JP2929390B2 - Air filter leak test method and apparatus - Google Patents
Air filter leak test method and apparatusInfo
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、エアフィルタ漏洩試験方法およびその装置
に関し、更に詳細には、HEPAフィルタ等の高性能エアフ
ィルタためのエアフィルタ漏洩試験方法およびその装置
に関するものである。Description: FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to an air filter leak test method and apparatus, and more particularly, to an air filter leak test method for a high performance air filter such as a HEPA filter and the like. It concerns the device.
（従来の技術） 高性能エアフィルタは、近年、精密機械工業、エレク
トロニクス関連産業等におけるクリーンベンチ用等とし
て広く使用されるようになり、その結果、エアフィルタ
の全体としての捕集効率ばかりでなく、透過粒子がエア
フィルタのどの部位からどの位漏洩しているかを把握す
る必要がでてきた。これは、エアフィルタの捕集効率つ
まり総体的効率が公差以内、例えばHEPAフィルタである
ならば、粒径0.3μｍのフタル酸ジオクチル（DOP）粒子
で99.97％以上であったとしても、ピンホールがある場
合には、このピンホールからの粒子の漏洩で、それが大
容量の空気で希釈されず、例えば上記クリーンベンチ等
の一部が汚染されるおそれがあるからである。(Prior Art) In recent years, high-performance air filters have been widely used for clean benches in the precision machinery industry, electronics-related industries, and the like. As a result, not only the collection efficiency of the air filter as a whole, but also In addition, it has become necessary to understand how much the transmitted particles are leaking from which part of the air filter. This means that even if the collection efficiency of the air filter, that is, the overall efficiency is within the tolerance, for example, for a HEPA filter, even if the diameter of the dioctyl phthalate (DOP) particles is 0.3 μm or more than 99.97%, the pinholes will not This is because, in some cases, the leakage of the particles from the pinhole is not diluted with a large volume of air, and for example, a part of the clean bench or the like may be contaminated.
このため、従来、エアフィルタ漏洩試験方法として、
試験用エアフィルタの上流側に、試験用粒子発生器によ
り試験用粒子を発生させ、この粒子を、送風機により空
気清浄装置で浄化された空気と共に、試験用エアフィル
タへ供給し、試験用エアフィルタの下流側全面にわたっ
てブロープをその開口部が多少重なるようＸ−Ｙ方向に
走査させて、漏洩した試験用粒子の量を試験用エアフィ
ルタの各部位毎に漏洩検出器により検出する方法が提案
され、また実際に実施されている。For this reason, conventionally, as an air filter leak test method,
On the upstream side of the test air filter, test particles are generated by a test particle generator, and the particles are supplied to a test air filter together with air purified by an air purifier by a blower. A method has been proposed in which the probe is scanned in the X-Y direction so that the openings thereof slightly overlap with each other on the entire downstream side of the probe, and the amount of leaked test particles is detected by a leak detector for each portion of the test air filter. , And is actually being implemented.
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、従来は、上記漏洩検出器およびプロー
ブをそれぞれ１台のみを用いて、上記エアフィルタ漏洩
検出を行っていたので、例えば、幅610mm、高さ610mmの
標準サイズのもので、漏洩試験時間が約７分と非常に時
間が掛かっており、また、近年は、エアフィルタの大型
化により幅610mm、1220mm、更にそれ以上の大型のもの
使用されるようになっており、それに伴って上記漏洩試
験時間が10〜20分と長くなり、試験の信頼性を低下させ
ることなく、試験時間を短縮させることが望まれてい
る。(Problems to be Solved by the Invention) However, conventionally, the air filter leak detection was performed by using only one leak detector and one probe, respectively. Therefore, for example, a standard having a width of 610 mm and a height of 610 mm was used. It takes a very long time, about 7 minutes, for leak testing, and in recent years, the size of air filters has been increased to 610mm, 1220mm and even larger due to the increase in size of air filters. Accordingly, the leak test time becomes as long as 10 to 20 minutes, and it is desired to reduce the test time without lowering the reliability of the test.
試験時間を短縮する方法としては、第１の方法とし
て、プローブの開口部面積を大きくすること、第２の方
法として、プローブの開口部形状を変更すること、第３
の方法として、プローブの操作速度を速くすること等が
考えられる。The first method is to increase the area of the opening of the probe as a first method, the second is to change the shape of the opening of the probe,
The method of (1) may be to increase the operating speed of the probe.
しかしながら、上記第１の方法の場合、プローブの開
口部面積は、プローブ（漏洩検出器）の吸引流量とフィ
ルタ面風速により決定されるもので、現在の漏洩検出器
の吸引流量が30／分程度が限界で、大きくすることが
できない問題がある。However, in the case of the first method, the opening area of the probe is determined by the suction flow rate of the probe (leak detector) and the wind speed of the filter surface, and the current suction flow rate of the leak detector is about 30 / min. However, there is a problem that it cannot be enlarged at its limit.
また、第２の方法の場合は、プローブの開口部形状
を、その縦、横比が2:1、すなわち縦長（上記Ｙ方向に
長い）の長方形にすれば、サンプリングピッチを大きく
することにより、プローブの走査距離を大幅に減少でき
全走査時間を短縮し、かなりの効果を得ることができる
が、プローブの開口部の横方向（上記Ｘ方向）の寸法が
半分になるので、粒子の検出の精度を保つため、プロー
ブの走査速度を低下させる必要がある（目安として、JI
S規格によれば、プローブの開口部（正方形として）の
一辺の長さが25mm以下の場合は、プローブの走査速度
は、プローブの開口部の１辺の長さの２倍の速度と規定
されており、従って、プローブの開口部の１辺の長さが
小さくなればなるほど、該速度は遅くなる）ので、プロ
ーブの開口部の形状を変えただけでは、単純には走査時
間が短くならないという問題がある。In the case of the second method, if the shape of the opening of the probe is a rectangle having a length-to-width ratio of 2: 1, that is, a vertically long rectangle (long in the Y direction), the sampling pitch can be increased. The scanning distance of the probe can be greatly reduced, the total scanning time can be reduced, and a considerable effect can be obtained. However, since the lateral dimension (X direction) of the opening of the probe is halved, the detection of particles can be reduced. It is necessary to reduce the scanning speed of the probe to maintain accuracy.
According to the S standard, when the length of one side of the probe opening (as a square) is 25 mm or less, the scanning speed of the probe is defined as twice the length of one side of the probe opening. Therefore, the shorter the length of one side of the opening of the probe, the lower the speed becomes.) Therefore, simply changing the shape of the opening of the probe does not simply shorten the scanning time. There's a problem.
第３の方法の場合、プローブの走査速度は、上記のよ
うに、JIS規格により他のファクタとの関係で決定され
るものであり、単純には変更できないという問題があ
る。In the case of the third method, the scanning speed of the probe is determined by the JIS standard in relation to other factors, as described above, and has a problem that it cannot be simply changed.
そこで、本発明は、試験精度を低下させることなく、
所要時間を大幅に短縮することのできる高性能エアフィ
ルタ漏洩試験方法およびその装置を提供することを目的
とするものである。Therefore, the present invention, without reducing the test accuracy,
An object of the present invention is to provide a high-performance air filter leak test method and a device thereof that can significantly reduce the required time.
（課題を解決するための手段） 本発明による高性能エアフィルタ漏洩試験方法は、試
験用エアフィルタの上流側に、試験用粒子発生器により
試験用粒子を発生させ、この粒子を、送風機により空気
清浄装置で浄化された空気と共に、試験用エアフィルタ
へ供給し、試験用エアフィルタの下流側全面にわたっ
て、開口部を有するプローブを、その開口部の一部が重
なるようにＸ−Ｙ方向に順次走査し、試験用エアフィル
タから漏洩した試験用粒子の量を、前記プローブと接続
された漏洩検出器により検出する高性能エアフィルタ漏
洩試験方法において、前記プローブとして、一辺の長さ
がＡ＝Ｑ×1000/60×ｖ、ここに、Ａがプローブの開口
部面積（cm2）、Ｑが漏洩検出器の吸引流量（l/min）、
そしてｖがフィルタ面風速（cm/sec.）である、式より
算出される正方形の開口部を有するプローブの複数個を
Ｙ方向に連接して一体的に保持したものを使用するとと
もに、各プローブ毎に漏洩検出器と接続していることを
特徴とするものである。(Means for Solving the Problems) In a high performance air filter leak test method according to the present invention, test particles are generated by a test particle generator on the upstream side of a test air filter, and the particles are air-dried by a blower. The probe is supplied to the test air filter together with the air purified by the cleaning device, and the probe having the opening is sequentially arranged in the X-Y direction over the entire downstream side of the test air filter so that a part of the opening overlaps. In a high performance air filter leak test method for scanning and detecting the amount of test particles leaked from a test air filter by a leak detector connected to the probe, the length of one side of the probe is A = Q × 1000/60 × v, where A is the opening area of the probe (cm 2 ), Q is the suction flow rate of the leak detector (l / min),
A plurality of probes each having a square opening calculated by the equation where v is a filter surface wind speed (cm / sec.) Are connected in the Y direction and integrally held, and each probe is used. Each time it is connected to a leak detector.
本発明による高性能エアフィルタ漏洩試験装置は、試
験用エアフィルタの上流側に、試験用粒子発生器により
試験用粒子を発生させ、この粒子を、送風機により空気
清浄装置で浄化された空気と共に、試験用エアフィルタ
へ供給し、試験用エアフィルタの下流側全面にわたっ
て、開口部を有するプローブを、その開口部の一部が重
なるようにＸ−Ｙ走査装置によりＸ−Ｙ方向に走査し、
試験用エアフィルタから漏洩した試験用粒子の量を、前
記プローブと接続された漏洩検出器により検出する高性
能エアフィルタ漏洩試験装置において、前記Ｘ−Ｙ走査
装置が、前記プローブとして、一辺の長さがＡ＝Ｑ×10
00/60×ｖ、ここに、Ａがプローブの開口部面積（c
m2）、Ｑが漏洩検出器の吸引流量（l/min）、そしてｖ
がフィルタ面風速（cm/sec.）である、式より算出され
る正方形の開口部を有する複数個のプローブをＹ方向に
連接して一体的に保持するためのプローブ保持手段を備
え、前記漏洩検出手段が、各プローブ毎に独立に接続さ
れた漏洩検出器を備えていることを特徴とするものであ
る。The high performance air filter leak test apparatus according to the present invention generates test particles by a test particle generator on the upstream side of the test air filter, and, together with the air purified by an air purifier by a blower, A probe having an opening is supplied to the test air filter over the entire downstream side of the test air filter, and is scanned in the XY direction by an XY scanning device so that a part of the opening overlaps the probe.
In a high performance air filter leak test apparatus for detecting the amount of test particles leaked from a test air filter by a leak detector connected to the probe, the XY scanning device may be configured such that the probe has a length of one side. Saga = Q × 10
00/60 × v, where A is the opening area of the probe (c
m 2 ), Q is the suction flow rate of the leak detector (l / min), and v
Is a filter surface wind speed (cm / sec.), And a probe holding means for connecting and integrally holding a plurality of probes having a square opening calculated by the formula in the Y direction, The detection means includes a leak detector independently connected to each probe.
なお、本発明において、Ｘ方向とは、全幅走査方向を
いい、Ｙ方向とは、分割幅走査方向をいうものとする。In the present invention, the X direction refers to the full width scanning direction, and the Y direction refers to the division width scanning direction.
（作 用） 上記したように、本発明においては、Ｙ方向にプロー
ブを複数個並列して、試験用エアフィルタに沿って走査
するとともに、各プローブで捕集した試験用粒子の量を
個々独立の漏洩検出手段により検出するようにしたの
で、使用するプローブ数に応じて試験時間を短縮するこ
とができるとともに、プローブの走査は、上記したよう
にその開口部を多少重ね合わせて行う必要があるが、本
発明のようにプローブを複数並列して走査する場合に
は、その重ね合わせの回数が減少し、この点からも試験
時間の短縮を図ることができる。(Operation) As described above, in the present invention, a plurality of probes are arranged in parallel in the Y direction and scanned along the test air filter, and the amount of the test particles collected by each probe is independently controlled. The detection time can be shortened according to the number of probes to be used, and the scanning of the probes needs to be performed by slightly overlapping the openings as described above. However, when a plurality of probes are scanned in parallel as in the present invention, the number of times of overlapping is reduced, and the test time can be reduced from this point as well.
（実施例） 以下、添付図面を参照しつつ本発明の好ましい実施例
によるエアフィルタ漏洩試験方法およびその方法につい
て詳細に説明する。Hereinafter, an air filter leak test method and a method thereof according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
第１図は、本発明の実施例によるエアフィルタ漏洩試
験装置の概略図である。FIG. 1 is a schematic diagram of an air filter leak test apparatus according to an embodiment of the present invention.
この図において、符号Ａはエアフィルタを示し、この
エアフィルタＡは、試験ダクト１の所定の位置に設置さ
れている。この試験ダクト１の最上流部には、送風機２
が配置されており、この送風機２は、空気清浄装置３を
介して清浄された状態の空気を上記試験ダクト１内に送
り込むようになっている。この試験ダクト１内に送り込
まれた空気は、整流板４を介して整流されて、エアフィ
ルタＡに導かれるようになっている。In this figure, reference numeral A indicates an air filter, and this air filter A is installed at a predetermined position of the test duct 1. In the most upstream part of the test duct 1, a blower 2
The blower 2 is configured to send the air that has been cleaned through the air cleaning device 3 into the test duct 1. The air sent into the test duct 1 is rectified through the rectifying plate 4 and guided to the air filter A.
上記試験ダクト１の外部には、試験用粒子を発生させ
る粒子発生器５が設けられており、この粒子発生器５で
発生された試験用粒子は、供給通路5aを介して整流板４
の上流側に供給される。A particle generator 5 for generating test particles is provided outside the test duct 1, and the test particles generated by the particle generator 5 are supplied to the rectifying plate 4 via a supply passage 5a.
Is supplied upstream.
一方、エアフィルタＡの下流側には、エアフィルタＡ
を透過した粒子を吸引して捕集するための開口部を備え
た２つのプローブ６−１、６−２が、Ｘ−Ｙ走査装置７
によって上記エアフィルタＡに沿ってＸ（エアフィルタ
の横）−Ｙ（エアフィルタの縦）方向に走査可能に支持
されている。上記２つのプローブ６−１、６−２は、上
記Ｘ−Ｙ走査装置７に組み込まれた保持部材８によって
上記Ｙ方向に並列状態で一体的に保持されている。従っ
て、上記２つのプローブ６−１、６−２の走査は、一体
的に同時に行われる。On the other hand, downstream of the air filter A, the air filter A
Probes 6-1 and 6-2 each having an opening for sucking and collecting particles transmitted through the XY scanning device 7
Along the air filter A so as to be able to scan in the X (horizontal direction of the air filter) -Y (vertical direction of the air filter) direction. The two probes 6-1 and 6-2 are integrally held in parallel in the Y direction by a holding member 8 incorporated in the XY scanning device 7. Therefore, the scanning of the two probes 6-1 and 6-2 is performed simultaneously and integrally.
上記プローブ６−１、６−２は、それぞれ漏洩検出装
置９の対応する漏洩検出器９−１、９−２にサンプリン
グチューブ10−１、10−２を介して接続されている。上
記漏洩検出器９−１、９−２は、それぞれ光散乱式粒子
計数器で構成されており、上記プローブ６−１、６−２
で採集され、サンプリングチューブ10−１、10−２を介
して送られて来る漏洩粒子の量を検出するものである。
なお、本漏洩試験装置は、上記Ｘ−Ｙ走査装置が複数の
プローブを一体的に保持する保持部材を備えている以外
は、従来装置と同じ構造であってよいので、装置の構造
についてのこれ以上の説明は省略する。The probes 6-1 and 6-2 are connected to the corresponding leak detectors 9-1 and 9-2 of the leak detection device 9 via sampling tubes 10-1 and 10-2, respectively. Each of the leak detectors 9-1 and 9-2 is constituted by a light scattering type particle counter, and each of the probes 6-1 and 6-2.
And detects the amount of leaking particles collected through the sampling tubes 10-1 and 10-2.
This leak test apparatus may have the same structure as the conventional apparatus except that the XY scanning apparatus has a holding member for integrally holding a plurality of probes. The above description is omitted.
つぎに、上記エアフィルタ漏洩試験装置を用いての漏
洩試験方法について説明する。Next, a leak test method using the air filter leak test device will be described.
本発明のエアフィルタ漏洩試験方法は、JIS Ｋ 380
1（除菌用HEPAフィルタのエアゾル捕集性能試験方法）
にほぼ準じ、粒子発生器５により試験用粒子を発生さ
せ、この粒子を、送風機２により空気清浄装置３で浄化
された空気と共に、試験用エアフィルタＡへ供給し、第
２図に示すように、試験用エアフィルタＡの下流側全面
にわたってプローブ６−１、６−２をＸ−Ｙ方向に一体
的に走査させて、漏洩した試験用粒子の量を試験用エア
フィルタの各部位毎に漏洩検出器９−１、９−２により
検出することによって行われる。The air filter leak test method of the present invention is based on JIS K380
1 (Test method for aerosol collection performance of HEPA filter for disinfection)
According to the above, test particles are generated by the particle generator 5, and the particles are supplied to the test air filter A together with the air purified by the air purifier 3 by the blower 2, as shown in FIG. The probe 6-1 and 6-2 are integrally scanned in the XY directions over the entire downstream side of the test air filter A, and the amount of the leaked test particles is leaked to each part of the test air filter. The detection is performed by the detectors 9-1 and 9-2.
上記試験用粒子としては、DOP（フタル酸ジオクチ
ル）で、JIS Ｚ 8901（試験用ダスト）に規定される
粒子を使用した。漏洩検出器としては、JIS Ｂ 9921
（光散乱式粒子計数器）に規定された光散乱式粒子計数
器で、粒径0.3μｍ以上の試験用粒子の識別、計数能力
があり、30／分程度の吸引能力を持つものを使用し
た。エアフィルタを通過するフィルタ面風速は、0.3〜
0.5m/秒の間に設定した。プローブの開口部の形状は、
正方形形状で、その１辺の長さは、次の式により算出し
たものとした。As the test particles, DOP (dioctyl phthalate) particles specified in JIS Z 8901 (test dust) were used. JIS B 9921 as a leak detector
(Light scattering particle counter) A light scattering particle counter stipulated in (Light scattering particle counter) that has the ability to identify and count test particles having a particle size of 0.3 μm or more and a suction ability of about 30 / min was used. . The wind speed of the filter surface passing through the air filter is 0.3 ~
It was set between 0.5 m / sec. The shape of the probe opening is
It was a square shape, and the length of one side thereof was calculated by the following equation.
Ａ＝Ｑ×1000/60×ｖ A:プローブの開口部面積（cm2） Q:漏洩検出器の吸引流量（／分） v:フィルタ面風速（cm/秒） 上記試験用粒子の濃度は、プローブおよび漏洩検出器
で十分な計測値が得られるよう５×106個/CF以上に設定
した。また、プローブの走査速度は、一定の検出精度が
得られるよう30mm/秒とした。フィルタ表面からプロー
ブまでの間隔ｈは、吸引流量の相違が測定精度に大きく
影響するため、30mm以内とした。プローブのＹ方向の走
査ピッチＰは、プローブの１辺の長Ｌさを２つ分合算し
た値より小さく、かつエアフィルタの高さを等分した値
とする。これを式で表せば、次の式のようになる。A = Q × 1000/60 × v A: Open area of probe (cm 2 ) Q: Suction flow rate of leak detector (/ min) v: Filter surface wind speed (cm / sec) The value was set to 5 × 10 6 / CF or more so that a sufficient measurement value could be obtained with the probe and the leak detector. The scanning speed of the probe was set to 30 mm / sec so as to obtain a certain detection accuracy. The distance h from the filter surface to the probe was set to 30 mm or less because the difference in the suction flow rate greatly affected the measurement accuracy. The scanning pitch P in the Y direction of the probe is smaller than a value obtained by adding two lengths L of one side of the probe, and a value obtained by equally dividing the height of the air filter. This can be expressed by the following equation.
Ｐ＝エアフィルタの高さ寸法/n＜Ｌ n:整数 漏洩判定基準は、走査検出中、漏洩した試験用粒子の
数が、判定時間、単位時間当たりの漏洩判定基準粒子数
とし、漏洩判定基準以上を検出した場合、プローブを当
該個所に10秒間固定し、再測定し、捕集率を測定するも
のとする。P = height dimension of air filter / n <L n: integer The leak determination criterion is that the number of test particles leaked during scanning detection is determined as the determination time, the number of leak determination particles per unit time, and the leak determination criterion. When the above is detected, the probe is fixed at the corresponding location for 10 seconds, re-measured, and the collection rate is measured.
上記実施例においては、プローブを２つ並列させたも
のについて説明したが、第３図に示すように、プローブ
６をエアフィルタＡの全高さに渡って並列させてもよ
い。この場合には、プローブ６をＸ方向のみに走査すれ
ばよいが、各プローブ毎に漏洩検出器を接続する必要が
あるため、該漏洩検出器の数が相当数になってしまうの
で、装置全体の価格が高くなりすぎ、現実的でなく、従
って、プローブの数は２〜３本が妥当である。In the above embodiment, two probes are arranged in parallel. However, as shown in FIG. 3, the probes 6 may be arranged in parallel over the entire height of the air filter A. In this case, it is sufficient to scan the probe 6 only in the X direction. However, since it is necessary to connect a leak detector for each probe, the number of the leak detectors becomes considerable. Is too expensive and impractical, so a reasonable number of probes is 2-3.
（発明の効果） 本発明においては、プローブを２本以上上記Ｙ方向に
並列して配置するとともに、プローブ１本毎に漏洩検出
器を接続して、漏洩試験を行うようにしたので、試験精
度を低下させることなく、ほぼプローブの本数に比例し
て試験時間を短縮することができるとともに、プローブ
の走査は、上記したようにその開口部を多少重ね合わせ
て行う必要があるが、本発明のようにプローブを複数並
列して走査する場合には、その重ね合わせの回数が減少
し、この点からも試験時間を短縮することができる。(Effects of the Invention) In the present invention, two or more probes are arranged in parallel in the Y direction, and a leak detector is connected to each probe to perform a leak test. The test time can be shortened almost in proportion to the number of probes without lowering, and the scanning of the probe needs to be performed by slightly overlapping the openings as described above. When a plurality of probes are scanned in parallel as described above, the number of times of overlapping is reduced, and the test time can be reduced from this point as well.
第１図は、本発明の実施例によるエアフィルタ漏洩試験
装置の概略図、 第２図は、上記エアフィルタ漏洩試験装置による試験方
法を説明するための概略図、 第３図は、本発明の他の実施例によるエアフィルタ漏洩
試験装置の主要部を示す概略図である。 Ａ……エアフィルタ １……試験用ダクト ２……送風機 ３……空気清浄装置 ５……粒子発生器 ６−１、６−２、６……プローブ ７……Ｘ−Ｙ走査装置 ８……保持部材 ９……漏洩検出装置 ９−１、９−２……漏洩検出器FIG. 1 is a schematic diagram of an air filter leak test device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram for explaining a test method using the air filter leak test device, and FIG. It is the schematic which shows the principal part of the air filter leak test apparatus by other Example. A ... air filter 1 ... test duct 2 ... blower 3 ... air purifier 5 ... particle generator 6-1, 6-2, 6 ... probe 7 ... XY scanning device 8 ... Holding member 9 ... Leakage detection device 9-1, 9-2 ... Leakage detector
Claims (2)
子発生器により試験用粒子を発生させ、この粒子を、送
風機により空気清浄装置で浄化された空気と共に、試験
用エアフィルタへ供給し、試験用エアフィルタの下流側
全面にわたって、開口部を有するプローブを、その開口
部の一部が重なるようにＸ−Ｙ方向に順次走査し、試験
用エアフィルタから漏洩した試験用粒子の量を、前記プ
ローブと接続された漏洩検出器により検出する高性能エ
アフィルタ漏洩試験方法において、 前記プローブとして、一辺の長さがＡ＝Ｑ×1000/60×
ｖ、 ここに、Ａがプローブの開口部面積（cm2）、 Ｑが漏洩検出器の吸引流量（l/min）、そして ｖがフィルタ面風速（cm/sec.）である、 式より算出される正方形の開口部を有するプローブの複
数個をＹ方向に連接して一体的に保持したものを使用す
るとともに、各プローブ毎に漏洩検出器と接続している
ことを特徴とする高性能エアフィルタ漏洩試験方法。1. A test particle generator generates test particles on the upstream side of a test air filter, and supplies the particles to the test air filter together with air purified by an air purifier by a blower. A probe having an opening is sequentially scanned in the X-Y direction over the entire downstream side of the test air filter so that a part of the opening overlaps, and the amount of test particles leaked from the test air filter is determined. In the high performance air filter leak test method of detecting by a leak detector connected to the probe, the length of one side of the probe is A = Q × 1000/60 ×
v, where A is the area of the opening of the probe (cm 2 ), Q is the suction flow rate of the leak detector (l / min), and v is the wind speed of the filter surface (cm / sec.). A high-performance air filter, wherein a plurality of probes each having a square opening are connected and integrally held in the Y-direction, and each probe is connected to a leak detector. Leak test method.
子発生器により試験用粒子を発生させ、この粒子を、送
風機により空気清浄装置で浄化された空気と共に、試験
用エアフィルタへ供給し、試験用エアフィルタの下流側
全面にわたって、開口部を有するプローブを、その開口
部の一部が重なるようにＸ−Ｙ走査装置によりＸ−Ｙ方
向に走査し、試験用エアフィルタから漏洩した試験用粒
子の量を、前記プローブと接続された漏洩検出器により
検出する高性能エアフィルタ漏洩試験装置において、 前記Ｘ−Ｙ走査装置が、前記プローブとして、一辺の長
さがＡ＝Ｑ×1000/60×ｖ、 ここに、Ａがプローブの開口部面積（cm2）、 Ｑが漏洩検出器の吸引流量（l/min）、そして ｖがフィルタ面風速（cm/sec.）である、 式より算出される正方形の開口部を有する複数個のプロ
ーブをＹ方向に連接して一体的に保持するためのプロー
ブ保持手段を備え、前記漏洩検出手段が、各プローブ毎
に独立に接続された漏洩検出器を備えていることを特徴
とする高性能エアフィルタ漏洩検出装置。2. A test particle generator generates test particles on the upstream side of the test air filter, and supplies the particles to the test air filter together with air purified by an air purifier by a blower. A test in which the probe having an opening is scanned in the XY direction by an XY scanning device so that a part of the opening overlaps the entire surface on the downstream side of the test air filter, and the probe leaks from the test air filter. In a high-performance air filter leak test device for detecting the amount of particles for use by a leak detector connected to the probe, the XY scanning device has a length of one side of A = Q × 1000 / 60 × v, where A is the opening area of the probe (cm 2 ), Q is the suction flow rate of the leak detector (l / min), and v is the wind speed of the filter surface (cm / sec.). Calculated square aperture Probe holding means for holding a plurality of probes connected in the Y direction and integrally holding the probes, wherein the leak detecting means comprises a leak detector independently connected to each probe. High performance air filter leak detection device.
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