JP3323336B2 - High performance filter inspection equipment - Google Patents
High performance filter inspection equipmentInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、テスト塵埃の低減を可
能にして高性能フィルタ検査装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high-performance filter inspection apparatus capable of reducing test dust.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、各種高性能フィルタの検査では、
総合効率テストと個々の部位でのリークテストとが行わ
れるが、その間、供試フィルタには、検査・検出力向上
のため、人工的に作りだした高濃度のＤＯＰ（ジオ ク
チル フタレート）等の塵埃（高濃度負荷：１０7 〜１
０9 ケ ／cfクラス）を通過させながら検査している。2. Description of the Related Art Conventionally, in inspection of various high-performance filters,
The overall efficiency test and the leak test at each part are performed. During this time, the test filter is used to improve the inspection / detection power by using high-concentration dust such as DOP (dioctyl phthalate), which is artificially created. (High concentration load: 10 7 -1
( 09 / cf class).
【０００３】従来の検査装置の基本的構成は、図２に示
すように、供試フィルタＡを着脱自在に装着する試験チ
ャンバーＢを設け、該試験チャンバーの上流側に、テス
ト塵埃吹出ノズルＣと上流サンプル取出口Ｄとを設け、
下流側に、下流サンプル取出口Ｅを設け、而して、その
テスト塵埃吹出ノズルＣへテスト塵埃作成装置Ｆで人工
的に作りだした上述の高濃度の塵埃を供給して試験チャ
ンバーＢの上流側に噴出させ、また、上流サンプル取出
口Ｄから上流サンプルを抽出して希釈装置Ｇで所定濃度
に希釈させた後、これをレーザスペクトロメータＨへ送
り、一方、下流サンプル取出口Ｅから下流サンプルを検
出して、これを上記レーザスペクトロメータＨへ送って
前記希釈上流サンプルと比較し、その比較データをマイ
クロコンピュータＩで演算し、データ出力Ｊを得るよう
になっている。上記テスト塵埃作成装置Ｆは、ファンF-
a により、ＨＥＰＡフィルタ（前処理フィルタ）F-b を
通して導入した外気を、オリフィスF-c と該オリフィス
の前後に接続した差圧計F-f とでその値を測定しつつ所
定風量に規制して上記試験チャンバーＢへと送風すると
ともに、その送風路にＤＯＰ発生器（テスト塵埃発生
器）F-d で発生させたＤＯＰスモーク（テスト塵埃）を
混入させるものである。なお、ＤＯＰ発生器F-d は、適
宜フィルタF-e を介して供給される圧縮空気により所要
のＤＯＰスモークを生ずるものである。As shown in FIG. 2, a basic configuration of a conventional inspection apparatus is provided with a test chamber B in which a test filter A is detachably mounted, and a test dust blowing nozzle C and a test dust blowing nozzle C are provided upstream of the test chamber. And an upstream sample outlet D,
On the downstream side, a downstream sample outlet E is provided, and the above-mentioned high-concentration dust artificially created by the test dust generating device F is supplied to the test dust blowing nozzle C, and the upstream side of the test chamber B is provided. After the upstream sample is extracted from the upstream sample outlet D and diluted to a predetermined concentration by the diluting device G, this is sent to the laser spectrometer H, while the downstream sample is discharged from the downstream sample outlet E. The detected data is sent to the laser spectrometer H and compared with the diluted upstream sample. The comparison data is calculated by the microcomputer I to obtain a data output J. The above test dust making device F has a fan F-
According to a, the outside air introduced through the HEPA filter (pre-processing filter) Fb is regulated to a predetermined air volume while measuring its value with the orifice Fc and the differential pressure gauge Ff connected before and after the orifice, and is transferred to the test chamber B. In addition to blowing air, DOP smoke (test dust) generated by a DOP generator (test dust generator) Fd is mixed into the air passage. The DOP generator Fd generates a required DOP smoke by compressed air supplied through a filter Fe as appropriate.
【０００４】また、従来の検査装置には、自動化された
装置では図３に示すスキャンテスト装置がある。このス
キャンテスト装置は、上記基本的構成に加え、試験チャ
ンバーＢの下流側で、供試フィルタＡに接近させてサン
プルプローブE-a を配し、該サンプルプローブを自動ス
キャンニング装置E-b により供試フィルタ全面に対し５
cm間隔程度でスキャンニングさせてサンプリングするも
のであり、このサンプルプローブE-a からの下流サンプ
ルと上流サンプル取出口Ｄからの上流サンプルとをフォ
トメータＫに送って検査データを得るもの、又は、図２
に示すような出力手段により下流の空気の塵埃濃度が設
定限度を超える箇所を特定するものである。なお、F-g
は、ケーシング、F-h は、ダクト、F-i は、バタフライ
バルブ、F-J は、前記ＤＯＰ発生器F-d に付随するＤＯ
Ｐ原液びんである。A conventional inspection apparatus includes a scan test apparatus shown in FIG. 3 as an automated apparatus. In addition to the above basic configuration, this scan test apparatus arranges a sample probe Ea close to the test filter A downstream of the test chamber B, and places the sample probe on the entire surface of the test filter by the automatic scanning device Eb. 5 for
The scanning and sampling are performed at intervals of about cm, and the downstream sample from the sample probe Ea and the upstream sample from the upstream sample outlet D are sent to the photometer K to obtain inspection data, or FIG.
The output means as shown in (1) specifies a portion where the dust concentration of the downstream air exceeds the set limit. Note that Fg
Is a casing, Fh is a duct, Fi is a butterfly valve, FJ is a DO associated with the DOP generator Fd.
It is a P stock solution bottle.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、１．２×０．
６ｍ2の供試フィルタでもリーク測定のためには上述の
１０7 〜１０9 ケ ／cf程度の高濃度塵埃を７〜８分間浴
びせる必要があり、多量の塵埃を要するだけでなく、供
試フィルタに多量に付着して、検査後の清掃が容易でな
く、また、フィルタの塵埃保持能力を低下させる。そし
て、これらのことはフィルタの高性能化増進に伴い益々
増大する傾向にある。本発明は、かかる問題点を解決し
ようとするものである。However, 1.2 × 0.
Even for a 6 m 2 test filter, the above-mentioned high concentration dust of about 10 7 to 10 9 / cf needs to be immersed for 7 to 8 minutes for leak measurement. To the filter, it is not easy to clean after inspection, and the filter retains dust. These tend to increase with the improvement of the performance of filters. The present invention seeks to solve such a problem.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的達成のため、本
発明は、供試フィルタに対し、上流側で所定のテスト塵
埃を供給し、下流側でそのテスト塵埃の濃度を検出する
よう構成した高性能フィルタ検査装置において、その上
流側にテスト塵埃吹出ノズルを、また、下流側にサンプ
リングプローブを、供試フィルタをあいだにして少ない
間隔で相互に対峙させるとともに、そのテスト塵埃吹出
ノズルとサンプリングプローブとに上記対峙を維持させ
つつフィルタ全面にわたってスキャンニングさせる同期
スキャンニング機構を装備させたことを特徴とする。In order to achieve the above object, the present invention is arranged such that a predetermined test dust is supplied to the test filter on the upstream side and the concentration of the test dust is detected on the downstream side. In a high-performance filter inspection device, a test dust blowing nozzle is located upstream, a sampling probe is located downstream, and the test dust blowing nozzle and sampling probe are opposed to each other with a small interval between test filters. And a synchronous scanning mechanism for scanning the entire surface of the filter while maintaining the above-mentioned confrontation.
【０００７】[0007]
【作用】如上の構成であるから、検査に当たっては、同
期スキャンニング機構を作動させて、テスト塵埃吹出ノ
ズルとサンプリングプローブとを、その対峙を維持させ
つつ、共に供試フィルタ全面に対して走行させる。ま
た、この走行と同時に、テスト塵埃吹出ノズルから一定
のテスト塵埃を噴出させ、サンプリングプローブで供試
フィルタを通過した清浄化空気を捕らえて、該清浄化空
気の塵埃の濃度を検出する。With the above construction, during the inspection, the synchronous scanning mechanism is operated to move the test dust blowing nozzle and the sampling probe along the entire surface of the test filter while maintaining the opposition. . Simultaneously with this traveling, a certain amount of test dust is ejected from a test dust blowing nozzle, and the sampling probe captures the clean air that has passed through the test filter, and detects the dust concentration of the clean air.
【０００８】[0008]
【実施例】図１は、本発明の高性能フィルタ検査装置の
実施例を示している。図１において、１は、供試フィル
タ、２は、フィルタ寸法に合わせて複数の枠体を取り付
け得るようにした機枠、３は、該機枠の上部に設けた試
験チャンバーで、供試フィルタ１をその側面に着脱自在
に取り付け得るよう構成している。４は、上記試験チャ
ンバーの上流部31内に可動に配したテスト塵埃吹出ノズ
ル、５は、その下流部32に可動に配したサンプリングプ
ルーブで、供試フィルタ１をあいだにして少ない間隔で
相互に対峙させている。６，７は、上記テスト塵埃吹出
ノズル４とサンプリングプローブ５とに上記対峙を維持
させつつフィルタ全面にわたって座標軸Ｘ−Ｙにスキャ
ンニングさせる同期スキャンニング機構であり、該同期
スキャンニング機構は、機械的又は電気的に連動するも
のである。８は、上記試験チャンバー３の上流部31の上
流に連ねた送風チャンバー、９は、該送風チャンバーの
上流に連ねたファン、10は、該ファンの上流に連ねた前
処理フィルタ（ＨＥＰＡフィルタ）である。11は、上記
試験チャンバーの上流部31乃至上記送風チャンバー８に
付設し、前記テスト塵埃吹出ノズル４の上流にフレキシ
ブルホース12を介して連通させたテスト塵埃濃度確認チ
ャンバー、13は、該テスト塵埃濃度確認チャンバーの上
流に連ねたラスキンノズル型ＤＯＰ発生器（テスト塵埃
発生器）であり、該ＤＯＰ発生器は、外部からの圧縮空
気を導入してテスト塵埃を作成し、これをその圧縮空気
の圧力で前記テスト塵埃濃度確認チャンバー11及びフレ
キシブルホース12を介して上記テスト塵埃吹出ノズル４
へと供給し、該テスト塵埃吹出ノズルから噴出させる。
14は、上記サンプリングプローブ５の下流にフレキシブ
ルホース15を介して連ね、そのサンプリングプローブ５
から下流サンプルを吸入して塵埃濃度を数値的に検出す
る微粒子計測器、16は、該微粒子計測器からの出力と前
記テスト塵埃濃度確認チャンバー11での確認値とから検
査データを演算するコンピュータ、17は、該コンピュー
タの検査データを印字するプリンタである。FIG. 1 shows an embodiment of a high-performance filter inspection apparatus according to the present invention. In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a test filter, 2 denotes a machine frame in which a plurality of frames can be attached in accordance with the filter size, and 3 denotes a test chamber provided on an upper portion of the machine frame. 1 is configured to be detachably attached to the side surface thereof. Reference numeral 4 denotes a test dust blowing nozzle movably disposed in the upstream portion 31 of the test chamber. Reference numeral 5 denotes a sampling probe movably disposed in the downstream portion 32 of the test chamber. Confronted. Reference numerals 6 and 7 denote synchronous scanning mechanisms that scan the coordinate axis XY over the entire surface of the filter while keeping the test dust blowing nozzle 4 and the sampling probe 5 facing each other. The synchronous scanning mechanism is a mechanical scanning mechanism. Or, they are electrically linked. 8 is a blower chamber connected upstream of the upstream portion 31 of the test chamber 3, 9 is a fan connected upstream of the blower chamber, and 10 is a pretreatment filter (HEPA filter) connected upstream of the fan. is there. Reference numeral 11 denotes a test dust concentration confirmation chamber which is attached to the upstream portion 31 of the test chamber to the blower chamber 8 and communicates with the upstream of the test dust blowing nozzle 4 via a flexible hose 12, and 13 denotes a test dust concentration chamber. This is a Ruskin nozzle type DOP generator (test dust generator) connected to the upstream of the confirmation chamber. The DOP generator introduces compressed air from the outside to create test dust, which is compressed by the pressure of the compressed air. And the test dust blow-out nozzle 4 through the test dust concentration confirmation chamber 11 and the flexible hose 12.
And ejected from the test dust blowing nozzle.
14 is connected downstream of the sampling probe 5 via a flexible hose 15, and the sampling probe 5
A particle measuring device for numerically detecting the dust concentration by inhaling a downstream sample from 16; a computer for calculating inspection data from an output from the particle measuring device and a confirmation value in the test dust concentration confirmation chamber 11; A printer 17 prints inspection data of the computer.
【０００９】如上の構成であり、検査に当たっては、供
試フィルタ１を試験チャンバー３の上流部31と下流部32
との中間に介入させ、ファン９を働かせて、外気を前処
理フィルタ10で清浄化させて導入し、送風チャンバー７
から試験チャンバー３の上流部31へ供給し、供試フィル
タ１に全面的にかつ各部均一に通過させ、試験チャンバ
ー３の下流部32から外へと放出させる。また、同期スキ
ャンニング機構６，７を働かせて、対峙するテスト塵埃
吹出ノズル４とサンプリングプローブ５とを供試フィル
タ１の全面に対し等速で同期スキャンニングさせ、その
間、供試フィルタ１の上流側において、圧縮空気により
ＤＯＰ発生器13で発生させた所定濃度のテスト塵埃を、
テスト塵埃濃度確認チャンバー11にてその濃度を確認し
つつテスト塵埃吹出ノズル４から噴出させて、供試フィ
ルタ１の各所へ点的に浴びせ、かつ、供試フィルタ１の
下流側において、サンプリングプローブ５で供試フィル
タ１を通過した下流サンプルを捕らえて、その塵埃濃度
を微粒子計測器で数値的に検出し、該検出出力とテスト
塵埃濃度確認チャンバー11での確認値とからコンピュー
タ16で検査データを演算し、その検査データをプリンタ
17で印字する。In the inspection, the test filter 1 is connected to the upstream part 31 and the downstream part 32 of the test chamber 3.
, The fan 9 is operated, and the outside air is purified by the pretreatment filter 10 and introduced.
To the upstream part 31 of the test chamber 3, pass through the sample filter 1 entirely and uniformly at each part, and discharge it from the downstream part 32 of the test chamber 3 to the outside. The synchronous scanning mechanisms 6 and 7 are operated to synchronously scan the opposing test dust blowing nozzle 4 and the sampling probe 5 over the entire surface of the test filter 1 at a constant speed. On the side, a predetermined concentration of test dust generated by the DOP generator 13 by compressed air is
While checking the concentration in the test dust concentration check chamber 11, the test dust is blown out from the test dust blow-out nozzle 4, so as to be spotted in various places of the test filter 1, and the sampling probe 5 is provided downstream of the test filter 1. The downstream sample that has passed through the test filter 1 is captured, and the dust concentration is numerically detected by a fine particle measuring instrument. Inspection data is obtained by the computer 16 from the detection output and the confirmation value in the test dust concentration confirmation chamber 11. Calculates and outputs the inspection data to the printer
Print with 17.
【００１０】[0010]
【発明の効果】本発明によれば、供試フィルタをあいだ
にして、その上流側にテスト塵埃吹出ノズルを、また、
下流側にサンプリングプローブを、少ない間隔で相互に
対峙させるとともに、両者にその対峙を維持させつつフ
ィルタ全面にわたってスキャンニングさせる同期スキャ
ンニング機構を装備させているので、上流側では、下流
側のサンプリングプローブに対応させてテスト塵埃吹出
ノズルから部分的にテスト塵埃を噴出させることがで
き、したがって、例えば、１．２×０．６ｍ2の供試フ
ィルタで、従来、 1０7 〜１０9 ケ ／cf程度の高濃度塵
埃を供試フィルタ全面に７〜８分間浴びせる必要があっ
たのを、個々のポイントにおいて１０秒程度浴びせれば
よくなり、検査効率を格段に向上させることができ、し
かも、検査のために供試フィルタに付着させるテスト塵
埃の量を大幅に縮減でき、検査後の清掃を容易にするこ
とができ、フィルタの塵埃保持能力の低下を最小限に押
さえることができる。而して、これにより、フィルタの
高性能化増進に伴うテスト塵埃の益々の高濃度化、検査
速度の低下による全負荷量の増加にも対処できる。According to the present invention, a test dust blowing nozzle is provided upstream of a filter under test, and
On the downstream side, the sampling probe on the downstream side is equipped with a synchronous scanning mechanism that scans the entire surface of the filter while keeping the sampling probes facing each other at a small interval. in correspondence with partially can be ejected test dust from the test dust blowing nozzle, thus, for example, in test filter 1.2 × 0.6 m 2, a conventional, 10 7 to 10 9 Ke / cf about Instead of having to soak the high-concentration dust on the entire surface of the test filter for 7 to 8 minutes, it is enough to soak it at each point for about 10 seconds, so that the inspection efficiency can be greatly improved and the inspection As a result, the amount of test dust adhering to the test filter can be greatly reduced, cleaning after inspection can be facilitated, and filter A reduction in the dust holding capacity can be minimized. Thus, it is possible to cope with an increase in the density of the test dust due to the improvement in the performance of the filter and an increase in the total load due to a decrease in the inspection speed.
【図１】 本発明の高性能フィルタ検査装置に係る実施
例を示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing an embodiment according to a high-performance filter inspection apparatus of the present invention.
【図２】 従来の高性能フィルタ検査装置に係る基本的
構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram showing a basic configuration of a conventional high-performance filter inspection apparatus.
【図３】 従来の高性能フィルタ検査装置の具体的一例
を示す構成要領説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a configuration example showing a specific example of a conventional high-performance filter inspection apparatus.
１…供試フィルタ ２…機枠 ３…試験チャンバー 31…上流部 32…下流部 ４…テスト塵埃吹出ノズル ５…サンプリング
プルーブ ６，７…同期スキャンニング機構 ８…送風チャンバ
ー ９…ファン 10…前処理フィル
タ 11…テスト塵埃濃度確認チャンバー 12…フレキシブル
ホース 13…ＤＯＰ発生器 14…微粒子計測器 15…フレキシブルホース 16…コンピュータ 17…プリンタ Ａ…供試フィルタ Ｂ…試験チャンバ
ー Ｃ…テスト塵埃吹出ノズル Ｄ…上流サンプル
取出口 Ｅ…下流サンプル取出口 Ｆ…テスト塵埃作成装置 F-a …ファン F-b …ＨＥＰＡフィルタ F-c …オリフィス F-d …ＤＯＰ発生器 F-e …フィルタ F-f …差圧計 F-g …ケーシング F-h …ダクト F-i …バタフライ
バルブ Ｇ…希釈装置 Ｈ…レーザスペク
トロメータ Ｉ…マイクロコンピュータ Ｊ…データ出力 Ｋ…フォトメータDESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Test filter 2 ... Machine frame 3 ... Test chamber 31 ... Upstream part 32 ... Downstream part 4 ... Test dust blowing nozzle 5 ... Sampling probe 6, 7 ... Synchronous scanning mechanism 8 ... Ventilation chamber 9 ... Fan 10 ... Pretreatment Filter 11 ... Test dust concentration confirmation chamber 12 ... Flexible hose 13 ... DOP generator 14 ... Particle measuring instrument 15 ... Flexible hose 16 ... Computer 17 ... Printer A ... Test filter B ... Test chamber C ... Test dust blowing nozzle D ... Upstream Sample outlet E: Downstream sample outlet F: Test dust generating device Fa: Fan Fb: HEPA filter Fc: Orifice Fd: DOP generator Fe: Filter Ff: Differential pressure gauge Fg: Casing Fh: Duct Fi: Butterfly valve G: Dilution Equipment H ... Laser spectrometer I ... Microcomputer J ... Data output ... photometer
Claims (1)
スト塵埃を供給し、下流側でそのテスト塵埃の濃度を検
出するよう構成した高性能フィルタ検査装置において、
その上流側にテスト塵埃吹出ノズルを、また、下流側に
サンプリングプローブを、供試フィルタをあいだにして
少ない間隔で相互に対峙させるとともに、そのテスト塵
埃吹出ノズルとサンプリングプローブとに上記対峙を維
持させつつフィルタ全面にわたってスキャンニングさせ
る同期スキャンニング機構を装備させたことを特徴とす
る高性能フィルタ検査装置。1. A high-performance filter inspection apparatus configured to supply predetermined test dust on an upstream side to a test filter and to detect the concentration of the test dust on a downstream side.
The test dust blowing nozzle is located on the upstream side, the sampling probe is located on the downstream side, and the sampling filter is opposed to each other with a small interval between the test filters, and the test dust blowing nozzle and the sampling probe are kept facing each other. A high-performance filter inspection apparatus characterized by being equipped with a synchronous scanning mechanism for scanning the entire surface of the filter while scanning.
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|---|---|---|---|
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Family Applications (1)
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| JP27450394A Expired - Fee Related JP3323336B2 (en) | 1994-10-12 | 1994-10-12 | High performance filter inspection equipment |
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1994
- 1994-10-12 JP JP27450394A patent/JP3323336B2/en not_active Expired - Fee Related
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