JP3658126B2

JP3658126B2 - Air filter test method and test apparatus used therefor

Info

Publication number: JP3658126B2
Application number: JP02455697A
Authority: JP
Inventors: 清一瀧澤; 猛山田; 景子角野
Original assignee: Cambridge Filter Japan Ltd
Current assignee: Cambridge Filter Japan Ltd
Priority date: 1997-01-24
Filing date: 1997-01-24
Publication date: 2005-06-08
Anticipated expiration: 2017-01-24
Also published as: JPH10206310A

Description

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明は、エアフィルタ単体のスキャンテストに関し、詳細には高性能エアフィルタをスキャンテストするための方法及びそれに使用する装置に関する。
【０００２】
【従来技術】
ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等の高性能フィルタは、製造後定格の捕集効率を満足すること、またフィルタに漏洩の無いことを確認するためにスキャンテストが行われる。そのスキャンテストの方法として、清浄空気が流れている試験エアフィルタの上流側に試験粒子を導入し、清浄空気により希釈混合された試験粒子を試験フィルタ全面に供給し、試験フィルタ下流側で走査する粒子検出器により試験フィルタを透過する粒子を検出する方法が一般的に行われている。
【０００３】
上記先行技術は、下流側の粒子検出器がエアフィルタ全面を走査し終わるまで試験フィルタの上流側の表面全面に亘り試験粒子が同時に連続して供給されるので、エアフィルタに過剰の試験粒子を負荷させることになる。近年、精密機械、医薬品製造のためのクリーンルームについては、より清浄な環境が求められており、無塵環境を作る有効的な手段であるエアフィルタの高捕集効率化が要望されている。特に超高性能エアフィルタを全数検査してスキャンテストを行なう場合、上記の先行技術によるようなスキャンテストをするとエアフィルタ前後の圧力損失が上昇し、結果としてエアフィルタの性能が低下することになる。
【０００４】
試験粒子を発生させるには、主として液中に浸漬したノズルから圧縮空気を導入し、バブリングによりエアロゾル化された試験粒子を得るラスキンノズル型粒子発生器が使われる。このラスキンノズル型粒子発生器から発生した試験粒子は、試験用エアフィルタまで流れる清浄空気の流路の途中で導入され装置内に懸濁するため、目的の粒子濃度を得るには粒子発生濃度を高くする必要があり、粒子供給器の台数を増加する等の手段がとられていた。したがって試験粒子の使用量が増加し試験に要する費用も大きくなっている。
【０００５】
一方、特開平４−７７６４６号は、粒子発生器から導かれるノズルを試験フィルタの上流側に設置し、試験フィルタの下流側において縦方向に複数のプローブを設置してこれらプローブを上下・左右に走査させ、各プローブ毎に漏洩検出器を接続してテストエアロゾルを検出する、試験フィルタ漏洩試験方法及びその装置を開示している。
【０００６】
この先行技術による装置では、複数のプローブを走査させて、広い範囲に亘り検査を行なうことになるため、ノズルを試験フィルタの上流側の空気整流板のさらに上流の離隔した位置に設け、発生した粒子を空気中に均一に懸濁させ、試験フィルタ上流側の粒子濃度を一定なものにする必要がある。したがってこの装置では試験フィルタに到達するまで粒子供給器から発生した粒子濃度が多量の空気によって希釈される。したがって、試験フィルタのサイズが変わりフィルタの面積が大きくなると、空気の流量が増加するため希釈率が増加するので、粒子供給器から発生させる粒子の濃度を高くする必要がある。さらに試験粒子がエアフィルタ上流側装置内全域に懸濁して堆積し装置内が汚染されることになる。
【０００７】
上記公報が開示する装置は複数のプローブによりテストエアロゾルを検出するので、同一面積のエアフィルタの試験では単一の粒子検出器を備えた試験装置に比し試験時間が短縮する利点があるが、複数のプローブのそれぞれに対して漏洩検出器を接続する必要があり、試験装置の製造コストが高くなる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、高性能エアフィルタのスキャンテスト時にテスト装置内を過度に汚染することなく、また試験用エアフィルタヘの試験粒子の過負荷を防ぎ、且つ試験粒子の消耗を最低限に抑えることができるエアフィルタテスト方法及びそのテスト装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、エアフィルタの上流側において粒子供給器からテストエアロゾルを供給し、前記エアフィルタの下流側において粒子検出器を上下・左右に走査して漏洩したテストエアロゾルを検出するエアフィルタテスト方法において、前記粒子供給器から発生するテストエアロゾルを前記エアフィルタの上流側から供給すると共に、前記粒子供給器からのテストエアロゾルを前記粒子検出器の上下・左右の走査運動に同調させて局所的に前記エアフィルタに供給し、もって漏洩したテストエアロゾルを検出することを特徴とするエアフィルタテスト方法、が提供される。
【００１０】
さらに本発明によれば、エアフィルタの上流側に設置されテストエアロゾルを供給する粒子供給器と、前記エアフィルタの下流側に設置されて漏洩したテストエアロゾルを検出する上下・左右に移動可能な粒子検出器と、を含むエアフィルタテスト装置において、前記エアフィルタの上流側に設置されテストエアロゾルを局所的に前記エアフィルタに供給する前記粒子供給器にして、該粒子供給器は前記粒子検出器に対向したまま前記粒子検出器と共に上下・左右に移動可能である前記粒子供給器を特徴とするエアフィルタテスト装置、が提供される。
【００１１】
【作用】
本発明によるエアフィルタテスト方法及びそれに使用するテスト装置によりエアフィルタのスキャンテストを行なうと、試験粒子が装置のダクト全域に懸濁することがなく、装置内が汚染されることがない。また、粒子供給器が試験フィルタの近くに位置するため粒子濃度が希釈されることが殆どないので、試験フィルタのサイズを変更して試験流量が増加しても発生させる粒子濃度は常に一定としてよい。したがって必要最低限の試験粒子の濃度でエアフィルタに供給することができ、試験粒子の使用量を少なくすることができる。
【００１２】
【実施例】
以下本発明を実施するエアフィルタ試験装置としてのスキャンテスト装置の説明と実施例の説明をする。
【００１３】
図１は本発明によるスキャンテスト装置の概略図である。この図１において、ダクト６の下流側にはスキャンテストの対象となる試験すべきエアフィルタとして、高さ６１０ｍｍ、幅６１０ｍｍ、奥行６５ｍｍの外形寸法のエアフィルタ１が設置され、ダクト６の上流側には送風機７が配置され、さらにその上流側にはＨＥＰＡフィルタ８が設置されている。送風機７により吸引される空気はＨＥＰＡフィルタ８を透過して清浄空気となり、ダクト６内に導入されるようになっている。
【００１４】
本発明によるテスト装置でピンホールの検出が可能であるかどうかを調べるため、試験フィルタに８立方米／分の流量の空気を通過させた際、フィルタ上流側の塵埃を含む空気が０．０２８３乃至２８．３ｃｃ／分漏洩する程度に数個のピンホールをランダムに設けた。
【００１５】
一方、コンプレサー（図示せず）からは２ｋｇ／平方センチメートルの圧力の圧縮空気が弁１４、パージフィルタ１５、導管１２を経由してラスキンノズル型発生器９中に設けたノズル１１に導かれ、ノズル１１から発生器９中のシリカ粒子分散液（図示せず）中に清浄な圧縮空気が吹き込まれフィルタテスト用シリカエアロゾル（特願平７−１７１６４４号）が発生するようになっている。図１に示すようにラスキンノズル型発生器９にはエアロゾル噴出口１３が設けられ、ここから導管１９が、試験フィルタの上流面から５０ｍｍ離隔した上流位置に設けた粒子供給器２に延びている。又、導管１２の途中で導管１６が分岐して延び、この導管１６は希釈調節バルブ１７に接続され、希釈調節バルブ１７から導管１８が延びて導管１９の途中で導管１９に接続されている。したがってエアロゾル噴出口１３から導管１９を経て粒子供給器２に導かれるシリカエアロゾルは、希釈調節バルブ１７を調節することによりパージフィルタ１５からの清浄な圧縮空気により希釈され、所望の試験粒子濃度のシリカエアロゾルが得られるようになっている。
【００１６】
ラスキンノズル型発生器９から発生した試験粒子であるシリカエアロゾルは、上記のように希釈され、導管１９を通って、粒子供給器２から試験フィルタ１に局所的に供給される。この粒子供給器２の開口部は、高さ７５ｍｍ、幅３１ｍｍの寸法を有し、粒子供給器走査装置３により図２に示す矢印のとおり上下・左右に移動し、試験フィルタの上流面に局所的に試験粒子を連続して供給する。試験フィルタの奥行き寸法が大きくなると、粒子供給器と粒子検出器との距離が大きくなり、粒子供給器から試験フィルタの上流側表面に局所的に供給される試験粒子を供給した時点で、試験フィルタの下流側表面で同時に試験粒子を検出することができずタイムラグを生じる。これによる検出の遅れを補正するためには、粒子供給器を任意の１点における粒子検出器に対向する位置より若干先行する位置関係において走査させてもよい。
【００１７】
試験フィルタ１の下流側には、試験フィルタ下流面から２５ｍｍ離隔した下流位置に粒子検出器４が設置されている。この粒子検出器４の開口部は高さ５５ｍｍ、幅２０ｍｍの寸法を有する。粒子検出器４は粒子供給器２と常に相対向して位置し、粒子検出器走査装置５により互いに同調して上下・左右に移動するようになっており、粒子検出器４が試験フィルタ１を透過する試験粒子を検出する。試験フィルタ下流面を走査して検出した試験粒子は、ハイアックロイコ社製のパーティクルカウンタＭｉｃｒｏＡｉｒｌ００である粒子計測器１０により計測される。
【００１８】
上記のスキャンテスト装置を使用して、送風機７を駆動してＨＥＰＡフィルタ８を透過した０．０４リットル／平方センチメートル／秒の流速の清浄空気を８立方米／分の流量でダクト６内に導入し、同時にラスキンノズル型発生器９を作動させ発生したテストエアロゾルをダクト６内の粒子供給器２から試験フィルタ１に供給する。
【００１９】
まず、コンプレッサーを作動させ、弁１４を開け、希釈調節バルブ１７を調整して、粒子供給器２の開口部から０．０４リットル／平方センチメートル／秒の流速でテストエアロゾルを排出させる。粒子供給器２の開口部は、高さ７．５センチメートル、幅３．１センチメートルであるから開口面積は２３．２５平方センチメートルであり、したがって粒子供給器２の開口部から排出されるテストエアロゾルの流量は０．０４リットル／秒×２３．２５＝０．９３リットル／秒である。粒子供給器走査装置３及び粒子検出器走査装置５により、粒子検出器４及び粒子供給器２を互いに対向させたまま図２に示す矢印にしたがって移動させ、試験フィルタ１の上流側と下流側を走査させた。それらの走査速度は５センチメートル／秒とし、水平走査線と水平走査線間の距離は５センチメートルとした。このようにして粒子供給器２からテストエアロゾルを排出させながら、試験フィルタ１の上流側で粒子供給器２を下流側で粒子検出器４を１５５秒の間走査させた。
【００２０】
したがって、この１５５秒の時間で粒子供給器２の開口部から排出されるテストエアロゾルの流量は０．９３リットル／秒×１５５秒＝１４４．１５リットルとなり、１４４．１５リットルのテストエアロゾルが試験フィルタに供給されたことになる。一方、エアロゾル中のシリカ粒子の濃度は８．４８×１０⁹個／立方米、すなわち８．４８×１０⁹個／１０００リットルとなるように調整してあるので、試験フィルタに供給された試験粒子の総量は、８．４８×１０⁹個／１０００リットル×１４４．１５リットル＝１．２２×１０⁹個となる。以上の実施例では、シリカ粒子はダクト６内に殆ど堆積せず、ダクト６を汚染しなかった。
【００２１】
次に粒子供給器２から試験フィルタ上流面までの距離と、粒子供給器２から発生した試験粒子の試験フィルタ上流面までの到達率との関係を調べた。
【００２２】
試験装置としては、実施例に使用したテスト装置の中、図１の粒子検出器４と粒子検出器走査装置５を取り外し、粒子検出器４の代わりにφ３のチューブを取り付け、実施例と同様にシリカ粒子及びラスキンノズル型発生器９を使用して、希釈調節バルブ１７を調節してテストエアロゾルを発生させた。試験フィルタは上流側の粒子が下流側に５０％以上、透過する程度のフィルタを設置し、試験フィルタの上流面から３０ｍｍ、５０ｍｍ、８０ｍｍ、それぞれ離隔した各上流位置に設置した粒子供給器２からシリカ粒子を発生させた。
【００２３】
試験フィルタの下流側では、試験フィルタ下流面から２５ｍｍ離隔した位置で、実施例における粒子検出器４の開口面積に相当する範囲内の複数の測定点において、試験フィルタを透過したシリカ粒子をハイアックロイコ社製のパーティクルカウンタＲＯＹＣＯ２２６である粒子計測器１０により計測した。その他の試験条件は、実施例と同様に気流速度を０．４ｍ／秒、空気流量を８立方米／分、すなわち１３３．３３リットル／秒として行なった。
【００２４】
表１に上記試験の結果、粒子供給器２から発生した試験粒子の試験フィルタ上流面までの到達率を表す値を複数の測定ポイント毎に示した。

【００２５】
表１から判るように、試験フィルタから粒子供給器２までの距離を長くすると、当然のことながら粒子供給器２から発生する試験粒子の拡散が大きくなり、試験粒子の試験フィルタ上流面までの到達率が低下する。しかし試験フィルタから粒子供給器２までの距離が長くても、粒子供給器２の開口面積が粒子検出器の開口面積の２倍程度とすることにより、粒子検出器の開口面積に相当する面積の範囲内では試験粒子を概ね均一な濃度分布となり、テスト装置内の過度の汚染及び試験用エアフィルタの過負荷を防止しつつエアフィルタをテストすることができる。
【００２６】
本発明の目的である試験粒子発生量の抑制、試験フィルタ汚染の防止等を達成するためには、試験フィルタ上流面までの試験粒子の到達率は１０％以上であることが望ましい。すなわち、粒子検出器の開口面積に相当する面積の範囲内での拡散率が１／１０以内となることが好ましい。なお、試験粒子の拡散を可能な限り制限するためには、粒子供給器の上流側に整流手段を設けることも可能であり、それにより粒子供給器を試験フィルタ面からさらに離隔させることもできる。
【００２７】
実際のフィルタの試験では、試験粒子の拡散を考慮して試験時のテストエアロゾル濃度を設定する必要がある。従って、前記実施例におけるテストエアロゾルの発生濃度は、試験フィルタの上流面における粒子濃度が従来濃度例と同程度の濃度となるように設定した。
【００２８】
次に従来行なわれてきた方法の例として、概略図である図３のスキャンテスト装置を使用してスキャンテストを行なった。図３において、ダクト２０の下流側にはエアフィルタとして、高さ６１０ｍｍ、幅６１０ｍｍ、奥行６５ｍｍの外形寸法の試験フィルタ２８を設置し、ダクト２０の上流側には送風機２４が配置され、さらにその上流側にはＨＥＰＡフィルタ２１が設置されている。送風機２４により吸引される空気はＨＥＰＡフィルタ２１を透過して清浄空気となり、ダクト２０内に導入される。送風機２４を駆動してＨＥＰＡフィルタ２１を透過した０．０４リットル／平方センチメートル／秒の流速の清浄空気を１３３．３３リットル／秒の流量でダクト２０内に導入し、同時にラスキンノズル型発生器２３を作動させ発生したテストエアロゾルを送風機２４の前方に設けた、ラスキンノズル型発生器２３から導管２２の末端に接続されたノズル２５から排出させ送風機２４でダクト２０内に導入した。ノズル２５から排出されたテストエアロゾルは、ダクト２０内で希釈され拡散して試験フィルタ２８の全面に供給される。
【００２９】
試験フィルタ２８の下流側には、試験フィルタ下流面から２５ｍｍ離隔した下流位置に粒子検出器２６が設置されている。この粒子検出器２６は実施例で使用した粒子検出器２と同じ寸法の開口部を有し、粒子検出器走査装置２７により実施例と同じく図２に示す矢印のとおり上下・左右に移動するようになっており、試験フィルタ２８を透過する試験粒子を検出する。検出された試験粒子は、粒子計測器２９によりカウントされる。試験粒子は実施例と同様にテストエアロゾルを使用し、ダクト２０内におけるシリカ粒子の濃度が３．６７×１０⁹個／立方米となるように調整し、１５５秒の間、テストエアロゾルを試験フィルタ２８の全面に供給した。その他の試験条件についても実施例と同様である。この従来例のスキャンテストの結果、ダクト２０内にシリカ粒子が堆積し、装置内が汚染されていることが観察された。
【００３０】
ダクト２０内に導入された清浄空気の流量は１３３．３３リットル／秒であるから、１５５秒では、１３３．３３リットル／秒×１５５秒＝２０６６６．１５リットルとなり、テストエアロゾルを含む２０６６６．１５リットルの空気が試験フィルタに供給されたことになる。この空気中のシリカ粒子の濃度は３．６７×１０⁹個／立方米、すなわち３．６７×１０⁹個／１０００リットルとなるように調整してあるので、試験フィルタに供給された試験粒子の総量は、３．６７×１０⁹個／１０００リットル×２０６６６．１５リットル＝３．６７×１０⁹個×２０，６６６、すなわち７５．８×１０⁹個であった。
【００３１】
上記数値を本発明の実施例による数値である１．２２×１０⁹個と比較すると、６０倍以上も試験粒子の供給量が多いことが判る。
【００３２】
【発明の効果】
本発明によるエアフィルタテスト装置でスキャンテストを行なうと、粒子供給器から直接試験フィルタ上流側の直前に試験粒子を供給することができるため、試験粒子をダクト内全域に懸濁させることがないので、ダクト内を過度に汚染することなく試験フィルタの汚染を防止することができる。また、試験粒子が清浄空気により希釈されることがなく、試験粒子の使用量を最低限に抑えられ経済的効果が大きい。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は本発明に使用したスキャンテスト装置の概略図である。
【図２】図２は試験フィルタの下流側からみた粒子検出器４又は粒子検出器１９又は粒子供給器２の走査方向を示す図である。
【図３】図３は従来例としての試験に使用したスキャンテスト装置の概略図である。
【符号の説明】
１試験フィルタ
２粒子供給器
３粒子供給器走査装置
４粒子検出器
５粒子検出器走査装置
６ダクト
７送風機
８ＨＥＰＡフィルタ
９ラスキンノズル型発生器
10 粒子計測器
11 ラスキンノズル型発生器のノズル
12 導管
13 エアロゾル噴出口
14 弁
15 パージフィルタ
16 導管
17 調整弁
18 導管
19 導管
20 従来例の試験に使用する装置のダクト
21 従来例の試験に使用する装置のＨＥＰＡフィルタ
22 従来例の試験に使用する装置の導管
23 従来例の試験に使用する装置のラスキンノズル型発生器
24 従来例の試験に使用する装置の送風機
25 従来例の試験に使用する装置のノズル
26 従来例の試験に使用する装置の粒子検出器
27 従来例の試験に使用する装置の粒子検出器走査装置
28 従来例の試験に使用する装置の試験フィルタ
29 従来例の試験に使用する装置の粒子計測器[0001]
[Industrial application fields]
The present invention relates to a scan test of a single air filter, and more particularly to a method for performing a scan test of a high performance air filter and an apparatus used therefor.
[0002]
[Prior art]
A high-performance filter such as a HEPA filter or ULPA filter is subjected to a scan test in order to confirm that the rated collection efficiency is satisfied after manufacture and that the filter has no leakage. As a method of the scan test, the test particles are introduced upstream of the test air filter through which clean air flows, the test particles diluted and mixed with clean air are supplied to the entire surface of the test filter, and scanning is performed downstream of the test filter. A method of detecting particles that pass through a test filter by a particle detector is generally performed.
[0003]
In the above prior art, test particles are continuously supplied over the entire upstream surface of the test filter until the downstream particle detector finishes scanning the entire surface of the air filter. Will be loaded. In recent years, clean rooms for precision machinery and pharmaceutical manufacturing have been required to have a cleaner environment, and there has been a demand for a high collection efficiency of air filters, which is an effective means for creating a dust-free environment. In particular, when performing a scan test with 100% inspection of ultra-high performance air filters, the pressure loss before and after the air filter increases if the scan test according to the above prior art is performed, resulting in a decrease in the performance of the air filter. .
[0004]
In order to generate test particles, a Ruskin nozzle type particle generator is used in which compressed air is mainly introduced from a nozzle immersed in a liquid and aerosolized test particles are obtained by bubbling. The test particles generated from this Ruskin nozzle type particle generator are introduced in the middle of the clean air flow path to the test air filter and suspended in the apparatus. It was necessary to increase the number, and measures such as increasing the number of particle feeders were taken. Therefore, the amount of test particles used is increased and the cost required for the test is also increased.
[0005]
On the other hand, in Japanese Patent Laid-Open No. 4-77646, a nozzle led from a particle generator is installed on the upstream side of the test filter, and a plurality of probes are installed in the vertical direction on the downstream side of the test filter so that these probes are vertically and horizontally. Disclosed is a test filter leak test method and apparatus for scanning and detecting a test aerosol by connecting a leak detector for each probe.
[0006]
In this prior art apparatus, since a plurality of probes are scanned and inspection is performed over a wide range, the nozzle is provided at a separated position further upstream of the air rectifying plate upstream of the test filter. It is necessary to suspend the particles uniformly in the air so that the particle concentration upstream of the test filter is constant. Therefore, in this apparatus, the particle concentration generated from the particle feeder is diluted with a large amount of air until it reaches the test filter. Accordingly, when the size of the test filter is changed and the area of the filter is increased, the dilution rate is increased because the air flow rate is increased, so that the concentration of particles generated from the particle feeder needs to be increased. Further, the test particles are suspended and accumulated in the entire area in the apparatus upstream of the air filter, and the inside of the apparatus is contaminated.
[0007]
Since the apparatus disclosed in the above publication detects a test aerosol using a plurality of probes, the test of an air filter having the same area has the advantage of shortening the test time compared to a test apparatus having a single particle detector, It is necessary to connect a leak detector to each of the plurality of probes, which increases the manufacturing cost of the test apparatus.
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
The present invention does not excessively contaminate the inside of a test apparatus during a scan test of a high-performance air filter, prevents overloading of test particles on a test air filter, and minimizes test particle consumption. An object of the present invention is to provide an air filter test method and a test apparatus therefor.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
According to the present invention, an air filter test for supplying a test aerosol from a particle supplier upstream of an air filter and detecting a leaked test aerosol by scanning the particle detector vertically and horizontally on the downstream side of the air filter. In the method, the test aerosol generated from the particle supplier is supplied from the upstream side of the air filter, and the test aerosol from the particle supplier is locally synchronized with the vertical and horizontal scanning movements of the particle detector. An air filter test method is provided, wherein the test aerosol is supplied to the air filter and leaked test aerosol is detected.
[0010]
Furthermore, according to the present invention, a particle feeder that is installed upstream of the air filter and supplies test aerosol, and a particle that is installed downstream of the air filter and detects the leaked test aerosol and can move vertically and horizontally. An air filter test device including a detector, wherein the particle supplier is installed upstream of the air filter and locally supplies test aerosol to the air filter, and the particle supplier is connected to the particle detector. There is provided an air filter test apparatus characterized by the particle feeder that can move up and down, left and right together with the particle detector while facing each other.
[0011]
[Action]
When the air filter scan test is performed by the air filter test method according to the present invention and the test apparatus used therefor, the test particles are not suspended throughout the duct of the apparatus, and the inside of the apparatus is not contaminated. Also, since the particle feeder is located near the test filter, the particle concentration is hardly diluted, so that the generated particle concentration may be always constant even if the test flow rate is increased by changing the size of the test filter. . Therefore, it can be supplied to the air filter at the minimum necessary test particle concentration, and the amount of test particles used can be reduced.
[0012]
【Example】
Hereinafter, a description will be given of a scan test apparatus as an air filter test apparatus for carrying out the present invention and examples.
[0013]
FIG. 1 is a schematic view of a scan test apparatus according to the present invention. In FIG. 1, an air filter 1 having a height of 610 mm, a width of 610 mm, and a depth of 65 mm is installed on the downstream side of the duct 6 as an air filter to be tested as a scan test target. Is provided with a blower 7, and further, a HEPA filter 8 is installed on the upstream side thereof. The air sucked by the blower 7 passes through the HEPA filter 8 to become clean air and is introduced into the duct 6.
[0014]
In order to examine whether or not pinholes can be detected by the test apparatus according to the present invention, when air having a flow rate of 8 cubic rice / minute is passed through the test filter, the air containing dust on the upstream side of the filter is 0.0283. Several pinholes were provided at random to leak through 28.3 cc / min.
[0015]
On the other hand, from a compressor (not shown), compressed air having a pressure of 2 kg / square centimeter is guided to a nozzle 11 provided in the Ruskin nozzle type generator 9 via a valve 14, a purge filter 15, and a conduit 12. From the above, clean compressed air is blown into a silica particle dispersion (not shown) in the generator 9 to generate a filter test silica aerosol (Japanese Patent Application No. 7-171644). As shown in FIG. 1, the ruskin nozzle generator 9 is provided with an aerosol jet 13 from which a conduit 19 extends to a particle feeder 2 provided at an upstream position 50 mm away from the upstream surface of the test filter. . Further, the conduit 16 branches and extends in the middle of the conduit 12, and this conduit 16 is connected to the dilution control valve 17. A conduit 18 extends from the dilution control valve 17 and is connected to the conduit 19 in the middle of the conduit 19. Therefore, the silica aerosol guided from the aerosol jet 13 through the conduit 19 to the particle feeder 2 is diluted with clean compressed air from the purge filter 15 by adjusting the dilution control valve 17, and the silica having a desired test particle concentration is diluted. Aerosol can be obtained.
[0016]
The silica aerosol which is the test particles generated from the Ruskin nozzle generator 9 is diluted as described above, and locally supplied from the particle supplier 2 to the test filter 1 through the conduit 19. The opening of the particle feeder 2 has a height of 75 mm and a width of 31 mm. The particle feeder 2 moves up and down and left and right as indicated by the arrows shown in FIG. The test particles are continuously supplied. When the depth dimension of the test filter increases, the distance between the particle feeder and the particle detector increases, and when the test particles supplied locally from the particle feeder to the upstream surface of the test filter are supplied, At the same time, the test particles cannot be detected on the downstream surface of the surface, resulting in a time lag. In order to correct the detection delay due to this, the particle feeder may be scanned in a positional relationship slightly preceding the position facing the particle detector at any one point.
[0017]
On the downstream side of the test filter 1, a particle detector 4 is installed at a downstream position 25 mm apart from the test filter downstream surface. The opening of the particle detector 4 has a height of 55 mm and a width of 20 mm. The particle detector 4 is always positioned opposite to the particle supplier 2 and is moved up and down, left and right in synchronization with each other by the particle detector scanning device 5, and the particle detector 4 moves the test filter 1 over. Detect penetrating test particles. Test particles detected by scanning the downstream surface of the test filter are measured by a particle counter 10 which is a particle counter Micro Air 100 manufactured by Hiac Royco.
[0018]
Using the scan test apparatus described above, the blower 7 is driven to introduce clean air having a flow rate of 0.04 liter / square centimeter / second through the HEPA filter 8 into the duct 6 at a flow rate of 8 cubic rice / minute. At the same time, the test aerosol generated by operating the Ruskin nozzle type generator 9 is supplied from the particle supplier 2 in the duct 6 to the test filter 1.
[0019]
First, the compressor is operated, the valve 14 is opened, and the dilution control valve 17 is adjusted, so that the test aerosol is discharged from the opening of the particle feeder 2 at a flow rate of 0.04 liter / square centimeter / second. The opening of the particle feeder 2 is 7.5 centimeters high and 3.1 centimeters wide, so the opening area is 23.25 square centimeters, so the test aerosol discharged from the opening of the particle feeder 2 The flow rate is 0.04 liter / second × 23.25 = 0.93 liter / second. The particle detector scanning device 3 and the particle detector scanning device 5 move the particle detector 4 and the particle supplier 2 according to the arrows shown in FIG. 2 while facing each other, and the upstream side and the downstream side of the test filter 1 are moved. Scanned. Their scanning speed was 5 centimeters / second, and the distance between the horizontal scanning lines was 5 centimeters. While discharging the test aerosol from the particle supplier 2 in this way, the particle detector 2 was scanned on the upstream side of the test filter 1 and the particle detector 4 was scanned on the downstream side for 155 seconds.
[0020]
Therefore, the flow rate of the test aerosol discharged from the opening of the particle supplier 2 in this time of 155 seconds is 0.93 liter / second × 155 seconds = 144.15 liter, and 144.15 liter of test aerosol is added to the test filter. Will be supplied. On the other hand, the concentration of silica particles in the aerosol is 8.48 × 10 ⁹ cells / cubic rice, that is, are adjusted to 8.48 × 10 ⁹ cells / 1000 liter test particles fed to the test filter Is 8.48 × 10 ⁹ pieces / 1000 liters × 144.15 liters = 1.22 × 10 ⁹ pieces. In the above examples, the silica particles were hardly deposited in the duct 6 and did not contaminate the duct 6.
[0021]
Next, the relationship between the distance from the particle supplier 2 to the test filter upstream surface and the arrival rate of the test particles generated from the particle supplier 2 to the test filter upstream surface was examined.
[0022]
As the test apparatus, the particle detector 4 and the particle detector scanning device 5 in FIG. Using silica particles and a Ruskin nozzle generator 9, the dilution control valve 17 was adjusted to generate a test aerosol. The test filter is provided with a filter that allows 50% or more of the upstream particles to pass downstream, and from the particle feeder 2 installed at each upstream position 30 mm, 50 mm, 80 mm away from the upstream surface of the test filter. Silica particles were generated.
[0023]
On the downstream side of the test filter, the silica particles that have passed through the test filter are hijacked at a plurality of measurement points within a range corresponding to the opening area of the particle detector 4 in the embodiment at a position 25 mm away from the downstream surface of the test filter. The particle counter 10 was a particle counter ROYCO 226 manufactured by Leuco. Other test conditions were the same as in the example, with an air velocity of 0.4 m / second and an air flow rate of 8 cubic rice / minute, that is, 133.33 liters / second.
[0024]
Table 1 shows the values representing the arrival rate of the test particles generated from the particle supplier 2 to the upstream surface of the test filter as a result of the test, for each of a plurality of measurement points.

[0025]
As can be seen from Table 1, when the distance from the test filter to the particle supplier 2 is increased, the diffusion of the test particles generated from the particle supplier 2 naturally increases, and the test particles reach the upstream surface of the test filter. The rate drops. However, even if the distance from the test filter to the particle feeder 2 is long, the opening area of the particle feeder 2 is about twice the opening area of the particle detector. Within the range, the test particles have a substantially uniform concentration distribution, and the air filter can be tested while preventing excessive contamination in the test apparatus and overloading of the test air filter.
[0026]
In order to achieve the object of the present invention, for example, to suppress the generation amount of test particles and to prevent test filter contamination, it is desirable that the arrival rate of the test particles to the upstream surface of the test filter is 10% or more. That is, it is preferable that the diffusivity within an area corresponding to the opening area of the particle detector is within 1/10. In order to limit the diffusion of the test particles as much as possible, it is also possible to provide a rectifying means upstream of the particle feeder, thereby further separating the particle feeder from the test filter surface.
[0027]
In the actual filter test, it is necessary to set the test aerosol concentration during the test in consideration of the diffusion of the test particles. Therefore, the test aerosol generation concentration in the above example was set so that the particle concentration on the upstream surface of the test filter would be comparable to the conventional concentration example.
[0028]
Next, as an example of a conventional method, a scan test was performed using the scan test apparatus of FIG. 3 which is a schematic diagram. In FIG. 3, a test filter 28 having outer dimensions of 610 mm in height, 610 mm in width, and 65 mm in depth is installed as an air filter on the downstream side of the duct 20, and a blower 24 is disposed on the upstream side of the duct 20. A HEPA filter 21 is installed on the upstream side. The air sucked by the blower 24 passes through the HEPA filter 21 to become clean air and is introduced into the duct 20. Clean air having a flow rate of 0.04 liters / square centimeter / second that has passed through the HEPA filter 21 by driving the blower 24 is introduced into the duct 20 at a flow rate of 133.33 liters / second, and at the same time, the Ruskin nozzle generator 23 is connected. The test aerosol generated by the operation was discharged from the nozzle 25 connected to the end of the conduit 22 from the Ruskin nozzle type generator 23 provided in front of the blower 24 and introduced into the duct 20 by the blower 24. The test aerosol discharged from the nozzle 25 is diluted and diffused in the duct 20 and supplied to the entire surface of the test filter 28.
[0029]
On the downstream side of the test filter 28, a particle detector 26 is installed at a downstream position 25 mm away from the test filter downstream surface. The particle detector 26 has an opening having the same size as that of the particle detector 2 used in the embodiment, and is moved up, down, left and right by the particle detector scanning device 27 as shown by the arrows in FIG. The test particles that pass through the test filter 28 are detected. The detected test particles are counted by the particle counter 29. The test particles used were test aerosols as in the examples, and the silica particles in the duct 20 were adjusted to have a concentration of 3.67 × 10 ⁹ particles / cubic rice, and the test aerosol was applied to the test filter for 155 seconds. 28 was supplied to the entire surface. Other test conditions are the same as in the examples. As a result of this conventional scan test, it was observed that silica particles were deposited in the duct 20 and the inside of the apparatus was contaminated.
[0030]
Since the flow rate of the clean air introduced into the duct 20 is 133.33 liters / second, in 155 seconds, 133.33 liters / second × 155 seconds = 20666.15 liters, including 20666.15 liters including the test aerosol. Of air is supplied to the test filter. Since the concentration of silica particles in the air are adjusted to 3.67 × 10 ⁹ cells / cubic rice, ie 3.67 × 10 ⁹ cells / 1000 liter of the supplied test particles in the test filter The total amount was 3.67 × 10 ⁹ pieces / 1000 liters × 20666.15 liters = 3.67 × 10 ⁹ pieces × 20,666, ie 75.8 × 10 ⁹ pieces.
[0031]
Comparing the above numerical values with the 1.22 × 10 ⁹ numerical values according to the embodiment of the present invention, it can be seen that the supply amount of test particles is 60 times or more.
[0032]
【The invention's effect】
When the scan test is performed by the air filter test apparatus according to the present invention, the test particles can be supplied directly from the particle feeder immediately before the upstream side of the test filter, so that the test particles are not suspended throughout the duct. The contamination of the test filter can be prevented without excessively contaminating the inside of the duct. Further, the test particles are not diluted with clean air, and the amount of the test particles used can be minimized and the economic effect is great.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view of a scan test apparatus used in the present invention.
FIG. 2 is a diagram showing a scanning direction of the particle detector 4 or the particle detector 19 or the particle supplier 2 as viewed from the downstream side of the test filter.
FIG. 3 is a schematic view of a scan test apparatus used for a test as a conventional example.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Test filter 2 Particle feeder 3 Particle feeder scanning device 4 Particle detector 5 Particle detector scanning device 6 Duct 7 Blower 8 HEPA filter 9 Ruskin nozzle type generator
10 Particle counter
11 Ruskin nozzle generator nozzle
12 conduit
13 Aerosol outlet
14 valves
15 Purge filter
16 conduit
17 Regulating valve
18 conduit
19 Conduit
20 Duct of equipment used for conventional test
21 HEPA filter of equipment used for conventional test
22 Equipment conduits used for conventional testing
23 Ruskin nozzle generator for equipment used in conventional tests
24 Blower for equipment used for conventional tests
25 Nozzle of equipment used for conventional test
26 Particle detector for equipment used in conventional tests
27 Particle detector scanning device used in conventional test
28 Test filter of equipment used for conventional test
29 Particle measuring instrument for equipment used in conventional tests

Claims

In an air filter test method for detecting a leaked test aerosol by supplying a test aerosol from a particle supplier on the upstream side of the air filter and scanning the particle detector vertically and horizontally on the downstream side of the air filter,
The test aerosol generated from the particle supplier is supplied from the upstream side of the filter, and the test aerosol from the particle supplier is locally synchronized with the vertical / left / right scanning motion of the particle detector. An air filter test method for detecting a test aerosol leaked by supplying
An air filter test method, wherein the particle supplier is scanned in a positional relationship preceding a position facing the particle detector.

An air including a particle supplier that is installed upstream of the air filter and supplies test aerosol, and a particle detector that is installed downstream of the air filter and that can move vertically and horizontally to detect leaked test aerosol. In filter test equipment,
The particle supplier is installed upstream of the air filter and locally supplies test aerosol to the air filter. The particle supplier is vertically and horizontally with the particle detector while facing the particle detector. An air filter test apparatus comprising the particle detector that is movable ,
An air filter test apparatus, wherein the particle feeder is moved in a positional relationship preceding a position facing the particle detector.