JP2955460B2 - アルミナ−シリカ系繊維の表面改質方法 - Google Patents
アルミナ−シリカ系繊維の表面改質方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、窒化ケイ素、窒化アル
ミニウムもしくはサイアロンなどの窒化物セラミック
ス、アルミ合金、マグネシウム合金もしくはチタン合金
などの軽金属、またはプラスチックなどの強化繊維とし
て用いられるアルミナ−シリカ系繊維の表面を改質する
方法に関する。
ミニウムもしくはサイアロンなどの窒化物セラミック
ス、アルミ合金、マグネシウム合金もしくはチタン合金
などの軽金属、またはプラスチックなどの強化繊維とし
て用いられるアルミナ−シリカ系繊維の表面を改質する
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】アルミナ及びムライト繊維は、各種セラ
ミックス、金属、プラスチックなどの強化繊維として期
待されている。しかし、これらのセラミック繊維を例え
ば窒化物セラミックスの補強繊維として用いた場合、両
者の界面で反応が起こる結果、補強の目的を達成できず
に逆に強度低下をもたらすことが多かった。したがっ
て、窒化物セラミックスなどを確実に補強できる材料が
要望されていた。
ミックス、金属、プラスチックなどの強化繊維として期
待されている。しかし、これらのセラミック繊維を例え
ば窒化物セラミックスの補強繊維として用いた場合、両
者の界面で反応が起こる結果、補強の目的を達成できず
に逆に強度低下をもたらすことが多かった。したがっ
て、窒化物セラミックスなどを確実に補強できる材料が
要望されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、セラミック
ス、金属、プラスチックなどの強化繊維として有効に用
いることができるように、アルミナ−シリカ系繊維の表
面を改質する方法を提供することを目的とする。
ス、金属、プラスチックなどの強化繊維として有効に用
いることができるように、アルミナ−シリカ系繊維の表
面を改質する方法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段と作用】本発明のアルミナ
−シリカ系繊維の表面改質方法は、下記一般式（１） ｘＡｌ2Ｏ3・（１−ｘ）ＳｉＯ2 （１） （ただし、１≧ｘ＞０）で表されるアルミナ−シリカ系
繊維を、炭化水素ガスとアンモニアガスとの混合ガス中
又はアンモニアガス中において、１２００〜１６００℃
に加熱し、アルミナ−シリカ系繊維の表面を窒化率１〜
１０％に窒化して改質することを特徴とする。
−シリカ系繊維の表面改質方法は、下記一般式（１） ｘＡｌ2Ｏ3・（１−ｘ）ＳｉＯ2 （１） （ただし、１≧ｘ＞０）で表されるアルミナ−シリカ系
繊維を、炭化水素ガスとアンモニアガスとの混合ガス中
又はアンモニアガス中において、１２００〜１６００℃
に加熱し、アルミナ−シリカ系繊維の表面を窒化率１〜
１０％に窒化して改質することを特徴とする。
【０００５】本発明において、改質されるべきアルミナ
−シリカ系繊維とは、一般式ｘＡｌ2 Ｏ3 ・（１−ｘ）
ＳｉＯ2 で表されるものをいい、ｘ＝１の場合のアルミ
ナ繊維、ｘ＝０．６の場合のムライト繊維、ｘ＝０近傍
の場合のガラス繊維、及びこれらの中間的な組成を有す
る繊維を含む。ただし、ｘ＝０の場合のシリカ繊維は含
まない。なぜなら、当該反応温度では分解してしまうた
めである。ｘ≧０．２であることが好ましい。これは、
ｘが０．２より小さいと、繊維が軟化する場合が多いた
めである。
−シリカ系繊維とは、一般式ｘＡｌ2 Ｏ3 ・（１−ｘ）
ＳｉＯ2 で表されるものをいい、ｘ＝１の場合のアルミ
ナ繊維、ｘ＝０．６の場合のムライト繊維、ｘ＝０近傍
の場合のガラス繊維、及びこれらの中間的な組成を有す
る繊維を含む。ただし、ｘ＝０の場合のシリカ繊維は含
まない。なぜなら、当該反応温度では分解してしまうた
めである。ｘ≧０．２であることが好ましい。これは、
ｘが０．２より小さいと、繊維が軟化する場合が多いた
めである。
【０００６】本発明において、反応ガスとしては、炭化
水素ガスとアンモニアガスとの混合ガス又はアンモニア
ガスが用いられる。なお、アンモニアのみを用いた場
合、炭化水素ガスとアンモニアとの混合ガスを用いた場
合と比較して、約２倍のアンモニア流量を必要とするの
で、炭化水素ガスとアンモニアとの混合ガスを用いるこ
とが好ましい。また、炭化水素ガスを用いる代わりに、
原料中に固体のカーボンを混入しておき、アンモニアガ
ス中で反応させてもよい。ただし、この場合には反応性
が低下する。
水素ガスとアンモニアガスとの混合ガス又はアンモニア
ガスが用いられる。なお、アンモニアのみを用いた場
合、炭化水素ガスとアンモニアとの混合ガスを用いた場
合と比較して、約２倍のアンモニア流量を必要とするの
で、炭化水素ガスとアンモニアとの混合ガスを用いるこ
とが好ましい。また、炭化水素ガスを用いる代わりに、
原料中に固体のカーボンを混入しておき、アンモニアガ
ス中で反応させてもよい。ただし、この場合には反応性
が低下する。
【０００７】本発明において、反応温度は１２００〜１
６００℃に設定される。例えば、アルミナ繊維では１２
００〜１６００℃、ムライト繊維では１２５０〜１６０
０℃とすることが好ましい。反応温度をこのように規定
したのは、下限温度より低い温度では反応が進行せず、
また１６００℃を超えると装置上の制約が大きいためで
ある。
６００℃に設定される。例えば、アルミナ繊維では１２
００〜１６００℃、ムライト繊維では１２５０〜１６０
０℃とすることが好ましい。反応温度をこのように規定
したのは、下限温度より低い温度では反応が進行せず、
また１６００℃を超えると装置上の制約が大きいためで
ある。
【０００８】以上のような条件で反応を行うと、アルミ
ナ−シリカ系繊維の表面は外部から浸透する活性窒素の
作用により窒化されて窒化物または酸窒化物に変換さ
れ、表面改質がなされる。
ナ−シリカ系繊維の表面は外部から浸透する活性窒素の
作用により窒化されて窒化物または酸窒化物に変換さ
れ、表面改質がなされる。
【０００９】本発明に用いられる改質前のアルミナ−シ
リカ系繊維は１２００〜１６００℃の反応温度で分解す
ることはない。また、改質後のアルミナ−シリカ系繊維
を強化繊維として用いて例えば窒化物セラミックスを製
造する場合にも、改質後のアルミナ−シリカ系繊維が窒
化物セラミックスの焼結温度で分解することはない。さ
らに、窒化物セラミックスの製造中及び使用中において
は、表面に存在する窒化物または酸窒化物によりアルミ
ナ−シリカ系繊維と窒化物セラミックスとの反応を防止
できる。したがって、本発明の方法により改質されたア
ルミナ−シリカ系繊維は、窒化物セラミックスの強化繊
維としての効果を有効に発揮できる。同様な効果は、改
質されたアルミナ−シリカ系繊維を、その他のセラミッ
クス、金属、プラスチックなどの強化繊維として用いた
場合にも得られる。
リカ系繊維は１２００〜１６００℃の反応温度で分解す
ることはない。また、改質後のアルミナ−シリカ系繊維
を強化繊維として用いて例えば窒化物セラミックスを製
造する場合にも、改質後のアルミナ−シリカ系繊維が窒
化物セラミックスの焼結温度で分解することはない。さ
らに、窒化物セラミックスの製造中及び使用中において
は、表面に存在する窒化物または酸窒化物によりアルミ
ナ−シリカ系繊維と窒化物セラミックスとの反応を防止
できる。したがって、本発明の方法により改質されたア
ルミナ−シリカ系繊維は、窒化物セラミックスの強化繊
維としての効果を有効に発揮できる。同様な効果は、改
質されたアルミナ−シリカ系繊維を、その他のセラミッ
クス、金属、プラスチックなどの強化繊維として用いた
場合にも得られる。
【００１０】本発明において、繊維表面の窒化率は、特
に窒化ケイ素の強化剤として用いる場合には、１〜１０
％の範囲であることが好ましい。窒化率が１％未満で
は、窒化物の層が薄すぎるためアルミナ−シリカ系繊維
とマトリックスの窒化ケイ素との反応を防止できなくな
る。一方、窒化率が１０％を超えると、繊維が脆化して
折れやすくなる。
に窒化ケイ素の強化剤として用いる場合には、１〜１０
％の範囲であることが好ましい。窒化率が１％未満で
は、窒化物の層が薄すぎるためアルミナ−シリカ系繊維
とマトリックスの窒化ケイ素との反応を防止できなくな
る。一方、窒化率が１０％を超えると、繊維が脆化して
折れやすくなる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。
【００１２】以下の実験例において、表面が窒化改質処
理された繊維について、Ｘ線回折を測定したところ、ム
ライト繊維ではＡｌＮのピーク、サイアロンのピーク及
び同定できないピークが観察され、アルミナ繊維ではＡ
ｌＮのピーク及び同定できないピークが観察された。な
お、窒化率は、酸素・窒素同時分析装置で求めた全窒素
量の％である。
理された繊維について、Ｘ線回折を測定したところ、ム
ライト繊維ではＡｌＮのピーク、サイアロンのピーク及
び同定できないピークが観察され、アルミナ繊維ではＡ
ｌＮのピーク及び同定できないピークが観察された。な
お、窒化率は、酸素・窒素同時分析装置で求めた全窒素
量の％である。
【００１３】実験例１〜３ ムライト繊維５ｇを、表１に示す流量比でアンモニアと
炭化水素ガス（ＬＰＧ）とを混合した気流中において、
１３５０℃で加熱した。
炭化水素ガス（ＬＰＧ）とを混合した気流中において、
１３５０℃で加熱した。
【００１４】実験例４〜６ ムライト繊維５ｇを、表１に示す流量のアンモニア気流
中において、１３５０℃で加熱した。
中において、１３５０℃で加熱した。
【００１５】実験例７ ムライト繊維５ｇと固体カーボン２０ｇとを混合し、表
１に示す流量のアンモニア気流中において、１３５０℃
で加熱した。
１に示す流量のアンモニア気流中において、１３５０℃
で加熱した。
【００１６】以上のようにして得られたムライト繊維の
窒化率を表１に併記する。表１から明らかなように、ム
ライト繊維をアンモニアと炭化水素との混合気流中にお
いて加熱した場合に高い窒化率が得られる。
窒化率を表１に併記する。表１から明らかなように、ム
ライト繊維をアンモニアと炭化水素との混合気流中にお
いて加熱した場合に高い窒化率が得られる。
【００１７】
【表１】 実験例１１〜１６ ムライト繊維５ｇを、それぞれアンモニアを３００ｃｃ
／ｍｉｎ、炭化水素ガスを１０ｃｃ／ｍｉｎの流量で混
合した気流中において、表２に示す温度で加熱した。
／ｍｉｎ、炭化水素ガスを１０ｃｃ／ｍｉｎの流量で混
合した気流中において、表２に示す温度で加熱した。
【００１８】実験例２１〜２７ アルミナ繊維５ｇを、それぞれアンモニアを３００ｃｃ
／ｍｉｎ、炭化水素ガスを１０ｃｃ／ｍｉｎの流量で混
合した気流中において、表２に示す温度で加熱した。
／ｍｉｎ、炭化水素ガスを１０ｃｃ／ｍｉｎの流量で混
合した気流中において、表２に示す温度で加熱した。
【００１９】以上のようにして得られたムライト繊維及
びアルミナ繊維の窒化率を表２に併記する。表２から明
らかなように、ムライト繊維よりもアルミナ繊維の方が
窒化されやすい。
びアルミナ繊維の窒化率を表２に併記する。表２から明
らかなように、ムライト繊維よりもアルミナ繊維の方が
窒化されやすい。
【００２０】
【表２】 実験例３１〜３４ 窒化率５％の表面窒化アルミナ繊維を用い、以下のよう
にして窒化ケイ素への添加効果を調べた。
にして窒化ケイ素への添加効果を調べた。
【００２１】市販のサブミクロンオーダーの窒化ケイ素
粉末に表３に示す添加率で表面窒化アルミナ繊維を混合
し、ボールミルで２４時間湿式混合した。混合後の粉末
を乾燥・造粒した後、ホットプレス用カーボン容器に入
れた。そして、圧力３００ｋｇ・ｃｍ2 、１７００℃で
ホットプレスを行った。ホットプレス後の焼結体からテ
ストピースを切り出し、曲げ強さ及び破壊靭性を測定し
た。測定結果を表３に併記する。
粉末に表３に示す添加率で表面窒化アルミナ繊維を混合
し、ボールミルで２４時間湿式混合した。混合後の粉末
を乾燥・造粒した後、ホットプレス用カーボン容器に入
れた。そして、圧力３００ｋｇ・ｃｍ2 、１７００℃で
ホットプレスを行った。ホットプレス後の焼結体からテ
ストピースを切り出し、曲げ強さ及び破壊靭性を測定し
た。測定結果を表３に併記する。
【００２２】表３から明らかなように、繊維の添加の有
無にかかわらず曲げ強さはほとんど変化しないが、繊維
の添加により破壊靭性を向上させることができた。この
ことから、この繊維は優れた強化剤であるといえる。
無にかかわらず曲げ強さはほとんど変化しないが、繊維
の添加により破壊靭性を向上させることができた。この
ことから、この繊維は優れた強化剤であるといえる。
【００２３】
【表３】 実験例３５ シリカとムライトとの中間的な組成を有する４８％Ａｌ
2 Ｏ3 ・５２％ＳｉＯ2 （非晶質）からなる繊維１００
ｇをアンモニア３００ｃｃ／ｍｉｎ、炭化水素ガス１０
ｃｃ／ｍｉｎの気流下において１４００℃で加熱した。
この繊維をＸ線回折により測定したところ、処理前には
非晶質であったが、処理後にはムライト及びサイアロン
（Ｓｉ3 Ａｌ3 Ｏ5 Ｎ5 ）のピークが確認された。
2 Ｏ3 ・５２％ＳｉＯ2 （非晶質）からなる繊維１００
ｇをアンモニア３００ｃｃ／ｍｉｎ、炭化水素ガス１０
ｃｃ／ｍｉｎの気流下において１４００℃で加熱した。
この繊維をＸ線回折により測定したところ、処理前には
非晶質であったが、処理後にはムライト及びサイアロン
（Ｓｉ3 Ａｌ3 Ｏ5 Ｎ5 ）のピークが確認された。
【００２４】次に、未処理の繊維及び窒化改質処理した
繊維を用い、それぞれの繊維を水中に分散させた後、吸
引ろ過し乾燥してプリフォーム（ケーキ状のもの）を作
製した。プリフォームに含まれる繊維の体積比率は約２
０％とした。
繊維を用い、それぞれの繊維を水中に分散させた後、吸
引ろ過し乾燥してプリフォーム（ケーキ状のもの）を作
製した。プリフォームに含まれる繊維の体積比率は約２
０％とした。
【００２５】これらのプリフォームにそれぞれ約８００
℃で溶融した６０６１アルミ合金を流し込み、１００Ｍ
Ｐａの圧力を加えて高圧鋳造を行った。高圧鋳造後の繊
維強化金属（ＦＲＭ）から試験片を切り出し、Ｔ６処理
を行った後に曲げ試験を行った。その結果、曲げ強さ
は、未処理の繊維を用いたＦＲＭでは４０７ＭＰａであ
ったのに対し、窒化改質処理した繊維を用いたＦＲＭで
は５９２ＭＰａであり、前者と比較して大幅に向上する
ことが明らかになった。このことから本発明の方法によ
る表面窒化改質処理は金属の補強用繊維の特性向上にも
有効であるといえる。
℃で溶融した６０６１アルミ合金を流し込み、１００Ｍ
Ｐａの圧力を加えて高圧鋳造を行った。高圧鋳造後の繊
維強化金属（ＦＲＭ）から試験片を切り出し、Ｔ６処理
を行った後に曲げ試験を行った。その結果、曲げ強さ
は、未処理の繊維を用いたＦＲＭでは４０７ＭＰａであ
ったのに対し、窒化改質処理した繊維を用いたＦＲＭで
は５９２ＭＰａであり、前者と比較して大幅に向上する
ことが明らかになった。このことから本発明の方法によ
る表面窒化改質処理は金属の補強用繊維の特性向上にも
有効であるといえる。
【００２６】実験例３６ 表４に示すような組成の繊維について、アンモニア流量
３５０ｃｃ／ｍｉｎ、ＬＰＧ流量１５ｃｃ／ｍｉｎ、反
応温度１３００℃の条件で窒化改質処理を行った。これ
らの繊維について、Ｘ線回折を測定した結果を表４に示
す。
３５０ｃｃ／ｍｉｎ、ＬＰＧ流量１５ｃｃ／ｍｉｎ、反
応温度１３００℃の条件で窒化改質処理を行った。これ
らの繊維について、Ｘ線回折を測定した結果を表４に示
す。
【００２７】
【表４】 以上の結果から、ムライトとアルミナとの中間的な組成
を有する繊維を用いた場合にも、表面にＡｌＮ相が生成
し、窒化改質がなされていることがわかる。
を有する繊維を用いた場合にも、表面にＡｌＮ相が生成
し、窒化改質がなされていることがわかる。
【００２８】実施例３７ ９５％Ａｌ2 Ｏ3 ・５％ＳｉＯ2 繊維及びムライト繊維
を、ＮＨ3 ３００ｃｃ／ｍｉｎ、ＬＰＧ１０ｃｃ／ｍｉ
ｎの雰囲気中において、１４００℃で３時間加熱して、
表面窒化処理を行った。これらの繊維の表面から内部に
かけての元素の分布状態をオージェ電子分光分析で測定
した。これらの結果を図１（９５％Ａｌ2 Ｏ3 ・５％Ｓ
ｉＯ2 繊維）及び図２（ムライト繊維）に示す。
を、ＮＨ3 ３００ｃｃ／ｍｉｎ、ＬＰＧ１０ｃｃ／ｍｉ
ｎの雰囲気中において、１４００℃で３時間加熱して、
表面窒化処理を行った。これらの繊維の表面から内部に
かけての元素の分布状態をオージェ電子分光分析で測定
した。これらの結果を図１（９５％Ａｌ2 Ｏ3 ・５％Ｓ
ｉＯ2 繊維）及び図２（ムライト繊維）に示す。
【００２９】図１から、９５％Ａｌ2 Ｏ3 ・５％ＳｉＯ
2 繊維では、表面より８２ｎｍ以上内部でもＮが検出さ
れており、窒化層は８０ｎｍ以上の厚さを有することが
わかる。また、常に酸素が検出されることから、表面は
酸窒化層になっていることもわかる。
2 繊維では、表面より８２ｎｍ以上内部でもＮが検出さ
れており、窒化層は８０ｎｍ以上の厚さを有することが
わかる。また、常に酸素が検出されることから、表面は
酸窒化層になっていることもわかる。
【００３０】図２から、ムライト繊維では、表面から３
３ｎｍで酸素がゼロになり、完全に窒化した層が存在す
ることがわかる。また、それより内部では再び酸窒化層
となるが、１００ｎｍにおいてもＮが検出され、酸窒化
層の厚さは１００ｎｍ以上であることがわかる。
３ｎｍで酸素がゼロになり、完全に窒化した層が存在す
ることがわかる。また、それより内部では再び酸窒化層
となるが、１００ｎｍにおいてもＮが検出され、酸窒化
層の厚さは１００ｎｍ以上であることがわかる。
【００３１】
【発明の効果】以上詳述したように本発明の方法によれ
ば、窒化ケイ素、窒化アルミニウムもしくはサイアロン
などの窒化物セラミックス、アルミ合金、マグネシウム
合金もしくはチタン合金などの軽金属、またはプラスチ
ックの強化繊維として有効に用いることができるよう
に、アルミナ−シリカ系繊維の表面を窒化改質できる。
ば、窒化ケイ素、窒化アルミニウムもしくはサイアロン
などの窒化物セラミックス、アルミ合金、マグネシウム
合金もしくはチタン合金などの軽金属、またはプラスチ
ックの強化繊維として有効に用いることができるよう
に、アルミナ−シリカ系繊維の表面を窒化改質できる。
【図１】表面窒化処理を行った９５％Ａｌ2 Ｏ3 ・５％
ＳｉＯ2 繊維の表面から内部にかけての元素分布の変化
を示す図。
ＳｉＯ2 繊維の表面から内部にかけての元素分布の変化
を示す図。
【図２】表面窒化処理を行ったムライト繊維の表面から
内部にかけての元素分布の変化を示す図。
内部にかけての元素分布の変化を示す図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 黒野 信久 愛知県名古屋市港区築三町１丁目11番地 株式会社エス・ティー・ケー・セラミ ックス研究所内 (72)発明者 小鷹 啓章 愛知県名古屋市港区築三町１丁目11番地 株式会社エス・ティー・ケー・セラミ ックス研究所内 (56)参考文献 特開 平２−300319（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−270861（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−128989（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) D06M 11/60 D01F 11/12,9/08
Claims (1)
- 【請求項１】 下記一般式（１） ｘＡｌ2Ｏ3・（１−ｘ）ＳｉＯ2 （１） （ただし、１≧ｘ＞０）で表されるアルミナ−シリカ系
繊維を、炭化水素ガスとアンモニアガスとの混合ガス中
又はアンモニアガス中において、１２００〜１６００℃
に加熱し、アルミナ−シリカ系繊維の表面を窒化率１〜
１０％に窒化して改質することを特徴とするアルミナ−
シリカ系繊維の表面改質方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5331948A JP2955460B2 (ja) | 1993-03-25 | 1993-12-27 | アルミナ−シリカ系繊維の表面改質方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6705393 | 1993-03-25 | ||
| JP5-67053 | 1993-03-25 | ||
| JP5331948A JP2955460B2 (ja) | 1993-03-25 | 1993-12-27 | アルミナ−シリカ系繊維の表面改質方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06330412A JPH06330412A (ja) | 1994-11-29 |
| JP2955460B2 true JP2955460B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=26408256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5331948A Expired - Fee Related JP2955460B2 (ja) | 1993-03-25 | 1993-12-27 | アルミナ−シリカ系繊維の表面改質方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2955460B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2823888A4 (en) * | 2012-03-05 | 2015-12-09 | Sunshine Kaidi New Energy Group Co Ltd | METHOD FOR SURFACE MODIFICATION OF ALUMINUM OXIDE CARRIER |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0952769A (ja) * | 1995-08-11 | 1997-02-25 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 窒化アルミニウム質固形体の製造方法 |
| US5817274A (en) * | 1995-08-11 | 1998-10-06 | Toshiba Ceramics Co., Ltd. | Method of manufacturing aluminum nitride |
| JP7088653B2 (ja) * | 2017-10-16 | 2022-06-21 | イビデン株式会社 | 繊維強化ＡｌＮ複合材、放熱基板、繊維強化ＡｌＮ複合材の製造方法 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP5331948A patent/JP2955460B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2823888A4 (en) * | 2012-03-05 | 2015-12-09 | Sunshine Kaidi New Energy Group Co Ltd | METHOD FOR SURFACE MODIFICATION OF ALUMINUM OXIDE CARRIER |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06330412A (ja) | 1994-11-29 |
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