JP3059446B2 - 高精度位置計測方法 - Google Patents
高精度位置計測方法Info
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- JP3059446B2 JP3059446B2 JP1113272A JP11327289A JP3059446B2 JP 3059446 B2 JP3059446 B2 JP 3059446B2 JP 1113272 A JP1113272 A JP 1113272A JP 11327289 A JP11327289 A JP 11327289A JP 3059446 B2 JP3059446 B2 JP 3059446B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、フラットパッケージ形ICとプリント基板の
ランドパターンとの相対的な位置を画像処理によって高
精度のもとに計測する方法に関する。
ランドパターンとの相対的な位置を画像処理によって高
精度のもとに計測する方法に関する。
フラットパッケージ形ICの自動搭載装置では、組み込
み過程で、フラットパッケージ形ICのリードとプリント
基板のランドパターンとの相対的な位置合わせが必要と
なる。
み過程で、フラットパッケージ形ICのリードとプリント
基板のランドパターンとの相対的な位置合わせが必要と
なる。
フラットパッケージ形ICが多リード化すると、画像処
理系の画像分解能に対するリードピッチの比率が小さく
なるため、画像処理での計測精度が落ちる。このため、
従来、フラットパッケージ形ICを複数の視野に分割し、
各視野毎にカメラを設置して計測精度を上げる必要があ
った。また、位置計測の精度を高めるために、各リード
またはランドパターンの中心位置の平均値からフラット
パッケージ形ICの中心位置またはランドパターンの中心
位置を求めたりする方法もある。
理系の画像分解能に対するリードピッチの比率が小さく
なるため、画像処理での計測精度が落ちる。このため、
従来、フラットパッケージ形ICを複数の視野に分割し、
各視野毎にカメラを設置して計測精度を上げる必要があ
った。また、位置計測の精度を高めるために、各リード
またはランドパターンの中心位置の平均値からフラット
パッケージ形ICの中心位置またはランドパターンの中心
位置を求めたりする方法もある。
フラットパッケージ形ICの撮像用カメラが複数台にな
ることにより、撮像部分が小型化しにくく、また撮像用
カメラの光軸のわずかな違いによっても、光学的な誤差
が発生しやすいため、実用化に多くの困難が伴う。
ることにより、撮像部分が小型化しにくく、また撮像用
カメラの光軸のわずかな違いによっても、光学的な誤差
が発生しやすいため、実用化に多くの困難が伴う。
また、リードまたはランドパターンの中心位置の平均
値からフラットパッケージ形ICの中心位置またはランド
パターンの中心位置を算出する方法だけでは、下記の理
由から、算出精度に限界がある。すなわち、通常、カメ
ラの画像信号を画像メモリに入力する撮像タイミング
は、ハード的に毎回10〜100ナノ秒程度のばらつきとな
って現れる。このタイミングのばらつきは、画像上で画
像水平方向（走査線方向）に0.1画素から1.0画素程度の
画素のばらつきとなって現れる。このように、画像メモ
リ上の画像全体が１画素以下のばらつきを持つ以上、位
置の計測精度にそれ以上の精度は望めない。したがっ
て、従来の平均値を用いる方法の計測精度の限界は、画
像の水平方向に対して±0.1〜1.0画素程度であった。
値からフラットパッケージ形ICの中心位置またはランド
パターンの中心位置を算出する方法だけでは、下記の理
由から、算出精度に限界がある。すなわち、通常、カメ
ラの画像信号を画像メモリに入力する撮像タイミング
は、ハード的に毎回10〜100ナノ秒程度のばらつきとな
って現れる。このタイミングのばらつきは、画像上で画
像水平方向（走査線方向）に0.1画素から1.0画素程度の
画素のばらつきとなって現れる。このように、画像メモ
リ上の画像全体が１画素以下のばらつきを持つ以上、位
置の計測精度にそれ以上の精度は望めない。したがっ
て、従来の平均値を用いる方法の計測精度の限界は、画
像の水平方向に対して±0.1〜1.0画素程度であった。
したがって、本発明の目的は、１台のカメラからの画
像信号を画像処理の技法を用いて改善し、フラットパッ
ケージ形ICの位置計測精度を向上させることである。
像信号を画像処理の技法を用いて改善し、フラットパッ
ケージ形ICの位置計測精度を向上させることである。
そこで、本発明は、１台のカメラを用いながら、撮像
タイミングのばらつきによって発生する画像の水平方向
の位置情報のばらつきを積分画像の導入によって低減
し、さらに各リードまたはランドパターンの中心位置を
求める平均処理の算出精度を上げるために、画素間濃度
補間を用いることによって、位置決め対象の位置計測精
度を高めている。
タイミングのばらつきによって発生する画像の水平方向
の位置情報のばらつきを積分画像の導入によって低減
し、さらに各リードまたはランドパターンの中心位置を
求める平均処理の算出精度を上げるために、画素間濃度
補間を用いることによって、位置決め対象の位置計測精
度を高めている。
本発明では、積分画像の導入によって画像間の水平方
向の位置情報のばらつきを減少させ、また画素間濃度補
間を平均処理と併用することにより、通常の平均処理の
みを用いた算出精度に比較して、位置合わせ対象の計測
精度が高められる。
向の位置情報のばらつきを減少させ、また画素間濃度補
間を平均処理と併用することにより、通常の平均処理の
みを用いた算出精度に比較して、位置合わせ対象の計測
精度が高められる。
第１図は、位置計測システム１の全体的な構成を示し
ている。撮像対象のフラットパッケージ形IC2は、４辺
のリード22とともにカメラ４の視野３の内部に納められ
ている。そして、このカメラ４は、フレームメモリ５を
介しコンピュータを用いた画像処理ユニット６に接続さ
れている。また、この画像処理ユニット６は、画像加算
用メモリ７の他、キーボード、ディスプレイ、プリンタ
などの入出力ユニット８に双方向的に接続されている。
ている。撮像対象のフラットパッケージ形IC2は、４辺
のリード22とともにカメラ４の視野３の内部に納められ
ている。そして、このカメラ４は、フレームメモリ５を
介しコンピュータを用いた画像処理ユニット６に接続さ
れている。また、この画像処理ユニット６は、画像加算
用メモリ７の他、キーボード、ディスプレイ、プリンタ
などの入出力ユニット８に双方向的に接続されている。
そして、本発明の高精度位置計測方法は、上記画像処
理ユニット６の内蔵プログラムによって実行される。第
２図は、本発明の高精度位置計測方法の順序過程を示し
ている。この方法は、撮像過程、積分画像作成過程、画
素間濃度補間過程および中心位置算出過程によって構成
されている。
理ユニット６の内蔵プログラムによって実行される。第
２図は、本発明の高精度位置計測方法の順序過程を示し
ている。この方法は、撮像過程、積分画像作成過程、画
素間濃度補間過程および中心位置算出過程によって構成
されている。
撮像過程； カメラ４は、視野３の内部のフラットパッケージ形IC
2の光学像を電気的な画像信号に変換し、フレームメモ
リ５に記憶させる。
2の光学像を電気的な画像信号に変換し、フレームメモ
リ５に記憶させる。
積分画像作成過程； 積分画像処理に際し、濃度レベル数16ビットの画像加
算用の画像加算用メモリ７は、予めクリアーされてい
る。画像処理ユニット６は、第３図のように、撮像毎
に、フレームメモリ５（濃度レベル数８ビット）の各濃
度値を画像加算用メモリ７（濃度レベル数16ビット）に
加算していく。この撮像および濃度値加算処理は、2n回
（ｎ＝１〜８）繰り返され、画像加算用メモリ７の各濃
度値をｎ回右方向論理シフトし、フレームメモリ５（濃
度レベル数８ビット）に転送する。このようにして、得
られた画像は、2n個の画像のフレーム加算による積分画
像（平均画像）であり、撮像時のばらつきによる水平方
向の位置情報のばらつきをρとすれば、積分画像が持つ
水平方向の位置情報のばらつきは、正規分布に従うもの
として、 に低減される。
算用の画像加算用メモリ７は、予めクリアーされてい
る。画像処理ユニット６は、第３図のように、撮像毎
に、フレームメモリ５（濃度レベル数８ビット）の各濃
度値を画像加算用メモリ７（濃度レベル数16ビット）に
加算していく。この撮像および濃度値加算処理は、2n回
（ｎ＝１〜８）繰り返され、画像加算用メモリ７の各濃
度値をｎ回右方向論理シフトし、フレームメモリ５（濃
度レベル数８ビット）に転送する。このようにして、得
られた画像は、2n個の画像のフレーム加算による積分画
像（平均画像）であり、撮像時のばらつきによる水平方
向の位置情報のばらつきをρとすれば、積分画像が持つ
水平方向の位置情報のばらつきは、正規分布に従うもの
として、 に低減される。
画素間濃度補間過程； 記憶画像は、第４図に示すように、リード22のパター
ンと対応し、水平方向または垂直方向に並ぶ画素の濃度
値ｆとして現れている。この濃度値ｆは、直線ｌ上の直
線補間もしくは曲線補間によって、定められたしきい値
SLと補間直線（曲線）との交点座標からリード22の両側
エッジとして求められ、その中心位置を１画素未満の分
解能で算出することができる。
ンと対応し、水平方向または垂直方向に並ぶ画素の濃度
値ｆとして現れている。この濃度値ｆは、直線ｌ上の直
線補間もしくは曲線補間によって、定められたしきい値
SLと補間直線（曲線）との交点座標からリード22の両側
エッジとして求められ、その中心位置を１画素未満の分
解能で算出することができる。
各リード中心位置の平均処理過程； この平均処理過程では、各リード22の中心位置の平均
からフラットパッケージ形IC2の中心位置が高精度で算
出される。
からフラットパッケージ形IC2の中心位置が高精度で算
出される。
この算出過程で、第５図に示すように、フラットパッ
ケージ形ICの各リード22を横切る水平方向の直線l1、l2
と、垂直方向の直線l3、l4とが設定される。水平方向の
片側リード数をｕ、垂直方向の片側リード数をｖとす
る。
ケージ形ICの各リード22を横切る水平方向の直線l1、l2
と、垂直方向の直線l3、l4とが設定される。水平方向の
片側リード数をｕ、垂直方向の片側リード数をｖとす
る。
水平方向の各リード22の中心位置のｘ座標をＡ（m,
1）、Ａ（m,2）、・・・、Ａ（m,u）とすれば、（ｍ＝
1,2）、フラットパッケージ形IC2のｘ座標は、下記の式
によって表される。
1）、Ａ（m,2）、・・・、Ａ（m,u）とすれば、（ｍ＝
1,2）、フラットパッケージ形IC2のｘ座標は、下記の式
によって表される。
垂直方向の各リード22の中心位置のｙ座標をＡ（m,
1）、Ａ（m,2）、・・・、Ａ（m,v）とすれば（ｍ＝3,
4）、フラットパッケージ形IC2の中心位置のｙ座標は、
下記の式によって与えらえる。
1）、Ａ（m,2）、・・・、Ａ（m,v）とすれば（ｍ＝3,
4）、フラットパッケージ形IC2の中心位置のｙ座標は、
下記の式によって与えらえる。
以上の過程によって、フラットパッケージ形IC2のリ
ード22の中心位置は、ｘ座標、ｙ座標として求められ
る。
ード22の中心位置は、ｘ座標、ｙ座標として求められ
る。
一方、フラットパッケージ形IC2が組み込まれる基板
のランドパターンは、上記と同様の処理を中心位置の算
出対象のランドパターンについて行われる。これによっ
てランドパターンの中心位置が求められる。
のランドパターンは、上記と同様の処理を中心位置の算
出対象のランドパターンについて行われる。これによっ
てランドパターンの中心位置が求められる。
現在のフラットパッケージ形ICの位置測定技術では、
複数のカメラを用いても、±30〔μｍ〕程度の測定精度
であるが、本発明の方法を用いれば、１台のカメラであ
っても、±数〔μｍ〕程度の測定精度を達成できる。こ
れにより、高密度技術すなわち多リード化、狭いリード
ピッチ化技術に対しても、設備の変更なく、充分に対応
していくことが可能となる。
複数のカメラを用いても、±30〔μｍ〕程度の測定精度
であるが、本発明の方法を用いれば、１台のカメラであ
っても、±数〔μｍ〕程度の測定精度を達成できる。こ
れにより、高密度技術すなわち多リード化、狭いリード
ピッチ化技術に対しても、設備の変更なく、充分に対応
していくことが可能となる。
第１図は位置計測システムのブロック線図、第２図は本
発明の高精度位置計測方法のフローチャート図、第３図
は積分画像形成過程の説明図、第４図は画素間濃度補間
の説明図、第５図は中心位置算出過程の説明図である。 １……位置計測システム、２……フラットパッケージ形
IC、３……視野、４……カメラ、５……フレームメモ
リ、６……画像処理ユニット、７……画像加算用メモ
リ、８……入出力ユニット。
発明の高精度位置計測方法のフローチャート図、第３図
は積分画像形成過程の説明図、第４図は画素間濃度補間
の説明図、第５図は中心位置算出過程の説明図である。 １……位置計測システム、２……フラットパッケージ形
IC、３……視野、４……カメラ、５……フレームメモ
リ、６……画像処理ユニット、７……画像加算用メモ
リ、８……入出力ユニット。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−232505（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−256271（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−21046（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−24110（ＪＰ，Ａ) 国際公開88／2097（ＷＯ，Ａ１) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 11/00 - 11/30 102 G01N 21/84 - 21/958 G06T 7/00 H05K 13/04
Claims (1)
- 【請求項１】フラットパッケージ形ICのリードおよびプ
リント基板のランドパターンの位置合わせ対象の位置計
測において、位置合わせ対象を視野内に納め光学的な画
像から電気的な画像に変換する撮像過程と、電気的な画
像を画像メモリ上で加算し積分画像を生成することによ
り上記撮像過程で発生する画像の水平方向の位置データ
のばらつきを低減する積分画像作成過程と、位置合わせ
対象の各リードまたはランドパターンの中心位置を画素
間濃度補間によって算出する画素間濃度補間過程と、撮
像対象の各リードまたはランドパターンの各中心位置の
平均から位置合わせ対象の中心位置を確定する中心位置
算出過程とからなることを特徴とする高精度位置計測方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1113272A JP3059446B2 (ja) | 1989-05-02 | 1989-05-02 | 高精度位置計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1113272A JP3059446B2 (ja) | 1989-05-02 | 1989-05-02 | 高精度位置計測方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02291906A JPH02291906A (ja) | 1990-12-03 |
| JP3059446B2 true JP3059446B2 (ja) | 2000-07-04 |
Family
ID=14607969
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1113272A Expired - Lifetime JP3059446B2 (ja) | 1989-05-02 | 1989-05-02 | 高精度位置計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3059446B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20230051313A1 (en) * | 2021-08-11 | 2023-02-16 | FootPrintKu Inc. | Method and system for analyzing specification parameter of electronic component, computer program product with stored program, and computer readable medium with stored program |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7349575B2 (en) * | 2003-06-27 | 2008-03-25 | Nippon Avionics Co., Ltd. | Pattern inspection method and apparatus, and pattern alignment method |
-
1989
- 1989-05-02 JP JP1113272A patent/JP3059446B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20230051313A1 (en) * | 2021-08-11 | 2023-02-16 | FootPrintKu Inc. | Method and system for analyzing specification parameter of electronic component, computer program product with stored program, and computer readable medium with stored program |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02291906A (ja) | 1990-12-03 |
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