JP2002214115A - Air cleaning device and its test system - Google Patents

Air cleaning device and its test system

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JP2002214115A
JP2002214115A JP2001014486A JP2001014486A JP2002214115A JP 2002214115 A JP2002214115 A JP 2002214115A JP 2001014486 A JP2001014486 A JP 2001014486A JP 2001014486 A JP2001014486 A JP 2001014486A JP 2002214115 A JP2002214115 A JP 2002214115A
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JP
Japan
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air
casing
test
downstream
upstream
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Application number
JP2001014486A
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Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Ono
正裕 小野
Masaru Amaya
賢 天谷
Kenichiro Saka
健一郎 阪
Kenji Matsuoka
賢治 松岡
Kazutaka Otsuka
一剛 大塚
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Taisei Corp
Takasago Thermal Engineering Co Ltd
Nitta Corp
Original Assignee
Taisei Corp
Takasago Thermal Engineering Co Ltd
Nitta Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an air cleaning device and its test system capable of cleaning the air, and executing a leakage test having high precision and reliability on the cleaning state of the air. SOLUTION: This air cleaning device is constituted by a casing 1 for forming a ventilation route of the air to be cleaned, an HEPA filter 2 installed in the casing 1, for cleaning the air passing the casing 1, an upstream side detection hole 5 for capturing and guiding the air in the filter upstream side casing during the leakage test, and a sampling probe 8 movable in the filter upstream side casing, for capturing and guiding the air in the filter downstream side casing during the leakage test. This test system is constituted by having a DOP particle generator 20 for providing DOP particles into the filter upstream side casing, and a particle counter 19 for detecting the DOP particles included respectively in the upstream side air and the downstream side air guided from the upstream side detection hole 5 and the sampling probe 8.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ケミカルハザード
物質を使用している事業所、例えば抗生物質の製造室等
の排気系に使用される空気浄化装置及びその試験システ
ムに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an air purifying apparatus used in an exhaust system of a business using chemical hazardous substances, for example, an antibiotic manufacturing room, and a test system therefor.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、抗生物質の製造室等、ケミカ
ルハザード物質を使用する製造現場では、前記製造現場
の雰囲気を空気浄化手段に通すことによってケミカルハ
ザード物質の外部への流出を防止している。空気浄化手
段としては、0.3μmのDOP(フタル酸ジオクチ
ル)粒子に対して99.97%以上のろ過効率を有する
HEPAフィルタや、0.1μmの粒子に対して99.
999%以上のろ過効率を有するULPAフィルタ等が
用いられる。
2. Description of the Related Art Conventionally, in a manufacturing site using a chemical hazardous substance, such as an antibiotic manufacturing room, the atmosphere of the manufacturing site is passed through an air purification means to prevent the chemical hazardous substance from flowing out. I have. Examples of the air purifying means include a HEPA filter having a filtration efficiency of 99.97% or more for 0.3 μm DOP (dioctyl phthalate) particles and a 99.97% filtration efficiency for 0.1 μm particles.
An ULPA filter having a filtration efficiency of 999% or more is used.

【0003】前述したような排気系では、例えば図11
及び図12に示すような空気浄化ユニットが知られてい
る。この空気浄化ユニットは、鋼またはSUSからなる
ケーシング30内にHEPAフィルタ2を取り付けたも
ので、ユニットに流入したハザード物質を含む空気をろ
過し、清浄な空気のみを室外に排出する。このような空
気浄化ユニットには、必要に応じてプレフィルタ4が取
り付けられる。
In the exhaust system described above, for example, FIG.
An air purification unit as shown in FIG. 12 is known. This air purification unit is one in which a HEPA filter 2 is mounted in a casing 30 made of steel or SUS, and filters air containing hazardous substances flowing into the unit, and discharges only clean air to the outside. A prefilter 4 is attached to such an air purification unit as needed.

【0004】前記ユニットにおいて、HEPAフィルタ
には空気のろ過に伴いハザード物質のみならず粉塵も堆
積する。このためHEPAフィルタは、目詰まりにより
圧力損失が増加することから、定期的に交換が必要であ
る。また、前記ユニットでは、HEPAフィルタとケー
シングのシール部は、一般にスポンジパッキンによって
気密性が保たれているが、パッキンの経時劣化によりシ
ール部からリークが生じる可能性がある。よってフィル
タの交換時や一定期間運転後等では、HEPAフィルタ
やシール部からのリークがないことを定期的にテストし
て確認する必要がある。
In the above unit, not only hazardous substances but also dusts accumulate on the HEPA filter as air is filtered. For this reason, the HEPA filter needs to be replaced periodically because the pressure loss increases due to clogging. In the unit, the seal between the HEPA filter and the casing is generally kept airtight by sponge packing. However, there is a possibility that a leak may occur from the seal due to deterioration of the packing over time. Therefore, it is necessary to periodically test and confirm that there is no leak from the HEPA filter or the seal portion when the filter is replaced or after a certain period of operation.

【0005】前述したリークテストについて、前記ユニ
ットを例に説明する。前記空気浄化ユニットのリークテ
ストは、HEPAフィルタ2の上流側におけるケーシン
グ内に試験用粒子を供給し、HEPAフィルタ2の上流
側及び下流側における試験用粒子濃度を検出することに
より行われる(図13参照)。より詳しくは、以下の通
りである。 (1)ユニットに送風する。 (2)ユニット上流側のケーシングに試験用粒子(例え
ば粒径0.3μmのDOP粒子)を投入する。 (3)粒子検出器(例えばパーティクルカウンタ19)
により、HEPAフィルタの上流側の試験用粒子濃度を
測定する。 (4)HEPAフィルタ下流側の試験用粒子濃度を同様
に測定する (5)HEPAフィルタ上・下流の試験用粒子濃度の比
より、フィルタからのリークが規定のレベル以下である
ことを確認する。なお符号20はDOP粒子発生器、2
1はコンプレッサ、22は差圧計である。
The above-described leak test will be described by taking the above-described unit as an example. The leak test of the air purification unit is performed by supplying test particles into the casing on the upstream side of the HEPA filter 2 and detecting the test particle concentration on the upstream and downstream sides of the HEPA filter 2 (FIG. 13). reference). The details are as follows. (1) Send air to the unit. (2) Inject the test particles (for example, DOP particles having a particle diameter of 0.3 μm) into the casing on the upstream side of the unit. (3) Particle detector (for example, particle counter 19)
Thus, the concentration of the test particles on the upstream side of the HEPA filter is measured. (4) Measure the concentration of the test particles downstream of the HEPA filter in the same way. (5) Check that the leak from the filter is equal to or less than the specified level from the ratio of the concentration of the test particles upstream and downstream of the HEPA filter. Reference numeral 20 denotes a DOP particle generator, 2
1 is a compressor, 22 is a differential pressure gauge.

【0006】前記ユニットは排気系に用いられるため、
ユニット内におけるフィルタ下流側ではユニット外の圧
力に比べて負圧となっている。このためリークテストに
おいては、ユニット外の粒子がフィルタ下流側に吸引さ
れて、リークしてきた粒子の検出の障害とならないよう
に、フィルタ下流側はユニット外から気密性よく遮断さ
れていなければならない。このため、前記ユニットのリ
ークテストでは、フィルタ下流側をユニット外雰囲気に
開放できないことから、フィルタ下流側に清浄空間が形
成される通常のクリーンルームのように、吹き出し口に
作業者がプローブを手で持ってリークテストを行うこと
ができない。そこで通常は、前記ケーシングの利用や固
定配管の設置等により、ユニット外に対して気密な通気
路をフィルタ下流側に形成し、リークした粒子を検出す
る手法が用いられる。
Since the unit is used in an exhaust system,
The pressure downstream of the filter in the unit is negative compared to the pressure outside the unit. For this reason, in the leak test, the downstream side of the filter must be shut off from the outside of the unit with good airtightness so that particles outside the unit are not sucked to the downstream side of the filter and hinder detection of the leaked particles. For this reason, in the leak test of the unit, since the downstream side of the filter cannot be opened to the atmosphere outside the unit, as in a normal clean room in which a clean space is formed on the downstream side of the filter, an operator manually holds the probe at the outlet. I can't do a leak test. Therefore, usually, a method of forming a gas-tight air passage outside the unit on the downstream side of the filter by using the casing, installing a fixed pipe, or the like, and detecting leaked particles is used.

【0007】しかしこの場合、次のような問題点があ
る。 (1)HEPAフィルタ下流側の粒子サンプリング位置
がフィルタに近いと、サンプリング位置から離れた場所
にリークがあった場合に、そのリークから漏れてくる試
験用粒子をサンプリングできず、リークを見落としてし
まうことがある。 (2)リークから漏れてきた粒子を確実に検出するた
め、HEPAフィルタ下流側のサンプリング位置をフィ
ルタから十分に離れた位置とすると、漏れてきた粒子が
フィルタの正常部を通過した清浄空気により希釈されて
しまうため、比較的小さなリークを見落としてしまうこ
とがある。
However, in this case, there are the following problems. (1) If the particle sampling position on the downstream side of the HEPA filter is close to the filter, if there is a leak at a location distant from the sampling position, the test particles leaking from the leak cannot be sampled and the leak is overlooked. Sometimes. (2) If the sampling position on the downstream side of the HEPA filter is set to a position sufficiently distant from the filter in order to reliably detect particles leaked from the leak, the leaked particles are diluted by clean air that has passed through the normal part of the filter. And may overlook relatively small leaks.

【0008】フィルタのリークテストについては、前述
した問題点を解決する手段として、例えば特開平8−1
10294号公報に記載の高性能フィルタ検査装置が知
られている。この検査装置は、フィルタの上流側に粒子
供給手段を、また、下流側にサンプリングプローブを、
フィルタを間にして少ない間隔で相互に対向させるとと
もに、この対向関係を保ったまま粒子供給手段とサンプ
リングプローブとをフィルタ全面にわたってスキャンニ
ングさせる同期スキャンニング機構を有する。この検査
装置は、試験用粒子の供給及び検出が効率よく行われる
ことから、より少ない粒子供給量でより精度よくフィル
タのリークを検出することができる点で優れている。
As for the leak test of the filter, as means for solving the above-mentioned problem, for example, Japanese Patent Laid-Open No.
A high-performance filter inspection device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10294 is known. This inspection device has a particle supply means on the upstream side of the filter, a sampling probe on the downstream side,
A synchronous scanning mechanism is provided which causes the filters to be opposed to each other at a small interval, and scans the particle supply means and the sampling probe over the entire surface of the filter while maintaining the opposed relationship. This inspection apparatus is excellent in that the supply and the detection of the test particles are performed efficiently, so that the leak of the filter can be detected more accurately with a smaller supply amount of the particles.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】一方で、スキャンニン
グを伴うリークテストをフィルタ取り付け時等に行える
空気浄化装置を望むユーザーが近年では増えてきてい
る。特開平8−110294号公報に記載の高性能フィ
ルタ検査装置は、フィルタのリークを検出するための装
置であることから、例えばHEPAフィルタが空気浄化
装置に取り付けられた際に、取り付けの不具合やパッキ
ンの劣化等、取り付けによって生じるリークについては
検出することができない。従って実際にHEPAフィル
タが空気浄化ユニットに設置された状況でのリークの有
無を検査するには必ずしも適当でない場合がある。
On the other hand, in recent years, the number of users who desire an air purifying apparatus capable of performing a leak test involving scanning when a filter is mounted has been increasing. The high-performance filter inspection device described in Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-110294 is a device for detecting a leak of a filter. For example, when a HEPA filter is installed in an air purification device, there is a problem with installation or packing. It is not possible to detect a leak caused by attachment, such as deterioration of the device. Therefore, it may not always be appropriate to inspect the presence or absence of a leak when the HEPA filter is actually installed in the air purification unit.

【0010】本発明は、空気を浄化することができ、か
つ空気を浄化する状態について精度及び信頼性の高いリ
ークテストを実施することができる空気浄化装置及びそ
の試験システムを提供することを課題とする。
[0010] It is an object of the present invention to provide an air purifying apparatus capable of purifying air and performing an accurate and reliable leak test on a state of purifying air, and a test system therefor. I do.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するための手段として、浄化されるべき空気の通気路を
形成するケーシングと、このケーシング内に設けられて
ケーシングを通る空気を浄化する空気浄化手段とを有す
る空気浄化装置において、リークテスト時に空気浄化手
段よりも上流側のケーシング内の空気を捕捉して案内す
る上流側検出口と、空気浄化手段よりも下流側のケーシ
ング内を移動自在であり、リークテスト時に空気浄化手
段よりも下流側のケーシング内の空気を捕捉して案内す
るサンプリングプローブとを有することを特徴とする空
気浄化装置を提供する。
According to the present invention, as a means for solving the above-mentioned problems, a casing forming an air passage for air to be purified and a casing provided in the casing and purifying air passing through the casing are provided. In an air purification device having an air purification unit, an upstream detection port that captures and guides air in a casing upstream of the air purification unit during a leak test and moves in a casing downstream of the air purification unit. An air purifying apparatus is provided, which is free and has a sampling probe that captures and guides air in a casing downstream of the air purifying means during a leak test.

【0012】前記構成によれば、ケーシング及び空気浄
化手段を有することから空気の浄化が可能であり、かつ
上流側検出口とサンプリングプローブとを有することか
ら、試験用粒子供給手段及び試験用粒子検出手段を用い
ることによって、空気を浄化する状態においてスキャン
ニングを伴うリークテストを実施することが可能とな
る。
According to the above configuration, since the casing and the air purifying means are provided, it is possible to purify the air, and since the apparatus has the upstream detection port and the sampling probe, the test particle supplying means and the test particle detecting means are provided. By using the means, it is possible to perform a leak test involving scanning in a state where air is purified.

【0013】また、本発明は、浄化されるべき空気の通
気路を形成するケーシングと、このケーシング内に設け
られてケーシングを通る空気を浄化する空気浄化手段と
を有する空気浄化装置のリークを検出するための試験シ
ステムにおいて、リークテスト時に空気浄化手段よりも
上流側のケーシング内の空気を捕捉して案内する上流側
検出口と、空気浄化手段よりも下流側のケーシング内を
移動自在であり、リークテスト時に空気浄化手段よりも
下流側のケーシング内の空気を捕捉して案内するサンプ
リングプローブと、空気浄化手段よりも上流側のケーシ
ング内に試験用粒子を供給する試験用粒子供給手段と、
上流側検出口及びサンプリングプローブから案内される
上流側空気及び下流側空気のそれぞれに含まれる試験用
粒子を検出する試験用粒子検出手段とを有することを特
徴とする試験システムを提供する。
Further, the present invention detects a leak in an air purifying apparatus having a casing forming an air passage for air to be purified, and air purifying means provided in the casing and purifying air passing through the casing. In a test system for performing a leak test, an upstream detection port that captures and guides air in the casing upstream of the air purification means during a leak test, and is movable in the casing downstream of the air purification means, At the time of a leak test, a sampling probe that captures and guides air in the casing downstream of the air purification unit, and a test particle supply unit that supplies test particles into the casing upstream of the air purification unit,
A test system comprising: an upstream detection port; and test particle detection means for detecting test particles contained in each of upstream air and downstream air guided from a sampling probe.

【0014】前記構成によれば、前記空気浄化装置につ
いてスキャンニングを伴うリークテストを実施すること
ができることから、空気を浄化する状態でのリーク箇所
の特定や微少なリークの検出等が可能であり、精度及び
信頼性の高いリークテストを実施することが可能であ
る。
According to the above configuration, since a leak test involving scanning can be performed on the air purifying device, it is possible to specify a leak location and detect a minute leak while purifying air. It is possible to perform a leak test with high accuracy and reliability.

【0015】前記ケーシングは、浄化されるべき空気の
通気路を形成するものであれば特に限定されないが、S
US製または鋼製であることが、装置の耐圧性や気密性
を維持する上で好ましい。また、ケーシングには、空気
浄化手段の寸法よりも大きな点検口が設けられている
と、空気浄化手段の交換等のメンテナンスがより容易に
なることから好ましい。
The casing is not particularly limited as long as it forms an air passage for air to be purified.
It is preferable that the device is made of US or steel in order to maintain the pressure resistance and airtightness of the device. In addition, it is preferable that the casing be provided with an inspection port larger than the size of the air purifying means, because maintenance such as replacement of the air purifying means becomes easier.

【0016】前記空気浄化手段は、粒子状の汚染物質を
捕集するものであれば特に限定されない。このような空
気浄化手段としては、例えば、HEPAフィルタやUL
PAフィルタ等の高性能フィルタを例示することがで
き、排気系の空気浄化装置としては、HEPAフィルタ
が好ましくは用いられる。空気浄化手段のケーシングへ
の取り付けは気密に行われるが、空気浄化手段の取り付
けには、例えば長尺ボルトとナットまたはカム等の締め
付け部材を用いることが前記取り付けの気密性を確保す
る上で好ましい。
The air purifying means is not particularly limited as long as it traps particulate contaminants. Such air purifying means includes, for example, a HEPA filter and a UL filter.
A high-performance filter such as a PA filter can be exemplified, and an HEPA filter is preferably used as an air purification device for an exhaust system. The attachment of the air purifying means to the casing is performed in an airtight manner, but it is preferable to use a tightening member such as a long bolt and a nut or a cam to secure the airtightness of the attachment. .

【0017】前記上流側検出口は、リークテスト時に空
気浄化手段よりも上流側のケーシング内の空気を捕捉し
て案内でき、後述する試験用粒子検出手段と接続できる
ものであれば特に限定されない。上流側検出口は、リー
クテスト時に開放でき、空気浄化時には密閉自在なもの
であることが好ましい。このような上流側検出口として
は、空気浄化手段よりも上流側のケーシング内に開口
し、かつ密閉自在な管状体、例えばバルブを備える通気
管やプラグ封入が可能なソケット等を例示することがで
きる。
The upstream detection port is not particularly limited as long as it can capture and guide the air in the casing upstream of the air purifying means at the time of the leak test, and can be connected to the test particle detecting means described later. It is preferable that the upstream detection port can be opened at the time of a leak test and can be sealed freely at the time of air purification. Examples of such an upstream detection port include a tubular body that is opened in a casing upstream of the air purification unit and that can be hermetically sealed, such as a vent pipe equipped with a valve, a pluggable socket, or the like. it can.

【0018】なお、上流側検出口は、リークテスト時に
おいて、浄化手段上流側におけるケーシング内の試験用
粒子を適切に測定できるように浄化手段上流側のケーシ
ング内に開口していることが好ましく、ケーシング内側
に向けて延出自在なソケット等を使用することにより上
流側でのサンプリング位置を調整自在とする構成や、上
流側検出口を複数設け、適切な場所の上流側検出口を適
宜選択可能な構成等を採用しても良い。
The upstream detection port is preferably opened in the casing on the upstream side of the purifying means so that the test particles in the casing on the upstream side of the purifying means can be appropriately measured during the leak test. A configuration that allows the sampling position on the upstream side to be adjustable by using a socket etc. that can be extended toward the inside of the casing, and a plurality of upstream detection ports are provided, and the upstream detection port at an appropriate location can be selected as appropriate Such a configuration may be adopted.

【0019】前記サンプリングプローブは、空気浄化手
段よりも下流側のケーシング内、特に空気浄化手段の下
流側端面及びその近傍を移動自在であり、リークテスト
時に空気浄化手段よりも下流側のケーシング内の空気を
捕捉して案内するものであれば良い。サンプリングプロ
ーブを移動自在にする構成としては、作業者が手動でサ
ンプリングプローブを移動させる構成であっても良い
し、サンプリングプローブが自動的に空気浄化手段下流
側端面近傍を移動する構成であっても良いが、手動によ
り移動自在な構成とすると、簡易な構成で移動自在とす
ることができ、空気浄化時の汚染源となるおそれも少な
く、かつ微少なリーク箇所の特定にも有利であり好まし
い。
The sampling probe is movable in the casing downstream of the air purifying means, in particular, on the downstream end surface of the air purifying means and in the vicinity thereof, and in the casing downstream of the air purifying means during a leak test. Any device that captures and guides air may be used. The configuration that allows the sampling probe to move freely may be a configuration in which an operator manually moves the sampling probe, or a configuration in which the sampling probe automatically moves near the downstream end surface of the air purification unit. It is good, but it is preferable to use a structure that can be moved manually, because it can be made freely movable with a simple structure, there is little risk of becoming a contamination source during air purification, and it is also advantageous for specifying a minute leak location.

【0020】サンプリングプローブを自動で移動自在と
する構成としては、例えばケーシング断面形状の辺に沿
って固定される第一のレールと、この第一のレールに沿
って移動自在でかつ第一のレールに直交する方向に延出
する第二のレールと、この第二のレールに沿って移動自
在でかつケーシングの断面に対して垂直な方向に延出自
在な保持部材とを有し、この保持部材にサンプリングプ
ローブを保持させて所定のプログラムに従い保持部材が
移動する構成や、ロボットアームにサンプリングプロー
ブを保持させて所定のプログラムに従いロボットアーム
が移動する構成等を例示することができる。
The sampling probe can be automatically moved, for example, by a first rail fixed along the side of the cross-sectional shape of the casing, a first rail movable along the first rail, and a first rail. A second rail extending in a direction perpendicular to the second rail, and a holding member movable along the second rail and extending in a direction perpendicular to the cross section of the casing. And a configuration in which the holding member moves in accordance with a predetermined program by holding a sampling probe in the robot arm, or a configuration in which the robot arm moves in accordance with a predetermined program by holding the sampling probe in the robot arm.

【0021】サンプリングプローブを手動で移動自在と
する構成としては、例えば変形自在かつ気密な管状体の
先端にサンプリングプローブを接続する構成等を例示す
ることができる。
As a configuration in which the sampling probe can be manually moved, for example, a configuration in which the sampling probe is connected to the tip of a deformable and airtight tubular body can be exemplified.

【0022】サンプリングプローブとしては基端に比し
て先端が広く開口しているものを好ましくは例示するこ
とができ、先端の開口面積が適度なものを用いると、精
度の良いリークテストを実施する上で好ましい。サンプ
リングプローブの先端の開口面積は、空気浄化手段の浄
化能力や断面積、空気浄化装置の運転条件等に応じて適
切に決定することができる。
As the sampling probe, a probe whose tip is wider than that of the base can be preferably exemplified. If a probe having an appropriate opening area at the tip is used, a leak test with high accuracy is performed. Preferred above. The opening area of the tip of the sampling probe can be appropriately determined according to the purifying ability and cross-sectional area of the air purifying means, the operating conditions of the air purifying device, and the like.

【0023】また、サンプリングプローブの先端の開口
形状は、ケーシングの断面形状、空気浄化手段の下流側
端面の形状、空気浄化手段とケーシングとの取り付け部
の形状等によって決めることが好ましい。例えばケーシ
ングの断面形状が矩形である場合ではサンプリングプロ
ーブの開口形状も矩形とすると、リークテスト時におい
てケーシングの角部でも隙間無く空気の捕捉ができ、よ
り正確にスキャンニングすることができる。
The shape of the opening at the tip of the sampling probe is preferably determined by the cross-sectional shape of the casing, the shape of the downstream end surface of the air purifying means, the shape of the attachment portion between the air purifying means and the casing, and the like. For example, if the cross-sectional shape of the casing is rectangular, and if the opening shape of the sampling probe is also rectangular, air can be captured without gaps even at the corners of the casing during a leak test, and more accurate scanning can be performed.

【0024】サンプリングプローブは、リークテスト時
に開放でき、空気浄化時には密閉自在な下流側検出口を
浄化手段下流側のケーシングに設け、ケーシング内にお
いて下流側検出口に接続する構成とすると、個々の空気
浄化装置のリークテストを行うのにより便利であり好ま
しい。このような下流側検出口としては、前述した上流
側検出口と同様の構成、すなわち空気浄化手段よりも下
流側のケーシング内に開口し、かつ密閉自在な管状体、
例えばバルブを備える通気管やプラグ封入が可能なソケ
ット等を例示することができる。
The sampling probe can be opened at the time of a leak test, and a downstream detection port, which can be freely sealed at the time of air purification, is provided in a casing downstream of the purifying means and connected to the downstream detection port in the casing. It is more convenient and preferable to conduct a leak test of the purifier. As such a downstream detection port, the same configuration as the above-described upstream detection port, that is, a tubular body that is opened in a casing downstream of the air purification means and that can be sealed,
For example, a vent pipe having a valve, a socket capable of plugging, and the like can be exemplified.

【0025】前記試験用粒子供給手段は、空気浄化手段
よりも上流側のケーシングに試験用粒子を供給する手段
であれば特に限定されず、当該技術分野において従来よ
り知られている粒子発生装置等を用いることができる。
試験用粒子供給手段は、リークテストに用いられる試験
用粒子の種類によって適当なものが用いられる。試験用
粒子供給手段は、リークテスト時に空気浄化手段よりも
上流側のケーシングに直接接続されていなくても良く、
例えば適当なダクト等を介してケーシングと接続され試
験用粒子を供給するものであっても良い。
The test particle supply means is not particularly limited as long as it is a means for supplying test particles to the casing upstream of the air purification means, and may be a particle generator conventionally known in the art. Can be used.
As the test particle supply means, an appropriate means is used depending on the type of the test particles used in the leak test. The test particle supply means may not be directly connected to the casing upstream of the air purification means at the time of the leak test,
For example, it may be connected to a casing via an appropriate duct or the like to supply test particles.

【0026】また、リークテストの規格は空気浄化手段
の種類や浄化すべき空気の性状等によって異なることか
ら、試験用粒子供給手段は、試験用粒子の粒径や供給量
を自在に調整できる手段であることが好ましい。例えば
空気浄化手段としてHEPAフィルタが用いられる場合
では、フィルタ上流側におけるケーシング内に、粒径
0.3μmの試験用粒子の粒子濃度が106〜107個/
ft3(3.5×107〜3.5×108個/m3)となる
ように試験用粒子を供給することが好ましい。試験用粒
子の粒径及び供給量は、例えば試験用粒子を発生させる
ノズルの種類や試験用粒子の発生条件(例えば圧力や風
量等)などによって調整することができる。
Since the specifications of the leak test vary depending on the type of the air purifying means, the properties of the air to be purified, and the like, the test particle supply means is a means capable of freely adjusting the particle size and supply amount of the test particles. It is preferred that For example, when a HEPA filter is used as the air purifying means, the concentration of test particles having a particle diameter of 0.3 μm in the casing upstream of the filter is 10 6 to 10 7 particles / particle.
It is preferable to supply the test particles so as to be ft 3 (3.5 × 10 7 to 3.5 × 10 8 particles / m 3 ). The particle size and the supply amount of the test particles can be adjusted depending on, for example, the type of nozzle for generating the test particles and the conditions for generating the test particles (for example, pressure and air volume).

【0027】前記試験用粒子には、JIS Z 891
2の13種または14種ダストとして規定されるフタル
酸ジオクチル(DOP)粒子が一般に用いられる。この
DOP粒子を試験用粒子とする場合の試験用粒子供給手
段には、例えばJIS B9927に示されるように、
ラスキンノズルと呼ばれるノズルをDOP液中に浸漬
し、ノズルの穴より噴出する圧縮空気流により粒径1μ
m以下のDOP粒子を発生させる手段を用いることがで
きる。
The test particles include JIS Z 891
In general, dioctyl phthalate (DOP) particles, which are defined as two or more 13 or 14 dusts, are used. When the DOP particles are used as test particles, the test particle supply means includes, for example, as shown in JIS B9927,
A nozzle called Ruskin nozzle is immersed in the DOP liquid, and the particle diameter is 1 μm by the compressed air flow ejected from the nozzle hole.
Means for generating DOP particles of m or less can be used.

【0028】また、DOP等の液体ミストの揮発が汚染
源となりうる環境では、試験用粒子として個体粒子を用
いることが好ましい。このような試験用粒子としては、
例えば特開平8−136437号公報に記載されている
シリカ粒子を例示する事ができる。このシリカ粒子を試
験用粒子とする場合の試験用粒子供給手段には、例え
ば、コロイダルシリカ懸濁液が投入され、またコリソン
型アトマイザが収容されている粒子発生器と、該発生器
に圧縮空気を送り込むための送気管と、該送気管に接続
されるフィルタ、レギュレータ、流量計、及び圧力計
と、前記粒子発生器で発生した含シリカ液滴粒子を乾燥
する乾燥筒とを有する装置を用いることができる。
In an environment where volatilization of liquid mist such as DOP can be a source of contamination, it is preferable to use solid particles as test particles. Such test particles include:
For example, silica particles described in JP-A-8-136637 can be exemplified. For example, a colloidal silica suspension is charged into the test particle supply means when the silica particles are used as test particles, and a particle generator containing a Collison type atomizer and compressed air are supplied to the generator. Using an apparatus having an air supply pipe for feeding air, a filter, a regulator, a flow meter, and a pressure gauge connected to the air supply pipe, and a drying cylinder for drying the silica-containing droplet particles generated by the particle generator. be able to.

【0029】前記上流側検出口及びサンプリングプロー
ブは、それぞれ空気を取り入れて、例えばケーシング外
に設けられた計測器等の試験用粒子検出手段に案内す
る。前記試験用粒子検出手段は、上流側検出口及びサン
プリングプローブから案内される上流側空気及び下流側
空気のそれぞれに含まれる試験用粒子を検出する手段で
あれば特に限定されず、当該技術分野で知られている手
段を用いることができる。試験用粒子検出手段は、用い
られる試験用粒子の種類によって適当なものが用いられ
る。試験用粒子検出手段としては、例えば、PMS社製
パーティクルカウンタ(LASAIR)や、JIS Z
4812にある光散乱式相対濃度計(例えばATI社
製、TDA−2E)等を例示することができる。
The upstream detection port and the sampling probe each take in air and guide it to test particle detection means such as a measuring instrument provided outside the casing. The test particle detection means is not particularly limited as long as it is a means for detecting test particles contained in each of the upstream air and the downstream air guided from the upstream detection port and the sampling probe. Known means can be used. An appropriate test particle detecting means is used depending on the type of the test particles to be used. As a test particle detecting means, for example, a particle counter (LASAIR) manufactured by PMS or JIS Z
For example, a light scattering type relative densitometer (for example, TDA-2E, manufactured by ATI Co., Ltd.) at 4812 can be exemplified.

【0030】本発明では、空気浄化手段よりも下流側の
ケーシング内を外部から観察するための窓を有すること
が、リークテスト時におけるより正確なスキャンニング
やリーク箇所の特定をする上で好ましい。このような窓
としては、例えば、浄化手段下流側のケーシングに設け
られた開口部位を透明樹脂フィルムやガラス等の光透過
性物質で気密に塞いだ構成等を例示することができる。
In the present invention, it is preferable to have a window for externally observing the inside of the casing downstream of the air purifying means from the viewpoint of more accurate scanning at the time of a leak test and identification of a leak point. As such a window, for example, a configuration in which an opening provided in a casing on the downstream side of the purifying means is hermetically closed with a light-transmitting substance such as a transparent resin film or glass can be exemplified.

【0031】また、本発明では、サンプリングプローブ
を自在に操作するための操作手段を有することが、リー
クテスト時におけるより正確なスキャンニングやリーク
箇所の特定をする上で好ましい。操作手段は、空気浄化
手段よりも下流側のケーシング内(特に空気浄化手段下
流側端面及びその近傍)でサンプリングプローブを自在
に操作できるものであれば特に限定されないが、空気浄
化手段の交換等のメンテナンス作業にも活用できるもの
であることがより好ましい。このような操作手段として
は、樹脂製のグローブ等の変形自在かつ気密なグローブ
を例示することができる。さらに操作手段は透明グロー
ブであると操作時における手の状態を視認することがで
きより一層好ましい。
Further, in the present invention, it is preferable to have an operating means for freely operating the sampling probe in order to perform more accurate scanning at the time of a leak test and to specify a leak location. The operation means is not particularly limited as long as the sampling probe can be freely operated in the casing downstream of the air purification means (particularly, at the downstream end face of the air purification means and in the vicinity thereof). More preferably, it can be used for maintenance work. As such an operation means, a deformable and airtight glove such as a resin glove can be exemplified. Further, it is more preferable that the operation means is a transparent glove, since the state of the hand at the time of operation can be visually recognized.

【0032】また、操作手段をグローブとする場合で
は、グローブに手を挿入するための開口部をケーシング
の所望の位置に設け、グローブが開口部を気密に塞ぐよ
うに設けられても良いが、前記窓に一体的に設けられる
ことが空気浄化装置の構成の簡易化の観点から好まし
い。
When the operating means is a glove, an opening for inserting a hand into the glove may be provided at a desired position in the casing, and the glove may be provided so as to hermetically close the opening. It is preferable to be provided integrally with the window from the viewpoint of simplifying the configuration of the air purification device.

【0033】本発明の空気浄化装置は、SUSや鋼等の
金属で形成された部材等を必要に応じて用い、着脱自在
部位を除き全溶接構造とすることが、耐圧性や気密性等
を維持する上で好ましい。また、本発明の空気浄化装置
は、好ましくは排気系に用いられるが、例えばチャンバ
等により閉鎖された空間に浄化された空気を供給するな
ど、清浄空間を形成するために用いられても良いし、清
浄空間や製造室等の壁面や通気路等の一部を構成するユ
ニットとして利用することもできる。
The air purifying apparatus of the present invention uses a member or the like made of metal such as SUS or steel as necessary, and has a fully welded structure except for a detachable portion, so as to improve pressure resistance, airtightness, and the like. It is preferable for maintaining. The air purification device of the present invention is preferably used in an exhaust system, but may be used to form a clean space, for example, by supplying purified air to a space closed by a chamber or the like. It can also be used as a unit that forms part of a clean space, a wall of a manufacturing room, or a ventilation path.

【0034】本発明の試験システムは、空気浄化装置の
リークテストを行うためのシステムであるが、空気浄化
手段のリークテストに用いても良い。
The test system of the present invention is a system for performing a leak test of an air purification device, but may be used for a leak test of an air purification unit.

【0035】[0035]

【発明の実施の形態】以下、本発明の空気浄化装置及び
その試験システムの一実施の形態を説明する。本実施の
形態における空気浄化装置は、ケミカルハザード物質を
使用している事業所、例えば抗生物質の製造室等におけ
る排気系に使用される。この空気浄化装置は、図1に示
されるように、室の一側壁に壁面と面一に複数設けられ
て室の壁面の一部を形成しており、下部の吸い込み口3
から室内の空気を吸い込み、空気浄化手段で浄化し、壁
面裏側の排気ダクト(図示せず)を介して浄化された空
気を排出する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of an air purification apparatus and a test system for the same according to the present invention will be described. The air purifying apparatus according to the present embodiment is used for an exhaust system in a business establishment that uses a chemical hazardous substance, for example, an antibiotic manufacturing room. As shown in FIG. 1, this air purification device is provided on one side wall of the chamber and is flush with the wall surface to form a part of the wall surface of the chamber.
Of the room, the air is purified by the air purifying means, and the purified air is discharged through an exhaust duct (not shown) on the back side of the wall surface.

【0036】本実施の形態における空気浄化装置は、図
2及び図3に示すように、通気路を形成するケーシング
1と、このケーシング1内に設けられてケーシング1を
通る空気を浄化する空気浄化手段であるHEPAフィル
タ2とを有する。吸い込み口3の背面には、空気ととも
に吸い込まれた比較的大きな塵埃を捕集するためのプレ
フィルタ4が設けられている。また、ケーシング1には
HEPAフィルタ2の上流側及び下流側のケーシング1
の内圧差を検出する差圧計22が設けられている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the air purifying apparatus according to this embodiment has a casing 1 forming an air passage, and an air purifying apparatus provided in the casing 1 for purifying air passing through the casing 1. And a HEPA filter 2 as means. A pre-filter 4 for collecting relatively large dust sucked with air is provided on the back surface of the suction port 3. Further, the casing 1 on the upstream side and the downstream side of the HEPA filter 2 is provided in the casing 1.
A differential pressure gauge 22 for detecting the internal pressure difference is provided.

【0037】ケーシング1は、床清掃時の洗浄水の排出
を考慮し、HEPAフィルタ2上流側において床面が吸
い込み口3に向けて下がり傾斜するように形成されてい
る。なお、本実施の形態で用いられるHEPAフィルタ
2は、処理風量が19.6m 3/min、圧力損失が2
50Pa、0.3μmの粒子に対するろ過効率が99.
99%以上のフィルタである。HEPAフィルタ2は、
スポンジパッキン等のシール部材を介して、長尺ボルト
及びナット等の締め付け部材によって気密にケーシング
1に取り付けられている。
The casing 1 discharges washing water during floor cleaning.
In consideration of the above, the floor surface
It is formed so as to be inclined downward toward the entrance 3
You. The HEPA filter used in the present embodiment
2 means that the processing air volume is 19.6m Three/ Min, pressure loss is 2
The filtration efficiency for particles of 50 Pa and 0.3 μm is 99.
99% or more filters. HEPA filter 2
A long bolt via a sealing member such as sponge packing
And the casing is airtight by a fastening member such as a nut.
It is attached to 1.

【0038】HEPAフィルタ2よりも上流側(下方)
のケーシング1には空気浄化時に密閉自在な上流側検出
口5が設けられ、HEPAフィルタ2よりも下流側(上
方)のケーシング1には空気浄化時に密閉自在な下流側
検出口6が設けられている。上流側検出口5及び下流側
検出口6は共にプラグ封入によって密閉自在なソケット
であり、これらのソケットはそれぞれ溶接によりケーシ
ング1に取り付けられている。ケーシング1内側の下流
側検出口6には変形自在な樹脂チューブ7が接続され、
樹脂チューブ7の先端にはサンプリングプローブ8が接
続されている。樹脂チューブ7は、サンプリングプロー
ブ8をHEPAフィルタ2の下流側端面上及びその周辺
で移動させるのに十分な長さとされている。
Upstream side (below) of HEPA filter 2
The casing 1 has an upstream detection port 5 that can be hermetically sealed when purifying air, and the casing 1 that is downstream (upper) of the HEPA filter 2 has a downstream detection port 6 that can be hermetically sealed when purifying air. I have. Both the upstream detection port 5 and the downstream detection port 6 are sockets that can be hermetically sealed by plug sealing, and these sockets are respectively attached to the casing 1 by welding. A deformable resin tube 7 is connected to the downstream detection port 6 inside the casing 1,
A sampling probe 8 is connected to the tip of the resin tube 7. The resin tube 7 has a length sufficient to move the sampling probe 8 on and around the downstream end surface of the HEPA filter 2.

【0039】サンプリングプローブ8は、図6及び図7
に示すように、基端にソケットを有し、基端から先端に
向けて断面積が徐々に拡大し、先端が矩形に開口する形
状に形成されている。サンプリングプローブ8は、樹脂
チューブ7先端に接続された継手を介して樹脂チューブ
7に接続されている。
The sampling probe 8 is shown in FIGS.
As shown in (1), a socket is provided at the base end, the cross-sectional area gradually increases from the base end to the front end, and the front end is formed in a rectangular opening shape. The sampling probe 8 is connected to the resin tube 7 via a joint connected to the tip of the resin tube 7.

【0040】HEPAフィルタ2よりも下流側のケーシ
ング1には点検口9が設けられている。この点検口9
は、長辺及び短辺がHEPAフィルタ2の長辺及び厚さ
よりも大きな矩形に開口している。点検口9には、点検
口9を気密に塞ぐ点検用パネル10がねじによって着脱
自在に取り付けられている。点検用パネル10にはスキ
ャンテスト用ハッチ口11が設けられている。スキャン
テスト用ハッチ口11には、スキャンテスト用ハッチ口
11を塞ぐスキャンテスト用パネル12がねじによって
着脱自在に取り付けられている(図4及び図5)。
An inspection port 9 is provided in the casing 1 downstream of the HEPA filter 2. This inspection port 9
Has a rectangular shape whose long side and short side are larger than the long side and the thickness of the HEPA filter 2. An inspection panel 10 that hermetically closes the inspection port 9 is detachably attached to the inspection port 9 with screws. The inspection panel 10 is provided with a scan test hatch opening 11. A scan test panel 12 that covers the scan test hatch opening 11 is detachably attached to the scan test hatch opening 11 with screws (FIGS. 4 and 5).

【0041】スキャンテスト用ハッチ口11は、透明な
ビニルバッグ13によりO−リングにて気密に塞がれて
いる。ビニルバッグ13は点検用パネル10と一体にな
っており、スキャンテスト用ハッチ口11からケーシン
グ1内部を観察するための窓を構成している。ビニルバ
ッグ13には、ビニルバッグ13と同じ材料で一体成形
された一対のグローブ14が設けられている。グローブ
14は、HEPAフィルタ2よりも下流側のケーシング
1内の任意の位置での作業をするのに十分な大きさとさ
れている(図4及び図5)。
The hatch opening 11 for the scan test is air-tightly closed by an O-ring by a transparent vinyl bag 13. The vinyl bag 13 is integrated with the inspection panel 10 and constitutes a window for observing the inside of the casing 1 from the scan test hatch opening 11. The vinyl bag 13 is provided with a pair of gloves 14 integrally formed of the same material as the vinyl bag 13. The globe 14 is large enough to work at an arbitrary position in the casing 1 downstream of the HEPA filter 2 (FIGS. 4 and 5).

【0042】ケーシング1の上部(最下流)には排気用
フランジ15が接続されている。排気用フランジ15は
断面形状が矩形に形成されており、排気用フランジ15
内には、ケーシング1から排出される浄化空気の風量
(ケーシング1に吸い込まれる空気の吸い込み量)を調
整自在なダンパ16が設けられている。排気用フランジ
15は、不図示の排気ダクトに接続されており、浄化空
気は排気ダクトを通って室外に排出される。なお、排気
ダクトの通気路中には送風機が設けられており、この送
風機によって室内の空気を空気浄化装置内に吸引する構
成となっている。
An exhaust flange 15 is connected to the upper part (downstream) of the casing 1. The exhaust flange 15 is formed to have a rectangular cross-sectional shape.
Inside, a damper 16 capable of adjusting the amount of purified air discharged from the casing 1 (the amount of air sucked into the casing 1) is provided. The exhaust flange 15 is connected to an exhaust duct (not shown), and the purified air is discharged outside through the exhaust duct. Note that a blower is provided in the ventilation path of the exhaust duct, and the blower is configured to suck indoor air into the air purification device.

【0043】本実施の形態における空気浄化装置は、H
EPAフィルタ2、プレフィルタ4、樹脂チューブ7、
ビニルバッグ13、グローブ14、ダンパ16や前記O
−リング等を除き、そのほとんどがSUSで構成されて
いる。
The air purifying apparatus according to the present embodiment
EPA filter 2, pre-filter 4, resin tube 7,
Vinyl bag 13, glove 14, damper 16 and the O
Most of them are made of SUS except for rings and the like.

【0044】次に、本実施の形態における空気浄化装置
による空気の浄化について説明する。空気浄化時では、
上流側検出口5及び下流側検出口6はプラグによって封
止されている。また、グローブ14はケーシング1の外
側に向けて引き出された状態となっており、スキャンテ
スト用パネル12とビニルバッグ13の間にたたまれた
状態で収納されている。また、図8に示されるように、
点検用パネル10及びスキャンテスト用パネル12は、
それぞれねじで取り付けられている。
Next, the purification of air by the air purification device according to this embodiment will be described. During air purification,
The upstream detection port 5 and the downstream detection port 6 are sealed with a plug. The glove 14 is pulled out toward the outside of the casing 1, and is housed in a state of being folded between the scan test panel 12 and the vinyl bag 13. Also, as shown in FIG.
The inspection panel 10 and the scan test panel 12 are:
Each is attached with a screw.

【0045】前記送風機が稼動すると、室内の空気は吸
い込み口3からケーシング1内に吸い込まれ、プレフィ
ルタ4を通過する。このとき比較的大きな粒子や塵埃等
がプレフィルタ4で捕集される。プレフィルタ4を通過
した空気はHEPAフィルタ2を通過する。このとき、
ケミカルハザード物質等の室内空気に含まれる粒子状の
汚染物質がHEPAフィルタ2によって捕集され、室内
から吸い込まれた空気は浄化される。浄化された空気は
ケーシング1、排気用フランジ15、及び前記排気ダク
トを通って室外に排出される。
When the blower is operated, the air in the room is sucked into the casing 1 from the suction port 3 and passes through the pre-filter 4. At this time, relatively large particles and dust are collected by the pre-filter 4. The air that has passed through the pre-filter 4 passes through the HEPA filter 2. At this time,
Particulate contaminants contained in the indoor air, such as chemical hazardous substances, are collected by the HEPA filter 2, and the air taken in from the room is purified. The purified air is discharged outside through the casing 1, the exhaust flange 15, and the exhaust duct.

【0046】次に、本発明の一実施形態として、前記空
気浄化装置(図8)の試験システムを説明する。リーク
テスト時には、図9に示されるように、スキャンテスト
用パネル12が外される。そして収納されていたグロー
ブ14がケーシング1内側に押し出される。
Next, as one embodiment of the present invention, a test system for the air purification device (FIG. 8) will be described. At the time of the leak test, the scan test panel 12 is removed as shown in FIG. Then, the stored glove 14 is pushed out to the inside of the casing 1.

【0047】本実施の形態における試験システムでは、
図10に示されるように、試験用粒子供給手段であるD
OP粒子発生器20が吸い込み口3に接続される。な
お、DOP粒子発生器20は、必要に応じて適当なダク
トを介して吸い込み口3に接続されても良い。また、上
流側検出口5及び下流側検出口6の前記プラグが除去さ
れ、上流側検出口5には上流側検出チューブ17が接続
され、下流側検出口6には下流側検出チューブ18が接
続される。両検出チューブ17、18は、試験用粒子検
出手段であるパーティクルカウンタ(LASAIR、P
MS社製)19に接続される。
In the test system according to the present embodiment,
As shown in FIG. 10, the test particle supply means D
An OP particle generator 20 is connected to the suction port 3. Note that the DOP particle generator 20 may be connected to the suction port 3 via an appropriate duct as needed. The plugs of the upstream detection port 5 and the downstream detection port 6 are removed, the upstream detection tube 5 is connected to the upstream detection tube 17, and the downstream detection port 6 is connected to the downstream detection tube 18. Is done. Both detection tubes 17 and 18 are provided with a particle counter (LASAIR, P
(Manufactured by MS Corporation) 19.

【0048】次に、本実施形態における試験システムに
よる前記空気浄化装置のリークテストについて説明す
る。リークテストでは、まずDOP粒子発生器20から
試験用粒子としてDOP(フタル酸ジオクチル)粒子が
供給される。このときDOP粒子は、粒子濃度がHEP
Aフィルタ2上流側で106〜107個/ft3(3.5
×107〜3.5×108個/m3)となるように供給さ
れる。DOP粒子の粒子濃度は、ダンパ16の開度やコ
ンプレッサ21からの圧縮空気の供給によって調整され
る。フィルタ上流側のケーシング1内の空気は、その一
部が上流側検出口5により捕捉され、上流側検出チュー
ブ17に案内され、上流側検出チューブ17を通ってパ
ーティクルカウンタ19に送られる。パーティクルカウ
ンタ19は上流側空気に含まれるDOP粒子を検出し、
フィルタ上流側のDOP粒子濃度を測定する。
Next, a leak test of the air purifying device by the test system according to the present embodiment will be described. In the leak test, first, DOP (dioctyl phthalate) particles are supplied from the DOP particle generator 20 as test particles. At this time, the DOP particles have a particle concentration of HEP.
10 6 to 10 7 pieces / ft 3 (3.5
× 10 7 to 3.5 × 10 8 pieces / m 3 ). The particle concentration of the DOP particles is adjusted by the degree of opening of the damper 16 and the supply of compressed air from the compressor 21. Part of the air in the casing 1 on the upstream side of the filter is captured by the upstream detection port 5, guided to the upstream detection tube 17, and sent to the particle counter 19 through the upstream detection tube 17. The particle counter 19 detects DOP particles contained in the upstream air,
Measure the DOP particle concentration upstream of the filter.

【0049】HEPAフィルタ2上流側でのDOP粒子
濃度が上記範囲であることが確認されたら、作業者はグ
ローブ14に手を入れてサンプリングプローブ8を持
ち、ビニルバッグ13を介してHEPAフィルタ2の下
流側端面及びその周辺を見ながらサンプリングプローブ
8をフィルタ面及びシール部に沿ってスキャンする。フ
ィルタ下流側のケーシング1内の空気は、その一部がス
キャン中のサンプリングプローブ8に捕捉され、樹脂チ
ューブ7に案内され、下流側検出口6及び下流側検出チ
ューブ18を通ってパーティクルカウンタ19に送られ
る。パーティクルカウンタ19は下流側空気に含まれる
DOP粒子を検出し、フィルタ下流側のDOP粒子濃度
を測定する。
When it is confirmed that the DOP particle concentration on the upstream side of the HEPA filter 2 is within the above range, the operator puts his hand in the glove 14, holds the sampling probe 8, and holds the HEPA filter 2 through the vinyl bag 13. The sampling probe 8 is scanned along the filter surface and the seal portion while observing the downstream end surface and its periphery. A part of the air in the casing 1 on the downstream side of the filter is captured by the sampling probe 8 being scanned, guided to the resin tube 7, and passed through the downstream detection port 6 and the downstream detection tube 18 to the particle counter 19. Sent. The particle counter 19 detects DOP particles contained in the downstream air and measures the concentration of the DOP particles downstream of the filter.

【0050】FDAの無菌操作ガイドラインにあるHE
PAフィルタの局所的な許容基準リーク率は0.01%
(102〜103個/ft3又は約3.5×103〜3.5
×104個/m3)以下である。本実施の形態における試
験システムでは、装置の運転状態、HEPAフィルタ2
の大きさ、及びサンプリングプローブ8の開口面積等の
条件によって異なるが、サンプリングプローブ8を5c
m/s程度の速度にて移動させることにより、上記基準
によるリークテストを実施することができる。
HE in the FDA's guidelines for sterile operation
Local permissible reference leak rate of PA filter is 0.01%
(10 2 to 10 3 pieces / ft 3 or about 3.5 × 10 3 to 3.5
× 10 4 pieces / m 3 ) or less. In the test system according to the present embodiment, the operating state of the device, the HEPA filter 2
The size of the sampling probe 8 may vary depending on conditions such as the size of the
By moving at a speed of about m / s, a leak test based on the above criteria can be performed.

【0051】次に、本実施の形態における空気浄化装置
のメンテナンスについて説明する。まずフィルタ交換に
ついて説明する。前述したリークテストで上記基準値を
上回る結果が検出された場合や、HEPAフィルタ2の
浄化能力が低下(例えば差圧計22によって目詰まりを
検出)した場合、またはHEPAフィルタ2の耐久期限
を迎えた場合などでは、HEPAフィルタ2を交換する
ことがある。HEPAフィルタ2の交換は、スキャンテ
スト用パネル12を外し、グローブ14に手を入れて、
ビニルバッグ13を介してケーシング1内を見ながら、
固定されているHEPAフィルタ2をケーシング1から
取り外す(係止を解除する)。
Next, maintenance of the air purifying apparatus according to the present embodiment will be described. First, the filter replacement will be described. When a result exceeding the reference value is detected in the above-described leak test, when the purification ability of the HEPA filter 2 is reduced (for example, clogging is detected by the differential pressure gauge 22), or the end of the life of the HEPA filter 2 is reached. In some cases, the HEPA filter 2 may be replaced. To replace the HEPA filter 2, remove the scan test panel 12, put your hand in the glove 14,
While looking inside the casing 1 through the vinyl bag 13,
The fixed HEPA filter 2 is removed from the casing 1 (release of the lock).

【0052】HEPAフィルタ2を取り外したら点検用
パネル10を外す。取り外されたHEPAフィルタ2を
ビニル袋等に封入し、ケーシング1外へ運び出し、新し
いHEPAフィルタ2をケーシング1に気密に固定す
る。新たにHEPAフィルタ2が取り付けられた際のリ
ークテストは、前述したリークテストと同様に行われ
る。このようなフィルタ交換作業により、HEPAフィ
ルタ2に捕集されたケミカルハザード物質等の汚染物質
が、フィルタ交換作業に伴い空気浄化装置から飛散する
ことを防止することが可能となる。なお、HEPAフィ
ルタ2の交換等により点検用パネル10を外す場合に、
サンプリングプローブ8、樹脂チューブ7の清掃または
交換等を行っても良い。
After removing the HEPA filter 2, the inspection panel 10 is removed. The removed HEPA filter 2 is sealed in a vinyl bag or the like, carried out of the casing 1, and a new HEPA filter 2 is airtightly fixed to the casing 1. The leak test when the HEPA filter 2 is newly attached is performed in the same manner as the leak test described above. By such a filter replacement operation, it is possible to prevent contaminants such as chemical hazard substances trapped in the HEPA filter 2 from being scattered from the air purification device with the filter replacement operation. When removing the inspection panel 10 by replacing the HEPA filter 2, etc.,
The sampling probe 8 and the resin tube 7 may be cleaned or replaced.

【0053】また、HEPAフィルタ2よりも上流側の
ケーシング1内には、浄化される前の空気が通ることか
ら、HEPAフィルタ2よりも上流側のケーシング1内
は比較的汚れやすい。またリークテストを行った場合で
はフィルタ上流側のケーシング1内にはDOP粒子が付
着する。このような場合には通常水洗いが行われる。
Since the air before being purified passes through the casing 1 upstream of the HEPA filter 2, the casing 1 upstream of the HEPA filter 2 is relatively easily contaminated. When a leak test is performed, DOP particles adhere to the casing 1 on the upstream side of the filter. In such a case, washing is usually performed.

【0054】本実施の形態の空気浄化装置は、ケーシン
グ1の下部に吸い込み口3を有し、吸い込み口3よりも
上方にHEPAフィルタ2が取り付けられることから、
水洗時にはHEPAフィルタ2に水がかかりにくく、H
EPAフィルタ2をほとんど濡らすことなくフィルタ上
流側のケーシング1内を水洗することができる。また、
ケーシング1の床面が吸い込み口3に向けて下がり傾斜
していることから、水洗時における水はけが良い。
The air purification device of the present embodiment has a suction port 3 at the lower portion of the casing 1 and the HEPA filter 2 is mounted above the suction port 3.
At the time of washing, it is difficult for HEPA filter 2 to splash water.
The inside of the casing 1 on the upstream side of the EPA filter 2 can be washed with almost no water. Also,
Since the floor surface of the casing 1 is inclined downward toward the suction port 3, drainage during washing with water is good.

【0055】なお、本実施の形態における空気浄化装置
では、樹脂チューブ7は空気浄化時にあっては下流側検
出口6から取り外されていても良く、例えば樹脂チュー
ブ7の基端をサンプリングプローブ8の開口部に気密に
挿入可能に樹脂チューブ7及びサンプリングプローブ8
を構成し、空気浄化時には、樹脂チューブ7の基端をサ
ンプリングプローブ8の開口部に挿入した状態(すなわ
ち樹脂チューブ7及びサンプリングプローブ8の内部空
間が閉塞された状態)で両者をケーシング1内に収納し
ても良い。このような構成により樹脂チューブ7及びサ
ンプリングプローブ8への異物の混入が防止される。
In the air purifying apparatus according to the present embodiment, the resin tube 7 may be removed from the downstream detection port 6 during air purification. The resin tube 7 and the sampling probe 8 can be airtightly inserted into the opening.
During the air purification, the resin tube 7 is inserted into the opening of the sampling probe 8 (that is, the internal space of the resin tube 7 and the sampling probe 8 is closed), and both are placed in the casing 1. May be stored. Such a configuration prevents foreign matter from entering the resin tube 7 and the sampling probe 8.

【0056】本実施の形態における空気浄化装置は、浄
化されるべき空気の通気路を形成するケーシング1と、
このケーシング1内に設けられてケーシング1を通る空
気を浄化するHEPAフィルタ2と、リークテスト時に
HEPAフィルタ2よりも上流側のケーシング1内の空
気を捕捉して案内する上流側検出口5と、HEPAフィ
ルタ2よりも下流側のケーシング1内を移動自在であ
り、リークテスト時にHEPAフィルタ2よりも下流側
のケーシング1内の空気を捕捉して案内するサンプリン
グプローブ8とを有することから、空気を浄化すること
ができ、かつ空気を浄化する状態について精度及び信頼
性の高いリークテストを実施することができる。
The air purifying apparatus according to the present embodiment comprises a casing 1 forming an air passage for air to be purified,
A HEPA filter 2 provided in the casing 1 for purifying air passing through the casing 1, an upstream detection port 5 for capturing and guiding air in the casing 1 upstream of the HEPA filter 2 during a leak test; Since it has a sampling probe 8 that is movable in the casing 1 downstream of the HEPA filter 2 and captures and guides air in the casing 1 downstream of the HEPA filter 2 during a leak test, Purification can be performed, and a leak test with high accuracy and reliability can be performed on the state of purifying air.

【0057】また、本実施の形態における空気浄化装置
には、HEPAフィルタ2よりも下流側のケーシング1
内を外部から観察するためのビニルバッグ13を有する
ことから、リークテスト時にサンプリングプローブ8の
位置を視認でき、またHEPAフィルタ2の交換等のメ
ンテナンス時にも作業箇所を視認できることから、これ
らの作業をより容易に行うことができる。
In the air purifying apparatus according to the present embodiment, the casing 1 downstream of the HEPA filter 2 is provided.
Since it has a vinyl bag 13 for observing the inside from the outside, the position of the sampling probe 8 can be visually recognized at the time of a leak test, and the work location can be visually recognized at the time of maintenance such as replacement of the HEPA filter 2. It can be done more easily.

【0058】また、本実施の形態における空気浄化装置
は、サンプリングプローブを自在に操作するためのグロ
ーブ14を有することから、リークテスト時において手
動で任意にスキャンニングすることができ、リーク箇所
の特定がより容易である。また、グローブ14は透明ビ
ニルで成形されていることから、グローブ14内に挿入
した作業者の手を視認することができ、リークテスト時
のスキャンニングやメンテナンス作業をより容易に行う
ことができる。
Further, since the air purifying apparatus according to the present embodiment has the glove 14 for freely operating the sampling probe, it can be manually scanned at the time of the leak test, and the leak location can be specified. Is easier. Further, since the glove 14 is formed of transparent vinyl, the hand of the worker inserted into the glove 14 can be visually recognized, and scanning and maintenance work during a leak test can be performed more easily.

【0059】また、空気浄化時においてはグローブ14
をスキャンテスト用パネル12とビニルバッグ13との
間にたたんで収納することができ、空気浄化時における
ケーシング1内の気流を乱すことなく、また、使用しな
い場合では収納されることから破損しにくい。
In purifying the air, the globe 14 is used.
Can be folded and stored between the scan test panel 12 and the vinyl bag 13 without disturbing the airflow in the casing 1 during air purification, and being stored when not in use. Hateful.

【0060】また、本実施の形態における空気浄化装置
は、グローブ14がビニルバッグ13に一体的に設けら
れていることから、グローブ14用の開口部をケーシン
グ1に別途設ける場合に比べて、イニシャルコストをよ
り低くすることができる。
Further, in the air purifying apparatus according to the present embodiment, since the glove 14 is provided integrally with the vinyl bag 13, the air purifier is provided with an initial portion as compared with the case where the opening for the glove 14 is provided separately in the casing 1. Costs can be lower.

【0061】また、本実施の形態における空気浄化装置
は、点検口9を有することから、HEPAフィルタ2の
交換等のメンテナンス作業をより容易に行うことができ
る。また、点検口9は、図1等に示されるように、前記
室内に面して設けられていることから、メンテナンス作
業を室内で行うことができ、メンテナンス性により優れ
ている。
Further, since the air purifying apparatus according to the present embodiment has the inspection port 9, maintenance work such as replacement of the HEPA filter 2 can be performed more easily. Further, as shown in FIG. 1 and the like, the inspection port 9 is provided facing the room, so that maintenance work can be performed in the room, and the maintenance property is excellent.

【0062】また、本実施の形態における空気浄化装置
は、ケーシング1の床面が吸い込み口3に向けて傾斜し
て形成されていることから、リークテスト後等における
HEPAフィルタ2上流側のケーシング1内の水洗にお
ける水はけが良く、水洗後のケーシング1内をより清潔
な状態に容易にすることができ、メンテナンス性により
優れている。
Further, in the air purifying apparatus according to the present embodiment, since the floor surface of the casing 1 is formed to be inclined toward the suction port 3, the casing 1 upstream of the HEPA filter 2 after a leak test or the like. The inside of the casing 1 after the water washing is easily drained, and the inside of the casing 1 after the water washing can be easily made to be in a clean state, and the maintenance is excellent.

【0063】また、本実施の形態における試験システム
は、上記構成に加えて、HEPAフィルタ2よりも上流
側のケーシング1内にDOP粒子を供給するDOP粒子
発生器20と、上流側検出口5及びサンプリングプロー
ブ8から案内される上流側空気及び下流側空気のそれぞ
れに含まれるDOP粒子を検出するパーティクルカウン
タ19とを有することから、微少なリークの検出及びリ
ーク箇所の特定が容易にでき、空気を浄化する状態の空
気浄化装置について、精度及び信頼性の高いリークテス
トを実施することができる。
In addition to the above configuration, the test system according to the present embodiment includes a DOP particle generator 20 for supplying DOP particles into the casing 1 on the upstream side of the HEPA filter 2, an upstream detection port 5 and Since it has the particle counter 19 for detecting DOP particles contained in each of the upstream air and the downstream air guided from the sampling probe 8, it is possible to easily detect a minute leak and specify a leak location, and the air is removed. A leak test with high accuracy and high reliability can be performed on the air purification device in a state of purification.

【0064】また、本実施の形態における試験システム
は、断面形状が矩形のケーシング1に対して、矩形の開
口端を有するサンプリングプローブ8が用いられること
から、ケーシング1の角部やHEPAフィルタ2の取り
付け部(シール部)周辺においても、フィルタ下流側に
おけるケーシング1内をもれなくスキャンし、角部周辺
の空気も捕捉、案内できることから、より精密なリーク
テストを実施することができる。
In the test system according to the present embodiment, since the sampling probe 8 having a rectangular opening end is used for the casing 1 having a rectangular cross section, the corners of the casing 1 and the HEPA filter 2 are used. Even in the vicinity of the mounting portion (seal portion), the inside of the casing 1 on the downstream side of the filter can be completely scanned, and air around the corner can be captured and guided, so that a more precise leak test can be performed.

【0065】[0065]

【発明の効果】本発明の空気浄化装置は、浄化されるべ
き空気の通気路を形成するケーシングと、このケーシン
グ内に設けられてケーシングを通る空気を浄化する空気
浄化手段とを有する空気浄化装置において、リークテス
ト時に空気浄化手段よりも上流側のケーシング内の空気
を捕捉して案内する上流側検出口と、空気浄化手段より
も下流側のケーシング内を移動自在であり、リークテス
ト時に空気浄化手段よりも下流側のケーシング内の空気
を捕捉して案内するサンプリングプローブとを有するこ
とから、空気を浄化することができ、かつ空気を浄化す
る状態について精度及び信頼性の高いリークテストを実
施することができる。
The air purifying apparatus according to the present invention has an air purifying apparatus having a casing forming an air passage for air to be purified, and air purifying means provided in the casing for purifying air passing through the casing. , An upstream detection port that captures and guides the air in the casing upstream of the air purifying means during the leak test, and is movable in the casing downstream of the air purifying means. Since it has a sampling probe that captures and guides the air in the casing downstream of the means, the air can be purified, and a highly accurate and reliable leak test is performed on the state of purifying the air. be able to.

【0066】また、本発明の試験システムは、浄化され
るべき空気の通気路を形成するケーシングと、このケー
シング内に設けられてケーシングを通る空気を浄化する
空気浄化手段とを有する空気浄化装置のリークを検出す
るための試験システムにおいて、リークテスト時に空気
浄化手段よりも上流側のケーシング内の空気を捕捉して
案内する上流側検出口と、空気浄化手段よりも下流側の
ケーシング内を移動自在であり、リークテスト時に空気
浄化手段よりも下流側のケーシング内の空気を捕捉して
案内するサンプリングプローブと、空気浄化手段よりも
上流側のケーシング内に試験用粒子を供給する試験用粒
子供給手段と、上流側検出口及びサンプリングプローブ
から案内される上流側空気及び下流側空気のそれぞれに
含まれる試験用粒子を検出する試験用粒子検出手段とを
有することから、空気浄化手段が実際に設けられた状態
での空気浄化装置について、空気浄化手段のみならず空
気浄化手段とケーシングとの取り付け部分のリークの有
無についても検出することができ、空気浄化装置につい
て精度及び信頼性の高いリークテストを実施することが
できる。
Further, the test system of the present invention provides an air purifying apparatus having a casing forming an air passage for air to be purified, and air purifying means provided in the casing for purifying air passing through the casing. In a test system for detecting leaks, an upstream detection port that captures and guides air in the casing upstream of the air purification unit during a leak test, and is freely movable in the casing downstream of the air purification unit A sampling probe that captures and guides the air in the casing downstream of the air purification means during a leak test, and a test particle supply means that supplies test particles into the casing upstream of the air purification means. And test particles contained in each of the upstream air and the downstream air guided from the upstream detection port and the sampling probe. The test particle detecting means for detecting air leakage, the air purifying device in the state where the air purifying means is actually provided, the presence or absence of leakage not only in the air purifying means but also in the mounting portion between the air purifying means and the casing Can be detected, and a leak test with high accuracy and reliability can be performed on the air purification device.

【0067】また、本発明の空気浄化装置及びその試験
システムは、空気浄化手段がHEPAフィルタである
と、ケミカルハザード物質の捕集、除去など高度な浄化
を要する空気の浄化にも使用することができ、また高度
な浄化を要する空気浄化装置のリークテストを実施する
ことができる。
When the air purifying means is a HEPA filter, the air purifying apparatus and the test system of the present invention can also be used for purifying air that requires advanced purification such as collection and removal of chemical hazard substances. It is possible to perform a leak test of an air purification device that requires advanced purification.

【0068】また、本発明の空気浄化装置及びその試験
システムは、空気浄化手段よりも下流側のケーシング内
を外部から観察するための窓を有すると、メンテナンス
時やリークテスト時において空気浄化手段よりも下流側
のケーシング内の様子を視認することができ、メンテナ
ンス作業やリークテストにおいてより精密な作業を容易
に行うことができる。
Further, the air purifying apparatus and the test system of the present invention have a window for observing the inside of the casing downstream of the air purifying means from the outside. Also, the inside of the casing on the downstream side can be visually recognized, and more precise work can be easily performed in the maintenance work and the leak test.

【0069】また、本発明の空気浄化装置及びその試験
システムは、サンプリングプローブを自在に操作するた
めの操作手段を有すると、リークテスト時におけるスキ
ャンニングを任意に行うことができ、より容易かつ正確
にリーク箇所を特定することができる。
The air purifying apparatus and the test system according to the present invention, if provided with operating means for freely operating the sampling probe, can perform scanning at the time of a leak test arbitrarily, thereby making it easier and more accurate. The leak location can be specified at the same time.

【0070】また、本発明の空気浄化装置及びその試験
システムは、操作手段が窓に一体的に設けられた変形自
在かつ気密なグローブであると、イニシャルコストをよ
り低くすることができ、空気浄化時には操作手段を容易
に収納することができ、空気の浄化に影響を及ぼしにく
く、かつ作業性の向上により一層効果的である。
In the air purifying apparatus and the test system for the same according to the present invention, when the operating means is a deformable and air-tight glove integrally provided on the window, the initial cost can be further reduced, and the air purifying apparatus can be air-purified. At times, the operating means can be easily housed, hardly affecting air purification, and more effective in improving workability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明における空気浄化装置の一実施の形態の
設置状態を示す図である。
FIG. 1 is a diagram illustrating an installation state of an embodiment of an air purification device according to the present invention.

【図2】図1に示す空気浄化装置の正面図である。FIG. 2 is a front view of the air purification device shown in FIG.

【図3】図1に示す空気浄化装置の側面要部断面図であ
る。
FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of a side surface of the air purification device shown in FIG.

【図4】図1に示す空気浄化装置の正面要部拡大図であ
る。
FIG. 4 is an enlarged view of a main part of the front of the air purification device shown in FIG.

【図5】図1に示す空気浄化装置の側面要部拡大断面図
である。
FIG. 5 is an enlarged sectional view of a main part of a side surface of the air purification device shown in FIG.

【図6】図1に示す空気浄化装置のサンプリングプロー
ブを示す正面図である。
FIG. 6 is a front view showing a sampling probe of the air purification device shown in FIG.

【図7】図1に示す空気浄化装置のサンプリングプロー
ブを示す下視図である。
FIG. 7 is a bottom view showing a sampling probe of the air purification device shown in FIG. 1;

【図8】図1に示す空気浄化装置の空気浄化時の状態を
示す正面図である。
FIG. 8 is a front view showing a state of the air purification device shown in FIG. 1 at the time of air purification.

【図9】図1に示す空気浄化装置のリークテスト時の状
態を示す正面図である。
FIG. 9 is a front view showing a state of the air purification device shown in FIG. 1 during a leak test.

【図10】図1に示す空気浄化装置の試験システムにお
ける一実施形態を示す側面要部断面図である。
FIG. 10 is a side sectional view showing a main part of one embodiment of the test system for the air purification device shown in FIG. 1;

【図11】従来の空気浄化ユニットの一例を示す正面図
である。
FIG. 11 is a front view showing an example of a conventional air purification unit.

【図12】従来の空気浄化ユニットの一例を示す側面図
である。
FIG. 12 is a side view showing an example of a conventional air purification unit.

【図13】従来の空気浄化ユニットの一例における試験
システムを示す概略図である。
FIG. 13 is a schematic diagram showing a test system in an example of a conventional air purification unit.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、30 ケーシング 2 HEPAフィルタ 3 吸い込み口 4 プレフィルタ 5 上流側検出口 6 下流側検出口 7 樹脂チューブ 8 サンプリングプローブ 9 点検口 10 点検用パネル 11 スキャンテスト用ハッチ口 12 スキャンテスト用パネル 13 ビニルバッグ 14 グローブ 15 排気用フランジ 16 ダンパ 17 上流側検出チューブ 18 下流側検出チューブ 19 パーティクルカウンタ 20 DOP粒子発生器 21 コンプレッサ 22 差圧計 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 30 Casing 2 HEPA filter 3 Suction port 4 Pre-filter 5 Upstream detection port 6 Downstream detection port 7 Resin tube 8 Sampling probe 9 Inspection port 10 Inspection panel 11 Scan test hatch opening 12 Scan test panel 13 Vinyl bag 14 glove 15 exhaust flange 16 damper 17 upstream detection tube 18 downstream detection tube 19 particle counter 20 DOP particle generator 21 compressor 22 differential pressure gauge

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 天谷 賢 東京都新宿区西新宿一丁目25番1号 大成 建設株式会社内 (72)発明者 阪 健一郎 愛知県名古屋市中村区名駅南1−17−23 (72)発明者 松岡 賢治 奈良県大和郡山市池沢町172 (72)発明者 大塚 一剛 東京都中央区銀座8−2−1 Fターム(参考) 4D058 JA14 PA01 SA04 SA13  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Ken Amaya 1-25-1, Nishishinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo Taisei Construction Co., Ltd. -23 (72) Inventor Kenji Matsuoka 172 Ikezawa-cho, Yamatokoriyama-shi, Nara Prefecture (72) Inventor Kazuyoshi Otsuka 8-2-1 Ginza, Chuo-ku, Tokyo 4D058 JA14 PA01 SA04 SA13

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 浄化されるべき空気の通気路を形成する
ケーシングと、このケーシング内に設けられてケーシン
グを通る空気を浄化する空気浄化手段とを有する空気浄
化装置において、 リークテスト時に前記空気浄化手段よりも上流側のケー
シング内の空気を捕捉して案内する上流側検出口と、 前記空気浄化手段よりも下流側のケーシング内を移動自
在であり、リークテスト時に空気浄化手段よりも下流側
のケーシング内の空気を捕捉して案内するサンプリング
プローブとを有することを特徴とする空気浄化装置。
1. An air purifying apparatus comprising: a casing forming an air passage for air to be purified; and air purifying means provided in the casing to purify air passing through the casing. An upstream detection port that captures and guides the air in the casing upstream of the means, is movable in the casing downstream of the air purification means, and is movable downstream of the air purification means during a leak test. An air purification device comprising: a sampling probe that captures and guides air in a casing.
【請求項2】 前記空気浄化手段がHEPAフィルタで
あることを特徴とする請求項1に記載の空気浄化装置。
2. The air purifying apparatus according to claim 1, wherein said air purifying means is a HEPA filter.
【請求項3】 前記空気浄化手段よりも下流側のケーシ
ング内を外部から観察するための窓を有することを特徴
とする請求項1に記載の空気浄化装置。
3. The air purifying apparatus according to claim 1, further comprising a window for externally observing the inside of the casing downstream of the air purifying unit.
【請求項4】 前記サンプリングプローブを自在に操作
するための操作手段を有することを特徴とする請求項1
に記載の空気浄化装置。
4. The apparatus according to claim 1, further comprising operating means for freely operating said sampling probe.
The air purifying apparatus according to item 1.
【請求項5】 前記操作手段が窓に一体的に設けられた
変形自在かつ気密なグローブであることを特徴とする請
求項4に記載の空気浄化装置。
5. The air purifying apparatus according to claim 4, wherein said operating means is a deformable and airtight glove integrally provided on a window.
【請求項6】 浄化されるべき空気の通気路を形成する
ケーシングと、このケーシング内に設けられてケーシン
グを通る空気を浄化する空気浄化手段とを有する空気浄
化装置のリークを検出するための試験システムにおい
て、 リークテスト時に前記空気浄化手段よりも上流側のケー
シング内の空気を捕捉して案内する上流側検出口と、 前記空気浄化手段よりも下流側のケーシング内を移動自
在であり、リークテスト時に空気浄化手段よりも下流側
のケーシング内の空気を捕捉して案内するサンプリング
プローブと、 前記空気浄化手段よりも上流側のケーシング内に試験用
粒子を供給する試験用粒子供給手段と、 前記上流側検出口及びサンプリングプローブから案内さ
れる上流側空気及び下流側空気のそれぞれに含まれる試
験用粒子を検出する試験用粒子検出手段とを有すること
を特徴とする試験システム。
6. A test for detecting a leak in an air purifying apparatus having a casing forming an air passage for air to be purified and air purifying means provided in the casing to purify air passing through the casing. In the system, an upstream detection port that captures and guides air in the casing upstream of the air purifying means during a leak test, and is movable in the casing downstream of the air purifying means. A sampling probe that captures and guides the air in the casing downstream of the air purifying unit at times, a test particle supply unit that supplies test particles into the casing upstream of the air purifying unit, and the upstream. Detects test particles contained in each of the upstream air and downstream air guided from the side detection port and the sampling probe. Test system, characterized in that it comprises a test particle detecting means.
【請求項7】 前記空気浄化手段がHEPAフィルタで
あることを特徴とする請求項6に記載の試験システム。
7. The test system according to claim 6, wherein said air purifying means is a HEPA filter.
【請求項8】 前記空気浄化手段よりも下流側のケーシ
ング内を外部から観察するための窓を有することを特徴
とする請求項6に記載の試験システム。
8. The test system according to claim 6, further comprising a window for externally observing the inside of the casing downstream of the air purification unit.
【請求項9】 前記サンプリングプローブを自在に操作
するための操作手段を有することを特徴とする請求項6
に記載の試験システム。
9. The apparatus according to claim 6, further comprising operating means for freely operating said sampling probe.
The test system according to 1.
【請求項10】 前記操作手段が窓に一体的に設けられ
た変形自在かつ気密なグローブであることを特徴とする
請求項9に記載の試験システム。
10. The test system according to claim 9, wherein the operating means is a deformable and airtight glove provided integrally with the window.
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