JP2013173104A

JP2013173104A - Air filter

Info

Publication number: JP2013173104A
Application number: JP2012039137A
Authority: JP
Inventors: Yukihiro Konno; 幸浩今野; Futoshi Niiyama; 太新山; Mutsuhiro Matsuyama; 睦宙松山
Original assignee: Nippon Muki Co Ltd
Current assignee: Nippon Muki Co Ltd
Priority date: 2012-02-24
Filing date: 2012-02-24
Publication date: 2013-09-05
Anticipated expiration: 2032-02-24
Also published as: JP6151886B2; WO2013125697A1

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an air filter that eliminates the need for post-processing.SOLUTION: An air filter 10 has a filter pack 11 and a filter frame 12 for holding the filter pack 11. The filter frame 12 is pre-arranged with ventilation piping 20 for introducing air from an air intake surface 11T at an upstream side of the filter pack 11 to a downstream side of the filter pack 11. The ventilation piping 20 has a starting end 21 located in the air intake surface 11T of the upstream side of the filter pack 11, a termination 23 reaching the downstream of the filter pack 11, and an intermediate part 22 for connecting the starting end 21 with the termination 23.

Description

本発明は、バリデーションに用いられるエアフィルタに関する。 The present invention relates to an air filter used for validation.

例えば医薬品製造分野で使用されるクリーンルームには、エアフィルタが使用されている。このような製造分野のクリーンルームでは、バリデーションに対応するために、エアフィルタを使用している状態で、エアフィルタがパーティクルを捕集していることを確認するため、捕集効率、漏れが無きことを測定する必要がある。このバリデーションとは、医薬品製造分野の製造設備及びプロセスに関して、予め定めた仕様書と品質特性に基づいて製品を生産することを保証して、その記録を残すことである。これにより、エアフィルタの製造不良やエアフィルタの取り付け不良等が発生していないことをチェックして、医薬品製造におけるクリーンルーム内の環境基準を保つようにしている。 For example, an air filter is used in a clean room used in the pharmaceutical manufacturing field. In such a clean room in the manufacturing field, in order to cope with validation, in order to confirm that the air filter is collecting particles while using the air filter, there is no collection efficiency and no leakage. Need to be measured. This validation is to ensure that a product is produced on the basis of predetermined specifications and quality characteristics with respect to manufacturing equipment and processes in the pharmaceutical manufacturing field and to keep a record thereof. Thus, it is checked that there is no air filter manufacturing failure, air filter mounting failure, or the like, and the environmental standard in the clean room in pharmaceutical manufacturing is maintained.

この種のエアフィルタは、特許文献１に開示されている。特許文献１に開示されているエアフィルタは、エアを通す方向とは交差する側方向に突出したフィルタ受枠を内部にもつフィルタ装置を有している。 This type of air filter is disclosed in Patent Document 1. The air filter disclosed in Patent Document 1 includes a filter device having a filter receiving frame that protrudes in a side direction that intersects the direction in which air passes.

特開２０００−２８８３２８号公報JP 2000-288328 A

ところが、上述したエアフィルタを取り付ける際に、フィルタ装置内のフィルタ取付枠に穴を形成し、スモーク発生用配管と吸引用配管をこのフィルタ受枠の穴に通すという現場での後加工作業が必要であり、その後加工作業が手間であり、エアフィルタの効率測定のためには作業コストがかかっていた。
そこで、本発明は、上記課題を解消するために、後加工が不要で簡単に取り付けることができるエアフィルタを提供することを目的とする。 However, when attaching the air filter described above, it is necessary to perform post-processing work in the field by forming a hole in the filter mounting frame in the filter device and passing the smoke generation pipe and the suction pipe through the hole of the filter receiving frame. Then, the processing work was troublesome, and it took work cost to measure the efficiency of the air filter.
Accordingly, an object of the present invention is to provide an air filter that does not require post-processing and can be easily attached in order to solve the above problems.

本発明のエアフィルタは、ジグザグ状に折り畳んだろ材の折畳空間を間隔保持してパック（一固まり）にしたフィルタパックと、前記フィルタパックを保持するフィルタ枠を有するエアフィルタであって、前記フィルタ枠には、前記フィルタパックの上流側のエア取入面から前記フィルタパックの下流側に向かってエアを導く通気用の配管が設けられていることを特徴とする。
上記構成によれば、通気用の配管がフィルタ枠に設けられているので、エアフィルタを組み込んだフィルタ装置を取り付ける施工現場において配管を別途取り付ける後加工作業が不要となる。 The air filter of the present invention is an air filter having a filter pack (packed) by holding a space for folding a filter medium folded in a zigzag shape, and a filter frame for holding the filter pack, The filter frame is provided with a ventilation pipe that guides air from an upstream air intake surface of the filter pack toward a downstream side of the filter pack.
According to the above configuration, since the ventilation pipe is provided in the filter frame, a post-processing work for separately attaching the pipe at the construction site where the filter device incorporating the air filter is attached becomes unnecessary.

好ましくは、前記通気用の配管は、前記フィルタパックの前記上流側のエア取入面に位置された始端部と、前記フィルタパックの下流に達する終端部と、前記始端部と前記終端部を結ぶ中間部を有することを特徴とする。
上記構成によれば、通気用の配管の始端部は、フィルタパックの上流側のエア取入面側のエアを取り込んで、中間部と終端部を通じて、フィルタパックの上流側のエア取入面側のエアを、フィルタパックの下流側に確実に送り込むことができる。 Preferably, the ventilation pipe connects a start end located on the upstream air intake surface of the filter pack, a terminal end reaching the downstream of the filter pack, and the start end and the terminal end. It has an intermediate part.
According to the above configuration, the start end portion of the ventilation pipe takes in the air on the upstream side air intake surface of the filter pack, and passes the intermediate portion and the end portion to the upstream side of the air intake surface of the filter pack. This air can be reliably sent to the downstream side of the filter pack.

好ましくは、前記通気用の配管の前記中間部を、前記フィルタ枠の側面部に沿って固定する留め具を有することを特徴とする。
上記構成によれば、中間部をフィルタ枠の側面部に対して留め具を用いて取り付けるだけで、通気用の配管は、フィルタ枠の側面部に対して簡単に固定することができ、通気用の配管を備えたエアフィルタの製造が簡単である。 Preferably, it has a fastener for fixing the intermediate portion of the ventilation pipe along the side surface portion of the filter frame.
According to the above configuration, the ventilation pipe can be easily fixed to the side surface portion of the filter frame simply by attaching the intermediate portion to the side surface portion of the filter frame using the fastener. It is easy to manufacture an air filter equipped with this pipe.

好ましくは、前記フィルタ枠の側面部には、貫通穴が形成されており、前記通気用の配管は、前記中間部を前記貫通穴に通すことで前記側面部に固定されていることを特徴とする。
上記構成によれば、中間部をフィルタ枠の側面部の貫通穴に通すだけで、通気用の配管は、フィルタ枠の側面部に対して簡単に固定することができ、通気用の配管を備えたエアフィルタの製造が簡単である。 Preferably, a through hole is formed in a side surface portion of the filter frame, and the ventilation pipe is fixed to the side surface portion by passing the intermediate portion through the through hole. To do.
According to the above configuration, the ventilation pipe can be easily fixed to the side surface portion of the filter frame simply by passing the intermediate portion through the through hole in the side surface portion of the filter frame. The air filter is easy to manufacture.

好ましくは、前記通気用の配管の前記終端部は、前記フィルタ枠の側面部の下端よりさらに突出していることを特徴とする。
上記構成によれば、通気用の配管の終端部がフィルタ枠の側面部の下端よりさらに突出しているので、エアフィルタを組み込んだフィルタ装置及びフィルタを例えばクリーンルームに取り付けた場合に、通気用の配管の終端部をクリーンルームの作業室内に到達させることができるので、例えばパーティクルを用いてエアフィルタのパーティクル捕集効率を測定する際に、フィルタパックの上流側のパーティクルを含むエアは、通気用の配管を通じて作業室内の測定器側に対して確実に導くことができる。
好ましくは、前記フィルタ枠には、前記エアフィルタの捕集効率を測定するための試験用のパーティクルを、前記フィルタパックの前記上流側の前記エア取入面に供給するためのパーティクル供給用の配管が設けられていることを特徴とする。
上記構成によれば、試験用のパーティクルは、パーティクル供給用の配管を通じてエアフィルタの上流側のエア取入面に確実に供給でき、パーティクル供給用の配管が予めフィルタ枠に設けられているので、エアフィルタを組み込んだフィルタ装置を取り付ける施工現場においてパーティクル供給用の配管を別途取り付ける後加工作業が不要となる。 Preferably, the terminal portion of the ventilation pipe projects further from the lower end of the side surface portion of the filter frame.
According to the above configuration, since the end portion of the ventilation pipe protrudes further from the lower end of the side surface portion of the filter frame, when the filter device incorporating the air filter and the filter are attached to a clean room, for example, the ventilation pipe For example, when measuring the particle collection efficiency of the air filter using particles, the air containing the particles on the upstream side of the filter pack is used as a ventilation pipe. It can be reliably guided to the measuring instrument side in the working chamber.
Preferably, in the filter frame, a particle supply pipe for supplying test particles for measuring the collection efficiency of the air filter to the upstream air intake surface of the filter pack. Is provided.
According to the above configuration, the test particles can be reliably supplied to the air intake surface on the upstream side of the air filter through the particle supply pipe, and the particle supply pipe is provided in the filter frame in advance. No post-processing work is required to separately attach a pipe for supplying particles at a construction site where a filter device incorporating an air filter is attached.

本発明によれば、後加工が不要で簡単に効率測定することができるエアフィルタを提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide an air filter that does not require post-processing and can easily measure efficiency.

本発明のエアフィルタの好ましい実施形態を備えるクリーンルームの例を示す図である。It is a figure which shows the example of a clean room provided with preferable embodiment of the air filter of this invention. 図２（Ａ）は、エアフィルタを斜め上方向から見た斜視図であり、図２（Ｂ）は、エアフィルタを斜め下方向から見た斜視図である。FIG. 2A is a perspective view of the air filter viewed from an obliquely upward direction, and FIG. 2B is a perspective view of the air filter viewed from an obliquely downward direction. 図３（Ａ）は、エアフィルタの側面図であり、図３（Ｂ）は、エアフィルタ１０の平面図であり、図３（Ｃ）は、エアフィルタの別の側面図である。3A is a side view of the air filter, FIG. 3B is a plan view of the air filter 10, and FIG. 3C is another side view of the air filter. 本発明の別の実施形態を示し、図４（Ａ）は、別の実施形態のエアフィルタの側面図であり、図４（Ｂ）は、別の実施形態のエアフィルタの平面図であり、図４（Ｃ）は、別の実施形態のエアフィルタの別の側面図である。4A is a side view of an air filter according to another embodiment, and FIG. 4B is a plan view of the air filter according to another embodiment. FIG. 4C is another side view of the air filter of another embodiment. 本発明とは異なる比較例を示す図である。It is a figure which shows the comparative example different from this invention. 本発明のさらに別の実施形態を示す図である。It is a figure which shows another embodiment of this invention.

以下に、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
図１は、本発明のエアフィルタの第１の実施形態を備えるクリーンルームの例を示している。図１に示すクリーンルーム１は、本体部２と、外気取入機３と、送風ファン４と、エアフィルタ１０からなるファンフィルタユニット１Ｃを有している。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
The embodiments described below are preferred specific examples of the present invention, and thus various technically preferable limitations are given. However, the scope of the present invention is particularly limited in the following description. Unless otherwise stated, the present invention is not limited to these embodiments.
FIG. 1 shows an example of a clean room provided with the first embodiment of the air filter of the present invention. A clean room 1 shown in FIG. 1 has a fan filter unit 1 C including a main body 2, an outside air intake unit 3, a blower fan 4, and an air filter 10.

本体部２は、作業室５と、ファンフィルタユニット１Ｃと、リターンエアＲＡ通路６と、上流側気流通路７を有している。送風ファン４とエアフィルタ１０は、クリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃ内に配置されている。送風ファン４は上流側気流通路７の下流側に配置され、エアフィルタ１０は送風ファン４の下流側において着脱可能に取り付けられている。
図１に示すリターンエア通路６は、作業室５の横側部分において上下方向に配置されており、上流側気流通路７は、作業室５の上側部分において水平方向に配置されている。リターンエア通路６の上流側は、作業室５の下部側の循環口９に接続されている。リターンエア通路６の下流側と上流側気流通路７の上流側は、給気口８の付近で接続されている。上流側気流通路７の下流側は、ファンフィルタユニット１Ｃの送風ファン４に接続されている。作業室５の下部は、排出エアＥＡを排出するための排出口９Ｂを有する。 The main body 2 has a working chamber 5, a fan filter unit 1C, a return air RA passage 6, and an upstream air flow passage 7. The blower fan 4 and the air filter 10 are disposed in the fan filter unit 1 C of the clean room 1. The blower fan 4 is disposed on the downstream side of the upstream airflow passage 7, and the air filter 10 is detachably attached on the downstream side of the blower fan 4.
The return air passage 6 shown in FIG. 1 is arranged in the vertical direction in the lateral portion of the work chamber 5, and the upstream airflow passage 7 is arranged in the horizontal direction in the upper portion of the work chamber 5. The upstream side of the return air passage 6 is connected to a circulation port 9 on the lower side of the work chamber 5. The downstream side of the return air passage 6 and the upstream side of the upstream airflow passage 7 are connected in the vicinity of the air supply port 8. The downstream side of the upstream airflow passage 7 is connected to the blower fan 4 of the fan filter unit 1C. The lower part of the working chamber 5 has a discharge port 9B for discharging the discharge air EA.

図１に示すエアフィルタ１０は、作業室５の上部のファンフィルタユニット１Ｃにおいて交換可能に設けられている。図示しない制御部が外気取入機３とファンフィルタユニット１Ｃの送風ファン４を駆動することで、外気取入機３は、外気を処理した後にサプライエアＳＡとして給気口８に供給する。これにより、サプライエアＳＡは、リターンエアＲＡと混合されて上流側気流となりファンフィルタユニット１Ｃのエアフィルタ１０によりろ過した後に、作業室５内に下流側気流として供給することができるようになっている。
パーティクル発生器１００は、例えば、給気口８ＤからサプライエアＳＡとリターンエアＲＡと混合された上流側気流に対して、ファンフィルタユニット１Ｃのエアフィルタ１０の捕集効率を測定するための試験用の所定濃度のパーティクルを供給する。これにより、上流側気流通路７を通る上流側気流には、所定濃度のパーティクルを混ぜるようになっている。このパーティクルとしては、例えば直径が０．３μｍの粒子あるいは０．１５μｍの粒子を用いている。
具体的には、発生粒子の種類としては、ＰＳＬ(ポリスチレン)粒子、ＤＯＰ(粒子、ＤＯＳ粒子などである。
発生方法としては、加圧噴霧法、蒸気凝縮法などが挙げられる。 The air filter 10 shown in FIG. 1 is replaceably provided in the fan filter unit 1 C at the top of the work chamber 5. A control unit (not shown) drives the outside air intake unit 3 and the blower fan 4 of the fan filter unit 1C, so that the outside air intake unit 3 processes the outside air and then supplies it to the air supply port 8 as the supply air SA. As a result, the supply air SA is mixed with the return air RA to become an upstream airflow, filtered by the air filter 10 of the fan filter unit 1C, and then supplied to the working chamber 5 as a downstream airflow. Yes.
The particle generator 100 is, for example, for testing for measuring the collection efficiency of the air filter 10 of the fan filter unit 1C with respect to the upstream airflow mixed with the supply air SA and the return air RA from the air supply port 8D. To supply particles of a predetermined concentration. Thereby, particles of a predetermined concentration are mixed in the upstream airflow passing through the upstream airflow passage 7. As the particles, for example, particles having a diameter of 0.3 μm or particles having a diameter of 0.15 μm are used.
Specifically, the generated particles include PSL (polystyrene) particles, DOS (particles, DOS particles, and the like).
Examples of the generation method include a pressure spray method and a vapor condensation method.

図１の例では、作業室５内に、上流側のパーティクル測定器１１０と、下流側のパーティクル測定器１２０が、エアフィルタ１０のパーティクルの捕集効率を測定するために配置されている。
上流側のパーティクル測定器１１０は、エアフィルタ１０の上流側における所定濃度のパーティクルを含む上流側気流中のパーティクルの個数をカウントする装置である。下流側のパーティクル測定器１２０は、エアフィルタ１０の下流側の作業室５内において、下流側気流中のパーティクルの個数をカウントする装置である。すなわち、上流側のパーティクル測定器１１０は、作業室５内に入る前の上流側気流中のパーティクルの個数を測定する。下流側のパーティクル測定器１２０は、エアフィルタ１０を通過して作業室５内に入った下流側気流中のパーティクルの個数を測定する。 In the example of FIG. 1, an upstream particle measuring device 110 and a downstream particle measuring device 120 are arranged in the work chamber 5 in order to measure the particle collection efficiency of the air filter 10.
The upstream particle measuring device 110 is a device that counts the number of particles in the upstream airflow including particles having a predetermined concentration on the upstream side of the air filter 10. The downstream particle measuring device 120 is a device that counts the number of particles in the downstream airflow in the work chamber 5 on the downstream side of the air filter 10. That is, the upstream particle measuring device 110 measures the number of particles in the upstream airflow before entering the work chamber 5. The downstream particle measuring device 120 measures the number of particles in the downstream airflow that has passed through the air filter 10 and entered the working chamber 5.

次に、図２と図３を参照して、図１に示すエアフィルタ１０の構造例を説明する。
図２は、図１に示すエアフィルタの構造例を示しており、図２（Ａ）は、エアフィルタを斜め上方向から見た斜視図であり、図２（Ｂ）は、エアフィルタを斜め下方向から見た斜視図である。図３（Ａ）は、エアフィルタ１０の側面図であり、図３（Ｂ）は、エアフィルタ１０の平面図であり、図３（Ｃ）は、エアフィルタ１０の別の側面図である。
図２と図３に示すエアフィルタ１０は、フィルタパック１１と、フィルタ枠１２と、通気用の配管２０を有している。このフィルタ枠１２は、例えばアルミニウム製であり、４つの側面部１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄを有している例えば正方形状の枠体である。フィルタ枠１２の側面部１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ，１２Ｄは、フィルタパック１１の４つの側面を、それぞれ図示しないが側面部１２Ａ，１２Ｂはフィルタパック１１との間をウレタン樹脂シール剤で気密にシールしている。また、側面部１２Ｃ，１２Ｄは、フィルタパック１１のろ材端部を接着剤で気密にシールしている。
図２に示すように、側面部１２Ａと側面部１２Ｃは、それぞれ２つの突出面部１３，１４と、これらの間に形成された凹んだ中間面部１５を有している。突出面部１３，１４と、凹んだ中間面部１５は長方形状の部分である。 Next, a structural example of the air filter 10 shown in FIG. 1 will be described with reference to FIGS.
2 shows an example of the structure of the air filter shown in FIG. 1. FIG. 2 (A) is a perspective view of the air filter as viewed obliquely from above, and FIG. 2 (B) is an oblique view of the air filter. It is the perspective view seen from the downward direction. 3A is a side view of the air filter 10, FIG. 3B is a plan view of the air filter 10, and FIG. 3C is another side view of the air filter 10.
The air filter 10 shown in FIGS. 2 and 3 has a filter pack 11, a filter frame 12, and a piping 20 for ventilation. The filter frame 12 is made of, for example, aluminum, and is, for example, a square frame having four side portions 12A, 12B, 12C, and 12D. The side surface portions 12A, 12B, 12C, and 12D of the filter frame 12 seal the four side surfaces of the filter pack 11 and the side surface portions 12A and 12B are hermetically sealed with a urethane resin sealant although not shown. ing. Further, the side surfaces 12C and 12D hermetically seal the filter medium end of the filter pack 11 with an adhesive.
As shown in FIG. 2, the side surface portion 12 A and the side surface portion 12 C have two projecting surface portions 13 and 14, and a concave intermediate surface portion 15 formed therebetween. The protruding surface portions 13 and 14 and the recessed intermediate surface portion 15 are rectangular portions.

図２と図３に示すフィルタパック１１は、例えばＨＥＰＡフィルタと呼ばれる高性能フィルタであり、例えばエンボスタイプのフィルタ、ノンセパレータタイプのフィルタ、あるいはセパレータタイプのフィルタを採用することができる。
エンボスタイプのフィルタは、セパレータを用いるのに代えてシート状のろ材に対してエンボスを形成することで、折り曲げたろ材の間を開けている。ノンセパレータタイプのフィルタは、ろ材を折り曲げた状態でリボン状のホットメルト接着材を用いて固定している。セパレータタイプのフィルタは、折り曲げたろ材の間に波形セパレータを配置している。ろ材としては、例えば合成繊維材や、ガラス繊維材、あるいはＰＴＦＥ(ポリテトラフルオロエチレン)等のフィルムを不織布で挟んだものを使用することができる。セパレータとしては、アルミ箔や紙などを使用することができる。図２と図３に示すフィルタパック１１としては、一例としてセパレータタイプのフィルタを採用している。 The filter pack 11 shown in FIGS. 2 and 3 is a high-performance filter called, for example, a HEPA filter. For example, an emboss type filter, a non-separator type filter, or a separator type filter can be adopted.
The embossed type filter opens the space between the folded filter media by forming an emboss on the sheet-like filter media instead of using a separator. The non-separator type filter is fixed using a ribbon-like hot melt adhesive in a state where the filter medium is folded. In the separator type filter, a corrugated separator is disposed between the folded filter media. As the filter medium, for example, a synthetic fiber material, a glass fiber material, or a film of PTFE (polytetrafluoroethylene) or the like sandwiched between nonwoven fabrics can be used. As the separator, aluminum foil or paper can be used. As a filter pack 11 shown in FIGS. 2 and 3, a separator type filter is employed as an example.

図２と図３に示すように、通気用の配管２０は、フィルタ枠１２の側面部１２Ａ側に設けられている。すなわち、通気用の配管２０とフィルタ枠１２は一体化されている。この通気用の配管２０は、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔ側からフィルタパック１１の下流側の作業室５内へ、所定濃度のパーティクルを含む上流側気流を導くためのエアの別経路である。通気用の配管２０は、ほぼＬ字型に形成されており、例えばアルミニウム製もしくはステンレス製の断面円形のチューブもしくはパイプである。
図２（Ａ）と図３（Ａ）に示すように、通気用の配管２０の始端部２１は、上流側のエア取入面１１Ｔに対して平行に設けられ、通気用の配管２０の始端部２１の途中部分は、フィルタ枠１２の側面部１２Ａの突出面部１３に形成された貫通穴１３Ｈを通っている。 As shown in FIGS. 2 and 3, the ventilation pipe 20 is provided on the side surface 12 A side of the filter frame 12. That is, the ventilation pipe 20 and the filter frame 12 are integrated. This ventilation pipe 20 is used to introduce an air flow for introducing an upstream air stream containing particles of a predetermined concentration from the air intake surface 11T on the upstream side of the filter pack 11 into the working chamber 5 on the downstream side of the filter pack 11. This is another route. The ventilation pipe 20 is substantially L-shaped, and is, for example, a tube or pipe having a circular cross section made of aluminum or stainless steel.
As shown in FIGS. 2 (A) and 3 (A), the start end 21 of the ventilation pipe 20 is provided in parallel to the upstream air intake surface 11T, and the start end of the ventilation pipe 20 is provided. A middle portion of the portion 21 passes through a through hole 13H formed in the protruding surface portion 13 of the side surface portion 12A of the filter frame 12.

図２に示すように、通気用の配管２０の中間部２２は、通気用の配管２０の始端部２１に対して直角に曲げられており、側面部１２Ａの突出面部１３，１４に沿って下方向に伸びている。この中間部２２は、突出面部１３，１４に対して、それぞれ金属製の留め具２４により固定されている。
この留め具２４の形状例は、図２（Ａ）に拡大して示している。図２（Ａ）に示すゴム製の介在具２５は中間部２２を通している。留め具２４はこの介在具２５を保持しており、留め具２４はねじ２６を用いて、側面部１２Ａの突出面部１３，１４にそれぞれ固定されている。これにより、通気用の配管２０の中間部２２は、留め具２４を用いて側面部１２Ａの突出面部１３，１４に沿って下方向に伸びるようにして固定されている。介在具２５があることで、金属の中間部２２と金属の留め具２４が互いに直接当たるのを防ぐことで、振動や騒音の発生を防止している。 As shown in FIG. 2, the intermediate portion 22 of the ventilation pipe 20 is bent at a right angle with respect to the start end portion 21 of the ventilation pipe 20, and is lowered along the protruding surface portions 13 and 14 of the side surface portion 12A. It extends in the direction. The intermediate portion 22 is fixed to the protruding surface portions 13 and 14 by metal fasteners 24, respectively.
An example of the shape of the fastener 24 is shown in an enlarged manner in FIG. The rubber interposer 25 shown in FIG. The fastener 24 holds the interposition tool 25, and the fastener 24 is fixed to the protruding surface portions 13 and 14 of the side surface portion 12 A using screws 26. Thereby, the intermediate part 22 of the ventilation pipe 20 is fixed so as to extend downward along the projecting surface parts 13 and 14 of the side surface part 12 A using the fastener 24. The presence of the interposition tool 25 prevents the metal intermediate portion 22 and the metal fastener 24 from directly contacting each other, thereby preventing vibration and noise.

通気用の配管２０の終端部２３は、図３（Ａ）と図３（Ｃ）に示すように、側面部１２Ａの突出面部１４からさらに所定の突出長さＬＰだけ下方向に突出している。
これにより、上流側のエア取入面１１Ｔに取り入れられようとする所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、通気用の配管２０の始端部２１から取り込まれて、中間部２２を通り、そして終端部２３からフィルタパック１１の下流側のエア排出面１１Ｓの付近であって、しかも図１に示す作業室５内において、確実に供給することができる。これにより、上流側のエア取入面１１Ｔに取り入れられようとする所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、エアフィルタ１０のフィルタパック１１を通さずに、フィルタパック１１の下流側のエア排出面１１Ｓの付近であって、しかも図１に示す作業室５内に直接供給することができる。
ここで、パーティクルの捕集測定精度を考慮すると、通気用の配管２０始端部２１の開口径もしくは開口面積と、終端部２３の各開口径もしくは開口面積は同径もしくは同面積とすることが好ましい。 As shown in FIGS. 3 (A) and 3 (C), the end portion 23 of the ventilation pipe 20 further protrudes downward from the protruding surface portion 14 of the side surface portion 12A by a predetermined protruding length LP.
As a result, the upstream airflow containing particles having a predetermined concentration to be taken into the upstream air intake surface 11T is taken in from the start end 21 of the ventilation pipe 20, passes through the intermediate portion 22, and ends. In the vicinity of the air discharge surface 11S on the downstream side of the filter pack 11 from the portion 23, and can be reliably supplied in the working chamber 5 shown in FIG. As a result, the upstream airflow containing particles having a predetermined concentration to be taken into the upstream air intake surface 11T does not pass through the filter pack 11 of the air filter 10, and the downstream air discharge surface of the filter pack 11. It can be supplied directly into the work chamber 5 shown in FIG.
Here, in consideration of the particle collection accuracy, it is preferable that the opening diameter or opening area of the start end portion 21 of the ventilation pipe 20 and the opening diameter or opening area of the end portion 23 have the same diameter or the same area. .

次に、上述した本発明の実施形態のエアフィルタ１０について行うパーティクルの捕集効率の測定例について、図１を参照して説明する。
図１に示すように、エアフィルタ１０は、送風ファン４の下部であって、作業室５の天井のファンフィルタユニット１Ｃ内に取付けられている。この際、１人の測定作業者Ｍは、作業室５内において、エアフィルタ１０の通気用の配管２０の終端部２３を、上流側のパーティクル測定器１１０の導入管１１１に対して着脱可能に接続する。下流側のパーティクル測定器１２０の導入管１２１は、作業室５内の下流側気流を直接サンプリングするためにエアフィルタ１０に向けて上向きに設けられている。 Next, a measurement example of the particle collection efficiency performed on the air filter 10 according to the embodiment of the present invention described above will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 1, the air filter 10 is attached to the lower part of the blower fan 4 and in the fan filter unit 1 C on the ceiling of the work chamber 5. At this time, one measurement operator M can attach and detach the end portion 23 of the ventilation pipe 20 of the air filter 10 to the introduction pipe 111 of the upstream particle measuring instrument 110 in the work chamber 5. Connecting. The introduction pipe 121 of the downstream particle measuring device 120 is provided upward toward the air filter 10 in order to directly sample the downstream airflow in the working chamber 5.

図示しない制御部が、図１の外気取入機３とファンフィルタユニット１Ｃの送風ファン４を駆動し、しかも送風ファン４が駆動することで、外気取入機３は、外気をフィルタ処理した後にサプライエアＳＡとして給気口８に供給する。図示しない制御部が、パーティクル発生器１００を駆動すると、パーティクル発生器１００は、給気口８の付近の供給口８Ｄを通じて試験用の所定濃度のパーティクルを、上流側気流通路７内の上流側気流に供給して、所定濃度のパーティクルを上流側気流に混ぜる。
送風ファン４の送風により、所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、上流側気流通路７から、図２に示すエアフィルタ１０のフィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔを通り、フィルタパック１１の下流側のエア排出面１１Ｓから、下流側気流として作業室５内へ吹き出される。吹き出された下流側気流は、作業室５の下部側の排気口９からリターンエア通路６を経て上流側気流通路７に戻される。下流側気流の一部は、排出口９Ｂから排出エアＥＡとして作業室５の外に排出される。 A control unit (not shown) drives the outside air intake unit 3 in FIG. 1 and the blower fan 4 of the fan filter unit 1C, and the outside fan intake unit 3 filters the outside air by driving the blower fan 4. Supply air to the air supply port 8 as supply air SA. When a control unit (not shown) drives the particle generator 100, the particle generator 100 sends a predetermined concentration of particles for testing through the supply port 8 D near the air supply port 8 to the upstream airflow in the upstream airflow passage 7. The particles having a predetermined concentration are mixed with the upstream airflow.
The upstream airflow containing particles of a predetermined concentration by the air blown by the blower fan 4 passes from the upstream airflow passage 7 through the air intake surface 11T on the upstream side of the filter pack 11 of the air filter 10 shown in FIG. 11 is blown out from the air discharge surface 11S on the downstream side into the working chamber 5 as a downstream airflow. The blown downstream airflow is returned from the exhaust port 9 on the lower side of the work chamber 5 to the upstream airflow passage 7 through the return air passage 6. A part of the downstream airflow is discharged out of the work chamber 5 as discharge air EA from the discharge port 9B.

上述したように所定濃度のパーティクルを含む上流側気流がエアフィルタ１０に供給された状態で、上流側のエア取入面１１Ｔに取り入れられようとする所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、図２（Ａ）に示す通気用の配管２０の始端部２１、中間部２２、終端部２３、そして上流側のパーティクル測定器１１０の導入管１１１を通じて、図１に示す上流側のパーティクル測定器１１０においてサンプリングされる。
一方、エアフィルタ１０から図１の作業室５内に吹き出された下流側気流は、下流側のパーティクル測定器１２０の導入管１２１を通じて、下流側のパーティクル測定器１２０においてサンプリングされる。 As described above, the upstream airflow including particles having a predetermined concentration to be taken into the air intake surface 11T on the upstream side in a state where the upstream airflow including particles of the predetermined concentration is supplied to the air filter 10 is illustrated in FIG. In the upstream particle measuring instrument 110 shown in FIG. 1 through the start end 21, the intermediate section 22, the terminal end 23 of the ventilation pipe 20 shown in FIG. 2 (A), and the introduction pipe 111 of the upstream particle measuring instrument 110. Sampled.
On the other hand, the downstream airflow blown out from the air filter 10 into the working chamber 5 of FIG. 1 is sampled in the downstream particle measuring device 120 through the introduction pipe 121 of the downstream particle measuring device 120.

図１に示すように、上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０は、作業室５内において並べて配置できるので、上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０の測定操作は、１人の測定作業者が同時に行うことができる。このように、エアフィルタ１０の捕集効率を測定する測定作業者は１人で済むので、複数人の測定作業者を必要とする場合に比べて、エアフィルタ１０の捕集効率を測定する作業コストの低減が図れる。
なお、捕集効率の式は以下のように示される。
(捕集効率)（％）＝{１−（下流側パーティクル数）/(上流側パーティクル数)}×１００ここで、パーティクル数は整数なので分母の上流側の値が小さいと、測定不可（測定精度が悪い）である。
上流側のパーティクル測定器１１０は、所定濃度のパーティクルを含む上流側気流中のパーティクル数をカウントするとともに、下流側のパーティクル測定器１２０は、エアフィルタ１０から吹き出された作業室５内の下流側気流中のパーティクル数をカウントする。そして、上流側のパーティクル測定器１１０がカウントした上流側気流中のパーティクル数と、下流側のパーティクル測定器１２０がカウントした下流側気流中のパーティクル数と、を比較する。これにより、エアフィルタ１０が捕集できるパーティクルの捕集効率を測定することができる。この捕集効率を測定した結果、エアフィルタ１０のフィルタパック１１によるパーティクルの捕集効率(除去効率)が、例えば９９．９７％以上であれば、エアフィルタ１０の製造不良やエアフィルタ１０の取り付け不良が生じていないと判断することができる。 As shown in FIG. 1, since the upstream particle measuring device 110 and the downstream particle measuring device 120 can be arranged side by side in the work chamber 5, the upstream particle measuring device 110 and the downstream particle measuring device 120 are arranged. The measurement operation can be performed simultaneously by one measurement operator. As described above, since only one measurement operator is required to measure the collection efficiency of the air filter 10, it is possible to measure the collection efficiency of the air filter 10 as compared with the case where a plurality of measurement workers are required. Cost can be reduced.
In addition, the expression of collection efficiency is shown as follows.
(Collecting efficiency) (%) = {1− (the number of particles on the downstream side) / (the number of particles on the upstream side)} × 100 Here, since the number of particles is an integer, measurement is impossible if the value on the upstream side of the denominator is small (measurement) The accuracy is poor).
The upstream particle measuring device 110 counts the number of particles in the upstream airflow containing particles of a predetermined concentration, and the downstream particle measuring device 120 is downstream of the work chamber 5 blown out from the air filter 10. Count the number of particles in the airflow. Then, the number of particles in the upstream airflow counted by the upstream particle measuring device 110 and the number of particles in the downstream airflow counted by the downstream particle measuring device 120 are compared. Thereby, the collection efficiency of the particles which can be collected by the air filter 10 can be measured. As a result of measuring the collection efficiency, if the collection efficiency (removal efficiency) of particles by the filter pack 11 of the air filter 10 is, for example, 99.97% or more, defective manufacture of the air filter 10 or attachment of the air filter 10 It can be determined that no defect has occurred.

上述したエアフィルタ１０の製造段階で、通気用の配管２０がフィルタ枠１２の側面部１２Ａに予め取り付けられており、通気用の配管２０がフィルタ枠１２は製造段階で一体化されている。これにより、クリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃ内に、エアフィルタ１０の捕集効率を測定する際に、従来必要であった配管をこのフィルタ受枠の穴に通すという施工現場での後加工作業が不要となる。したがって、エアフィルタ１０は、クリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃに対して後加工作業を行う必要が無い。
また、上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０を作業室５内に並べて配置すればよいので、１人の測定作業者だけで上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０による測定操作を行うことができる。 In the manufacturing stage of the air filter 10 described above, the ventilation pipe 20 is attached in advance to the side surface portion 12A of the filter frame 12, and the ventilation pipe 20 is integrated in the manufacturing stage. Thereby, when measuring the collection efficiency of the air filter 10 in the fan filter unit 1 C of the clean room 1, the post-processing work at the construction site of passing a pipe that has been conventionally required through the hole of the filter receiving frame is unnecessary. It becomes. Therefore, the air filter 10 does not need to perform post-processing work on the fan filter unit 1C of the clean room 1.
Further, since the upstream particle measuring device 110 and the downstream particle measuring device 120 may be arranged side by side in the work chamber 5, the upstream particle measuring device 110 and the downstream particle measuring device can be arranged by only one measuring operator. Measurement operation by the measuring instrument 120 can be performed.

図４は、本発明のエアフィルタの別の実施形態を示している。図４（Ａ）は、エアフィルタ１０Ａの側面図であり、図４（Ｂ）は、エアフィルタ１０Ａの平面図であり、図４（Ｃ）は、エアフィルタ１０Ａの別の側面図である。このエアフィルタ１０Ａは、図１から図３に示すエアフィルタ１０と同様にして、図１に示すクリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃ内に配置することができる。図４に示すエアフィルタ１０Ａの構造は、図２と図３に示すエアフィルタ１０の構造とほぼ同じであるので、同様の箇所には同じ符号を付して、重複する説明を省略し、以下、相違点を中心に述べる。 FIG. 4 shows another embodiment of the air filter of the present invention. 4A is a side view of the air filter 10A, FIG. 4B is a plan view of the air filter 10A, and FIG. 4C is another side view of the air filter 10A. The air filter 10A can be disposed in the fan filter unit 1C of the clean room 1 shown in FIG. 1 in the same manner as the air filter 10 shown in FIGS. The structure of the air filter 10A shown in FIG. 4 is almost the same as the structure of the air filter 10 shown in FIGS. 2 and 3, and therefore, the same parts are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted. I will focus on the differences.

図４に示す通気用の配管２０Ａは、フィルタ枠１２の側面部１２Ａ側に配置されて、一体化されている。この通気用の配管２０Ａは、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔ側からフィルタパック１１の下流側へ、所定濃度のパーティクルを含む上流側気流を導くための経路である。通気用の配管２０は、ほぼＬ字型に形成されており、例えばアルミニウム製もしくはステンレス製の断面円形のチューブもしくはパイプである。
図４に示すように、通気用の配管２０Ａの始端部２１は、上流側のエア取入面１１Ｔに対して平行に設けられている。 The ventilation pipe 20 A shown in FIG. 4 is arranged and integrated on the side surface 12 A side of the filter frame 12. The ventilation pipe 20 A is a path for guiding an upstream air flow containing particles of a predetermined concentration from the upstream air intake surface 11 T side of the filter pack 11 to the downstream side of the filter pack 11. The ventilation pipe 20 is substantially L-shaped, and is, for example, a tube or pipe having a circular cross section made of aluminum or stainless steel.
As shown in FIG. 4, the start end 21 of the ventilation pipe 20A is provided in parallel to the upstream air intake surface 11T.

通気用の配管２０Ａの中間部２２は、通気用の配管２０Ａの始端部２１に対して直角に曲がっている。この中間部２２は、側面部１２Ａの突出面部１３，１４の各貫通穴１３Ｈ１、１４Ｈを通ることで下方向に伸び、フィルタ枠１２に対して予め一体的に固定されている。
通気用の配管２０Ａの終端部２３は、図４（Ａ）と図４（Ｃ）に示すように、側面部１２Ａの突出面部１４からさらに所定の突出長さＬＰだけ下方向に突出している。
これにより、上流側のエア取入面１１Ｔに取り入れられようとする所定濃度のパーティクルを含む上流側気流は、通気用の配管２０Ａの始端部２１から取り込まれて、中間部２２を通り、そして終端部２３からフィルタパック１１の下流側のエア排出面１１Ｓの付近であって作業室５内に確実に排出できる。 The intermediate portion 22 of the ventilation pipe 20A is bent at a right angle with respect to the start end portion 21 of the ventilation pipe 20A. The intermediate portion 22 extends downward by passing through the through holes 13H1 and 14H of the projecting surface portions 13 and 14 of the side surface portion 12A, and is fixed to the filter frame 12 integrally in advance.
As shown in FIGS. 4A and 4C, the end portion 23 of the ventilation pipe 20A further protrudes downward from the protruding surface portion 14 of the side surface portion 12A by a predetermined protruding length LP.
As a result, the upstream airflow containing particles of a predetermined concentration to be taken into the upstream air intake surface 11T is taken in from the start end 21 of the ventilation pipe 20A, passes through the intermediate portion 22, and is terminated. It can be reliably discharged into the working chamber 5 in the vicinity of the air discharge surface 11S on the downstream side of the filter pack 11 from the portion 23.

上述したエアフィルタ１０Ａの製造段階で、通気用の配管２０Ａがフィルタ枠１２の側面部１２Ａの貫通穴１３Ｈ、１４Ｈに通すことで予め取り付けられており、通気用の配管２０がフィルタ枠１２は製造段階で一体化されている。これにより、クリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃ内で、エアフィルタ１０の捕集効率を測定する際に、従来必要であった配管をこのフィルタ受枠の穴に通すという施工現場での後加工作業が不要である。したがって、エアフィルタ１０は、クリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃに対して後加工作業を行う必要が無い。 At the manufacturing stage of the air filter 10A described above, the ventilation pipe 20A is attached in advance by passing through the through holes 13H and 14H of the side surface portion 12A of the filter frame 12, and the ventilation pipe 20 is manufactured by the filter frame 12. It is integrated in stages. Thereby, when measuring the collection efficiency of the air filter 10 in the fan filter unit 1C of the clean room 1, there is no need for post-processing work at the construction site in which the pipe that has been conventionally required is passed through the hole of the filter receiving frame. It is. Therefore, the air filter 10 does not need to perform post-processing work on the fan filter unit 1C of the clean room 1.

図４に示すエアフィルタ１０Ａは、図２と図３に示すエアフィルタ１０に比べると、通気用の配管２０の留め具２４と介在具２５の使用が不要であるので、エアフィルタを構成するための部品点数を減らすことができる。しかも、通気用の配管２０Ａは、フィルタ枠１２の側面部１２Ａの貫通穴１３Ｈ、１４Ｈに通すことで予め取り付けられているので、通気用の配管２０Ａがフィルタ枠１２の側面部１２Ａの外側には飛び出していない。このため、図４に示すエアフィルタ１０Ａの外寸法は、図２と図３に示すエアフィルタ１０の外寸法Ｂに比べてより小さくすることができ、エアフィルタ１０の小型化が図れる。 Compared with the air filter 10 shown in FIGS. 2 and 3, the air filter 10 A shown in FIG. 4 does not require the use of the fastener 24 and the interposition tool 25 of the ventilation pipe 20. The number of parts can be reduced. Moreover, since the ventilation pipe 20A is attached in advance by passing through the through holes 13H and 14H of the side surface portion 12A of the filter frame 12, the ventilation pipe 20A is provided outside the side surface portion 12A of the filter frame 12. Not jumping out. Therefore, the outer dimension of the air filter 10A shown in FIG. 4 can be made smaller than the outer dimension B of the air filter 10 shown in FIGS. 2 and 3, and the air filter 10 can be downsized.

図５は、本発明の範囲外である比較例を示している。
図５に示す比較例では、通常のエアフィルタ２００のフィルタパック２１１によるパーティクルの捕集効率を測定する様子を示している。
すでに説明したように、図１に示す本発明の実施形態では、上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０は作業室５内に並べて配置すればよいので、１人の測定作業者だけで上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０の測定操作を行うことができ、測定作業時のコストを低減できる。 FIG. 5 shows a comparative example that is outside the scope of the present invention.
In the comparative example shown in FIG. 5, the state of measuring the particle collection efficiency by the filter pack 211 of the normal air filter 200 is shown.
As described above, in the embodiment of the present invention shown in FIG. 1, the upstream particle measuring device 110 and the downstream particle measuring device 120 may be arranged side by side in the work chamber 5, so that one person can perform measurement work. Thus, the measurement operation of the upstream particle measuring device 110 and the downstream particle measuring device 120 can be performed by a person alone, and the cost during the measurement operation can be reduced.

これに対して、図５の比較例では、上流側のパーティクル測定器３１０は、クリーンルーム３０１のファンフィルタユニット３０１Ｃ付近に配置され、下流側のパーティクル測定器３２０は、作業室３０５内に配置されている。上流側のパーティクル測定器３１０は、作業室３０５の上方に位置されている。このため、上流側のパーティクル測定器３１０と下流側のパーティクル測定器３２０とは離れていることから、１人の測定作業者だけでは上流側のパーティクル測定器３１０と下流側のパーティクル測定器３２０を同時に測定操作することができない。このことから、上流側のパーティクル測定器３１０には１人の測定作業者Ｍ１が必要であり、下流側のパーティクル測定器３２０には別の１人の測定作業者Ｍ２が必要となってしまう。したがって、測定作業時のコストが上昇してしまう。 On the other hand, in the comparative example of FIG. 5, the upstream particle measuring device 310 is disposed in the vicinity of the fan filter unit 301 C of the clean room 301, and the downstream particle measuring device 320 is disposed in the working chamber 305. Yes. The upstream particle measuring device 310 is located above the working chamber 305. For this reason, since the upstream particle measuring device 310 and the downstream particle measuring device 320 are separated from each other, the upstream particle measuring device 310 and the downstream particle measuring device 320 can be separated by only one measurement operator. Measurement operation cannot be performed at the same time. Therefore, the upstream particle measuring device 310 requires one measuring worker M1, and the downstream particle measuring device 320 requires another measuring worker M2. Therefore, the cost at the time of measurement work will increase.

従来のエアフィルタでは、作業者がクリーンルームの上部分に入って、フィルタ装置のフィルタ受枠に穴開けをして配管をこのフィルタ装置のフィルタ受枠の穴に後付け作業で通す。エアフィルタは側方に突出したフィルタ装置のフィルタ受枠を有しているので、エアフィルタをクリーンルームに装着する際には、必要となる占有スペースが大きいまた、クリーンルームの上部の壁部分にも、施工現場において配管を通すための穴を開けるための後加工作業の必要があり、その後加工作業にはコストがかかる。
これに対して、本発明の実施形態では、エアフィルタを製造する際に、予めフィルタ枠に対して通気用の配管を一体化して設けるので、エアフィルタをクリーンルームのファンフィルタユニットにおいて単に取り付けるだけで済むので、現場対応で別途配管を追加して取り付ける後加工作業が不要である。 In the conventional air filter, an operator enters the upper part of the clean room, drills a hole in the filter receiving frame of the filter device, and passes the pipe through the hole of the filter receiving frame of the filter device by a retrofitting operation. Since the air filter has a filter receiving frame of the filter device that protrudes to the side, a large occupied space is required when installing the air filter in the clean room. Also, the air filter is installed on the upper wall of the clean room. It is necessary to perform a post-processing work for making a hole for passing a pipe on site, and the processing work is costly thereafter.
In contrast, in the embodiment of the present invention, when the air filter is manufactured, the ventilation pipe is integrated with the filter frame in advance, so that the air filter is simply attached to the fan filter unit in the clean room. Because it is completed, post-processing work is not necessary after installing additional piping for on-site support.

本発明の実施形態のエアフィルタ１０（エアフィルタ１０Ａ）は、フィルタパック１１と、フィルタパック１１を保持するフィルタ枠１２を有する。そして、フィルタ枠１２には、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔからフィルタパック１１の下流側にエアを導く通気用の配管２０が予め取り付けられている。このため、フィルタ受枠に対する後加工が不要で簡単に取り付けることができる。すなわち、通気用の配管２０がフィルタ枠１２に予め取り付けられているので、エアフィルタ１０（エアフィルタ１０Ａ）を取り付ける施工現場において工事をして配管を別途取り付ける後加工作業が不要となり、エアフィルタは例えばクリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃ内に簡単に取り付けることができる。 The air filter 10 (air filter 10 A) according to the embodiment of the present invention includes a filter pack 11 and a filter frame 12 that holds the filter pack 11. A ventilation pipe 20 that guides air from the air intake surface 11T on the upstream side of the filter pack 11 to the downstream side of the filter pack 11 is attached to the filter frame 12 in advance. For this reason, the post-processing with respect to a filter receiving frame is unnecessary, and it can attach easily. That is, since the ventilation pipe 20 is attached to the filter frame 12 in advance, it is not necessary to perform post-processing work after installing the pipe separately at the construction site where the air filter 10 (air filter 10A) is attached. For example, it can be easily installed in the fan filter unit 1C of the clean room 1.

通気用の配管２０（通気用の配管２０Ａ）は、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔに位置された始端部２１と、フィルタパック１１の下流に達する終端部２３と、始端部２１と終端部２３を結ぶ中間部２２を有する。このため、通気用の配管２０の始端部２１は、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔ側のエアを取り込んで、中間部２２と終端部２３を通じて、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔ側のエアを、フィルタパック１１の下流側に確実に送り込むことができる。 The ventilation pipe 20 (ventilation pipe 20A) includes a start end 21 positioned on the air intake surface 11T on the upstream side of the filter pack 11, a termination end 23 reaching the downstream of the filter pack 11, and a start end 21. And an intermediate portion 22 connecting the end portion 23. Therefore, the start end portion 21 of the ventilation pipe 20 takes in the air on the air intake surface 11T side on the upstream side of the filter pack 11 and passes the air on the upstream side of the filter pack 11 through the intermediate portion 22 and the end portion 23. The air on the intake surface 11T side can be reliably sent to the downstream side of the filter pack 11.

図２と図３に示すように、通気用の配管２０の中間部２２を、フィルタ枠１２の側面部１２Ａに沿って固定する留め具２４を有する。このため、通気用の配管２０は、フィルタ枠１２の側面部１２Ａに対して簡単に固定することができ、通気用の配管２０を備えたエアフィルタ１０の製造が簡単である。
図４に示すように、フィルタ枠１２の側面部１２Ａには、貫通穴１３Ｈ，１４Ｈが形成されており、通気用の配管２０Ａは、中間部２２を貫通穴１３Ｈ１，１４Ｈに通すことで側面部に固定されている。このため、通気用の配管２０Ａは、フィルタ枠１２の側面部１２Ａに対して簡単に固定することができ、通気用の配管２０Ａを備えたエアフィルタ１０Ａの製造が簡単である。 As shown in FIGS. 2 and 3, it has a fastener 24 for fixing the intermediate portion 22 of the ventilation pipe 20 along the side surface portion 12 A of the filter frame 12. Therefore, the ventilation pipe 20 can be easily fixed to the side surface portion 12A of the filter frame 12, and the manufacture of the air filter 10 including the ventilation pipe 20 is simple.
As shown in FIG. 4, through holes 13H and 14H are formed in the side surface portion 12A of the filter frame 12, and the ventilation pipe 20A allows the side portion by passing the intermediate portion 22 through the through holes 13H1 and 14H. It is fixed to. For this reason, the ventilation pipe 20A can be easily fixed to the side surface portion 12A of the filter frame 12, and the manufacture of the air filter 10A provided with the ventilation pipe 20A is simple.

図３と図４に示すように、通気用の配管２０（通気用の配管２０Ａ）の終端部２３は、フィルタ枠１２の側面部１２Ａの下端よりさらに突出している。このため、エアフィルタ１０（エアフィルタ１０Ａ）を、図１に示す例えばクリーンルーム１のファンフィルタユニット１Ｃに取り付けた場合に、通気用の配管２０（通気用の配管２０Ａ）の終端部２３をクリーンルーム１の作業室５内に到達させることができるので、例えばパーティクルを用いてエアフィルタ１０（エアフィルタ１０Ａ）のパーティクル捕集効率を測定する際に、フィルタパック１１の上流側のパーティクルを含むエアは、通気用の配管２０（通気用の配管２０Ａ）を通じて作業室５内の測定器１１０側に対して確実に直接導くことができる。 As shown in FIGS. 3 and 4, the end portion 23 of the ventilation pipe 20 (ventilation pipe 20 A) further protrudes from the lower end of the side surface portion 12 A of the filter frame 12. For this reason, when the air filter 10 (air filter 10A) is attached to the fan filter unit 1C of the clean room 1 shown in FIG. 1, for example, the end portion 23 of the ventilation pipe 20 (venting pipe 20A) is connected to the clean room 1. Therefore, when measuring the particle collection efficiency of the air filter 10 (air filter 10A) using particles, for example, the air containing the particles on the upstream side of the filter pack 11 is It can be reliably guided directly to the measuring instrument 110 side in the working chamber 5 through the ventilation pipe 20 (venting pipe 20A).

次に、本発明のエアフィルタの第２の実施形態を、図６に示すクリーンルーム１Ａを参照して説明する。図６に示すエアフィルタ５１０を備えるクリーンルーム１Ａの箇所が、図１に示すエアフィルタ１０を備えるクリーンルーム１の対応する箇所と同様な場合には、同じ符号を記して、重複する説明を省略する。
第２の実施形態は、次の場合に有効である。
すなわち、エアフィルタのパーティクル捕集性能を測定する際に、上流側パーティクル数が不足していることがある。
このため、十分な上流側パーティクル数を確保するには、粒子を上流側において意図的に発生させる必要がある。しかし、通常、エアフィルタにおいては、パーティクル捕集性能の測定を想定していないため、パーティクル発生器を設けても、ここで発生させる粒子をダクトに供給できる穴が予め設けられているものではない。
そこで第１の実施形態のパーティクル測定器における上流側のパーティクル測定するためのパイプと同様に、エアフィルタの上流側でパーティクル発生器により生成した粒子を供給するパイプをさらに追加して設置できれば、ダクト加工の手間が省け、また、発生も測定と一括でコントロールできるという利点がある。
図６に示すクリーンルーム１Ａに適用されているエアフィルタ５１０の構造は、図１に示すクリーンルーム１Ａに適用されているエアフィルタ１０の構造とは、ほぼ同じ構造ではあるが、パーティクル供給用の配管５２０がフィルタ枠１２の側面部１２Ｃに対して固定されている点で異なる。エアフィルタ５１０は、作業室５の上部のファンフィルタユニット１Ｃにおいて交換可能に設けられている。パーティクル発生器１００は、作業室５内に配置されている。 Next, a second embodiment of the air filter of the present invention will be described with reference to a clean room 1A shown in FIG. When the location of the clean room 1A provided with the air filter 510 shown in FIG. 6 is the same as the corresponding location of the clean room 1 provided with the air filter 10 shown in FIG. 1, the same reference numerals are given and redundant description is omitted.
The second embodiment is effective in the following case.
That is, when measuring the particle collection performance of the air filter, the number of upstream particles may be insufficient.
For this reason, in order to ensure a sufficient number of upstream particles, it is necessary to intentionally generate particles on the upstream side. However, in general, in an air filter, measurement of particle collection performance is not assumed, so even if a particle generator is provided, a hole through which particles generated here can be supplied to the duct is not provided in advance. .
Therefore, if the pipe for supplying particles generated by the particle generator on the upstream side of the air filter can be additionally installed in the same manner as the pipe for measuring particles on the upstream side in the particle measuring instrument of the first embodiment, a duct is provided. There is an advantage that processing time can be saved and generation can be controlled together with measurement.
The structure of the air filter 510 applied to the clean room 1A shown in FIG. 6 is substantially the same as the structure of the air filter 10 applied to the clean room 1A shown in FIG. Is different in that it is fixed to the side surface portion 12C of the filter frame 12. The air filter 510 is replaceably provided in the fan filter unit 1 C at the top of the work chamber 5. The particle generator 100 is disposed in the work chamber 5.

このエアフィルタ５１０は、通気用の配管２０とは別のパーティクル供給用の配管５２０を有している。このパーティクル供給用の配管５２０は、パーティクル発生器１００から試験用の所定濃度のパーティクルを、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔに供給するために設けられている。
パーティクル供給用の配管５２０は、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔに位置された始端部５２１と、フィルタパック１１の下流に達する終端部５２３と、始端部５２１と終端部５２３を結ぶ中間部５２２を有する。パーティクル供給用の配管５２０の始端部５２１は、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔ側で開放されている。終端部５２３は、パーティクル発生器１００の導入管５１１に対して着脱可能に接続されている。 The air filter 510 has a particle supply pipe 520 different from the ventilation pipe 20. The particle supply pipe 520 is provided to supply particles having a predetermined concentration for testing from the particle generator 100 to the air intake surface 11T on the upstream side of the filter pack 11.
The particle supply pipe 520 connects the start end 521 located on the air intake surface 11T on the upstream side of the filter pack 11, the terminal end 523 reaching the downstream of the filter pack 11, and the start end 521 and the terminal end 523. An intermediate portion 522 is included. The start end 521 of the particle supply pipe 520 is open on the air intake surface 11T side on the upstream side of the filter pack 11. The end portion 523 is detachably connected to the introduction pipe 511 of the particle generator 100.

パーティクル発生器１００から供給される試験用の所定濃度のパーティクルは、導入管５１１と終端部５２３と中間部５２２を通じて、フィルタパック１１の上流側のエア取入面１１Ｔに供給して、フィルタパック１１を通じて、フィルタパック１１の下流側のエア排出面１１Ｓから作業室５内に送り込むことができる。
図６に示すように、パーティクル供給用の配管５２０の中間部５２２は、フィルタ枠１２の側面部１２Ｃに沿って固定する留め具２４を有する。このため、パーティクル供給用の配管５２０は、留め具２４を用いてフィルタ枠１２の側面部１２Ｃに対して簡単に固定することができ、パーティクル供給用の配管５２０を備えたエアフィルタ１０の製造が簡単である。 Particles having a predetermined concentration for testing supplied from the particle generator 100 are supplied to the air intake surface 11T on the upstream side of the filter pack 11 through the introduction pipe 511, the terminal end portion 523, and the intermediate portion 522, and the filter pack 11 Through the air discharge surface 11S on the downstream side of the filter pack 11, it can be fed into the working chamber 5.
As shown in FIG. 6, the intermediate portion 522 of the particle supply pipe 520 has a fastener 24 that is fixed along the side surface portion 12 C of the filter frame 12. For this reason, the particle supply pipe 520 can be easily fixed to the side surface portion 12C of the filter frame 12 using the fastener 24, and the air filter 10 including the particle supply pipe 520 can be manufactured. Simple.

以上説明したように、図６に示すエアフィルタ５１０は、通気用の配管２０に加えて、パーティクル供給用の配管５２０を予め備えている。これにより、試験用のパーティクルは、パーティクル供給用の配管５２０を通じてエアフィルタ５１０の上流側のエア取入面１１Ｔに確実に供給できる。パーティクル供給用の配管５２０が予めフィルタ枠に設けられているので、エアフィルタ５１０を組み込んだフィルタ装置を取り付ける施工現場においてパーティクル供給用の配管５２０を別途取り付ける後加工作業が不要となる。
また、パーティクル発生器１００は、作業室５内に配置することができる。これにより、上流側のパーティクル測定器１１０と、下流側のパーティクル測定器１２０と、そしてパーティクル発生器１００は、作業室５内に並べて配置すれば良い。このため、１人の測定作業者だけで、パーティクル発生器１００の操作と、上流側のパーティクル測定器１１０と下流側のパーティクル測定器１２０の測定操作とを行うことができ、測定作業時のコストを低減できる。 As described above, the air filter 510 shown in FIG. 6 includes the particle supply pipe 520 in addition to the ventilation pipe 20 in advance. Accordingly, the test particles can be reliably supplied to the air intake surface 11T on the upstream side of the air filter 510 through the particle supply pipe 520. Since the pipe 520 for supplying particles is provided in the filter frame in advance, a post-processing work for separately attaching the pipe 520 for supplying particles at the construction site where the filter device incorporating the air filter 510 is attached becomes unnecessary.
The particle generator 100 can be disposed in the work chamber 5. Thereby, the upstream particle measuring device 110, the downstream particle measuring device 120, and the particle generator 100 may be arranged side by side in the work chamber 5. For this reason, the operation of the particle generator 100 and the measurement operation of the upstream particle measuring device 110 and the downstream particle measuring device 120 can be performed by only one measuring operator, and the cost for the measuring operation is reduced. Can be reduced.

（変形例）
図６の第２の実施形態において、配管５２０の始端部５２１は、図示の場合、水平に曲げられている。
しかし、始端部５２１をさらに図６において縦方向にして、上流側気流と対向させるように９０度曲げてもよい（図示せず）。これによりパーティクル供給用の配管５２０から供給される粒子は、上流側気流と対向して噴射されることにより、エアフィルタ上流側でより広い範囲に適切に拡散する。これにより、供給されたパーティクルはろ材全体に拡散するので、エアフィルタのパーティクル捕集テストをより正確に行うことができる。 (Modification)
In the second embodiment of FIG. 6, the start end 521 of the pipe 520 is bent horizontally in the case of the illustration.
However, the starting end 521 may be further bent 90 degrees so as to face the upstream airflow in the vertical direction in FIG. 6 (not shown). As a result, the particles supplied from the particle supply pipe 520 are appropriately diffused over a wider range on the upstream side of the air filter by being jetted in opposition to the upstream air stream. Thereby, the supplied particles are diffused throughout the filter medium, so that the particle collection test of the air filter can be performed more accurately.

本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。例えば、通気用の配管としては、断面が円形のチューブもしくはパイプを用いているが、これに限らず通気用の配管の断面形状は、他の断面形状、例えば楕円形、正方形、長方形等であっても良い。
通気用の配管の内寸法は、始端部、中間部、終端部にかけて同じである。しかしこれに限らず、通気用の配管の始端部、中間部、終端部は、異なる内寸法であっても良い。
通気用の配管は、エアフィルタのフィルタ枠に対して接着剤により固定しても良い。フィルタ枠の形状や、フィルタパックの形状は、図示例に限定されず、施工現場に応じて任意の形状を選択することができる。
上記実施形態の各構成は、その一部を省略してもよく、あるいは異なる実施形態の一部の構成同士を組み合わせることもできる。 The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the claims. For example, a tube or pipe having a circular cross section is used as the ventilation pipe. However, the cross sectional shape of the ventilation pipe is not limited to this, and other cross sectional shapes such as an ellipse, a square, a rectangle, etc. May be.
The internal dimensions of the piping for ventilation are the same from the start end, the middle, and the end. However, the present invention is not limited to this, and the start end portion, the intermediate portion, and the end portion of the ventilation pipe may have different internal dimensions.
The ventilation pipe may be fixed to the filter frame of the air filter with an adhesive. The shape of the filter frame and the shape of the filter pack are not limited to the illustrated example, and any shape can be selected according to the construction site.
A part of each configuration of the above embodiment may be omitted, or a part of configurations of different embodiments may be combined.

１・・・クリーンルーム、１Ｃ・・・ファンフィルタユニット、２・・・本体部、３・・・外気取入機、４・・・送風ファン、５・・・作業室、６・・・リターンエア通路、７・・・上流側気流通路、１０，１０Ａ・・・エアフィルタ、１１・・・フィルタパック、１１Ｔ・・・フィルタパックの上流側のエア取入面、１１Ｓ・・・フィルタパックの下流側のエア排出面、１２・・・フィルタ枠、１２Ａ・・・フィルタ枠の側面部、１３Ｈ，１４Ｈ・・・貫通穴、２０，２０Ａ・・・通気用の配管、２１・・・通気用の配管の始端部、２２・・・通気用の配管の中間部、２３・・・通気用の配管の終端部、２４・・・留め具、１１０・・・上流側のパーティクル測定器、１２０・・・下流側のパーティクル測定器、５１０・・・エアフィルタ、５２０・・・パーティクル供給用の配管 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Clean room, 1C ... Fan filter unit, 2 ... Main-body part, 3 ... Outside air intake machine, 4 ... Blower fan, 5 ... Work chamber, 6 ... Return air Passage, 7 ... upstream airflow passage, 10, 10A ... air filter, 11 ... filter pack, 11T ... air intake surface on the upstream side of the filter pack, 11S ... downstream of the filter pack Side air discharge surface, 12 ... filter frame, 12A ... side surface portion of filter frame, 13H, 14H ... through hole, 20, 20A ... pipe for ventilation, 21 ... for ventilation The start end of the pipe, 22 ... the middle part of the pipe for ventilation, 23 ... the end part of the pipe for ventilation, 24 ... the fastener, 110 ... the particle measuring device on the upstream side, 120 ... -Downstream particle measuring instrument, 510 ... Air filter 520 ... piping for the particle supply

Claims

An air filter having a filter pack in which a filter space folded in a zigzag shape is spaced to form a pack, and a filter frame for holding the filter pack,
The air filter, wherein the filter frame is provided with a ventilation pipe that guides air from an air intake surface on the upstream side of the filter pack toward a downstream side of the filter pack.

The piping for ventilation includes a start end located on the upstream air intake surface of the filter pack, a terminal end reaching the downstream of the filter pack, and an intermediate portion connecting the start end and the terminal end. The air filter according to claim 1, wherein the air filter is provided.

The air filter according to claim 2, further comprising: a fastener that fixes the intermediate portion of the ventilation pipe along a side surface portion of the filter frame.

The through hole is formed in the side part of the filter frame, and the ventilation pipe is fixed to the side part by passing the intermediate part through the through hole. 2. The air filter according to 2.

The air filter according to any one of claims 2 to 4, wherein the end portion of the ventilation pipe further protrudes from a lower end of a side surface portion of the filter frame.

The filter frame is provided with a particle supply pipe for supplying test particles for measuring the collection efficiency of the air filter to the air intake surface on the upstream side of the filter pack. The air filter according to any one of claims 1 to 5, wherein the air filter is provided.