JP2959285B2 - 物体抽出方法 - Google Patents

物体抽出方法

Info

Publication number
JP2959285B2
JP2959285B2 JP4160759A JP16075992A JP2959285B2 JP 2959285 B2 JP2959285 B2 JP 2959285B2 JP 4160759 A JP4160759 A JP 4160759A JP 16075992 A JP16075992 A JP 16075992A JP 2959285 B2 JP2959285 B2 JP 2959285B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
density data
density
value
data
level
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP4160759A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH064664A (ja
Inventor
典昭 湯川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP4160759A priority Critical patent/JP2959285B2/ja
Priority to US08/095,211 priority patent/US5475492A/en
Publication of JPH064664A publication Critical patent/JPH064664A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2959285B2 publication Critical patent/JP2959285B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、画像処理による物体
抽出方法に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体ウエハなど、各種製品の製造等の
過程においては、製品に付しておいた記号等の表示物体
を読み取るために、製品表面における前記物体の存在場
所を画像処理によって抽出することが多い。キズ等の存
在場所を画像処理によって抽出することも多い。
【0003】この場合には、検査対象面に光を当てて、
画像処理により、各位置の濃度データを得て、各濃度デ
ータをXY軸上に積算投影する。すなわち、Y軸に沿う
各位置の濃度データを積算してX軸上に投影するととも
に、X軸に沿う各位置の濃度データを積算してY軸上に
投影する、投影処理を施すのである。具体的には、たと
えば、Y軸上の10箇所から濃度データを得るとして、
あるX座標(x1 )でのY軸上10箇所の各濃度データ
が(レベル1,3,1,4,5,6,5,1,2,1)
であると、その積算結果はこれらを合計した29となる
ので、これ(濃度データ積算量)をY軸上の座標値(y
1 =29)として投影する。そして、つぎのX座標(x
2 )でのY軸上10箇所の各濃度データが(レベル1,
1,1,2,1,3,1,3,1,1)であると、今度
は、その積算結果たる合計値(濃度データ積算値)15
をY軸上の座標値(y2 =15)として投影する。この
ようなことをX軸上に繰り返し行うとともに、Y軸上で
も繰り返し行う。そうすると、画像上には、図4に示す
ような投影グラフが得られる。図中、1は検査対象面、
1 ,22 ,23 は抽出対象となる物体(記号A,B,
C)である。そして、この例では、物体2の濃度は検査
対象面1の地面の濃度よりも濃いので、図中で、濃度デ
ータ積算値のレベルが高くなっているXY座標領域
x1,Rx2,Rx3,Ry を持つ場所を対象物体2の存在
場所と決定抽出するのである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】この場合に、対象物体
のコントラストが小さいときは、検査対象面に存在する
ノイズ、すなわち対象物体の存在によらない濃度変化の
影響を受けて、場所の抽出ができなかったり誤ったりす
る、誤認識を生じることがある。すなわち、前述の例で
言えば、物体2が存在しない場所での各濃度データは全
てレベル1である筈であるが、10箇所の中にはノイズ
により、これよりも高いレベル(レベル2またはレベル
3)となって現れる濃度データがあり、これらが積算合
計中に含まれるために、濃度データ積算値y2 はレベル
1が10個の合計値10ではなく、ノイズによる高濃度
データ(レベル2およびレベル3)が含まれた合計値1
5となる。その結果、対象物体2が存在する場所でのX
座標上の点x1 での濃度データ積算値y1 が29である
のに対し、対象物体2が存在しない場所でのX座標上の
点x2 での濃度データ積算値y2 は15であって、その
差が僅かに14であり小さ過ぎるため、誤認識が生じる
のである。
【0005】そこで、この発明は、対象物体のコントラ
ストが小さい場合でも誤認識を生じない画像処理による
物体抽出方法を提供することを課題とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に、この発明にかかる、画像処理による物体抽出方法
は、検査対象面に存在する物体の存在場所を知るため
に、検査対象面から得られた明るさの濃度データを投影
処理し、濃度データ積算値の変化に基づき前記物体の存
在場所を抽出する方法であって、前記投影処理を行う際
に、予め設定されたしきい値を基準にして特定の濃度デ
ータに対し当該濃度データを大きくするか、および/ま
たは、小さくするかのデータ変換を行うようにすること
を特徴とする。
【0007】この場合に、しきい値は上下に設定してお
いて、上方しきい値以上の濃度データには最大濃度値を
与え下方しきい値以下の濃度データには最小濃度値を与
えるようにすると、より好ましい結果が得られる。
【0008】しきい値を、検査対象面の面積と対象物体
の面積の割合に基づき、濃度データのヒストグラムから
設定するようにすると、便利である。
【0009】
【作用】予め設定されたしきい値を基準にして特定の濃
度データに対し当該濃度データを大きくするか、および
/または、小さくするかのデータ変換を行うようにする
と、対象物体が存在する場所での濃度データ積算値と対
象物体が存在しない場所での濃度データ積算値との差が
拡大される。
【0010】
【実施例】以下に、この発明の実施例を説明する。ま
ず、半導体ウエハの表面(検査対象面)に光を当てて、
画像処理により、各位置の濃度データを得て、各濃度デ
ータをXY軸上に積算投影した。この投影処理の際に、
上方しきい値として4を、下方しきい値として2を、そ
れぞれ設定しておき、上方しきい値4以上の濃度データ
には最大濃度値8を与えるとともに、下方しきい値2以
下の濃度データには最小濃度値0を与える、データ変換
処理を施すようにした。このデータ変換処理をを図1を
用いて以下に具体的に説明する。図(a)に示すよう
に、Y軸上の10箇所の位置のうちのある位置におい
て、物体21 を線Lで切るような走査をしたときのX座
標上の各位置での濃度データが図(b)に示すようであ
ったとする。そうすると、各濃度データに対し上記のデ
ータ変換処理を施すと、実測で得られた濃度データの入
力は図(c)に太線で示すような出力となって現れるか
ら、データ変換処理後の各濃度データは図(a)に示す
ようになる。すなわち、地面1から物体21 を横切り再
び地面1に移行する間に各位置の濃度データは高低変化
するが、点P1 に達するまでは入力がすべてレベル2以
下であるので出力はレベル0となり、つぎの点P2 に移
行するまでは入力がすべてレベル2を超え4未満である
ので出力は入力と同レベルとなり、つぎのP3 に移行す
るまでは入力がすべてレベル4以上であるので出力はレ
ベル8となり、さらにつぎの点P4 に移行するまでは入
力がすべてレベル2を超え4未満であるので出力は入力
と同レベルとなり、その後は入力がすべてレベル2以下
であるので出力はレベル0となるのである。このように
して、X軸上の各位置においてY軸上の10箇所から濃
度データを得るようにしたとき、たとえば、物体が存在
する、あるX座標(x1 )でのY軸上10箇所の各濃度
データが(レベル1,3,1,4,5,6,5,1,
2,1)であったので、データ変換により、これら10
個の各濃度データは(レベル0,3,0,8,8,8,
8,0,0,0)となって積算投影された。すなわち、
物体2が存在する座標x1 での濃度データ積算値y
1 は、そのままでは29であったのが、データ変換処理
により35と変換されて、投影される。他方、物体2が
存在しない、あるX座標(x2 )でのY軸上10箇所の
各濃度データが(レベル1,1,1,2,1,3,1,
3,1,1)であったので、これら10個の各濃度デー
タはデータ変換処理により(レベル0,0,0,0,
0,3,0,3,0,0)と変換され、座標(濃度デー
タ積算値)y2 =6として積算投影される。Y軸上への
投影処理も同様にして行う。なお、データ変換する際の
最大濃度値と最小濃度値は、必ずしも4と2に限定され
るものでなく、事例に則して適宜に選ばれる。
【0011】このようにして得られた投影グラフ中の濃
度データ積算値が大きいXY座標領域を持つ場所を、検
査対象面1中での対象物体21 の存在場所として抽出決
定した。
【0012】上述の例では、物体の位置を二次元で求め
たが、一次元で求める場合には、Y軸またはX軸のみに
おいて投影処理を施せばよい。
【0013】この発明の物体抽出方法では、リニアな位
置情報のみに限らず、たとえば、ボタン電池等の裏面に
付された記号を参照してその姿勢制御(回転角度制御)
をする必要がある等の場合には、以下のようにして角度
情報を求めることもできる。すなわち、図2の(a)に
示すように、物体2の中心を通る線に沿い矢印方向に走
査をして投影データを取る。そして、この走査方向の角
度θを0°から360°移していって、各回転角度(回
転位置)での濃度データ積算値をグラフで表すと、物体
2については図の(b)に示すような結果が得られる。
なお、この図の(b)は、360°のうちの180°分
を示している。そして、この場合、文字「ABCDE」
と記号「+」とは、光を吸収する性質を有するので、そ
の濃度データは地面の濃度データよりも低く現れる。そ
のため、文字「ABCDE」の全てを横切る走査方向
(90°)と記号「+」を縦に横切る走査方向(0°)
では、濃度データ積算値が低くなる。図(b)にみるよ
うに、データ変換処理を施した場合は実線で示すように
濃度データ積算値の変化が大きく、データ変換処理を施
さない場合は破線で示すように濃度データ積算値の変化
が小さい。このようにして、物体2の回転角度(回転位
置)を知ることができる。
【0014】勿論のことながら、統計的には、対象物体
が存在する場所では対象物体に典型的なレベルの濃度デ
ータが現れる頻度が高く、対象物体が存在しない場所で
は検査対象面の地面に典型的なレベルの濃度データが現
れる頻度が高い。そこで、しきい値を設定する場合に
は、まず、検査対象面の画像全域または部分領域につい
て、濃度データの出現頻度をカウントし、図3のような
ヒストグラムを得る。このヒストグラムにおいて、検査
対象面の面積Aに対する物体面積Bの割合(A/B)に
対応する割合のカウント数の端部領域R3 は、対象物体
に典型的なレベルの濃度データが現れる頻度の高い領域
であるので、この端部領域R3 の内端濃度データC1
上下いずれか一方のしきい値に設定し、検査対象面の面
積Aに対する、対象物体が存在しない部分の面積(A−
B)の割合〔(A−B)/B〕に対応する割合のカウン
ト数の端部領域R4 は、対象物体が存在しない場所の地
面に典型的なレベルの濃度データが現れる頻度の高い領
域であるので、この端部領域R4 の内端濃度データC2
を他方のしきい値に設定するようにすると、便利であ
る。
【0015】この発明において、しきい値を上下に設定
することは必須ではなく、上下いずれか一方であっても
よい。この場合には、上方しきい値を上回る濃度データ
は大きくするようにし、下方しきい値を下回る濃度デー
タは小さくするようにするデータ変換を行う。
【0016】
【発明の効果】この発明では、投影処理に際して、予め
設定されたしきい値を基準にして、特定の濃度データに
対し、当該濃度データを大きくするか、および/また
は、小さくするかのデータ変換を行うようにするため、
対象物体が存在する場所での濃度データ積算値と対象物
体が存在しない場所での濃度データ積算値との差が拡大
され、そのため、検査結果がノイズによる影響を受ける
ことが少なくなり、誤認識が避けられやすい。しきい値
を上下に設定しておいて、上方しきい値以上の濃度デー
タには最大濃度値を与え下方しきい値以下の濃度データ
には最小濃度値を与えるようにした場合には、濃度デー
タ積算値の差がより一層拡大され、より好ましい結果が
得られる。この発明の方法の実施に際して、しきい値
を、検査対象面の面積と対象物体の面積の割合に基づ
き、濃度データのヒストグラムから設定するようにする
と、しきい値の設定が容易となり、かつ、しきい値の合
理性が向上して、便利性が増すとともに、確実性が向上
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)はこの発明により得られる濃度特性図 (b)は従来の処理により得られる濃度特性図 (c)はデータ変換処理における入出力を示した特性図
【図2】この発明を回転位置の検出に使用する場合のた
めの説明図
【図3】この発明の実施に際し使用する頻度を示す特性
【図4】この発明の方法の原理のための説明図
【符号の説明】
1 検査対象面 2 対象物体

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検査対象面に存在する物体の存在場所を
    知るために、検査対象面から得られた明るさの濃度デー
    タを投影処理し、濃度データ積算値の変化に基づき前記
    物体の存在場所を抽出する方法であって、前記投影処理
    を行う際に、予め設定されたしきい値を上下に設定して
    おいて、上方しきい値以上の濃度データには最大濃度値
    を与え下方しきい値以下の濃度データには最小濃度値を
    与えるようにする物体抽出方法。
  2. 【請求項2】 検査対象面の面積と対象物体の面積の割
    合に基づき、濃度データのヒストグラムからしきい値を
    設定するようにする請求項1記載の画像処理による物体
    抽出方法。
JP4160759A 1992-06-19 1992-06-19 物体抽出方法 Expired - Fee Related JP2959285B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4160759A JP2959285B2 (ja) 1992-06-19 1992-06-19 物体抽出方法
US08/095,211 US5475492A (en) 1992-06-19 1993-07-23 Object extracting method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4160759A JP2959285B2 (ja) 1992-06-19 1992-06-19 物体抽出方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH064664A JPH064664A (ja) 1994-01-14
JP2959285B2 true JP2959285B2 (ja) 1999-10-06

Family

ID=15721856

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4160759A Expired - Fee Related JP2959285B2 (ja) 1992-06-19 1992-06-19 物体抽出方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2959285B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4761132B2 (ja) * 2006-01-19 2011-08-31 大日本印刷株式会社 パッケージ一体型付録

Also Published As

Publication number Publication date
JPH064664A (ja) 1994-01-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2739130B2 (ja) 画像処理方法
US6141460A (en) Method for detecting edges in an image signal
JPS5845305B2 (ja) 宛名検知装置
CN101600957A (zh) 缺陷检测装置及缺陷检测方法
Perez et al. An adaptive implementation of the SUSAN method for image edge and feature detection
JPS60167073A (ja) 多値パタ−ン信号のスライス回路
JPH03257304A (ja) 位置認識装置
US5452368A (en) Method of detecting defects in semiconductor package leads
JP2823450B2 (ja) 回路パターンの寸法測定方法
JP2959285B2 (ja) 物体抽出方法
US5475492A (en) Object extracting method
JPH05281154A (ja) パターン欠陥検査装置
KR100295360B1 (ko) 쉐이딩알고리즘을이용한영상처리방법
JP2897747B2 (ja) Icパッケージ位置検出方法
Luijendijk Automatic threshold selection using histograms based on the count of 4-connected regions
JPH0531791B2 (ja)
JP2638147B2 (ja) 磁気ヘッドのギャップ位置認識方法
JPS63136179A (ja) 文字切出し装置
JPS5856429A (ja) パタ−ン位置検出装置
JP2569132B2 (ja) 特殊文字行の判別方法
JP3480641B2 (ja) パターンの検査方法
JP2514727B2 (ja) 外観検査による欠陥検査方法
JP2825359B2 (ja) パターン認識方法
JPS6177707A (ja) 半導体集積回路装置の方向判別装置
JPH0115910B2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070730

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080730

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090730

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090730

Year of fee payment: 10

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100730

Year of fee payment: 11

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees