JP2977359B2 - 電子部品用試験装置 - Google Patents

電子部品用試験装置

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JP2977359B2
JP2977359B2 JP4028207A JP2820792A JP2977359B2 JP 2977359 B2 JP2977359 B2 JP 2977359B2 JP 4028207 A JP4028207 A JP 4028207A JP 2820792 A JP2820792 A JP 2820792A JP 2977359 B2 JP2977359 B2 JP 2977359B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は電子部品用試験装置に関
する。さらに詳しくは、半導体装置などの電子部品をシ
ュートで連続的に搬送しながら、搬送途中で前記半導体
装置を鉛直降下させて測定台に接続し、電気特性を測定
する電子部品用試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来よりICなどの半導体装置の製造工
程において、半導体装置を搬送しながら電気的試験を行
っている。具体的には、半導体装置をシュートで連続的
に搬送しながら測定台の上方に到達した半導体装置を、
順次搬送ラインの途中に設けられた昇降手段により降下
させて測定台の電極部に接続することにより、電気的試
験を行っている。この半導体装置は常に一定の場所で降
下させるが、この種の搬送ラインでは、同じ外形でも特
性が異なったり、外形の異なる(リードの位置が異な
る)多機種の半導体装置が共通のラインで搬送される。
そのため、前に搬送された機種とリードの配置が異なる
機種の半導体装置が搬送されてきたとき、これに適合す
る機能を有する測定台と交換したり、半導体装置の前面
は同じ場所でもリードの位置がずれて、測定台の位置を
再調整する必要がある。
【0003】従来のこのような半導体装置のリードと測
定台の電極部との位置合わせは、図5に示すように、板
状で枠を形成したホルダ60を用いて行われている。この
位置合わせをするには、ホルダ60に設けられた孔61を基
準に半導体装置(図示していないがホルダ60の上方に位
置する)とホルダ60の孔61とを目視で合わせ、ホルダ60
の鍔62をねじで固定し、つぎに測定台20を水平方向に動
かして測定台20の電極部21とホルダ60の孔61とが一致す
るように調整し、そののち測定台20を持ち上げて測定台
20の電極部21をホルダ60の孔61にはめ合わせることによ
り行っている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のこの種
の電子部品用試験装置においては、上下関係にある物を
板状のホルダを介して目視で相互に位置合わせしている
ため、相互の位置合わせが非常に困難で調整に時間を要
するという問題がある。とくに測定台は種々の電気測定
回路や機器が組み込まれており、非常に大型で重量が重
く、正確に位置合わせすることが困難である。
【0005】また測定台の高さも電子部品のリードが丁
度測定台の電極部と接続するような高さに調整しなけれ
ばならないが、その調整も困難でロットの最初の数個は
リードを変形させたり、接触が不充分で正確に測定でき
ないばあいがあるという問題がある。
【0006】さらに、最近の電子部品は小型化されてお
り、たとえば半導体装置においては、リード幅が0.1mm
位、リード間ピッチも0.3mm 位と、非常に小型で狭ピッ
チ化してきている。したがって、測定台との位置合わせ
が充分にできていないと半導体装置のリードを曲げた
り、接触不良を起し易いという問題がある。
【0007】本発明はこのような状況に鑑み、電子部品
と測定台との電極部の接続を容易に調整できる電子部品
用試験装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明による電子部品用
試験装置は、電子部品を連続的に搬送しながら搬送・途
中で前記電子部品を測定台に接続し電気特性を測定する
電子部品用試験装置であって、前記電子部品のリードと
前記測定台の電極とがソケットホルダを介して接続さ
れ、該ソケットホルダは前記電子部品のリードと前記測
定台の電極の接続を仲介するソケットと、該ソケットの
下側にテーパ状に形成され前記測定台の電極部を前記ソ
ケットに誘導できるガイド穴を有すると共に、水平方向
に移動し前記電子部品のリードの位置に合わせて固定で
きるように形成され、前記測定台の電極部が前記ガイド
穴に沿って前記ソケットに接続されるように前記測定台
が水平、鉛直方向の微動調整装置を有することを特徴と
するものである。
【0009】
【作用】本発明によれば、ソケットホルダーに電子部品
のリードと測定台の電極の接続を仲介するソケットを設
け、かつ前記ソケットの下側にテーパを形成して測定台
の電極を容易にソケットに誘導できるガイド穴を設けて
いるため、製品の形状が変って測定台を再調整するばあ
いにも、まずソケットホルダの水平位置を電子部品が下
降する位置に調整して固定したのち、測定台の電極部を
ソケットホルダのガイド穴に合わせ、水平方向および鉛
直方向に微動させれば測定台の電極部がガイド穴のテー
パに沿って誘導され、ソケットの下部に接続される。
【0010】すなわち、小さいソケットホルダの水平方
向の位置調整をして固定すれば、測定台の位置調整はソ
ケットホルダのガイド穴に沿って容易にできる。また、
品種が変っても形状が変らなければ、ソケットホルダは
動かさないで、測定台を交換して同様に位置調整を行
う。その状態で測定台を固定しておけば、半導体装置を
搬送ラインから自動的におろすだけでソケットホルダの
ソケットに接続され、測定台の電極に接続される。
【0011】
【実施例】つぎに図面を参照しながら本発明の電子部品
用試験装置(以下、試験装置という)の実施例の説明を
する。
【0012】図1は本発明の試験装置の一実施例を示す
ソケットホルダの斜視図、図2は図1の側面図、図3は
本発明の試験装置の一実施例を示す、半導体装置を測定
台上の電極に接続するときの状態を示した説明図、図4
は半導体装置をソケットホルダを介して測定台に接続し
た状態の平面説明図である。
【0013】本発明の試験装置に用いられるソケットホ
ルダ10は、図1〜2に示すように測定台20上の電極21に
連結しうるソケット11と、このソケット11の下部の端子
12の周囲から下面に向かって拡がるようにテーパ状に形
成された斜面13を有するガイド穴14と、固定台に固定す
るため接続用孔15が形成された鍔部16とから形成されて
いる。このソケット11は、上部に半導体装置のリードと
接続するための接続穴17が設けられており、半導体装置
はソケット11を介して測定台20の電極部21に接続される
ようになっている。
【0014】またガイド穴14は、ソケット11の下端部の
周囲から測定台20の電極部21の形状に合わせて下面に向
かって相似的に広がった形状になっており、たとえば断
面が四角状のすりばち形の穴に形成されている。
【0015】このガイド穴14に測定台20の電極部21が挿
入されると、電極部21の端部とガイド穴14の斜面13が当
接して電極部21をソケット11の底面へ誘導して、正確に
端子12および電極部21の接続がなされる。また、鍔部16
には、固定台に取り付けるために長孔15が穿設されてい
る。
【0016】つぎに図3〜4により本発明の試験装置の
測定台を交換したり位置調整をするときの方法の具体例
を説明する。
【0017】測定台20上には連続的に半導体装置40を搬
送するための搬送ライン30が設けられており、搬送ライ
ン30の搬送レール31のうち測定場所でのレール32、すな
わちソケットホルダ10の直上の部分のレール32は昇降可
能に設けられている。搬送ライン30上を搬送される半導
体装置40は、レール32の位置に到達すると、レール32と
一緒にソケットホルダ10の位置まで下降する。ソケット
ホルダ10を固定台50に沿って動かし、半導体装置40のリ
ード41がソケットホルダ10のソケット11の接続穴17と一
致し、挿入できる位置でボルト18により固定する。
【0018】つぎに、測定台20を水平方向並びに鉛直方
向に動かして、測定台20の電極部21をガイド穴14の底面
の広い部分に挿入する。つぎに、測定台20を水平方向並
びに上下方向に微動させて、ソケットホルダ10のガイド
穴14の斜面13に当接し、測定台20はソケット11の底面の
端子の位置に一致する方向へ誘導されて、正確にソケッ
トホルダ10のソケット11の端子12が測定台の電極部21の
接続穴22に挿入されて、電気的に接続される。このよう
にしてソケット10および測定台20が電気的に接続され、
この状態で測定台20も固定することにより、搬送される
半導体装置40の位置とソケットホルダ10および測定台20
の位置が完全に位置合わせされる。その結果、順次半導
体装置をレール32から下げて、ソケットホルダ10に差し
込むことにより測定台20と接続され、測定が完了したら
またレール32に戻し、つぎの半導体装置40を同様に測定
台に接続する。
【0019】搬送する半導体装置の形状が変ったとき
は、前述の手順によりソケットホルダ10の交換または位
置調整を再度行い、つぎに適合する測定台をソケットホ
ルダのソケットにはめ合わせることにより、再度連続的
に異なった形状の半導体装置の測定をすることができ
る。
【0020】なお、前述の接続方法はICなどの半導体
装置だけでなく、他の電子部品にも適用しうるものであ
り、ソケットホルダのソケットの形状を適当なものを選
定すれば、多種多様の電子部品の電気的試験に応用でき
る。
【0021】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、電
子部品を連続的に搬送しながら電気試験測定台に接続す
るのに、ソケットとガイド穴を具備したソケットホルダ
を介して接続するようにしたため、電子部品の位置に合
わせてまずソケットホルダを位置合わせして固定し、つ
ぎに測定台をソケットホルダのガイド穴に沿って接続で
きるようになり、小さなソケットホルダを電子部品と完
全に位置合わせするだけで、電子部品と測定台との接続
を非常に容易に行える。
【0022】その結果、小さいソケットホルダの位置合
わせを非常に精度よく、簡単にでき、電子部品をソケッ
トホルダに接続するときに、リードを曲げたり損傷する
ことがなく、歩留が向上し、また電子部品の機種を変え
て搬送するばあいにも試験装置を短時間で対応させるこ
とができ、作業効率が向上して製造工数が短縮され、電
子部品のコストダウンに寄与する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である試験装置のソケットホ
ルダの斜視図である。
【図2】図1の実施例のソケットホルダの側面図であ
る。
【図3】本発明の一実施例である試験装置に半導体装置
を装着した状態の説明図である。
【図4】図3の状態の平面説明図である。
【図5】従来の試験装置の測定台とホルダの関係を示す
説明図である。
【符号の説明】
10 ソケットホルダ 11 ソケット 14 ガイド穴 20 測定台 21 電極部 40 半導体装置

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電子部品を連続的に搬送しながら搬送途
    中で前記電子部品を測定台に接続し電気特性を測定する
    電子部品用試験装置であって、前記電子部品のリードと
    前記測定台の電極とがソケットホルダを介して接続さ
    れ、該ソケットホルダは前記電子部品のリードと前記測
    定台の電極の接続を仲介するソケットと、該ソケットの
    下側にテーパ状に形成され前記測定台の電極部を前記ソ
    ケットに誘導できるガイド穴を有すると共に、水平方向
    に移動し前記電子部品のリードの位置に合わせて固定で
    きるように形成され、前記測定台の電極部が前記ガイド
    穴に沿って前記ソケットに接続されるように前記測定台
    が水平、鉛直方向の微動調整装置を有することを特徴と
    する電子部品用試験装置。
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