JP2941788B2 - 可動ミラー装置 - Google Patents
可動ミラー装置Info
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- JP2941788B2 JP2941788B2 JP10180716A JP18071698A JP2941788B2 JP 2941788 B2 JP2941788 B2 JP 2941788B2 JP 10180716 A JP10180716 A JP 10180716A JP 18071698 A JP18071698 A JP 18071698A JP 2941788 B2 JP2941788 B2 JP 2941788B2
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- reflecting mirror
- electrode
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- mirror device
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- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N5/00—Details of television systems
- H04N5/74—Projection arrangements for image reproduction, e.g. using eidophor
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- Optics & Photonics (AREA)
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- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は入射光の進行経路を
変換し得るようになる可動ミラー装置に係り、さらに詳
細には、低い駆動電圧で光経路変換角度の調節が容易に
できるよう該構造が改良された可動ミラー装置に関す
る。
変換し得るようになる可動ミラー装置に係り、さらに詳
細には、低い駆動電圧で光経路変換角度の調節が容易に
できるよう該構造が改良された可動ミラー装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、可動ミラー装置（ＤＭＤ；De
formable Mirror Device）は、静電気力により回動自在
に設けられる複数の反射鏡を有し、これにより入射され
る光を所定の角度で反射させる。この可動ミラー装置は
プロジェクションテレビの画像表示装置及びスキャナ
ー、複写機、ファクシミリなどの光走査装置に適用され
る。特に、画像表示装置として採用される時、反射鏡は
画素数だけ二次元的に配列され、それぞれの反射鏡を各
画素に対する映像信号に基づき回動させることにより光
を反射させ、色合いや輝度を調節する。
formable Mirror Device）は、静電気力により回動自在
に設けられる複数の反射鏡を有し、これにより入射され
る光を所定の角度で反射させる。この可動ミラー装置は
プロジェクションテレビの画像表示装置及びスキャナ
ー、複写機、ファクシミリなどの光走査装置に適用され
る。特に、画像表示装置として採用される時、反射鏡は
画素数だけ二次元的に配列され、それぞれの反射鏡を各
画素に対する映像信号に基づき回動させることにより光
を反射させ、色合いや輝度を調節する。
【０００３】図１を参照するに、従来の可動ミラー装置
は基板１と、前記基板１の上面に所定間隔離れたまま突
設される一対のポスト３と、前記基板１上に形成される
電極５と、前記ポスト３により支持され、前記電極５と
向かい合って配置される反射鏡７と、前記反射鏡７の両
側それぞれと前記ポスト３との間に連結され、前記反射
鏡７を支持する一対の支持片９とを含んでなる。
は基板１と、前記基板１の上面に所定間隔離れたまま突
設される一対のポスト３と、前記基板１上に形成される
電極５と、前記ポスト３により支持され、前記電極５と
向かい合って配置される反射鏡７と、前記反射鏡７の両
側それぞれと前記ポスト３との間に連結され、前記反射
鏡７を支持する一対の支持片９とを含んでなる。
【０００４】前記支持片９は、図示のように非対称（Ｌ
1 ≠Ｌ2 ）構造でいずれか一方の支持片９ａが他方の支
持片９ｂに比べ短く形成され、且つ、前記反射鏡７を弾
性的に支持できるよう剛性を有する。ここで、前記支持
片９は対称構造を有することもある。前記電極５は、前
記反射鏡７のサイズに対応するサイズを有し、前記反射
鏡７と向かい合うよう前記基板１上に設けられる。した
がって、前記電極５に電位を印加すると、前記電極５と
反射鏡７との電位差により静電引力が作用し、これによ
り前記反射鏡７が前記支持片９の剛性に勝ち取り、電極
５に向って下りながら該傾斜が変わる。一方、電極５と
反射鏡７との電位差がなくなると、前記支持片９の剛性
により前記反射鏡７は元の状態に戻り、水平状態を保
つ。
1 ≠Ｌ2 ）構造でいずれか一方の支持片９ａが他方の支
持片９ｂに比べ短く形成され、且つ、前記反射鏡７を弾
性的に支持できるよう剛性を有する。ここで、前記支持
片９は対称構造を有することもある。前記電極５は、前
記反射鏡７のサイズに対応するサイズを有し、前記反射
鏡７と向かい合うよう前記基板１上に設けられる。した
がって、前記電極５に電位を印加すると、前記電極５と
反射鏡７との電位差により静電引力が作用し、これによ
り前記反射鏡７が前記支持片９の剛性に勝ち取り、電極
５に向って下りながら該傾斜が変わる。一方、電極５と
反射鏡７との電位差がなくなると、前記支持片９の剛性
により前記反射鏡７は元の状態に戻り、水平状態を保
つ。
【０００５】かかる非対称支持板の構造を有する可動ミ
ラー装置は、図２に示すように、電極５と反射鏡７と間
に電位差を加えると、支持片９ａ、９ｂと反射鏡７との
連結された部分それぞれが電極５側に力Ｆ1 、Ｆ2 を受
ける。これにより前記反射鏡７が下方に向って所定距離
ｄ1 、ｄ2 分だけ垂れる。ここで、両支持片９ａ、９ｂ
間の剛性ｋ1 、ｋ2 の差分により力Ｆ1 、Ｆ2 が異なっ
てくると共に、前記反射鏡７の下方への移動距離ｄ1 、
ｄ2 が相異なり、これにより前記反射鏡７の傾斜が決ま
る。
ラー装置は、図２に示すように、電極５と反射鏡７と間
に電位差を加えると、支持片９ａ、９ｂと反射鏡７との
連結された部分それぞれが電極５側に力Ｆ1 、Ｆ2 を受
ける。これにより前記反射鏡７が下方に向って所定距離
ｄ1 、ｄ2 分だけ垂れる。ここで、両支持片９ａ、９ｂ
間の剛性ｋ1 、ｋ2 の差分により力Ｆ1 、Ｆ2 が異なっ
てくると共に、前記反射鏡７の下方への移動距離ｄ1 、
ｄ2 が相異なり、これにより前記反射鏡７の傾斜が決ま
る。
【０００６】前記力Ｆ1 、Ｆ2 の強度は静電引力が作用
する合力Ｆesからポスト３の支持点までの距離Ｌ1 、Ｌ
2 に反比例に決まる。図面においてＬ1 ＜Ｌ2 、ｋ1 ＞
ｋ2 であり、Ｆ1 ＞Ｆ2 であるため、剛性の大きい方ｋ
1 に大きい力Ｆ1 がかかり、剛性の小さい方ｋ2 に小さ
い力Ｆ2 が作用する。したがって、傾斜の効果が小さく
なる問題点がある。これを考慮して前記電極５に印加さ
れる電圧及び支持片９に作用する応力を増やさなければ
ならないため、信頼性が低下する恐れがある。
する合力Ｆesからポスト３の支持点までの距離Ｌ1 、Ｌ
2 に反比例に決まる。図面においてＬ1 ＜Ｌ2 、ｋ1 ＞
ｋ2 であり、Ｆ1 ＞Ｆ2 であるため、剛性の大きい方ｋ
1 に大きい力Ｆ1 がかかり、剛性の小さい方ｋ2 に小さ
い力Ｆ2 が作用する。したがって、傾斜の効果が小さく
なる問題点がある。これを考慮して前記電極５に印加さ
れる電圧及び支持片９に作用する応力を増やさなければ
ならないため、信頼性が低下する恐れがある。
【０００７】一方、図３に示すように、両支持片９が対
称的に配置（Ｌ1 ＝Ｌ2 ）される場合には構造的に作用
する力Ｆ1 、Ｆ2 と支持片９の剛性ｋ1 、ｋ2 とが同様
であるために、前記反射鏡７は水平を保ちながら電極５
に向って下る。従って、光経路変換を示すことが不可能
であった。
称的に配置（Ｌ1 ＝Ｌ2 ）される場合には構造的に作用
する力Ｆ1 、Ｆ2 と支持片９の剛性ｋ1 、ｋ2 とが同様
であるために、前記反射鏡７は水平を保ちながら電極５
に向って下る。従って、光経路変換を示すことが不可能
であった。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記事情に鑑
みて成されたものであり、反射鏡に対する電極の位置を
調節し、相対的に低い静電圧下で光経路変換角を大きく
できる可動ミラー装置を提供することにその目的があ
る。
みて成されたものであり、反射鏡に対する電極の位置を
調節し、相対的に低い静電圧下で光経路変換角を大きく
できる可動ミラー装置を提供することにその目的があ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は基板と、前記基板の上面に所定間隔離れた
まま突設される一対のポストと、前記基板上に形成され
る電極と、前記ポストにより支持され、前記電極に対向
するように配置される反射鏡と、前記反射鏡の両側それ
ぞれと前記ポストとの間に連結されて前記反射鏡を支持
し、且つ所定の剛性を有する一対の第１及び第２支持片
とを有し、前記電極と反射鏡との静電引力により前記反
射鏡の傾斜を可変し得るようになる可動ミラー装置にお
いて、前記反射鏡に対し前記電極がいずれか一方に偏っ
て配置され、前記第１及び第２支持片それぞれと前記反
射鏡との位置において前記電極側に作用する力の強度が
相異なるようにしてなることを特徴とする。
に、本発明は基板と、前記基板の上面に所定間隔離れた
まま突設される一対のポストと、前記基板上に形成され
る電極と、前記ポストにより支持され、前記電極に対向
するように配置される反射鏡と、前記反射鏡の両側それ
ぞれと前記ポストとの間に連結されて前記反射鏡を支持
し、且つ所定の剛性を有する一対の第１及び第２支持片
とを有し、前記電極と反射鏡との静電引力により前記反
射鏡の傾斜を可変し得るようになる可動ミラー装置にお
いて、前記反射鏡に対し前記電極がいずれか一方に偏っ
て配置され、前記第１及び第２支持片それぞれと前記反
射鏡との位置において前記電極側に作用する力の強度が
相異なるようにしてなることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】図４に示すように、本発明の実施
例に係る可動ミラー装置は基板１１と、この基板１１の
上面に所定間隔離れたまま突設される一対のポスト１３
と、前記基板１１上に形成される電極１５と、前記ポス
ト１３により支持され、前記電極１５に対向するように
配置される反射鏡１７と、前記反射鏡１７を支持し、所
定の剛性を有する支持片１９とを含んでなる。
例に係る可動ミラー装置は基板１１と、この基板１１の
上面に所定間隔離れたまま突設される一対のポスト１３
と、前記基板１１上に形成される電極１５と、前記ポス
ト１３により支持され、前記電極１５に対向するように
配置される反射鏡１７と、前記反射鏡１７を支持し、所
定の剛性を有する支持片１９とを含んでなる。
【００１１】前記支持片１９は、前記反射鏡１７の両側
それぞれと前記ポスト１３との間に連結され、前記反射
鏡１７を支持し得るように第１支持片１９ａと第２支持
片１９ｂとからなる。ここで、前記第１及び第２支持片
１９ａ、１９ｂは、図４及び図５に示すように、非対称
（Ｌ1 ’＞Ｌ2 ’）構造で第１支持片１９ａにかかる剛
性ｋ1 ’が前記第２支持片１９ｂにかかる剛性ｋ2 ’よ
りも大きい。一方、図６に示すように、前記第１及び第
２支持片１９ａ、１９ｂそれぞれにかかる剛性ｋ1 ’、
ｋ2 ’が同様のような対称構造を有することもできる。
それぞれと前記ポスト１３との間に連結され、前記反射
鏡１７を支持し得るように第１支持片１９ａと第２支持
片１９ｂとからなる。ここで、前記第１及び第２支持片
１９ａ、１９ｂは、図４及び図５に示すように、非対称
（Ｌ1 ’＞Ｌ2 ’）構造で第１支持片１９ａにかかる剛
性ｋ1 ’が前記第２支持片１９ｂにかかる剛性ｋ2 ’よ
りも大きい。一方、図６に示すように、前記第１及び第
２支持片１９ａ、１９ｂそれぞれにかかる剛性ｋ1 ’、
ｋ2 ’が同様のような対称構造を有することもできる。
【００１２】前記電極１５は、前記反射鏡１７のサイズ
に対応するサイズを有し、前記反射鏡１７に対しいずれ
か一方に所定間隔Ｇ（図４参照）だけ偏って配置され
る。従って、前記第１及び第２支持片１９ａ、１９ｂそ
れぞれと前記反射鏡１７との位置において前記電極１５
側に作用する力の強度が相異なることになる。ここで、
前記電極１５に電位を印加すると、前記電極１５と反射
鏡１７との電位差により静電引力が作用し、前記反射鏡
１７が前記支持片１９の剛性に勝ち取り、電極１５側に
下りながら該傾斜が変わる。一方、電極１５と反射鏡１
７との間に電位差がなくなると、前記支持片１９の剛性
により前記反射鏡１７は元の状態に戻り、水平状態を保
つ。 以下、図５及び図６に基づいて本発明の好適な実
施例による動作につき説明する。図５に示すように、第
１支持片１９ａにかかる剛性ｋ1 ’が前記第２支持片１
９ｂにかかる剛性ｋ2 ’に比べて大きくなるように、前
記第２支持片１９ｂは前記第１支持片１９ａに比べ相対
的に長い片長を有する。そして、前記電極１５は前記反
射鏡１７に対し前記第２支持片１９ｂに向って偏って配
置される。
に対応するサイズを有し、前記反射鏡１７に対しいずれ
か一方に所定間隔Ｇ（図４参照）だけ偏って配置され
る。従って、前記第１及び第２支持片１９ａ、１９ｂそ
れぞれと前記反射鏡１７との位置において前記電極１５
側に作用する力の強度が相異なることになる。ここで、
前記電極１５に電位を印加すると、前記電極１５と反射
鏡１７との電位差により静電引力が作用し、前記反射鏡
１７が前記支持片１９の剛性に勝ち取り、電極１５側に
下りながら該傾斜が変わる。一方、電極１５と反射鏡１
７との間に電位差がなくなると、前記支持片１９の剛性
により前記反射鏡１７は元の状態に戻り、水平状態を保
つ。 以下、図５及び図６に基づいて本発明の好適な実
施例による動作につき説明する。図５に示すように、第
１支持片１９ａにかかる剛性ｋ1 ’が前記第２支持片１
９ｂにかかる剛性ｋ2 ’に比べて大きくなるように、前
記第２支持片１９ｂは前記第１支持片１９ａに比べ相対
的に長い片長を有する。そして、前記電極１５は前記反
射鏡１７に対し前記第２支持片１９ｂに向って偏って配
置される。
【００１３】電極１５と反射鏡１７と間に電位差を加え
ると、第１及び第２支持片１９ａ、１９ｂと反射鏡１７
との連結された部分それぞれが電極１５側に力Ｆ1 ’、
Ｆ2’を受ける。これにより前記反射鏡１７が下方に所
定距離ｄ1 ’、ｄ2 ’分だけ垂れる。ここで、両支持片
１９ａ、１９ｂ間の剛性ｋ1 ’、ｋ2 ’の差分により力
Ｆ1 ’、Ｆ2 ’が異なってくると共に、前記反射鏡１７
の下方への移動距離ｄ 1 ’、ｄ2 ’が相異なり、これに
より前記反射鏡１７の傾斜が決まる。この場合、静電引
力の合力Ｆes’も前記電極１５の偏り方向に移動して、
Ｌ1 ’＞Ｌ2 ’になり、Ｆ1 ’＜Ｆ2 ’になる。従っ
て、剛性の小さな方ｋ2 ’へ大きい力Ｆ2’が作用し、
剛性の大きい方ｋ1 ’へ小さい力Ｆ1 ’が作用すること
により、前記反射鏡１７の傾斜角を大きくし得る。
ると、第１及び第２支持片１９ａ、１９ｂと反射鏡１７
との連結された部分それぞれが電極１５側に力Ｆ1 ’、
Ｆ2’を受ける。これにより前記反射鏡１７が下方に所
定距離ｄ1 ’、ｄ2 ’分だけ垂れる。ここで、両支持片
１９ａ、１９ｂ間の剛性ｋ1 ’、ｋ2 ’の差分により力
Ｆ1 ’、Ｆ2 ’が異なってくると共に、前記反射鏡１７
の下方への移動距離ｄ 1 ’、ｄ2 ’が相異なり、これに
より前記反射鏡１７の傾斜が決まる。この場合、静電引
力の合力Ｆes’も前記電極１５の偏り方向に移動して、
Ｌ1 ’＞Ｌ2 ’になり、Ｆ1 ’＜Ｆ2 ’になる。従っ
て、剛性の小さな方ｋ2 ’へ大きい力Ｆ2’が作用し、
剛性の大きい方ｋ1 ’へ小さい力Ｆ1 ’が作用すること
により、前記反射鏡１７の傾斜角を大きくし得る。
【００１４】さらに、従来の構成とは異なって、剛性の
大きい方ｋ1 ’に小さい力Ｆ1 ’が作用することから、
その剛性において従来の剛性ｋ1 に比べ小さい剛性
ｋ1 ’を以て前記反射鏡１７の傾斜程度を従来レベルに
保てるため、低い静電圧下においても前記反射鏡１７の
傾斜を調節し得る。図６は、対称支持板の構造を有する
可動ミラー装置の概略的な正面図である。図示のよう
に、電極１５が図の右側、すなわち、第２支持片１９ｂ
側に偏って配置されると共に、静電引力の合力Ｆes’も
移動されることにより、Ｌ1 ’＞Ｌ2’になり、Ｆ1 ’
＜Ｆ2 ’になる。これにより、第１及び第２支持片１９
ａ、１９ｂにかかる剛性が同様であっても作用する力が
Ｆ1 ’＜Ｆ2 ’になるから、ｄ 1 ’＜ｄ2 ’になり、前
記反射鏡１７が傾くようになる。従って、前記したよう
に、対称の支持片１９構造においても前記電極１５の位
置を調節することで、前記反射鏡１７の傾斜程度を調節
できる。さらに、図５に示すような非対称構造の可動ミ
ラー装置に比べ第２支持片１９ｂの剛性ｋ2 ’を小さく
しても同一程度の反射鏡１７の傾斜を得ることができ、
前記した非対称構造に比べ低い静電圧において駆動が可
能である。
大きい方ｋ1 ’に小さい力Ｆ1 ’が作用することから、
その剛性において従来の剛性ｋ1 に比べ小さい剛性
ｋ1 ’を以て前記反射鏡１７の傾斜程度を従来レベルに
保てるため、低い静電圧下においても前記反射鏡１７の
傾斜を調節し得る。図６は、対称支持板の構造を有する
可動ミラー装置の概略的な正面図である。図示のよう
に、電極１５が図の右側、すなわち、第２支持片１９ｂ
側に偏って配置されると共に、静電引力の合力Ｆes’も
移動されることにより、Ｌ1 ’＞Ｌ2’になり、Ｆ1 ’
＜Ｆ2 ’になる。これにより、第１及び第２支持片１９
ａ、１９ｂにかかる剛性が同様であっても作用する力が
Ｆ1 ’＜Ｆ2 ’になるから、ｄ 1 ’＜ｄ2 ’になり、前
記反射鏡１７が傾くようになる。従って、前記したよう
に、対称の支持片１９構造においても前記電極１５の位
置を調節することで、前記反射鏡１７の傾斜程度を調節
できる。さらに、図５に示すような非対称構造の可動ミ
ラー装置に比べ第２支持片１９ｂの剛性ｋ2 ’を小さく
しても同一程度の反射鏡１７の傾斜を得ることができ、
前記した非対称構造に比べ低い静電圧において駆動が可
能である。
【００１５】図４乃至図６には、電極１５が反射鏡１７
と同一サイズを有し、いずれか一方に所定の幅Ｇだけ移
動配置された場合を例に取って述べたが、これは単なる
例示的なものに過ぎず、前記した静電引力の合力Ｆes’
の位置が反射鏡の中心から外れた位置に置かれるよう前
記電極１５の形状及びサイズを反射鏡１７と相異なるよ
うにしても良い。
と同一サイズを有し、いずれか一方に所定の幅Ｇだけ移
動配置された場合を例に取って述べたが、これは単なる
例示的なものに過ぎず、前記した静電引力の合力Ｆes’
の位置が反射鏡の中心から外れた位置に置かれるよう前
記電極１５の形状及びサイズを反射鏡１７と相異なるよ
うにしても良い。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように構成される本発明に係
る可動ミラー装置は、反射鏡１７に対し電極１５をいず
れか一方に偏って配置することにより、反射鏡１７の可
動に要される静電圧を低くすることができ、信頼性及び
効率の向上を図ることができる。
る可動ミラー装置は、反射鏡１７に対し電極１５をいず
れか一方に偏って配置することにより、反射鏡１７の可
動に要される静電圧を低くすることができ、信頼性及び
効率の向上を図ることができる。
【００１７】さらに、反射鏡１７を支持する第１及び第
２支持片１９ａ、１９ｂを対称構造にした場合において
も、反射鏡１７の傾斜を調節できる。
２支持片１９ａ、１９ｂを対称構造にした場合において
も、反射鏡１７の傾斜を調節できる。
【図１】従来の可動ミラー装置を示す概略的な斜視図で
ある。
ある。
【図２】従来の非対称支持板の構造を有する可動ミラー
装置の概略的な正面図である。
装置の概略的な正面図である。
【図３】従来の対称支持板の構造を有する可動ミラー装
置の概略的な正面図である。
置の概略的な正面図である。
【図４】本発明の実施例に係る可動ミラー装置を示す概
略的な斜視図である。
略的な斜視図である。
【図５】本発明の実施例に係る非対称支持板の構造を有
する可動ミラー装置の概略的な正面図である。
する可動ミラー装置の概略的な正面図である。
【図６】本発明の実施例に係る対称支持板の構造を有す
る可動ミラー装置の概略的な正面図である。
る可動ミラー装置の概略的な正面図である。
１１ 基板 １３ ポスト １５ 電極 １７ 反射鏡 １９ 支持片 １９ａ 第１支持片 １９ｂ 第２支持片 Ｌ1 ’、Ｌ2 ’ 支持点までの距離 Ｇ 所定幅
Claims (3)
- 【請求項１】 基板と、前記基板の上面に所定間隔離れ
て突設される一対のポストと、前記基板上に形成される
電極と、前記ポストにより支持され、前記電極に対向す
るように配置される反射鏡と、前記反射鏡の両側それぞ
れと前記ポストとの間に連結され、前記反射鏡を支持
し、所定の剛性を有する一対の第１及び第２支持片とを
有し、前記電極と反射鏡との間の静電引力により前記反
射鏡の傾斜を可変し得るようになる可動ミラー装置にお
いて、 前記反射鏡に対し前記電極がいずれか一方に偏って配置
され、前記第１及び第２支持片それぞれと前記反射鏡と
の間の位置において前記電極側に作用する力の強度が相
異なるようにしてなることを特徴とする可動ミラー装
置。 - 【請求項２】 前記第１支持片にかかる剛性が前記第２
支持片にかかる剛性に比べて強く、前記第２支持片は前
記第１支持片より相対的に長く、 前記電極は前記反射鏡に対し前記第２支持片に向って偏
って配置されることを特徴とする請求項１に記載の可動
ミラー装置。 - 【請求項３】 第１及び第２支持片それぞれにかかる剛
性が同様のように、前記第１及び第２支持片それぞれは
同一長を有し、 前記電極は前記反射鏡に対し前記第１支持片または第２
支持片に向って偏って配置され、前記第１及び第２支持
片それぞれと前記反射鏡との位置において前記電極側に
作用する力の強度が相異なるようにしてなることを特徴
とする請求項１に記載の可動ミラー装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019970082105A KR100263891B1 (ko) | 1997-12-31 | 1997-12-31 | 가동미러장치 |
| KR82105/1997 | 1997-12-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11202224A JPH11202224A (ja) | 1999-07-30 |
| JP2941788B2 true JP2941788B2 (ja) | 1999-08-30 |
Family
ID=19530751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10180716A Expired - Fee Related JP2941788B2 (ja) | 1997-12-31 | 1998-06-26 | 可動ミラー装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5978128A (ja) |
| EP (1) | EP0927903B1 (ja) |
| JP (1) | JP2941788B2 (ja) |
| KR (1) | KR100263891B1 (ja) |
| CN (1) | CN1105933C (ja) |
| DE (1) | DE69808723T2 (ja) |
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