JP6151886B2 - Air filter - Google Patents
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Description
本発明は、バリデーションに用いられるエアフィルタに関する。 The present invention relates to an air filter used for validation.
例えば医薬品製造分野で使用されるクリーンルームには、エアフィルタが使用されている。このような製造分野のクリーンルームでは、バリデーションに対応するために、エアフィルタを使用している状態で、エアフィルタがパーティクルを捕集していることを確認するため、捕集効率、漏れが無きことを測定する必要がある。このバリデーションとは、医薬品製造分野の製造設備及びプロセスに関して、予め定めた仕様書と品質特性に基づいて製品を生産することを保証して、その記録を残すことである。これにより、エアフィルタの製造不良やエアフィルタの取り付け不良等が発生していないことをチェックして、医薬品製造におけるクリーンルーム内の環境基準を保つようにしている。 For example, an air filter is used in a clean room used in the pharmaceutical manufacturing field. In such a clean room in the manufacturing field, in order to cope with validation, in order to confirm that the air filter is collecting particles while using the air filter, there is no collection efficiency and no leakage. Need to be measured. This validation is to ensure that a product is produced on the basis of predetermined specifications and quality characteristics with respect to manufacturing equipment and processes in the pharmaceutical manufacturing field and to keep a record thereof. Thus, it is checked that there is no air filter manufacturing failure, air filter mounting failure, or the like, and the environmental standard in the clean room in pharmaceutical manufacturing is maintained.
この種のエアフィルタは、特許文献1に開示されている。特許文献1に開示されているエアフィルタは、エアを通す方向とは交差する側方向に突出したフィルタ受枠を内部にもつフィルタ装置を有している。 This type of air filter is disclosed in Patent Document 1. The air filter disclosed in Patent Document 1 includes a filter device having a filter receiving frame that protrudes in a side direction that intersects the direction in which air passes.
ところが、上述したエアフィルタを取り付ける際に、フィルタ装置内のフィルタ取付枠に穴を形成し、スモーク発生用配管と吸引用配管をこのフィルタ受枠の穴に通すという現場での後加工作業が必要であり、その後加工作業が手間であり、エアフィルタの効率測定のためには作業コストがかかっていた。
そこで、本発明は、上記課題を解消するために、後加工が不要で簡単に取り付けることができるエアフィルタを提供することを目的とする。
However, when attaching the air filter described above, it is necessary to perform post-processing work in the field by forming a hole in the filter mounting frame in the filter device and passing the smoke generation pipe and the suction pipe through the hole of the filter receiving frame. Then, the processing work was troublesome, and it took work cost to measure the efficiency of the air filter.
Accordingly, an object of the present invention is to provide an air filter that does not require post-processing and can be easily attached in order to solve the above problems.
本発明のエアフィルタは、ジグザグ状に折り畳んだろ材の折畳空間を間隔保持してパック(一固まり)にしたフィルタパックと、前記フィルタパックを保持するフィルタ枠を有するエアフィルタであって、前記フィルタ枠には、前記フィルタパックの上流側のエア取入面から前記フィルタパックの下流側に向かってエアを導く通気用の配管が設けられており、さらに、前記フィルタ枠には、前記エアフィルタの捕集効率を測定するための試験用のパーティクルを、前記フィルタパックの前記上流側の前記エア取入面に前記下流側から供給するために、前記フィルタパックの前記エア取入面側で開放されている始端部と、前記フィルタパックの下流に達する終端部と、前記始端部と前記終端部を結ぶ中間部を有するパーティクル供給用の配管が設けられ、前記パーティクル供給用の配管は、前記パーティクルを拡散させるために前記上流側の気流と対向して噴射するように配置されており、前記通気用の配管が前記フィルタ枠に製造段階で取り付けられていることにより、取り付けるための施工現場で前記通気用の配管を通すための穴を開けるための後加工作業が不要であることを特徴とする。
上記構成によれば、通気用の配管がフィルタ枠に設けられているので、エアフィルタを組み込んだフィルタ装置を取り付ける施工現場において配管を別途取り付ける後加工作業が不要となる。
また、試験用のパーティクルは、パーティクル供給用の配管を通じてエアフィルタの上流側のエア取入面に確実に供給でき、パーティクル供給用の配管が予めフィルタ枠に設けられているので、エアフィルタを組み込んだフィルタ装置を取り付ける施工現場においてパーティクル供給用の配管を別途取り付ける後加工作業が不要となる。
The air filter of the present invention is an air filter having a filter pack (packed) by holding a space for folding a filter medium folded in a zigzag shape, and a filter frame for holding the filter pack, The filter frame is provided with a ventilation pipe that guides air from the air intake surface on the upstream side of the filter pack toward the downstream side of the filter pack, and the filter frame further includes the air filter. In order to supply test particles for measuring the collection efficiency of the filter pack from the downstream side to the air intake surface on the upstream side of the filter pack, the particles are opened on the air intake surface side of the filter pack. a starting end that is a terminal portion to reach downstream of the filter pack, the piping of particles for supplying having an intermediate portion connecting the starting end and the terminal end Vignetting, piping for the particle supply, the are arranged so as Particle and air flow facing the upstream side to diffuse injecting, attached at the manufacturing stage piping for the ventilation within the filter frame Therefore, a post-processing operation for making a hole for passing the ventilation pipe at a construction site for installation is unnecessary .
According to the above configuration, since the ventilation pipe is provided in the filter frame, a post-processing work for separately attaching the pipe at the construction site where the filter device incorporating the air filter is attached becomes unnecessary.
In addition, the test particles can be reliably supplied to the air intake surface upstream of the air filter through the particle supply pipe, and the particle supply pipe is provided in advance in the filter frame. In the construction site where the filter device is installed, post-processing work is separately required for separately attaching a pipe for supplying particles.
好ましくは、前記通気用の配管は、前記フィルタパックの前記上流側のエア取入面に位置された始端部と、前記フィルタパックの下流に達する終端部と、前記始端部と前記終端部を結ぶ中間部を有することを特徴とする。
上記構成によれば、通気用の配管の始端部は、フィルタパックの上流側のエア取入面側のエアを取り込んで、中間部と終端部を通じて、フィルタパックの上流側のエア取入面側のエアを、フィルタパックの下流側に確実に送り込むことができる。
Preferably, the ventilation pipe connects a start end located on the upstream air intake surface of the filter pack, a terminal end reaching the downstream of the filter pack, and the start end and the terminal end. It has an intermediate part.
According to the above configuration, the start end portion of the ventilation pipe takes in the air on the upstream side air intake surface of the filter pack, and passes the intermediate portion and the end portion to the upstream side of the air intake surface of the filter pack. This air can be reliably sent to the downstream side of the filter pack.
好ましくは、前記通気用の配管の前記中間部を、前記フィルタ枠の側面部に沿って固定する留め具を有することを特徴とする。
上記構成によれば、中間部をフィルタ枠の側面部に対して留め具を用いて取り付けるだけで、通気用の配管は、フィルタ枠の側面部に対して簡単に固定することができ、通気用の配管を備えたエアフィルタの製造が簡単である。
Preferably, it has a fastener for fixing the intermediate portion of the ventilation pipe along the side surface portion of the filter frame.
According to the above configuration, the ventilation pipe can be easily fixed to the side surface portion of the filter frame simply by attaching the intermediate portion to the side surface portion of the filter frame using the fastener. It is easy to manufacture an air filter equipped with this pipe.
好ましくは、前記フィルタ枠の側面部には、貫通穴が形成されており、前記通気用の配管は、前記中間部を前記貫通穴に通すことで前記側面部に固定されていることを特徴とする。
上記構成によれば、中間部をフィルタ枠の側面部の貫通穴に通すだけで、通気用の配管は、フィルタ枠の側面部に対して簡単に固定することができ、通気用の配管を備えたエアフィルタの製造が簡単である。
Preferably, a through hole is formed in a side surface portion of the filter frame, and the ventilation pipe is fixed to the side surface portion by passing the intermediate portion through the through hole. To do.
According to the above configuration, the ventilation pipe can be easily fixed to the side surface portion of the filter frame simply by passing the intermediate portion through the through hole in the side surface portion of the filter frame. The air filter is easy to manufacture.
好ましくは、前記通気用の配管の前記終端部は、前記フィルタ枠の側面部の下端よりさらに突出していることを特徴とする。
上記構成によれば、通気用の配管の終端部がフィルタ枠の側面部の下端よりさらに突出しているので、エアフィルタを組み込んだフィルタ装置及びフィルタを例えばクリーンルームに取り付けた場合に、通気用の配管の終端部をクリーンルームの作業室内に到達させることができるので、例えばパーティクルを用いてエアフィルタのパーティクル捕集効率を測定する際に、フィルタパックの上流側のパーティクルを含むエアは、通気用の配管を通じて作業室内の測定器側に対して確実に導くことができる。
Preferably, the terminal portion of the ventilation pipe projects further from the lower end of the side surface portion of the filter frame.
According to the above configuration, since the end portion of the ventilation pipe protrudes further from the lower end of the side surface portion of the filter frame, when the filter device incorporating the air filter and the filter are attached to a clean room, for example, the ventilation pipe For example, when measuring the particle collection efficiency of the air filter using particles, the air containing the particles on the upstream side of the filter pack is used as a ventilation pipe. It can be reliably guided to the measuring instrument side in the working chamber.
本発明によれば、後加工が不要で簡単に効率測定することができるエアフィルタを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an air filter that does not require post-processing and can easily measure efficiency.
以下に、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
図1は、本発明のエアフィルタの第1の実施形態を備えるクリーンルームの例を示している。図1に示すクリーンルーム1は、本体部2と、外気取入機3と、送風ファン4と、エアフィルタ10からなるファンフィルタユニット1Cを有している。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
The embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, and thus various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is particularly limited in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these embodiments.
FIG. 1 shows an example of a clean room provided with the first embodiment of the air filter of the present invention. A clean room 1 shown in FIG. 1 has a fan filter unit 1 </ b> C including a
本体部2は、作業室5と、ファンフィルタユニット1Cと、リターンエアRA通路6と、上流側気流通路7を有している。送風ファン4とエアフィルタ10は、クリーンルーム1のファンフィルタユニット1C内に配置されている。送風ファン4は上流側気流通路7の下流側に配置され、エアフィルタ10は送風ファン4の下流側において着脱可能に取り付けられている。
図1に示すリターンエア通路6は、作業室5の横側部分において上下方向に配置されており、上流側気流通路7は、作業室5の上側部分において水平方向に配置されている。リターンエア通路6の上流側は、作業室5の下部側の循環口9に接続されている。リターンエア通路6の下流側と上流側気流通路7の上流側は、給気口8の付近で接続されている。上流側気流通路7の下流側は、ファンフィルタユニット1Cの送風ファン4に接続されている。作業室5の下部は、排出エアEAを排出するための排出口9Bを有する。
The
The
図1に示すエアフィルタ10は、作業室5の上部のファンフィルタユニット1Cにおいて交換可能に設けられている。図示しない制御部が外気取入機3とファンフィルタユニット1Cの送風ファン4を駆動することで、外気取入機3は、外気を処理した後にサプライエアSAとして給気口8に供給する。これにより、サプライエアSAは、リターンエアRAと混合されて上流側気流となりファンフィルタユニット1Cのエアフィルタ10によりろ過した後に、作業室5内に下流側気流として供給することができるようになっている。
パーティクル発生器100は、例えば、給気口8DからサプライエアSAとリターンエアRAと混合された上流側気流に対して、ファンフィルタユニット1Cのエアフィルタ10の捕集効率を測定するための試験用の所定濃度のパーティクルを供給する。これにより、上流側気流通路7を通る上流側気流には、所定濃度のパーティクルを混ぜるようになっている。このパーティクルとしては、例えば直径が0.3μmの粒子あるいは0.15μmの粒子を用いている。
具体的には、発生粒子の種類としては、PSL(ポリスチレン)粒子、DOP(粒子、DOS粒子などである。
発生方法としては、加圧噴霧法、蒸気凝縮法などが挙げられる。
The
The
Specifically, the generated particles include PSL (polystyrene) particles, DOS (particles, DOS particles, and the like).
Examples of the generation method include a pressure spray method and a vapor condensation method.
図1の例では、作業室5内に、上流側のパーティクル測定器110と、下流側のパーティクル測定器120が、エアフィルタ10のパーティクルの捕集効率を測定するために配置されている。
上流側のパーティクル測定器110は、エアフィルタ10の上流側における所定濃度のパーティクルを含む上流側気流中のパーティクルの個数をカウントする装置である。下流側のパーティクル測定器120は、エアフィルタ10の下流側の作業室5内において、下流側気流中のパーティクルの個数をカウントする装置である。すなわち、上流側のパーティクル測定器110は、作業室5内に入る前の上流側気流中のパーティクルの個数を測定する。下流側のパーティクル測定器120は、エアフィルタ10を通過して作業室5内に入った下流側気流中のパーティクルの個数を測定する。
In the example of FIG. 1, an upstream
The upstream
次に、図2と図3を参照して、図1に示すエアフィルタ10の構造例を説明する。
図2は、図1に示すエアフィルタの構造例を示しており、図2(A)は、エアフィルタを斜め上方向から見た斜視図であり、図2(B)は、エアフィルタを斜め下方向から見た斜視図である。図3(A)は、エアフィルタ10の側面図であり、図3(B)は、エアフィルタ10の平面図であり、図3(C)は、エアフィルタ10の別の側面図である。
図2と図3に示すエアフィルタ10は、フィルタパック11と、フィルタ枠12と、通気用の配管20を有している。このフィルタ枠12は、例えばアルミニウム製であり、4つの側面部12A,12B,12C,12Dを有している例えば正方形状の枠体である。フィルタ枠12の側面部12A,12B,12C,12Dは、フィルタパック11の4つの側面を、それぞれ図示しないが側面部12A,12Bはフィルタパック11との間をウレタン樹脂シール剤で気密にシールしている。また、側面部12C,12Dは、フィルタパック11のろ材端部を接着剤で気密にシールしている。
図2に示すように、側面部12Aと側面部12Cは、それぞれ2つの突出面部13,14と、これらの間に形成された凹んだ中間面部15を有している。突出面部13,14と、凹んだ中間面部15は長方形状の部分である。
Next, a structural example of the
2 shows an example of the structure of the air filter shown in FIG. 1. FIG. 2 (A) is a perspective view of the air filter as viewed obliquely from above, and FIG. 2 (B) is an oblique view of the air filter. It is the perspective view seen from the downward direction. 3A is a side view of the
The
As shown in FIG. 2, the
図2と図3に示すフィルタパック11は、例えばHEPAフィルタと呼ばれる高性能フィルタであり、例えばエンボスタイプのフィルタ、ノンセパレータタイプのフィルタ、あるいはセパレータタイプのフィルタを採用することができる。
エンボスタイプのフィルタは、セパレータを用いるのに代えてシート状のろ材に対してエンボスを形成することで、折り曲げたろ材の間を開けている。ノンセパレータタイプのフィルタは、ろ材を折り曲げた状態でリボン状のホットメルト接着材を用いて固定している。セパレータタイプのフィルタは、折り曲げたろ材の間に波形セパレータを配置している。ろ材としては、例えば合成繊維材や、ガラス繊維材、あるいはPTFE(ポリテトラフルオロエチレン)等のフィルムを不織布で挟んだものを使用することができる。セパレータとしては、アルミ箔や紙などを使用することができる。図2と図3に示すフィルタパック11としては、一例としてセパレータタイプのフィルタを採用している。
The
The embossed type filter opens the space between the folded filter media by forming an emboss on the sheet-like filter media instead of using a separator. The non-separator type filter is fixed using a ribbon-like hot melt adhesive in a state where the filter medium is folded. In the separator type filter, a corrugated separator is disposed between the folded filter media. As the filter medium, for example, a synthetic fiber material, a glass fiber material, or a film of PTFE (polytetrafluoroethylene) or the like sandwiched between nonwoven fabrics can be used. As the separator, aluminum foil or paper can be used. As a
図2と図3に示すように、通気用の配管20は、フィルタ枠12の側面部12A側に設けられている。すなわち、通気用の配管20とフィルタ枠12は一体化されている。この通気用の配管20は、フィルタパック11の上流側のエア取入面11T側からフィルタパック11の下流側の作業室5内へ、所定濃度のパーティクルを含む上流側気流を導くためのエアの別経路である。通気用の配管20は、ほぼL字型に形成されており、例えばアルミニウム製もしくはステンレス製の断面円形のチューブもしくはパイプである。
図2(A)と図3(A)に示すように、通気用の配管20の始端部21は、上流側のエア取入面11Tに対して平行に設けられ、通気用の配管20の始端部21の途中部分は、フィルタ枠12の側面部12Aの突出面部13に形成された貫通穴13Hを通っている。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
As shown in FIGS. 2 (A) and 3 (A), the start end 21 of the
図2に示すように、通気用の配管20の中間部22は、通気用の配管20の始端部21に対して直角に曲げられており、側面部12Aの突出面部13,14に沿って下方向に伸びている。この中間部22は、突出面部13,14に対して、それぞれ金属製の留め具24により固定されている。
この留め具24の形状例は、図2(A)に拡大して示している。図2(A)に示すゴム製の介在具25は中間部22を通している。留め具24はこの介在具25を保持しており、留め具24はねじ26を用いて、側面部12Aの突出面部13,14にそれぞれ固定されている。これにより、通気用の配管20の中間部22は、留め具24を用いて側面部12Aの突出面部13,14に沿って下方向に伸びるようにして固定されている。介在具25があることで、金属の中間部22と金属の留め具24が互いに直接当たるのを防ぐことで、振動や騒音の発生を防止している。
As shown in FIG. 2, the
An example of the shape of the
通気用の配管20の終端部23は、図3(A)と図3(C)に示すように、側面部12Aの突出面部14からさらに所定の突出長さLPだけ下方向に突出している。
これにより、上流側のエア取入面11Tに取り入れられようとする所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、通気用の配管20の始端部21から取り込まれて、中間部22を通り、そして終端部23からフィルタパック11の下流側のエア排出面11Sの付近であって、しかも図1に示す作業室5内において、確実に供給することができる。これにより、上流側のエア取入面11Tに取り入れられようとする所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、エアフィルタ10のフィルタパック11を通さずに、フィルタパック11の下流側のエア排出面11Sの付近であって、しかも図1に示す作業室5内に直接供給することができる。
ここで、パーティクルの捕集測定精度を考慮すると、通気用の配管20始端部21の開口径もしくは開口面積と、終端部23の各開口径もしくは開口面積は同径もしくは同面積とすることが好ましい。
As shown in FIGS. 3 (A) and 3 (C), the
As a result, the upstream airflow containing particles having a predetermined concentration to be taken into the upstream
Here, in consideration of the particle collection accuracy, it is preferable that the opening diameter or opening area of the
次に、上述した本発明の実施形態のエアフィルタ10について行うパーティクルの捕集効率の測定例について、図1を参照して説明する。
図1に示すように、エアフィルタ10は、送風ファン4の下部であって、作業室5の天井のファンフィルタユニット1C内に取付けられている。この際、1人の測定作業者Mは、作業室5内において、エアフィルタ10の通気用の配管20の終端部23を、上流側のパーティクル測定器110の導入管111に対して着脱可能に接続する。下流側のパーティクル測定器120の導入管121は、作業室5内の下流側気流を直接サンプリングするためにエアフィルタ10に向けて上向きに設けられている。
Next, a measurement example of the particle collection efficiency performed on the
As shown in FIG. 1, the
図示しない制御部が、図1の外気取入機3とファンフィルタユニット1Cの送風ファン4を駆動し、しかも送風ファン4が駆動することで、外気取入機3は、外気をフィルタ処理した後にサプライエアSAとして給気口8に供給する。図示しない制御部が、パーティクル発生器100を駆動すると、パーティクル発生器100は、給気口8の付近の供給口8Dを通じて試験用の所定濃度のパーティクルを、上流側気流通路7内の上流側気流に供給して、所定濃度のパーティクルを上流側気流に混ぜる。
送風ファン4の送風により、所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、上流側気流通路7から、図2に示すエアフィルタ10のフィルタパック11の上流側のエア取入面11Tを通り、フィルタパック11の下流側のエア排出面11Sから、下流側気流として作業室5内へ吹き出される。吹き出された下流側気流は、作業室5の下部側の排気口9からリターンエア通路6を経て上流側気流通路7に戻される。下流側気流の一部は、排出口9Bから排出エアEAとして作業室5の外に排出される。
A control unit (not shown) drives the outside
The upstream airflow containing particles of a predetermined concentration by the air blown by the
上述したように所定濃度のパーティクルを含む上流側気流がエアフィルタ10に供給された状態で、上流側のエア取入面11Tに取り入れられようとする所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、図2(A)に示す通気用の配管20の始端部21、中間部22、終端部23、そして上流側のパーティクル測定器110の導入管111を通じて、図1に示す上流側のパーティクル測定器110においてサンプリングされる。
一方、エアフィルタ10から図1の作業室5内に吹き出された下流側気流は、下流側のパーティクル測定器120の導入管121を通じて、下流側のパーティクル測定器120においてサンプリングされる。
As described above, the upstream airflow including particles having a predetermined concentration to be taken into the
On the other hand, the downstream airflow blown out from the
図1に示すように、上流側のパーティクル測定器110と下流側のパーティクル測定器120は、作業室5内において並べて配置できるので、上流側のパーティクル測定器110と下流側のパーティクル測定器120の測定操作は、1人の測定作業者が同時に行うことができる。このように、エアフィルタ10の捕集効率を測定する測定作業者は1人で済むので、複数人の測定作業者を必要とする場合に比べて、エアフィルタ10の捕集効率を測定する作業コストの低減が図れる。
なお、捕集効率の式は以下のように示される。
(捕集効率)(%)={1−(下流側パーティクル数)/(上流側パーティクル数)}×100ここで、パーティクル数は整数なので分母の上流側の値が小さいと、測定不可(測定精度が悪い)である。
上流側のパーティクル測定器110は、所定濃度のパーティクルを含む上流側気流中のパーティクル数をカウントするとともに、下流側のパーティクル測定器120は、エアフィルタ10から吹き出された作業室5内の下流側気流中のパーティクル数をカウントする。そして、上流側のパーティクル測定器110がカウントした上流側気流中のパーティクル数と、下流側のパーティクル測定器120がカウントした下流側気流中のパーティクル数と、を比較する。これにより、エアフィルタ10が捕集できるパーティクルの捕集効率を測定することができる。この捕集効率を測定した結果、エアフィルタ10のフィルタパック11によるパーティクルの捕集効率(除去効率)が、例えば99.97%以上であれば、エアフィルタ10の製造不良やエアフィルタ10の取り付け不良が生じていないと判断することができる。
As shown in FIG. 1, since the upstream
In addition, the expression of collection efficiency is shown as follows.
(Collecting efficiency) (%) = {1− (the number of particles on the downstream side) / (the number of particles on the upstream side)} × 100 Here, since the number of particles is an integer, measurement is impossible if the value on the upstream side of the denominator is small The accuracy is poor).
The upstream
上述したエアフィルタ10の製造段階で、通気用の配管20がフィルタ枠12の側面部12Aに予め取り付けられており、通気用の配管20がフィルタ枠12は製造段階で一体化されている。これにより、クリーンルーム1のファンフィルタユニット1C内に、エアフィルタ10の捕集効率を測定する際に、従来必要であった配管をこのフィルタ受枠の穴に通すという施工現場での後加工作業が不要となる。したがって、エアフィルタ10は、クリーンルーム1のファンフィルタユニット1Cに対して後加工作業を行う必要が無い。
また、上流側のパーティクル測定器110と下流側のパーティクル測定器120を作業室5内に並べて配置すればよいので、1人の測定作業者だけで上流側のパーティクル測定器110と下流側のパーティクル測定器120による測定操作を行うことができる。
In the manufacturing stage of the
Further, since the upstream
図4は、本発明のエアフィルタの別の実施形態を示している。図4(A)は、エアフィルタ10Aの側面図であり、図4(B)は、エアフィルタ10Aの平面図であり、図4(C)は、エアフィルタ10Aの別の側面図である。このエアフィルタ10Aは、図1から図3に示すエアフィルタ10と同様にして、図1に示すクリーンルーム1のファンフィルタユニット1C内に配置することができる。図4に示すエアフィルタ10Aの構造は、図2と図3に示すエアフィルタ10の構造とほぼ同じであるので、同様の箇所には同じ符号を付して、重複する説明を省略し、以下、相違点を中心に述べる。
FIG. 4 shows another embodiment of the air filter of the present invention. 4A is a side view of the
図4に示す通気用の配管20Aは、フィルタ枠12の側面部12A側に配置されて、一体化されている。この通気用の配管20Aは、フィルタパック11の上流側のエア取入面11T側からフィルタパック11の下流側へ、所定濃度のパーティクルを含む上流側気流を導くための経路である。通気用の配管20は、ほぼL字型に形成されており、例えばアルミニウム製もしくはステンレス製の断面円形のチューブもしくはパイプである。
図4に示すように、通気用の配管20Aの始端部21は、上流側のエア取入面11Tに対して平行に設けられている。
The
As shown in FIG. 4, the start end 21 of the
通気用の配管20Aの中間部22は、通気用の配管20Aの始端部21に対して直角に曲がっている。この中間部22は、側面部12Aの突出面部13,14の各貫通穴13H1、14Hを通ることで下方向に伸び、フィルタ枠12に対して予め一体的に固定されている。
通気用の配管20Aの終端部23は、図4(A)と図4(C)に示すように、側面部12Aの突出面部14からさらに所定の突出長さLPだけ下方向に突出している。
これにより、上流側のエア取入面11Tに取り入れられようとする所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、通気用の配管20Aの始端部21から取り込まれて、中間部22を通り、そして終端部23からフィルタパック11の下流側のエア排出面11Sの付近であって作業室5内に確実に排出できる。
The
As shown in FIGS. 4A and 4C, the
As a result, the upstream airflow containing particles of a predetermined concentration to be taken into the upstream
上述したエアフィルタ10Aの製造段階で、通気用の配管20Aがフィルタ枠12の側面部12Aの貫通穴13H、14Hに通すことで予め取り付けられており、通気用の配管20がフィルタ枠12は製造段階で一体化されている。これにより、クリーンルーム1のファンフィルタユニット1C内で、エアフィルタ10の捕集効率を測定する際に、従来必要であった配管をこのフィルタ受枠の穴に通すという施工現場での後加工作業が不要である。したがって、エアフィルタ10は、クリーンルーム1のファンフィルタユニット1Cに対して後加工作業を行う必要が無い。
At the manufacturing stage of the
図4に示すエアフィルタ10Aは、図2と図3に示すエアフィルタ10に比べると、通気用の配管20の留め具24と介在具25の使用が不要であるので、エアフィルタを構成するための部品点数を減らすことができる。しかも、通気用の配管20Aは、フィルタ枠12の側面部12Aの貫通穴13H、14Hに通すことで予め取り付けられているので、通気用の配管20Aがフィルタ枠12の側面部12Aの外側には飛び出していない。このため、図4に示すエアフィルタ10Aの外寸法は、図2と図3に示すエアフィルタ10の外寸法Bに比べてより小さくすることができ、エアフィルタ10の小型化が図れる。
Compared with the
図5は、本発明の範囲外である比較例を示している。
図5に示す比較例では、通常のエアフィルタ200のフィルタパック211によるパーティクルの捕集効率を測定する様子を示している。
すでに説明したように、図1に示す本発明の実施形態では、上流側のパーティクル測定器110と下流側のパーティクル測定器120は作業室5内に並べて配置すればよいので、1人の測定作業者だけで上流側のパーティクル測定器110と下流側のパーティクル測定器120の測定操作を行うことができ、測定作業時のコストを低減できる。
FIG. 5 shows a comparative example that is outside the scope of the present invention.
In the comparative example shown in FIG. 5, the state of measuring the particle collection efficiency by the
As described above, in the embodiment of the present invention shown in FIG. 1, the upstream
これに対して、図5の比較例では、上流側のパーティクル測定器310は、クリーンルーム301のファンフィルタユニット301C付近に配置され、下流側のパーティクル測定器320は、作業室305内に配置されている。上流側のパーティクル測定器310は、作業室305の上方に位置されている。このため、上流側のパーティクル測定器310と下流側のパーティクル測定器320とは離れていることから、1人の測定作業者だけでは上流側のパーティクル測定器310と下流側のパーティクル測定器320を同時に測定操作することができない。このことから、上流側のパーティクル測定器310には1人の測定作業者M1が必要であり、下流側のパーティクル測定器320には別の1人の測定作業者M2が必要となってしまう。したがって、測定作業時のコストが上昇してしまう。
On the other hand, in the comparative example of FIG. 5, the upstream
従来のエアフィルタでは、作業者がクリーンルームの上部分に入って、フィルタ装置のフィルタ受枠に穴開けをして配管をこのフィルタ装置のフィルタ受枠の穴に後付け作業で通す。エアフィルタは側方に突出したフィルタ装置のフィルタ受枠を有しているので、エアフィルタをクリーンルームに装着する際には、必要となる占有スペースが大きいまた、クリーンルームの上部の壁部分にも、施工現場において配管を通すための穴を開けるための後加工作業の必要があり、その後加工作業にはコストがかかる。
これに対して、本発明の実施形態では、エアフィルタを製造する際に、予めフィルタ枠に対して通気用の配管を一体化して設けるので、エアフィルタをクリーンルームのファンフィルタユニットにおいて単に取り付けるだけで済むので、現場対応で別途配管を追加して取り付ける後加工作業が不要である。
In the conventional air filter, an operator enters the upper part of the clean room, drills a hole in the filter receiving frame of the filter device, and passes the pipe through the hole of the filter receiving frame of the filter device by a retrofitting operation. Since the air filter has a filter receiving frame of the filter device that protrudes to the side, a large occupied space is required when installing the air filter in the clean room. Also, the air filter is installed on the upper wall of the clean room. It is necessary to perform a post-processing work for making a hole for passing a pipe on site, and the processing work is costly thereafter.
In contrast, in the embodiment of the present invention, when the air filter is manufactured, the ventilation pipe is integrated with the filter frame in advance, so that the air filter is simply attached to the fan filter unit in the clean room. Because it is completed, post-processing work is not necessary after installing additional piping for on-site support.
本発明の実施形態のエアフィルタ10(エアフィルタ10A)は、フィルタパック11と、フィルタパック11を保持するフィルタ枠12を有する。そして、フィルタ枠12には、フィルタパック11の上流側のエア取入面11Tからフィルタパック11の下流側にエアを導く通気用の配管20が予め取り付けられている。このため、フィルタ受枠に対する後加工が不要で簡単に取り付けることができる。すなわち、通気用の配管20がフィルタ枠12に予め取り付けられているので、エアフィルタ10(エアフィルタ10A)を取り付ける施工現場において工事をして配管を別途取り付ける後加工作業が不要となり、エアフィルタは例えばクリーンルーム1のファンフィルタユニット1C内に簡単に取り付けることができる。
The air filter 10 (
通気用の配管20(通気用の配管20A)は、フィルタパック11の上流側のエア取入面11Tに位置された始端部21と、フィルタパック11の下流に達する終端部23と、始端部21と終端部23を結ぶ中間部22を有する。このため、通気用の配管20の始端部21は、フィルタパック11の上流側のエア取入面11T側のエアを取り込んで、中間部22と終端部23を通じて、フィルタパック11の上流側のエア取入面11T側のエアを、フィルタパック11の下流側に確実に送り込むことができる。
The ventilation pipe 20 (
図2と図3に示すように、通気用の配管20の中間部22を、フィルタ枠12の側面部12Aに沿って固定する留め具24を有する。このため、通気用の配管20は、フィルタ枠12の側面部12Aに対して簡単に固定することができ、通気用の配管20を備えたエアフィルタ10の製造が簡単である。
図4に示すように、フィルタ枠12の側面部12Aには、貫通穴13H,14Hが形成されており、通気用の配管20Aは、中間部22を貫通穴13H1,14Hに通すことで側面部に固定されている。このため、通気用の配管20Aは、フィルタ枠12の側面部12Aに対して簡単に固定することができ、通気用の配管20Aを備えたエアフィルタ10Aの製造が簡単である。
As shown in FIGS. 2 and 3, it has a
As shown in FIG. 4, through
図3と図4に示すように、通気用の配管20(通気用の配管20A)の終端部23は、フィルタ枠12の側面部12Aの下端よりさらに突出している。このため、エアフィルタ10(エアフィルタ10A)を、図1に示す例えばクリーンルーム1のファンフィルタユニット1Cに取り付けた場合に、通気用の配管20(通気用の配管20A)の終端部23をクリーンルーム1の作業室5内に到達させることができるので、例えばパーティクルを用いてエアフィルタ10(エアフィルタ10A)のパーティクル捕集効率を測定する際に、フィルタパック11の上流側のパーティクルを含むエアは、通気用の配管20(通気用の配管20A)を通じて作業室5内の測定器110側に対して確実に直接導くことができる。
As shown in FIGS. 3 and 4, the
次に、本発明のエアフィルタの第2の実施形態を、図6に示すクリーンルーム1Aを参照して説明する。図6に示すエアフィルタ510を備えるクリーンルーム1Aの箇所が、図1に示すエアフィルタ10を備えるクリーンルーム1の対応する箇所と同様な場合には、同じ符号を記して、重複する説明を省略する。
第2の実施形態は、次の場合に有効である。
すなわち、エアフィルタのパーティクル捕集性能を測定する際に、上流側パーティクル数が不足していることがある。
このため、十分な上流側パーティクル数を確保するには、粒子を上流側において意図的に発生させる必要がある。しかし、通常、エアフィルタにおいては、パーティクル捕集性能の測定を想定していないため、パーティクル発生器を設けても、ここで発生させる粒子をダクトに供給できる穴が予め設けられているものではない。
そこで第1の実施形態のパーティクル測定器における上流側のパーティクル測定するためのパイプと同様に、エアフィルタの上流側でパーティクル発生器により生成した粒子を供給するパイプをさらに追加して設置できれば、ダクト加工の手間が省け、また、発生も測定と一括でコントロールできるという利点がある。
図6に示すクリーンルーム1Aに適用されているエアフィルタ510の構造は、図1に示すクリーンルーム1Aに適用されているエアフィルタ10の構造とは、ほぼ同じ構造ではあるが、パーティクル供給用の配管520がフィルタ枠12の側面部12Cに対して固定されている点で異なる。エアフィルタ510は、作業室5の上部のファンフィルタユニット1Cにおいて交換可能に設けられている。パーティクル発生器100は、作業室5内に配置されている。
Next, a second embodiment of the air filter of the present invention will be described with reference to a
The second embodiment is effective in the following case.
That is, when measuring the particle collection performance of the air filter, the number of upstream particles may be insufficient.
For this reason, in order to ensure a sufficient number of upstream particles, it is necessary to intentionally generate particles on the upstream side. However, in general, in an air filter, measurement of particle collection performance is not assumed, so even if a particle generator is provided, a hole through which particles generated here can be supplied to the duct is not provided in advance. .
Therefore, if the pipe for supplying particles generated by the particle generator on the upstream side of the air filter can be additionally installed in the same manner as the pipe for measuring particles on the upstream side in the particle measuring instrument of the first embodiment, a duct is provided. There is an advantage that processing time can be saved and generation can be controlled together with measurement.
The structure of the
このエアフィルタ510は、通気用の配管20とは別のパーティクル供給用の配管520を有している。このパーティクル供給用の配管520は、パーティクル発生器100から試験用の所定濃度のパーティクルを、フィルタパック11の上流側のエア取入面11Tに供給するために設けられている。
パーティクル供給用の配管520は、フィルタパック11の上流側のエア取入面11Tに位置された始端部521と、フィルタパック11の下流に達する終端部523と、始端部521と終端部523を結ぶ中間部522を有する。パーティクル供給用の配管520の始端部521は、フィルタパック11の上流側のエア取入面11T側で開放されている。終端部523は、パーティクル発生器100の導入管511に対して着脱可能に接続されている。
The
The
パーティクル発生器100から供給される試験用の所定濃度のパーティクルは、導入管511と終端部523と中間部522を通じて、フィルタパック11の上流側のエア取入面11Tに供給して、フィルタパック11を通じて、フィルタパック11の下流側のエア排出面11Sから作業室5内に送り込むことができる。
図6に示すように、パーティクル供給用の配管520の中間部522は、フィルタ枠12の側面部12Cに沿って固定する留め具24を有する。このため、パーティクル供給用の配管520は、留め具24を用いてフィルタ枠12の側面部12Cに対して簡単に固定することができ、パーティクル供給用の配管520を備えたエアフィルタ10の製造が簡単である。
Particles having a predetermined concentration for testing supplied from the
As shown in FIG. 6, the
以上説明したように、図6に示すエアフィルタ510は、通気用の配管20に加えて、パーティクル供給用の配管520を予め備えている。これにより、試験用のパーティクルは、パーティクル供給用の配管520を通じてエアフィルタ510の上流側のエア取入面11Tに確実に供給できる。パーティクル供給用の配管520が予めフィルタ枠に設けられているので、エアフィルタ510を組み込んだフィルタ装置を取り付ける施工現場においてパーティクル供給用の配管520を別途取り付ける後加工作業が不要となる。
また、パーティクル発生器100は、作業室5内に配置することができる。これにより、上流側のパーティクル測定器110と、下流側のパーティクル測定器120と、そしてパーティクル発生器100は、作業室5内に並べて配置すれば良い。このため、1人の測定作業者だけで、パーティクル発生器100の操作と、上流側のパーティクル測定器110と下流側のパーティクル測定器120の測定操作とを行うことができ、測定作業時のコストを低減できる。
As described above, the
The
(変形例)
図6の第2の実施形態において、配管520の始端部521は、図示の場合、水平に曲げられている。
しかし、始端部521をさらに図6において縦方向にして、上流側気流と対向させるように90度曲げてもよい(図示せず)。これによりパーティクル供給用の配管520から供給される粒子は、上流側気流と対向して噴射されることにより、エアフィルタ上流側でより広い範囲に適切に拡散する。これにより、供給されたパーティクルはろ材全体に拡散するので、エアフィルタのパーティクル捕集テストをより正確に行うことができる。
(Modification)
In the second embodiment of FIG. 6, the start end 521 of the
However, the starting
本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。例えば、通気用の配管としては、断面が円形のチューブもしくはパイプを用いているが、これに限らず通気用の配管の断面形状は、他の断面形状、例えば楕円形、正方形、長方形等であっても良い。
通気用の配管の内寸法は、始端部、中間部、終端部にかけて同じである。しかしこれに限らず、通気用の配管の始端部、中間部、終端部は、異なる内寸法であっても良い。
通気用の配管は、エアフィルタのフィルタ枠に対して接着剤により固定しても良い。フィルタ枠の形状や、フィルタパックの形状は、図示例に限定されず、施工現場に応じて任意の形状を選択することができる。
上記実施形態の各構成は、その一部を省略してもよく、あるいは異なる実施形態の一部の構成同士を組み合わせることもできる。
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the claims. For example, a tube or pipe having a circular cross section is used as the ventilation pipe. However, the cross sectional shape of the ventilation pipe is not limited to this, and other cross sectional shapes such as an ellipse, a square, a rectangle, etc. May be.
The internal dimensions of the piping for ventilation are the same from the start end, the middle, and the end. However, the present invention is not limited to this, and the start end portion, the intermediate portion, and the end portion of the ventilation pipe may have different internal dimensions.
The ventilation pipe may be fixed to the filter frame of the air filter with an adhesive. The shape of the filter frame and the shape of the filter pack are not limited to the illustrated example, and any shape can be selected according to the construction site.
A part of each configuration of the above embodiment may be omitted, or a part of configurations of different embodiments may be combined.
1・・・クリーンルーム、1C・・・ファンフィルタユニット、2・・・本体部、3・・・外気取入機、4・・・送風ファン、5・・・作業室、6・・・リターンエア通路、7・・・上流側気流通路、10,10A・・・エアフィルタ、11・・・フィルタパック、11T・・・フィルタパックの上流側のエア取入面、11S・・・フィルタパックの下流側のエア排出面、12・・・フィルタ枠、12A・・・フィルタ枠の側面部、13H,14H・・・貫通穴、20,20A・・・通気用の配管、21・・・通気用の配管の始端部、22・・・通気用の配管の中間部、23・・・通気用の配管の終端部、24・・・留め具、110・・・上流側のパーティクル測定器、120・・・下流側のパーティクル測定器、510・・・エアフィルタ、520・・・パーティクル供給用の配管
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Clean room, 1C ... Fan filter unit, 2 ... Main-body part, 3 ... Outside air intake machine, 4 ... Blower fan, 5 ... Work chamber, 6 ... Return air Passage, 7 ... upstream airflow passage, 10, 10A ... air filter, 11 ... filter pack, 11T ... air intake surface on the upstream side of the filter pack, 11S ... downstream of the filter pack Side air discharge surface, 12 ... filter frame, 12A ... side surface portion of filter frame, 13H, 14H ... through hole, 20, 20A ... pipe for ventilation, 21 ... for ventilation The start end of the pipe, 22 ... the middle part of the pipe for ventilation, 23 ... the end part of the pipe for ventilation, 24 ... the fastener, 110 ... the particle measuring device on the upstream side, 120 ... -Downstream particle measuring instrument, 510 ...
Claims (5)
前記フィルタ枠には、前記フィルタパックの上流側のエア取入面から前記フィルタパックの下流側に向かってエアを導く通気用の配管が設けられており、
さらに、前記フィルタ枠には、前記エアフィルタの捕集効率を測定するための試験用のパーティクルを、前記フィルタパックの前記上流側の前記エア取入面に前記下流側から供給するために、前記フィルタパックの前記エア取入面側で開放されている始端部と、前記フィルタパックの下流に達する終端部と、前記始端部と前記終端部を結ぶ中間部を有するパーティクル供給用の配管が設けられ、
前記パーティクル供給用の配管は、前記パーティクルを拡散させるために前記上流側の気流と対向して噴射するように配置されており、
前記通気用の配管が前記フィルタ枠に製造段階で取り付けられていることにより、取り付けるための施工現場で前記通気用の配管を通すための穴を開けるための後加工作業が不要である
ことを特徴とするエアフィルタ。 An air filter having a filter pack in which a filter space folded in a zigzag shape is spaced to form a pack, and a filter frame for holding the filter pack,
The filter frame is provided with a ventilation pipe that guides air from the air intake surface on the upstream side of the filter pack toward the downstream side of the filter pack,
Furthermore, in order to supply test particles for measuring the collection efficiency of the air filter to the filter frame from the downstream side to the air intake surface on the upstream side of the filter pack , A particle supply pipe having a starting end portion opened on the air intake surface side of the filter pack, a terminal end portion reaching downstream of the filter pack, and an intermediate portion connecting the start end portion and the terminal end portion is provided. ,
The particle supply pipe is disposed so as to be opposed to the upstream air flow in order to diffuse the particles ,
Since the ventilation pipe is attached to the filter frame at the manufacturing stage, a post-processing operation for making a hole for passing the ventilation pipe at a construction site for installation is unnecessary. Air filter.
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