JP2946647B2 - 集積回路の検査方法 - Google Patents
集積回路の検査方法Info
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- JP2946647B2 JP2946647B2 JP2156544A JP15654490A JP2946647B2 JP 2946647 B2 JP2946647 B2 JP 2946647B2 JP 2156544 A JP2156544 A JP 2156544A JP 15654490 A JP15654490 A JP 15654490A JP 2946647 B2 JP2946647 B2 JP 2946647B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は表面実装用の集積回路のリード曲りを検査す
る集積回路の検査方法に関する。
る集積回路の検査方法に関する。
表面実装用の集積回路のリード曲りは、従来は例えば
下記に示すような方法で検査を行なっていた。
下記に示すような方法で検査を行なっていた。
すなわち、反射型照明を用いてテレビカメラで撮像し
た集積回路全体の画像に対して、樹脂モールドで形成さ
れた本体から同じ方向に出ているリード全数を覆うよう
注目領域を設定する。次にこの領域内に含まれるリード
の数を計測するとともに各リードの重心位置を算出し、
各リード間の相対位置関係を用いてリード曲りの検査を
行なっていた。
た集積回路全体の画像に対して、樹脂モールドで形成さ
れた本体から同じ方向に出ているリード全数を覆うよう
注目領域を設定する。次にこの領域内に含まれるリード
の数を計測するとともに各リードの重心位置を算出し、
各リード間の相対位置関係を用いてリード曲りの検査を
行なっていた。
しかしながら上記のような従来の集積回路の検査方法
によると、下記のような問題があった。
によると、下記のような問題があった。
検査すべき集積回路を検査装置に設置したときの初期
位置ずれにより、注目領域内に集積回路本体の画像が入
らないように、反射型照明を用いてリード部のみの画像
を撮像する。このときリードの金属光沢のためにリード
の角度などによってはリードが撮像されなかったり、二
重に撮像されたりする。
位置ずれにより、注目領域内に集積回路本体の画像が入
らないように、反射型照明を用いてリード部のみの画像
を撮像する。このときリードの金属光沢のためにリード
の角度などによってはリードが撮像されなかったり、二
重に撮像されたりする。
また、リード曲り不良は集積回路の構造上同列リード
の両端で最も起りやすいが、従来の検査方法では同列リ
ードの全数の重心位置を算出してからでないとリード曲
り不良の判定ができない。このため全検査時間の短縮が
できない。
の両端で最も起りやすいが、従来の検査方法では同列リ
ードの全数の重心位置を算出してからでないとリード曲
り不良の判定ができない。このため全検査時間の短縮が
できない。
さらに、最近のクォード・フラット・パッケージ（QF
P）と呼ばれる集積回路のように、狭ピッチ、多リード
化したものに対しては、初期位置ずれの影響が大きくな
り、同じ方向に出ているリードのみを抽出するための注
目領域を固定することが困難である。
P）と呼ばれる集積回路のように、狭ピッチ、多リード
化したものに対しては、初期位置ずれの影響が大きくな
り、同じ方向に出ているリードのみを抽出するための注
目領域を固定することが困難である。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、狭ピ
ッチ、多リードの集積回路でも高速で正確なリード曲り
の検査を行なうことのできる集積回路の検査方法を提供
することを目的とする。
ッチ、多リードの集積回路でも高速で正確なリード曲り
の検査を行なうことのできる集積回路の検査方法を提供
することを目的とする。
本発明の集積回路の検査方法は、表面実装用の集積回
路のリード曲りを検査する集積回路の検査方法におい
て、集積回路の外形情報及び初期位置ずれの許容値を用
いて端リード存在可能領域を設定する工程と、端リード
存在可能領域内において隣接リードの相対位置情報を用
いて端リードを確定する工程と、同方向に突出している
リードのうち両端リードの先端位置を算出し真値と比較
してリード曲りを判定する工程と、両端リードの先端位
置座標を用いて中間リードの先端の存在必然位置を算出
する工程と、中間リード先端の存在必然領域の近傍のみ
をリードごとに探索して中間リード先端位置を算出し、
存在必然位置と逐次比較してリード曲りを判定する工程
とからなることを特徴とする。
路のリード曲りを検査する集積回路の検査方法におい
て、集積回路の外形情報及び初期位置ずれの許容値を用
いて端リード存在可能領域を設定する工程と、端リード
存在可能領域内において隣接リードの相対位置情報を用
いて端リードを確定する工程と、同方向に突出している
リードのうち両端リードの先端位置を算出し真値と比較
してリード曲りを判定する工程と、両端リードの先端位
置座標を用いて中間リードの先端の存在必然位置を算出
する工程と、中間リード先端の存在必然領域の近傍のみ
をリードごとに探索して中間リード先端位置を算出し、
存在必然位置と逐次比較してリード曲りを判定する工程
とからなることを特徴とする。
上記構成の集積回路の検査方法においては、集積回路
の外形情報及び初期位置ずれの許容値を用いて端リード
存在可能領域を設定し、隣接リードの相対位置情報をリ
ードピッチごとに追跡していくことで、透過光による画
像を用いて高速で端リードを確定することができる。
の外形情報及び初期位置ずれの許容値を用いて端リード
存在可能領域を設定し、隣接リードの相対位置情報をリ
ードピッチごとに追跡していくことで、透過光による画
像を用いて高速で端リードを確定することができる。
また、同じ方向に出ているリードの両端についてリー
ドの先端位置を精密に算出し、真値と比較して判定する
ことにより両端リード曲りの良否を高速で検出すること
ができる。
ドの先端位置を精密に算出し、真値と比較して判定する
ことにより両端リード曲りの良否を高速で検出すること
ができる。
さらに、同じ方向に出ているリードのうち両端リード
の先端位置座標を用いて、中間リードの先端の存在必然
位置を算出し、その近傍のみをリードごとに探索してリ
ード先端位置を精密に算出し、存在必然位置と逐次比較
して判定することにより、中間リード曲りの良否を高速
で検出することができる。
の先端位置座標を用いて、中間リードの先端の存在必然
位置を算出し、その近傍のみをリードごとに探索してリ
ード先端位置を精密に算出し、存在必然位置と逐次比較
して判定することにより、中間リード曲りの良否を高速
で検出することができる。
以下、本発明に係る集積回路の検査方法の一実施例を
図面を参照して説明する。
図面を参照して説明する。
本実施例によって検査される集積回路であるQFP1は第
２図及び第３図に示すように、樹脂モールドにより外形
がほぼ正方形状に形成された本体２の四辺に、それぞれ
例えば52本のリード３が外側に突出して設けられてなっ
ている。
２図及び第３図に示すように、樹脂モールドにより外形
がほぼ正方形状に形成された本体２の四辺に、それぞれ
例えば52本のリード３が外側に突出して設けられてなっ
ている。
まず、第４図に示すように矩形板状の供給用トレイ11
上に方眼状に載置された複数個のQFP1を、図示しないロ
ボットハンドなどを用いてテレビカメラと透過光照明装
置との間に設けられた治具上に１個ずつ載置する。テレ
ビカメラで撮像されたQFP1の画像は、第５図に示すよう
に表示装置の画面21上に表示される。このときの初期位
置ずれ量を、トレイ11内に載置されたQFP1の遊びから生
ずる画面21の中心（Ox,Oy）を基準とした回転ずれ分を
含めて（±Sx,±Sy）以下とする。ここでロボットハン
ド、供給トレイ11及びテレビカメラの位置は予めキャリ
ブレーションされているものとする。
上に方眼状に載置された複数個のQFP1を、図示しないロ
ボットハンドなどを用いてテレビカメラと透過光照明装
置との間に設けられた治具上に１個ずつ載置する。テレ
ビカメラで撮像されたQFP1の画像は、第５図に示すよう
に表示装置の画面21上に表示される。このときの初期位
置ずれ量を、トレイ11内に載置されたQFP1の遊びから生
ずる画面21の中心（Ox,Oy）を基準とした回転ずれ分を
含めて（±Sx,±Sy）以下とする。ここでロボットハン
ド、供給トレイ11及びテレビカメラの位置は予めキャリ
ブレーションされているものとする。
第１図は本実施例によるQFP1の検査方法を示すフロー
チャートである。ステップ（ａ）において、端リード存
在可能領域を探索して設定する。第５図において、画面
21上に表示されたQFP1の画像22の四隅にある８本の端リ
ードのうち互いに近傍する４組の端リードをtsとls、bs
とle、teとrs、beとreとする。そしてこれら４組の端リ
ードの存在可能領域を設定する。例えばtsとlsの存在可
能領域Ａは第５図に点線で示した範囲となる。
チャートである。ステップ（ａ）において、端リード存
在可能領域を探索して設定する。第５図において、画面
21上に表示されたQFP1の画像22の四隅にある８本の端リ
ードのうち互いに近傍する４組の端リードをtsとls、bs
とle、teとrs、beとreとする。そしてこれら４組の端リ
ードの存在可能領域を設定する。例えばtsとlsの存在可
能領域Ａは第５図に点線で示した範囲となる。
ここで対向する二辺のリード先端間の幅を横縦それぞ
れWx,Wyとし、横縦のリード本数をそれぞれnx,nyとし、
リードのピッチをｐとすれば、領域Ａの座標（x,y）は
下記の式（１）、（２）に示すようになる。
れWx,Wyとし、横縦のリード本数をそれぞれnx,nyとし、
リードのピッチをｐとすれば、領域Ａの座標（x,y）は
下記の式（１）、（２）に示すようになる。
第６図は領域Ａを拡大して示したものである。
次にステップ（ｂ）において端リード先端検出を行な
う。座標ｘ、ｙを第５図に示すように設定したとき、領
域Ａ中をQFP本体２の画像22と逆の方向であるｙの小さ
い方向のから大きい方向へ、矢印23で示すように走査を
行ない、最初に見つかったリード位置の座標を、第６図
に示したように（x0,y0）とする。これが第１のts先端
候補点である。
う。座標ｘ、ｙを第５図に示すように設定したとき、領
域Ａ中をQFP本体２の画像22と逆の方向であるｙの小さ
い方向のから大きい方向へ、矢印23で示すように走査を
行ない、最初に見つかったリード位置の座標を、第６図
に示したように（x0,y0）とする。これが第１のts先端
候補点である。
この点が端リードtsの点であるか否かを判定するため
に、座標（x0−ｐ−Δ≦ｘ≦x0−ｐ＋Δ,y0＋ｉ）の範
囲内に対象物が存在しないことを確認する。ここでｉに
はリードの長さの半分位の値、Δにはリードピッチｐの
半分位の値を設定すれば、隣接するリードにかかること
がないので、この判定が可能になる。もし上記の座標範
囲内に対象が存在したときは、新たな領域（x0−ｐ−Δ
≦ｘ≦x0−ｐ＋Δ,y0≦ｙ≦y0＋ｉ）の中を、ｙの小さ
い方向から大きい方向へ対象があるまで走査し、最初に
見つかった対象の位置を第２のts先端候補点（x1,y1）
とする。この操作をくりかえして最終的に第７図に示す
ようにtsの先端点（xtsi,ytsi）を得る。
に、座標（x0−ｐ−Δ≦ｘ≦x0−ｐ＋Δ,y0＋ｉ）の範
囲内に対象物が存在しないことを確認する。ここでｉに
はリードの長さの半分位の値、Δにはリードピッチｐの
半分位の値を設定すれば、隣接するリードにかかること
がないので、この判定が可能になる。もし上記の座標範
囲内に対象が存在したときは、新たな領域（x0−ｐ−Δ
≦ｘ≦x0−ｐ＋Δ,y0≦ｙ≦y0＋ｉ）の中を、ｙの小さ
い方向から大きい方向へ対象があるまで走査し、最初に
見つかった対象の位置を第２のts先端候補点（x1,y1）
とする。この操作をくりかえして最終的に第７図に示す
ようにtsの先端点（xtsi,ytsi）を得る。
リード先端座標について画素以下の分解能を得るため
に、第７図に示す領域（xtsi−Δ≦ｘ≦xtsi＋Δ,ytsi
≦ｙ≦ytsi＋Δ）の範囲で算出したｘ方向の重心値gx
と、領域（xtsi−Δ≦ｘ≦xtsi＋Δ,ytsi≦ｙ≦ytsi＋
２Δ）の範囲において算出したｙ方向の重心値gyを用い
て、（gx,2gy−ytsi−２Δ）を端リードtsの先端座標
（xts,yts）として採用する。
に、第７図に示す領域（xtsi−Δ≦ｘ≦xtsi＋Δ,ytsi
≦ｙ≦ytsi＋Δ）の範囲で算出したｘ方向の重心値gx
と、領域（xtsi−Δ≦ｘ≦xtsi＋Δ,ytsi≦ｙ≦ytsi＋
２Δ）の範囲において算出したｙ方向の重心値gyを用い
て、（gx,2gy−ytsi−２Δ）を端リードtsの先端座標
（xts,yts）として採用する。
隣接する端リードlsについても同様に先端座標（xls,
yls）を求める。その他の端リードの組についてもそれ
ぞれの存在可能領域において同様にリード先端座標を求
める（ステップｃ）。
yls）を求める。その他の端リードの組についてもそれ
ぞれの存在可能領域において同様にリード先端座標を求
める（ステップｃ）。
次にステップ（ｄ）において、同じ列に属する端リー
ドについて、それぞれ先端同志の間の距離（xe−xs），
（ye−ys）を算出する。
ドについて、それぞれ先端同志の間の距離（xe−xs），
（ye−ys）を算出する。
次にステップ（ｅ）において、下記の式（３）によっ
て端リード曲りの検査を行なう。
て端リード曲りの検査を行なう。
Tw2−｛（xe−xs）２＋（ye−ys）２｝＞E2 ……（３） ここでTwは端リード間の距離の真値であり、ｐ（nx−
１）またはｐ（ny−１）に等しい。またＥはリード曲り
許容値である。さらにxe,xs,ye,ysはそれぞれ端リードt
e,ts,le,ls,be,bs,re,rsのｘ軸方向、ｙ軸方向の座標位
置を示す。
１）またはｐ（ny−１）に等しい。またＥはリード曲り
許容値である。さらにxe,xs,ye,ysはそれぞれ端リードt
e,ts,le,ls,be,bs,re,rsのｘ軸方向、ｙ軸方向の座標位
置を示す。
次にステップ（ｆ）において、式（３）が成り立つ場
合は端リード曲りが許容値を超え不良であると判断さ
れ、そうでない場合には正常であると判断されて、ステ
ップ（ｇ）における中間リードの検査に入る。
合は端リード曲りが許容値を超え不良であると判断さ
れ、そうでない場合には正常であると判断されて、ステ
ップ（ｇ）における中間リードの検査に入る。
まず、ステップ（ｇ）において、x,y両方向のリード
ピッチdx,dyを下記の式（４）、（５）により算出す
る。
ピッチdx,dyを下記の式（４）、（５）により算出す
る。
dx＝（xe−xs）／（nx−１） ……（４） dy＝（ye−ys）／（ny−１） ……（５） そして添字ｓを持つ端リードを１番リードとしてｍ番
目の中間リードの先端の存在必然領域は座標〔xs＋（ｍ
−１）dx〕，〔ys＋（ｍ−１）dy〕近傍となる。
目の中間リードの先端の存在必然領域は座標〔xs＋（ｍ
−１）dx〕，〔ys＋（ｍ−１）dy〕近傍となる。
次にステップ（ｈ）において、端リードの先端位置を
検出した場合と同様の方法で中間リードの先端座標（x
x,yy）を検出する。
検出した場合と同様の方法で中間リードの先端座標（x
x,yy）を検出する。
次にステップ（ｉ）において、下記の式（６）によっ
て中間リード曲りの検査を行なう。
て中間リード曲りの検査を行なう。
｛xs＋（ｍ−１）dx−xx｝２＋｛ys＋（ｍ−１）dy−
yy｝２＞E2 ……（６） 次にステップ（ｊ）において、式（６）が成り立つ場
合は、中間リード曲りが許容値Ｅを超え不良であると判
断され、そうでない場合には正常であると判断される。
yy｝２＞E2 ……（６） 次にステップ（ｊ）において、式（６）が成り立つ場
合は、中間リード曲りが許容値Ｅを超え不良であると判
断され、そうでない場合には正常であると判断される。
上記の検査をステップ（ｋ）で同列内全中間リードに
ついて行ない、さらにステップ（ｌ）で集積回路の他の
３辺について全中間リードについて検査を行なう。
ついて行ない、さらにステップ（ｌ）で集積回路の他の
３辺について全中間リードについて検査を行なう。
本実施例によれば、安定した透過光画像を用いて高速
でリード検査を行なうことができる。また、QFPなどの
リードの曲りは端リードにおいて最も発生しやすいた
め、端リードの不良を先行して検出することにより、全
検査時間を短縮することができる。さらに中間リードの
ついても不良が検出された時点で検査を終了させること
により、無駄な演算を最少限にして全検査時間を短縮す
ることができる。
でリード検査を行なうことができる。また、QFPなどの
リードの曲りは端リードにおいて最も発生しやすいた
め、端リードの不良を先行して検出することにより、全
検査時間を短縮することができる。さらに中間リードの
ついても不良が検出された時点で検査を終了させること
により、無駄な演算を最少限にして全検査時間を短縮す
ることができる。
上記実施例ではQFPの検査方法について説明したが、
他の集積回路についても応用できる。
他の集積回路についても応用できる。
以上説明したように、本発明の集積回路の検査方法に
よれば、端リード曲りの検査を先行し、次に中間リード
曲り検査を逐次行なうようにしたので、高速で正確な検
査を行なうことができる。
よれば、端リード曲りの検査を先行し、次に中間リード
曲り検査を逐次行なうようにしたので、高速で正確な検
査を行なうことができる。
第１図は本発明の集積回路の検査方法の一実施例を示す
フロー図、第２図は本実施例による検査対象となるQFP
を示す平面図、第３図は同じく側面図、第４図は供給用
トレイを示す平面図、第５図は本実施例による検査画像
を示す正面図、第６図及び第７図は本実施例の検査手順
を説明する部分拡大図である。 １……集積回路（QFP）、３……リード、te,ts,ls,le,b
s,be,re,rs……端リード。Ａ……端リード存在可能領
域。
フロー図、第２図は本実施例による検査対象となるQFP
を示す平面図、第３図は同じく側面図、第４図は供給用
トレイを示す平面図、第５図は本実施例による検査画像
を示す正面図、第６図及び第７図は本実施例の検査手順
を説明する部分拡大図である。 １……集積回路（QFP）、３……リード、te,ts,ls,le,b
s,be,re,rs……端リード。Ａ……端リード存在可能領
域。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G06T 7/00 G01B 21/20 H01L 21/66
Claims (1)
- 【請求項１】表面実装用の集積回路のリード曲りを検査
する集積回路の検査方法において、前記集積回路の外形
情報及び初期位置ずれ許容値を用いて端リード存在可能
領域を設定する工程と、前記端リード存在可能領域内に
おいて隣接リードの相対位置情報を用いて端リードを確
定する工程と、同方向に突出しているリードのうち両端
リードの先端位置を算出し真値と比較してリード曲りを
判定する工程と、前記両端リードの先端位置座標を用い
て中間リードの先端の存在必然位置を算出する工程と、
前記中間リード先端の存在必然領域の近傍のみをリード
ごとに探索して中間リード先端位置を算出し、存在必然
位置と逐次比較してリード曲りを判定する工程とからな
ることを特徴とする集積回路の検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2156544A JP2946647B2 (ja) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | 集積回路の検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2156544A JP2946647B2 (ja) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | 集積回路の検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0447467A JPH0447467A (ja) | 1992-02-17 |
| JP2946647B2 true JP2946647B2 (ja) | 1999-09-06 |
Family
ID=15630118
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2156544A Expired - Fee Related JP2946647B2 (ja) | 1990-06-13 | 1990-06-13 | 集積回路の検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2946647B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003250932A (ja) | 2002-02-28 | 2003-09-09 | Bridgestone Sports Co Ltd | ゴルフクラブシャフトの先端径調整具、ゴルフクラブシャフト及びゴルフクラブ |
-
1990
- 1990-06-13 JP JP2156544A patent/JP2946647B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0447467A (ja) | 1992-02-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |