KR100259151B1 - 비대칭강성구조를 갖는 광 경로 변환 액츄에이터 및 그의 구동방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 프로젝션 텔레비젼의 광 경로 변환 액츄에이터 및 그의 구동방법에 관한 것으로서, 커버 내부에 기판이 설치되고, 기판 상부면에는 전극 및 이의 사이에 위치되는 구동전극이 각각 증착되며, 전극 상부에는 전극으로부터 인가된 전압이 통전되도록 한 쌍의 지지대와 입사광을 반사시키기 위한 플레이트 및 플레이트 각각에 일단이 연결되어 입사광의 입사경로 및 경사각도를 조절하기 위한 비대칭수단이 증착됨으로써, 플레이트를 비대칭으로 기울여 입사광의 입사경로와 반사광의 경사각도를 간단하게 조절할 수 있음은 물론 이에 따른 구동전압의 전력소모를 최소로 줄일 수 있고, 특히 플레이트 상부에 입사광의 투사면적이 넓도록 또 다른 평판형상의 플레이트를 배치하여 반사광의 효율을 증대시킬 수 있다.

Description

프로젝션 텔레비젼의 광 경로 변환 액츄에이터 및 그의 구동방법.

본 발명은 프로젝션 텔레비젼의 광 경로 변환 액츄에이터 및 그의 구동방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 스크린에 반사광을 투영하기 위한 플레이트를 비대칭으로 기울여 입사광의 반사경로를 간단하게 조절함은 물론 반사광의 경사각도를 크게 할 수 있도록 한 광 경로 변환 액츄에이터 및 그의 구동방법에 관한 것이다.

일반적으로, 액정패널을 사용하는 프로젝션 텔레비젼은 종횡으로 일정한 비율 예를들면, 9:16 갖는 투과형 스크린에 영상을 비추기 위한 것으로서, 이러한 프로젝션 텔레비젼은 도 1에 도시된 바와같이 케이스(도시되지않음) 내부에는 영상투영원에서 발하는 입사광이 스크린(2)을 향하여 투영될 수 있도록 투사렌즈(4)가 배치된다.

상기의 영상투영원은 적색(red), 녹색(green) 및 청색(blue)의 색상광을 발하기 위하여 커버에 배치되는 광원(10)과 이의 전방에 위치되어 광원(10)으로부터 발하는 색상광의 초점을 맞추기 위한 렌즈(12) 및 렌즈(12)를 통하여 입사된 입사광을 반사시키는 반사면(dichroic mirror)(14)으로 구비된다.

반사면(14) 일측에는 스크린(2)에 종횡비율의 영상을 형성시킬 수 있도록 복수의 액정소자(도시되지않음)를 갖는 액정패널(16)이 배치되고, 그 후방에는 투사렌즈(4)가 경사지게 설치되며, 반사면(14)은 렌즈(12)를 통해 입사된 입사광을 설정된 입사경로로 스크린(2)면에 투영하기 위하여 도 2a에 도시된 액츄에이터(20)에 의해 경로 및 경사각도가 조절된다.

상기 액츄에이터(20)는 커버(22)내에 설치되는 지지대(24)와 지지대(24)의 일측에 일단이 고정단이고 타단이 자유단인 외팔보로 고정되는 바아(26) 및 바아(26)의 상면 중앙부에 부착되어 압전기(壓電氣) 현상을 유발하기 위한 압전소자(piezo electric element)(28)로 구비되며, 반사면(14)는 바아(26)의 자유단에 부착된다.

이와같이 구성된 종래의 광 경로 변환 액츄에이터는 광원에서 순차적으로 발하는 적색, 녹색 및 청색의 입사광이 렌즈(12)를 통하여 액츄에이터(20)의 바아(26)에 부착된 반사면(14)으로 투사되면, 반사면(14)에서는 입사광을 설정된 입사경로와 경사각도로 변환시킨 후 액정패널(16)로 투사한다. 즉, 바아(26)의 중앙부에 부착된 압전소자(28)로 전압을 인가하면 바아(26)의 자유단에서 굽힘응력(bending stress)이 발생되어 투사되는 입사광에 따라 반사면(30)의 기울기를 조절한다.

따라서, 압전소자(22)에 가해지는 전위차에 따라 반사면(14)이 기울어지는 정도를 조절하여 입사광의 입사경로와 반사면(14)에 의해 반사되는 반사광의 경사각도가 변환된 반사광이 액정패널(16)을 투과하면서 칼라의 영상이 형성되고, 이 영상은 다시 투사렌즈(4)를 투과하여 스크린(2)에 일정비율의 종횡비를 갖도록 영상을 비추는 것이다.

그러나, 상기와 같이 입사광의 경로 및 경사각도가 바아에 부착된 압전재료의 전위차에 의해 변환되었기 때문에 액츄에이터의 장시간 사용시 압전재료에 가해지는 전위차와 이에 대한 바아에서 히스테리시스(hysteresis)가 발생됨에 따라 입사광의 정확한 경로와 경사각도의 조절이 어려움은 물론 정확한 반사광을 액정패널에 투사하지 못하는 단점이 있었다.

이와같은 단점을 해소하기 위해 종래에는 도 3에 도시된 광 경로 변환 액츄에이터가 제공되었다. 상기의 액츄에이터(40)는 영상투영원을 이루는 커버(22)내에 일정간격으로 이격되게 고정되는 한 쌍의 지지대(42)와 이의 사이에 배치된 광원(10)으로부터 렌즈(12)를 통해 입사되는 입사광을 반사시키기 위한 반사면(44) 그리고, 반사면(44)이 부착되는 금속재질의 플레이트(46)와 이 플레이트(46) 양측에 일단이 각각 고정되고 타단이 지지대(42)에 힌지결합되는 토션바아(torsion bar)(48)로 구비된다.

플레이트(46)의 하부측에는 반사면(44)에 투사되는 입사광에 따라 입사경로 및 반사광의 경사각도를 조절하여 렌즈(12)에 반사광을 투사할 수 있도록 하기 위하여 플레이트(46)의 양측에 일단이 고정된 토션바아(48)와 직각을 이루도록 제1 및 제2구동전극(50)(52)이 배치된다.

상기와 같이 구성된 광 경로 변환 액츄에이터에 있어서는, 광원(10)으로부터 발하는 입사광이 렌즈(12)를 통하여 플레이트(46) 상면에 부착된 반사면(44)으로 투사되면, 반사면(44)에서는 입사광을 설정된 경로와 경사각도로 변환시킨 후 변환된 반사광을 액정패널(16) 및 투사렌즈(4)로 투과시켜 칼라의 영상을 스크린(2)에 투영한다.

스크린(2)에 투영되는 반사광의 경로와 경사각도를 입사광에 따라 변환시킬 때에는 제1 또는 제2구동전극(50)(52) 중에서 적어도 어느 하나의 구동전극 예를들면, 제1구동전극(50)에 전압을 인가하여 반사면이 부착된 플레이트(46)와 제1구동전극(50) 사이에서 가해지는 전위차에 의해 도 4a에 도시된 바와같이 플레이트(46)가 정전유도에 의한 정전력 때문에 전압이 인가된 제1구동전극(50)쪽으로 기울어진다.

따라서, 입사광은 기울어진 반사면(44)에 반사되면서 설정된 입사경로와 경사각도(예각)로 액정패널(16)에 투사하게 되는 것이다. 이때, 플레이트(46) 양측에 일단이 각각 고정된 토션바아(48)는 비틀린 상태를 유지한다.

또한, 반사면(44)을 초기상태로 복원시키거나 또는 도 4b에서와 같이 플레이트(46)를 반대방향으로 기울여 경사각도를 크게 할 때에는, 제1구동전극(50)에 인가한 전압을 차단하여 플레이트(46) 사이의 전위차를 제거한 다음 제2구동전극(52)과 플레이트(46)에 전위차를 가하면, 비틀어진 토션바아(48)의 복원력과 제2구동전극(52)에 인가되는 전압에 의해 플레이트(46)가 초기상태로 복귀됨과 동시에 정전력이 더해져 플레이트(46)에 부착된 반사면이 반대방향으로 기울어짐에 따라 액정패널(16)로 투사되는 반사광의 경사각도를 크게(둔각) 할 수 있는 것이다.

그러나, 상기와 같이 정전력 구동에 의해 반사면의 경로와 경사각도를 변환시켰기 때문에 이로 인해 반사면이 부착된 플레이트가 제1 및/또는 제2구동전극에 달라붙어 쉽게 떨어지지 않는 현상이 발생됨은 물론 플레이트가 한쪽방향으로 기울어졌을 때 토션바아의 구조상 파단(fracture)이 생기고, 특히 제1 및 제2구동전극이 사용됨에 따라서 구동전압이 많이 소모될 뿐만 아니라, 회로의 구성이 복잡해지는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 입사광의 경로와 반사광의 경사각도를 조절하기 위한 플레이트를 비대칭으로 기울임으로써, 구동전압의 소모를 최소로 줄일 수 있고, 특히 회로를 간단하게 구성할 수 있는 프로젝션 텔레비젼의 광 경로 변환 액츄에이터 및 그의 구동방법을 제공하는데 있다.

본 발명의 다른 목적은 비대칭으로 기울어지는 플레이트 상부에 입사광의 투사면적이 넓도록 평판형상의 플레이트를 배치시킴으로써, 반사광의 효율을 증대시킬 수 있는 프로젝션 텔레비젼의 광 경로 변환 액츄에이터 및 그의 구동방법을 제공하는데 있다.

도 1은 선행기술에 따른 프로젝션 텔레비젼의 광 경로를 도시한 경로도,

도 2a는 도 1에 설치되는 종래의 광 경로 변환 액츄에이터를 도시한 정면도,

도 2b는 도 2a의 액츄에이터에 적용되는 압전소자가 전위차에 의해 굽혀진 상태를 도시한 정면도,

도 3은 종래의 광 경로 변환 액츄에이터의 다른 실시예를 도시한 사시도,

도 4a,4b는 도 3의 액츄에이터에 적용되는 반사면이 구동전극에 의해 기울어진 상태를 도시한 측면도,

도 5는 본 발명에 따른 프로젝션 텔레비젼의 광 경로 변환 액츄에이터를 도시한 사시도,

도 6a,6b,6c,6d,6e는 본 발명에 따른 광 경로 변환 액츄에이터의 제작 공정도,

도 7a,7b는 본 발명에 따른 광 경로 변환 액츄에이터의 구동방법에 의해 구동된 액츄에이터를 도시한 사용 상태도,

도 8은 본 발명에 따른 광 경로 변환 액츄에이터의 다른 실시예를 도시한 사시도,

도 9a,9b,9c,9d는 본 발명에 따른 광 경로 변환 액츄에이터의 다른 실시예를 도시한 도면으로서, 광 효율이 높은 액츄에이터의 제작 공정도,

도 10a,10b는 본 발명에 따른 광 경로 변환 액츄에이터의 구동방법에 의해 구동된 액츄에이터를 도시한 사용 상태도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

70,100 : 액츄에이터 72,102 : 기판

74,108 : 지지대 76,110 : 플레이트

78,104 : 전극 80,106 : 구동전극

82,112 : 제1스프링 84,114 : 제2스프링

86,120 : 희생층 86a,120a : 삽입공

116 : 보조지지대 118 : 평판플레이트

상기와 같은 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 특징은, 광원으로부터 발하는 입사광의 입사경로와 경사각도를 변환시키기 위해 구비되는 프로젝션 텔레비젼의 광 경로 변환 액츄에이터에 있어서, 커버 내부에 설치되는 기판과; 상기 기판 상부면에 각각 증착된 전극 및 이의 사이에 위치되는 구동전극과; 상기 전극 상부에 증착되어 전극으로부터 인가된 전압이 통전되는 한 쌍의 지지대와; 상기 지지대 사이에 위치되어 광원으로부터 입사되는 입사광을 반사시키기 위한 플레이트와; 상기 지지대와 플레이트 각각에 일단이 연결되어 상기 입사광의 입사경로 및 경사각도를 조절하기 위한 비대칭수단으로 구성된 것에 의해 달성된다.

본 발명의 바람직한 실시예에 의한 비대칭수단은 상기 플레이트 양측에 각각 연결되는 강성계수가 상이한 제1 및 제2스프링으로 구비된 것에 의해 달성된다.

본 발명에 따른 제1 및 제2스프링은 상기 반사광의 반사각도에 따라서 상기 플레이트에 대해 상기 제1 및 제2스프링의 위치를 변경하여 연결할 수 있는 것에 의해 달성된다.

본 발명에 따른 제1 및/또는 제2스프링의 강성계수는 상기 구동전극과 플레이트 사이에서 발생되는 정전력에 대응하여 입사광의 입사경로와 경사각도를 조절할 수 있도록 형상 및 강성계수가 변경 가능한 것에 의해 달성된다.

본 발명의 다른 특징은 광원으로부터 발하는 입사광의 입사경로와 경사각도를 변환시키기 위해 구비된 프로젝션 텔레비젼의 광 경로 변환 액츄에이터 구동방법에 있어서, 상기 입사광을 반사시키기 위한 플레이트에 전압이 통전되도록 기판 상부면에 증착된 전극으로 전압을 인가하는 단계와; 상기 전극 사이에 위치되도록 증착된 구동전극에 전압을 인가하여 상기 플레이트와 구동전극 사이에서 정전력을 발생시키는 단계와; 상기 단계에 따라 비대칭수단 중에서 변형량이 큰 쪽으로 플레이트를 기울여 경사각도를 크게 조절하는 단계와; 상기 단계를 거친 플레이트면에 입사광을 투사하여 예각으로 반사광을 투사시키는 단계와; 상기 단계에서 상기 구동전극과 플레이트 사이의 전위차를 없애기 위해 상기 전극과 구동전극에 인가된 전압을 차단하는 단계와; 상기 단계에 의해 상기 플레이트가 비대칭수단의 복원력으로 수평상태로 복귀되는 단계로 액츄에이터가 구동되는 것에 의해 달성된다.

본 발명의 바람직한 실시예에 의한 플레이트의 경사각도를 조절하는 단계에서 상기 플레이트 양측에 연결되는 비대칭수단의 연결위치를 변경하여 상기 플레이트의 경사각도를 둔각으로 조절하기 위한 단계가 더 포함된 것에 의해 달성된다.

이하, 본 발명에 따른 프로젝션 텔레비젼의 광 경로 변환 액츄에이터 및 그의 구동방법에 대한 바람직한 실시예들을 첨부도면에 의거하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

도 5는 본 발명에 따른 광 경로 변환 액츄에이터를 도시한 도면으로서, 영상투영원에는 광원(10)으로부터 발하는 3가지 색상(적색, 녹색 및 청색)광의 입사경로와 반사광의 경사각도를 변환시켜 액정패널(16)에 투사하기 위한 액츄에이터(70)가 설치된다.

상기 액츄에이터(70)는 커버(22)에 장착되는 기판(72)과 기판(72) 상부에 일정간격으로 이격되게 증착된 한 쌍의 지지대(74) 그리고, 지지대(74) 사이에 위치되어 입사광을 설정된 경사각도로 반사시킬 수 있도록 반사율이 좋은 금속재질로 된 플레이트(76)와 이를 지지 고정할 수 있도록 지지대(74)와 플레이트(76) 각각에 일단이 연결된 비대칭수단을 포함하며, 기판(72) 상면에 장착되는 전극(78) 및 이의 사이에 위치되도록 증착되는 구동전극(80)으로 구성되고, 비대칭수단은 플레이트(76) 양측에 각각 연결되는 강성계수가 상이한 제1 및 제2스프링(82)(84)으로 구비된다.

이와같은 액츄에이터는 도 6a 내지 도 6e의 제작 공정에 의해 제작된다. 즉, 기판(72)의 상부면에 6a에서 같이 금속재질로 된 전극(78)과 이의 사이에 구동전극(80)을 증착한 다음 기판(72) 상면에 포토레지스트(Photoresist) 또는 폴리이미드(polyimide) 재질로 된 희생층(86)을 스핀(spin) 코팅으로 증착한 상태에서 희생층(86)에 지지대(74)가 삽입 증착될 위치에 반응성 이온 에칭(Reactive Ion Etching) 또는 사진식각공정(photolithography)의 방법으로 삽입공(86a)을 형성한다.

그 후, 희생층(86)과 이에 형성된 삽입공(86a)에는 지지대(74) 및 금속이나 폴리실리콘 등의 재질로 된 제1 및 제2스프링(82)(84)과 플레이트(76)를 증착한 후 희생층(86)을 응고한 상태에서 6e에서와 같이 희생층(86)을 제거한다. 이때, 각 요소들의 증착방법은 증착(evaporation ) 또는 스퍼터(sputter)에 의해 증착시키고, 제1스프링(82)은 강성계수가 크도록 판상으로 되고 제2스프링(84)은 강성계수를 작게하기 위해 주름형태로 제작됨이 바람직하다.

상기와 같이 구성된 본 발명에 따른 프로젝션 텔레비젼의 광 경로 변환 액츄에이터의 구동방법을 도 7a 및 도 7b에 의거하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.

스크린(2)에 칼라의 영상을 투영하기 위해 광원(10)으로부터 적색, 녹색 및 청색의 색상광을 순차적으로 발하면, 색상광은 렌즈(12)로 입사됨과 동시에 플레이트(76)면에 부딪쳐 설정된 경사각도로 반사되어 액정패널(16) 및 투사렌즈(4)를 투사하면서 칼라의 영상을 스크린(2)에 투영한다. 즉, 구동전극(80)에 전압이 인가되지 않음에 따라서 구동전극(80)과 플레이트(76) 사이에 전위차가 가해지지 않아 제1 및 제2스프링(82)(84)이 연결된 플레이트(76)가 수평상태를 유지하여 플레이트(76)면에 부딪치는 반사광이 직각으로 굴절하는 것이다.

한편, 입사광의 경사각도를 예각으로 하여 액정패널(16)에 반사광을 투사할 경우에는, 도 7a에서와 같이 전극(78) 및 구동전극(80)에 각각 전압을 인가한다. 그러면, 지지대(74)와 제1 및 제2스프링(82)(84)으로 통전되는 전압이 플레이트(76)로 인가되어 구동전극(80)과 플레이트(76) 사이에서 전위차가 가해짐에 따라 정전력이 발생되어 강성이 작은 제2스프링(84)은 변형량이 크고, 제1스프링(82)은 변형량이 적으므로 변형량이 큰 쪽으로 플레이트(76)가 기울어지게 되어 입사광의 반사경로가 조절된다. 이때, 플레이트(76)의 기울어지는 각도는 구동전극(80)으로 인가되는 전압과 제2스프링(84)의 형상 및 강성을 변환시킴으로써 조절될 수 있는 것이다.

그리고, 일방향으로 기울어진 플레이트(76)를 초기상태로 복원시킬 때에는 구동전극(80)에 인가된 전압을 차단하여 구동전극(80)과 플레이트(76) 사이의 전위차를 제거하면, 탄성 변형된 제1 및 제2스프링(82)(84)의 복원력에 의해 플레이트(76)가 수평상태로 복원됨으로써, 구동전압의 소모 및 비대칭수단이 파손되는 것을 방지할 수 있다.

또한, 입사광의 경사각도를 둔각으로 하여 액정패널(16)에 반사광을 투사할 경우에는 도 7a에서 반사광을 예각으로 투사시키기 위한 제2스프링(84)을 도 7b에서와 같이 플레이트(76)의 반대편쪽으로 연결시킨 후 구동전극(80)으로 전압을 인가하면, 전위차에 의해 정전력이 발생되어 전술한 바와같이 변형량이 큰 제2스프링(84)이 하방향으로 기울어짐에 따라서 입사광의 입사경로와 경사각도를 크게 할 수 있는 것이다. 이때, 일정각도 이상으로 플레이트(76)가 기울어지면 액정패널(16)을 투과하여 스크린(2)으로 투영되는 반사광은 소멸된다.

여기에서, 플레이트(76) 양측에 연결된 강성이 상이한 제1 및 제2스프링(82)(84)은 도 7a에서와 같이 반사광을 예각으로 반사시키거나 또는 도 7b와 같이 둔각으로 반사시키기 위해 위치를 변경하여 연결할 수 있다.

도 8은 본 발명에 따른 광 경로 변환 액츄에이터의 다른 실시예를 도시한 도면으로서, 액츄에이터(100)는 기판(102)과 기판(102) 상부면에 각각 증착된 전극(104) 및 이의 사이에 위치되도록 증착되는 구동전극(106)과 전극(104) 상부에 증착되어 전극(104)으로 인가된 전압이 통전되는 지지대(108) 그리고, 지지대(108) 사이에 배치되어 입사광의 입사경로 및 경사각도를 조절하기 위한 플레이트(110)와 지지대(108)와 플레이트(110) 양측에 각각 연결되는 강성계수가 상이한 제1 및 제2스프링(112)(114)을 포함한다.

플레이트(110)의 중앙부에 고정되는 보조지지대(116)와 보조지지대(116) 상부에 증착되는 투사면적증대수단으로 구성된다.

상기의 투사면적증대수단은 반사광의 효율을 증대시킬 수 있도록 입사광의 투사면적을 넓게 하는 판상으로 된 평판플레이트(118)로 구비되며, 평판플레이트(118)는 입사광을 반사시킬 수 있도록 반사면의 역할을 할 수 있도록 금속재질이 사용된다.

도 9a,9b,9c,9d는 본 발명에 따른 광 효율이 높이 액츄에이터를 제작하기 위한 공정도로서, 도 6d의 공정을 완료한 다음 지지대(108) 및 플레이트(110)와 이의 양측에 연결되어 있는 된 제1 및 제2스프링(112)(114)을 포함한 상면에 도9a에서와 같이 포토레지스트 또는 폴리이미드 재질로 된 2차 희생층(120)을 증착한 상태에서 2차 희생층(120)의 중앙부 즉, 도9b와 같이 플레이트(110)의 중앙에 보조지지대(116)가 형성되도록 반응성 이온 에칭 또는 사진식각공정의 방법으로 삽입공(120a)을 형성한 다음 2차 희생층(120)의 상면과 삽입공에 도 9c와 같이 보조지지대(116) 및 평판플레이트(118)를 증착한 후 도 9d와 같이 제1 및 제2희생층(86)(120)을 제거한다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 다른 실시예에 따른 프로젝션 텔레비젼의 광 경로 변환 액츄에이터의 구동방법을 도 10a,10b를 참조하여 설명하면 다음과 같다.

기판(102) 상부면에 증착된 전극(104) 및 구동전극(106)에 전압을 인가하지 않은 상태에서 광원(10)으로부터 색상광을 발하면, 이 색상광을 렌즈(12)로 입사되고 입사된 입사광은 다시 평판플레이트(118)면으로 투사된다. 이때, 액츄에이터(100)는 구동전극(106)과 플레이트(110) 사이에 전위차가 가해지지 않음에 따라서 보조지지대(116) 상부에 증착된 평판플레이트(116)는 수평상태가 유지되어 투사면적이 넓게 투사된 입사광을 직각으로 반사시켜 액정패널(16)과 투사렌즈(4)를 투사하면서 칼라의 영상을 스크린(2)에 투영한다.

그리고, 입사광의 입사경로 및 반사광의 경사각도를 예각하거나 또는 둔각으로 조절할 때에는 도 7a,7b에서 전술한 방법으로 구동전극(106)과 플레이트(110) 사이에서 정전력이 발생되어 강성이 작은 쪽 즉, 도 10a에서와 같이 변형량이 큰 제2스프링(114)이 기울어짐에 따라 평판플레이트(118)면에 투사되는 입사광이 예각으로 반사되어 액정패널(16)로 투사되고, 도 10b와 같이 제2스프링(114)의 위치가 변경된 평판플레이트(118)면으로 투사되어 입사광을 둔각으로 굴절시킨다. 이때, 평판플레이트(118)가 평판형상으로 증착됨에 따라서 입사광의 투사면적이 넓어 입사 및 반사광의 효율을 증대시킬 수 있는 것이다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 프로젝션 텔레비젼의 광 경로 변환 액츄에이터 및 그의 구동방법에 의하면, 입사광의 입사경로와 반사광의 경사각도를 조절하기 위한 플레이트를 비대칭으로 기울임으로써, 구동전압의 전력소모를 최소로 줄일 수 있고, 특히 회로를 간단하게 구성할 수 있다.

또한, 상기 비대칭으로 기울어지는 플레이트 상부에 입사광의 투사면적이 넓도록 또 다른 평판형상의 플레이트를 배치시킴으로써, 반사광의 효율을 증대시킬 수 있다.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위내에 있게 된다.

Claims (7)

1. 광원으로부터 발하는 입사광의 입사경로와 경사각도를 변환시키기 위해 구비되는 광 경로 변환 액츄에이터에 있어서,

   커버 내부에 설치되는 기판과;

   상기 기판 상부면에 각각 증착된 전극 및 이의 사이에 위치되는 구동전극과;

   상기 전극 상부에 증착되어 전극으로부터 인가된 전압이 통전되는 한 쌍의 지지대와;

   상기 지지대 사이에 위치되어 광원으로부터 입사되는 입사광을 반사시키기 위한 플레이트와;

   상기 지지대와 플레이트 각각에 일단이 연결되어 상기 입사광의 입사경로 및 경사각도를 조절하기 위한 비대칭수단으로 구성됨을 특징으로 하는 비대칭 강성 구조를 갖는 광 경로 변환 액츄에이터.
2. 제1항에 있어서, 상기 지지대와 및 비대칭수단은 상기 구동전극과 플레이트 사이에서 정전력을 발생시키기 위하여 상기 전극에서 인가되는 전압이 통전되도록 금속재질로 제작됨을 특징으로 하는 비대칭 강성 구조를 갖는 광 경로 변화 액츄에이터.
3. 제1항에 있어서, 상기 플레이트는 상기 입사광을 반사시키기 위하여 반사면의 역할을 할 수 있도록 금속재질로 제작됨을 특징으로 하는 비대칭 강성 구조를 갖는 광 경로 변환 액츄에이터.
4. 제1항에 있어서, 상기 비대칭수단은 상기 플레이트 양측에 각각 연결되는 강성계수가 상이한 제1 및 제2스프링으로 구비됨을 특징으로 하는 비대칭 강성 구조를 이용한 광 경로 변환 액츄에이터.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 제1 및 제2스프링은 상기 반사광의 반사각도에 따라서 상기 플레이트에 대해 그 위치를 상호 변경되는 것을 특징으로 하는 비대칭 강성 구조를 이용한 광 경로 변환 액츄에이터.
6. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 제1 및 제2스프링은 서로 다른 형상인 것을 특징으로 하는 비대칭 강성 구조를 이용한 광 경로 변환 액츄에이터.
7. 광원으로부터 발하는 입사광의 입사경로와 경사각도를 변환시키기 위해 구비된 비대칭 강성 구조를 갖는 광 경로 변환 액츄에이터 구동방법에 있어서,

   상기 입사광을 반사시키기 위한 플레이트와 접속된 한 쌍의 전극에 전압을 인가하는 단계;

   상기 전압 인가 단계에서 전압이 인가된 전극들 사이에 배치된 구동전극에 전압을 인가해서 상기 플레이트와 구동전극 사이에서 정전력을 발생시키는 단계;

   상기 정전력 발생 단계에서 발생된 정전력에 의해 상기 플레이트의 경사각도를 조절하는 단계; 및

   상기 경사각도 조절 단계 후에 상기 플레이트에 입사광을 입사시켜 반사되는 반사광을 스크린에 투사시키는 단계;

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 비대칭 강성 구조를 갖는 광 경로 변환 액츄에이터 구동방법.

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