成する孔は十角形とした。 実際の実験では、中心周
波数を１３．５ＭＨｚで行った結果良好な結果が得られ
た。他の周波数であっても結果は同様であった。
【０００７】図２に前記の本発明のキャリアを用いて研
磨した結果の一例を示す。図２（ａ）に本発明の外側の
環のワークを入れる孔を八角形、図２（ｂ）に中側の環
のワークを入れる孔を十角形にしたキャリアを用いて研
磨した結果であり、図３（ａ）に外側の環のワークを入
れる孔を八角形、図３（ｂ）に中側の環のワークを入れ
る孔も八角形にしたキャリアを用いて研磨した結果であ
る。水晶板を１３．５ＭＨｚに仕上げるべく研磨した場
合、図２（ａ）に示す様に外側の環のワークを入れる孔
を八角形にしたところに入れた水晶板の中心周波数を１
３．５ＭＨｚに設定すると１３．５ＭＨｚ±２０ｋＨｚ
に分布する。この時図２（ｂ）に示す様に中側の環のワ
ークを入れる孔を十角形にしたところに入れた水晶板の
周波数分布も１３．５ＭＨｚ±２０ｋＨｚに分布し、外
側の環にあるワークと同じ周波数と分布を示す。図２
（ｃ）に図２（ａ）と図２（ｂ）を合わせた分布を示
す。図２（ａ）と図２（ｂ）は同じなので、図２（ｃ）
も同じになり分布の拡がりは変わらない良好な結果が得
られている。
【０００８】図３に従来のキャリアを用いて研磨した結
果の一例を示す。水晶板を１３．５ＭＨｚに仕上げるべ
く研磨した場合、図３（ａ）に示す様に外側の環のワー
クを入れる孔を八角形にしたところに入れた水晶板の中
心周波数を１３．５ＭＨｚに設定すると１３．５ＭＨｚ
±２０ｋＨｚに分布する。これは、本発明の場合と同じ
である。しかし図２（ｂ）に示す様に中側の環のワーク
を入れる孔も八角形であるから、ここに入れた水晶板の
周波数分布は１３．４５ＭＨｚ±２０ｋＨｚに分布し、
外側の環にあるワークの中心周波数より５０ｋＨｚ低い
周波数を中心に分布することを示している。図３（ｃ）
に図３（ａ）と図３（ｂ）を合わせた分布を示す。図３
（ａ）と図３（ｂ）では，分布幅は同じでも３（ｂ）の
方の中心周波数が５０ｋＨｚ低く移行しているため、図
３（ｃ）では分布の拡がりが＋２０ｋＨｚ−６０ｋＨｚ
と幅で２倍になっただけでなく低い方に分布が著しく拡
がり、結果は良くない。
【０００９】説明では、キャリアのワークを入れる孔の
環を二重で行っているが、環は多くてもかまわない。例
えば、前記の延長線上で三重の環を考えた場、外側の環
を構成するワークを入れる孔を八角形とし、中の環を構
成するワークを入れる孔を十角形とし、内側の環を構成
するワークを入れる孔を十二角形にすると、二重の環の
場合とほぼ同等の結果が得られた。また、この実験には
５．２φの丸板を使用したが、他の大きさまたは形状に
も適用できる。
【００１０】図１では、キャリヤの外周にキャリアを回
転または固定するために外周の歯５が存在しているが省
略している。また、ワークを入れる孔も、位置のみ丸で
示し、それも環状に並んでいることの一部を示した。
【発明の効果】本発明により、水晶板の研磨後の周波数
のバラツキが非常に小さくなり、厚みの再修正しなけれ
ばならない割合が格段に少なくなり、歩留りが向上した
ことにより、水晶板研磨の工数が削減されコストダウン
ができた。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のキャリアの平面図
【図２】本発明のキャリアを用いた研磨結果を示すグラ
フ。
【図３】従来のキャリアを用いた研磨結果を示すグラ
フ。
【符号の説明】
１ キャリア ２ ワークを入れる孔 ３ ワークを入れる孔の形成する外側の環 ４ ワークを入れる孔の形成する内側の環

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ワークを入れる複数個の孔が、同心円の多
    重環状に配列されている水晶用研磨機に使用するキャリ
    アにおいて、該同心円の各環を形成している該孔の形状
    が隣接する環の相互間で、外側の環を形成している孔の
    形状の角数より、内側の環を形成している孔の形状の角
    数が多いことを特徴とする水晶用研磨機のキャリア。
  2. 【請求項２】ワークを入れる複数個の孔が、同心円の二
    重環状に配列されている水晶用研磨機に使用するキャリ
    アにおいて、該二重環のうち外側の環を形成している孔
    の形状が八角形であり、且つ内側の環を形成している孔
    の形状が十角形であることを特徴とする水晶用研磨機の
    キャリア。
  3. 【請求項３】ワークを入れる複数個の孔が、同心円の三
    重環状に配列されている水晶用研磨機に使用するキャリ
    アにおいて、該三重環のうち外側の環を形成している孔
    の形状が八角形であり、且つ中側の環を形成している孔
    の形状が十角形であり、更に内側の環を形成している孔
    の形状が十二角形であることを特徴とする水晶用研磨機
    のキャリア。
JP23918593A 1993-08-31 1993-08-31 水晶用研磨機のキャリア Expired - Lifetime JP2977421B2 (ja)

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JPH07328917A JPH07328917A (ja) 1995-12-19
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