JP2926853B2 - マルチヘツドクライオポンプ - Google Patents
マルチヘツドクライオポンプInfo
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- JP2926853B2 JP2926853B2 JP2082454A JP8245490A JP2926853B2 JP 2926853 B2 JP2926853 B2 JP 2926853B2 JP 2082454 A JP2082454 A JP 2082454A JP 8245490 A JP8245490 A JP 8245490A JP 2926853 B2 JP2926853 B2 JP 2926853B2
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
- F25B2309/002—Gas cycle refrigeration machines with parallel working cold producing expansion devices in one circuit
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、１つの圧縮機で複数台のクライオポンプを
駆動するマルチヘツドクライオポンプに関する。
駆動するマルチヘツドクライオポンプに関する。
（従来の技術） 従来のマルチヘツドクライオポンプとして特開昭63−
57881号公報に示されるものがあつた。このものは、１
つの圧縮機で複数台のクライオポンプを駆動する時に、
各クライオポンプが同時に吸排気弁（弁機構）を開い
て、一時的に圧縮比が低下しクライオポンプの性能が低
下するのを防ぎ、効率良く均等に圧縮機よりの作動ガス
を各クライオポンプに供給するために、クライオポンプ
の動作位置をエンコーダにより検出するようにしてい
る。つまり、吸排気弁をカムを介して駆動する電動モー
タの回転位置をエンコーダにより検出するか、もしくは
吸排気弁の開閉状態をセンサーにより検出し、１台のク
ライオポンプが高圧ガス吸入行程の時には他のクライオ
ポンプが高圧ガス吸入行程にならないように、エンコー
ダからの信号に応じて制御装置により電動モータへの供
給電流を制御している。
57881号公報に示されるものがあつた。このものは、１
つの圧縮機で複数台のクライオポンプを駆動する時に、
各クライオポンプが同時に吸排気弁（弁機構）を開い
て、一時的に圧縮比が低下しクライオポンプの性能が低
下するのを防ぎ、効率良く均等に圧縮機よりの作動ガス
を各クライオポンプに供給するために、クライオポンプ
の動作位置をエンコーダにより検出するようにしてい
る。つまり、吸排気弁をカムを介して駆動する電動モー
タの回転位置をエンコーダにより検出するか、もしくは
吸排気弁の開閉状態をセンサーにより検出し、１台のク
ライオポンプが高圧ガス吸入行程の時には他のクライオ
ポンプが高圧ガス吸入行程にならないように、エンコー
ダからの信号に応じて制御装置により電動モータへの供
給電流を制御している。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、上記した従来の装置においては、各ク
ライオポンプの動作位置を検出するために、エンコーダ
もしくはセンサーを各クライオポンプに組み込む必要が
あつて、クライオポンプの大幅な改造が必要となり、そ
のためにコストが増大するばかりでなく、制御装置と各
クライオポンプとをケーブル等により連結する必要があ
り、遠隔操作する場合にはその設置に手間がかかるとい
う問題があつた。
ライオポンプの動作位置を検出するために、エンコーダ
もしくはセンサーを各クライオポンプに組み込む必要が
あつて、クライオポンプの大幅な改造が必要となり、そ
のためにコストが増大するばかりでなく、制御装置と各
クライオポンプとをケーブル等により連結する必要があ
り、遠隔操作する場合にはその設置に手間がかかるとい
う問題があつた。
そこで本発明は、クライオポンプの大幅な改造を要す
ることなく、１つの圧縮機で複数台のクライオポンプを
効率良く駆動させることを、その技術的課題とする。
ることなく、１つの圧縮機で複数台のクライオポンプを
効率良く駆動させることを、その技術的課題とする。
（課題を解決するための手段） 上記した技術的課題を解決するために講じた手段は、
電動モータにより往復動されるピストンに連動する弁機
構を介して吸排される作動ガスを断熱膨張させ、発生し
た極低温をクライオパネルに熱伝導させて、クライオパ
ネルに容器内の分子を吸着し、容器内を真空化するクラ
イオポンプの複数台を、１台の圧縮機に接続してなるマ
ルチヘツドクライオポンプにおいて、各クライオポンプ
を駆動する前記各電動モータの供給電流を夫々検出する
電流検出手段と、該電流検出手段により検出された夫々
の電流値に応じて前記各弁機構の開閉時期を互いに等間
隔に制御する弁開閉時期制御手段とを設けたことであ
る。
電動モータにより往復動されるピストンに連動する弁機
構を介して吸排される作動ガスを断熱膨張させ、発生し
た極低温をクライオパネルに熱伝導させて、クライオパ
ネルに容器内の分子を吸着し、容器内を真空化するクラ
イオポンプの複数台を、１台の圧縮機に接続してなるマ
ルチヘツドクライオポンプにおいて、各クライオポンプ
を駆動する前記各電動モータの供給電流を夫々検出する
電流検出手段と、該電流検出手段により検出された夫々
の電流値に応じて前記各弁機構の開閉時期を互いに等間
隔に制御する弁開閉時期制御手段とを設けたことであ
る。
上記構成のマルチヘツドクライオポンプの弁開閉時期
制御手段は、前記各電動モータと電源との連結を開閉す
る電源開閉手段を前記各電流検出手段により検出された
夫々の電流値の最大値が等間隔になるように開閉制御さ
せるのが望ましい。
制御手段は、前記各電動モータと電源との連結を開閉す
る電源開閉手段を前記各電流検出手段により検出された
夫々の電流値の最大値が等間隔になるように開閉制御さ
せるのが望ましい。
（作用） クライオポンプを駆動する電動モータは周波数に同期
して一定回転で回転するようにされているが、クライオ
ポンプの各行程によりその１回転中に負荷が変化し、同
電動モータに流れる電流もそれに比例して変化する。従
つて、上記した構成によれば、各クライオポンプを駆動
する電動モータへの供給電流を各電流検出手段により検
出することにより、各クライオポンプの動作位置を検出
することができ、供給電流が最大である時にはそのクラ
イオポンプは高圧ガス吸入行程にあることが検出でき
る。そして、各クライオポンプへの供給電流の最大値が
等間隔になるように弁開閉時期制御手段により各電源開
閉手段を開閉制御することによつて、効率良く均等に圧
縮機よりの作動ガスを各クライオポンプに供給すること
が可能となる。
して一定回転で回転するようにされているが、クライオ
ポンプの各行程によりその１回転中に負荷が変化し、同
電動モータに流れる電流もそれに比例して変化する。従
つて、上記した構成によれば、各クライオポンプを駆動
する電動モータへの供給電流を各電流検出手段により検
出することにより、各クライオポンプの動作位置を検出
することができ、供給電流が最大である時にはそのクラ
イオポンプは高圧ガス吸入行程にあることが検出でき
る。そして、各クライオポンプへの供給電流の最大値が
等間隔になるように弁開閉時期制御手段により各電源開
閉手段を開閉制御することによつて、効率良く均等に圧
縮機よりの作動ガスを各クライオポンプに供給すること
が可能となる。
（実施例） 以下、本発明に従つたマルチヘツドクライオポンプの
一実施例を図面に基づき説明する。
一実施例を図面に基づき説明する。
第１図及び第２図は、３つのクライオポンプ10,20及
び30を１つの圧縮機40で作動させた例を示す。第１図に
おいて、クライオポンプ10を代表して示すように、各ク
ライオポンプは、内部の作動ガスを断熱膨張させ冷凍を
得る膨張シリンダ11と、該膨張シリンダ11内を往復摺動
する膨張ピストン12と、該膨張ピストン12を駆動する電
動モータ13（23,33）、膨張シリンダ11と圧縮機40との
間に介装されて作動ガスを熱交換する蓄冷器14と、膨張
ピストン12の往復動に応じて作動し圧縮機40の吐出口を
蓄冷器14に連通する高圧弁15と、膨張ピストン12の往復
動に応じて作動し圧縮機40の吸入口を蓄冷器14に連通す
る低圧弁16とからなつている。尚、高圧弁15及び低圧弁
16は本発明における弁機構を構成している。
び30を１つの圧縮機40で作動させた例を示す。第１図に
おいて、クライオポンプ10を代表して示すように、各ク
ライオポンプは、内部の作動ガスを断熱膨張させ冷凍を
得る膨張シリンダ11と、該膨張シリンダ11内を往復摺動
する膨張ピストン12と、該膨張ピストン12を駆動する電
動モータ13（23,33）、膨張シリンダ11と圧縮機40との
間に介装されて作動ガスを熱交換する蓄冷器14と、膨張
ピストン12の往復動に応じて作動し圧縮機40の吐出口を
蓄冷器14に連通する高圧弁15と、膨張ピストン12の往復
動に応じて作動し圧縮機40の吸入口を蓄冷器14に連通す
る低圧弁16とからなつている。尚、高圧弁15及び低圧弁
16は本発明における弁機構を構成している。
かかる構成のクライオポンプ10（20,30）において
は、電動モータ13（23,33）が回転し、膨張ピストン12
が上死点から下死点に向けて移動し始めると、高圧弁15
が開弁し、圧縮機40からの作動ガスが蓄冷器14にて熱交
換されて、冷却された作動ガスが膨張シリンダ11内に導
入される。その後、所定のタイミングにより高圧弁15は
閉じられ且つ低圧弁16が開かれることにより、作動ガス
は圧縮機40に吸引され、この時膨張シリンダ11内の空間
（膨張空間）の容積が増加し、該膨張空間が断熱膨張し
て極低温が発生する。膨張ピストン12が下降する時に
は、所定のタイミングにより高圧弁15が開き且つ低圧弁
16が閉じられることにより、作動ガスが膨張空間に供給
される。このとき、作動ガスは膨張空間に入る前に蓄冷
器14にてそこに蓄えられている冷気と熱交換する。
は、電動モータ13（23,33）が回転し、膨張ピストン12
が上死点から下死点に向けて移動し始めると、高圧弁15
が開弁し、圧縮機40からの作動ガスが蓄冷器14にて熱交
換されて、冷却された作動ガスが膨張シリンダ11内に導
入される。その後、所定のタイミングにより高圧弁15は
閉じられ且つ低圧弁16が開かれることにより、作動ガス
は圧縮機40に吸引され、この時膨張シリンダ11内の空間
（膨張空間）の容積が増加し、該膨張空間が断熱膨張し
て極低温が発生する。膨張ピストン12が下降する時に
は、所定のタイミングにより高圧弁15が開き且つ低圧弁
16が閉じられることにより、作動ガスが膨張空間に供給
される。このとき、作動ガスは膨張空間に入る前に蓄冷
器14にてそこに蓄えられている冷気と熱交換する。
第２図において、圧縮機40は上述したように３つのク
ライオポンプ10,20,30に作動ガス管41を介して連通され
ている。また、圧縮機40は電源線42を介して各クライオ
ポンプ10,20,30の各電動モータ13,23,33に接続されてお
り、該電源線42には本発明における弁開閉時期制御回路
50が介装されていると共に、各電動モータ13,23,33への
電源線に供給される供給電流を検出する電流センサ43,4
4,45が介装されている。また、クライオポンプ10,20の
電動モータ13,23への電源線には本発明における電源開
閉手段であるリレー46,47が介装されている。
ライオポンプ10,20,30に作動ガス管41を介して連通され
ている。また、圧縮機40は電源線42を介して各クライオ
ポンプ10,20,30の各電動モータ13,23,33に接続されてお
り、該電源線42には本発明における弁開閉時期制御回路
50が介装されていると共に、各電動モータ13,23,33への
電源線に供給される供給電流を検出する電流センサ43,4
4,45が介装されている。また、クライオポンプ10,20の
電動モータ13,23への電源線には本発明における電源開
閉手段であるリレー46,47が介装されている。
第３図及び第４図に弁開閉時期制御回路50の回路構成
の概略を示す。尚、第４図の各ブロツク中に示すグラフ
は各々の出力波形を示す。各クライオポンプ10（20,3
0）の電動モータ13（23,33）の供給電流の脈動波形を検
出する各電流センサ43（44,45）の出力端は、夫々周知
な全波整流回路A1（B1,C1）に接続されている。各全波
整流回路A1（B1,C1）の出力端は夫々周知な波形整形回
路A2（B2,C2）を介してパルス幅調整回路A3（B3,C3）に
接続されている。また、電流センサ45の出力端は波形整
形回路D1に接続されていて、波形整形回路D1の出力端よ
り駆動パルス抽出回路D2を経て電動モータ33の駆動パル
スが抽出される。尚、本実施例においては、各電動モー
タ13,23,33は50パルスで１回転するものであり、また各
パルス幅調整回路A3（B3,C3）は各電動モータ13,23,33
への供給電流の変化を１周期に１つの所定幅（駆動パル
スの所定数分）のパルスを有するパルス波形に変換す
る。
の概略を示す。尚、第４図の各ブロツク中に示すグラフ
は各々の出力波形を示す。各クライオポンプ10（20,3
0）の電動モータ13（23,33）の供給電流の脈動波形を検
出する各電流センサ43（44,45）の出力端は、夫々周知
な全波整流回路A1（B1,C1）に接続されている。各全波
整流回路A1（B1,C1）の出力端は夫々周知な波形整形回
路A2（B2,C2）を介してパルス幅調整回路A3（B3,C3）に
接続されている。また、電流センサ45の出力端は波形整
形回路D1に接続されていて、波形整形回路D1の出力端よ
り駆動パルス抽出回路D2を経て電動モータ33の駆動パル
スが抽出される。尚、本実施例においては、各電動モー
タ13,23,33は50パルスで１回転するものであり、また各
パルス幅調整回路A3（B3,C3）は各電動モータ13,23,33
への供給電流の変化を１周期に１つの所定幅（駆動パル
スの所定数分）のパルスを有するパルス波形に変換す
る。
パルス幅調整回路C3の出力端及び駆動パルス抽出回路
D2の出力端は、夫々シフト回路A4,B4に接続されてい
る。シフト回路A4,B4は、第５図にシフト回路B4を代表
して示すように、シフトレジスタSR1により構成されて
いる。シフトレジスタSR1は本実施例においては、パル
ス幅調整回路C3の出力パルスを基準パルスとして駆動パ
ルスの32パルス分遅らせたパルスを出力するものであ
る。尚、シフト回路A4は同様にパルス幅調整回路B3の出
力パルスを基準パルスとして駆動パルスの16パルス分遅
らせたパルスを出力する。
D2の出力端は、夫々シフト回路A4,B4に接続されてい
る。シフト回路A4,B4は、第５図にシフト回路B4を代表
して示すように、シフトレジスタSR1により構成されて
いる。シフトレジスタSR1は本実施例においては、パル
ス幅調整回路C3の出力パルスを基準パルスとして駆動パ
ルスの32パルス分遅らせたパルスを出力するものであ
る。尚、シフト回路A4は同様にパルス幅調整回路B3の出
力パルスを基準パルスとして駆動パルスの16パルス分遅
らせたパルスを出力する。
シフト回路A4,B4の出力端は、夫々不一致検出回路E1,
E2に接続されている。不一致検出回路E1,E2はパルス幅
調整回路A3,B3の出力パルスと、各シフト回路A4,B4から
の遅延パルスとが一致するように各リレー45,46を開閉
させる。不一致検出回路E1,E2は、第５図に不一致検出
回路E2を代表して示すように、AND回路G1,OR回路G2,イ
ンバータG3,フリツプフロツプF1及びシフトレジスタSR2
とから構成されている。フリツプフロツプF1の入力端子
ＤにはシフトレジスタSR1の反転端子Ｑが接続されてお
り、またリセツト端子Ｒには、OR回路G2の出力端子が接
続されている。また、フリツプフロツプF1の出力端子Ｑ
には、シフトレジスタSR2の入力端子Ｄが接続されてお
り、クロツク端子CLには、AND回路G1の出力端子が接続
されている。
E2に接続されている。不一致検出回路E1,E2はパルス幅
調整回路A3,B3の出力パルスと、各シフト回路A4,B4から
の遅延パルスとが一致するように各リレー45,46を開閉
させる。不一致検出回路E1,E2は、第５図に不一致検出
回路E2を代表して示すように、AND回路G1,OR回路G2,イ
ンバータG3,フリツプフロツプF1及びシフトレジスタSR2
とから構成されている。フリツプフロツプF1の入力端子
ＤにはシフトレジスタSR1の反転端子Ｑが接続されてお
り、またリセツト端子Ｒには、OR回路G2の出力端子が接
続されている。また、フリツプフロツプF1の出力端子Ｑ
には、シフトレジスタSR2の入力端子Ｄが接続されてお
り、クロツク端子CLには、AND回路G1の出力端子が接続
されている。
シフトレジスタSR2は、入力端子Ｄに入力されるパル
スを駆動パルスの３パルス分遅らせてリレー47,OR回路G
2の入力端子及びインバータG3の入力端子に接続される
出力端子Q3に出力する。AND回路G1の入力端子にはイン
バータG3の出力端子が接続されていると共に、パルス幅
調整回路B3の出力端子が接続されている。
スを駆動パルスの３パルス分遅らせてリレー47,OR回路G
2の入力端子及びインバータG3の入力端子に接続される
出力端子Q3に出力する。AND回路G1の入力端子にはイン
バータG3の出力端子が接続されていると共に、パルス幅
調整回路B3の出力端子が接続されている。
これにより、フリツプフロツプF1の入力端子Ｄに入力
されるパルス信号がＨレベルの時に、AND回路G1の出力
信号がＬレベルからＨレベルに移行し、クロツク端子CL
にＨレベルの信号が印加されると、フリツプフロツプF1
の出力端子ＱにＨレベルの信号が出力される。その結
果、シフトレジスタSR2が３パルス遅れて出力端子Q3に
Ｈレベルの信号を出力し、リレー47をOFFさせ、電動モ
ータ23への通電を遮断する。
されるパルス信号がＨレベルの時に、AND回路G1の出力
信号がＬレベルからＨレベルに移行し、クロツク端子CL
にＨレベルの信号が印加されると、フリツプフロツプF1
の出力端子ＱにＨレベルの信号が出力される。その結
果、シフトレジスタSR2が３パルス遅れて出力端子Q3に
Ｈレベルの信号を出力し、リレー47をOFFさせ、電動モ
ータ23への通電を遮断する。
以上の構成からなる本実施例においては、各クライオ
ポンプ10,20,30を駆動する電動モータ13,23,33は周波数
に同期して一定回転で回転するようになつている。この
時、各電動モータ13,23,33は、各クライオポンプ10,20,
30の各行程に応じてその１回転中に負荷が変化し、同電
動モータ13,23,33に流れる電流もそれに比例して変化す
る。従つて、電流センサ43,44,45により供給電流の変化
を検出することにより、各クライオポンプ10,20,30の動
作位置を検出することができ、各供給電流が最大である
時にはそのクライオポンプは高圧ガス吸入行程にあるこ
とが検出できる。それゆえ、各パルス幅調整回路A3（B
3,C3）の出力パルスがＨレベルにある時には、各クライ
オポンプ10,20,30が夫々圧縮行程にある。
ポンプ10,20,30を駆動する電動モータ13,23,33は周波数
に同期して一定回転で回転するようになつている。この
時、各電動モータ13,23,33は、各クライオポンプ10,20,
30の各行程に応じてその１回転中に負荷が変化し、同電
動モータ13,23,33に流れる電流もそれに比例して変化す
る。従つて、電流センサ43,44,45により供給電流の変化
を検出することにより、各クライオポンプ10,20,30の動
作位置を検出することができ、各供給電流が最大である
時にはそのクライオポンプは高圧ガス吸入行程にあるこ
とが検出できる。それゆえ、各パルス幅調整回路A3（B
3,C3）の出力パルスがＨレベルにある時には、各クライ
オポンプ10,20,30が夫々圧縮行程にある。
しかし本実施例においては、クライオポンプ30への供
給電流を所定のパルス信号に変換したパルス幅調整回路
C3の出力パルスを基準パルスとして、シフト回路A4によ
り16パルス分遅らした遅延パルスを作成し、不一致検出
回路E1により該遅延パルスに一致するようにパルス幅調
整回路A3の出力パルスの立ち上がり（ＬレベルＨレベ
ル）を遅らせる。また同様に、パルス幅調整回路C3の出
力パルスを基準パルスとして、シフト回路B4により32パ
ルス分遅らした遅延パルスを作成し、不一致検出回路E2
により該遅延パルスに一致するようにパルス幅調整回路
B3の出力パルスの立ち上がり（ＬレベルＨレベル）を
遅らせる。即ち、次のようにシフト回路B4（B3）及び不
一致回路E2（E1）は作動する。第５図及び第６図におい
て、各クライオポンプが起動されシフトレジスタSR1の
入力端子Ａにパルス幅調整回路C3の出力パルスが入力さ
れると、駆動パルスの32パルス分経時するまでは、反転
端子ＱにはＨレベルの信号が出力され、出力端子Ｑには
Ｌレベルの信号が出力される。この状態で、パルス幅調
整回路B3の出力パルスB3がＬレベルからＨレベルに立ち
上がり、AND回路G1の出力信号がＬレベルからＨレベル
に移行し、フリツプフロツプF1のクロツク端子CLにＨレ
ベルの信号が印加されると、フリツプフロツプF1の出力
端子ＱにＨレベルの信号が出力される。その結果、シフ
トレジスタSR2が３パルス遅れて出力端子Q3にＨレベル
の信号を出力し、リレー47をOFFさせ、電動モータ23へ
の通電を遮断し、パルス幅調整回路B3の出力パルスB3の
立り上がりを遅らせる。
給電流を所定のパルス信号に変換したパルス幅調整回路
C3の出力パルスを基準パルスとして、シフト回路A4によ
り16パルス分遅らした遅延パルスを作成し、不一致検出
回路E1により該遅延パルスに一致するようにパルス幅調
整回路A3の出力パルスの立ち上がり（ＬレベルＨレベ
ル）を遅らせる。また同様に、パルス幅調整回路C3の出
力パルスを基準パルスとして、シフト回路B4により32パ
ルス分遅らした遅延パルスを作成し、不一致検出回路E2
により該遅延パルスに一致するようにパルス幅調整回路
B3の出力パルスの立ち上がり（ＬレベルＨレベル）を
遅らせる。即ち、次のようにシフト回路B4（B3）及び不
一致回路E2（E1）は作動する。第５図及び第６図におい
て、各クライオポンプが起動されシフトレジスタSR1の
入力端子Ａにパルス幅調整回路C3の出力パルスが入力さ
れると、駆動パルスの32パルス分経時するまでは、反転
端子ＱにはＨレベルの信号が出力され、出力端子Ｑには
Ｌレベルの信号が出力される。この状態で、パルス幅調
整回路B3の出力パルスB3がＬレベルからＨレベルに立ち
上がり、AND回路G1の出力信号がＬレベルからＨレベル
に移行し、フリツプフロツプF1のクロツク端子CLにＨレ
ベルの信号が印加されると、フリツプフロツプF1の出力
端子ＱにＨレベルの信号が出力される。その結果、シフ
トレジスタSR2が３パルス遅れて出力端子Q3にＨレベル
の信号を出力し、リレー47をOFFさせ、電動モータ23へ
の通電を遮断し、パルス幅調整回路B3の出力パルスB3の
立り上がりを遅らせる。
シフトレジスタSR2の出力端子Q3にＨレベルの信号が
出力されると、OR回路G2の出力がＨレベルとなつて、Ｈ
レベルの信号がフリツプフロツプF1のリセツト端子Ｒに
入力される。そのため、フリツプフロツプF1がリセツト
されて、出力端子ＱがＬレベルとなり、シフトレジスタ
SR2の出力端子Q3に３パルス遅れてＬレベルの信号が出
力される。それと同時に、インバータG3の出力端子がＬ
レベルとなり、フリツプフロツプF1のクロツク端子CLへ
の入力信号がＬレベルになる。
出力されると、OR回路G2の出力がＨレベルとなつて、Ｈ
レベルの信号がフリツプフロツプF1のリセツト端子Ｒに
入力される。そのため、フリツプフロツプF1がリセツト
されて、出力端子ＱがＬレベルとなり、シフトレジスタ
SR2の出力端子Q3に３パルス遅れてＬレベルの信号が出
力される。それと同時に、インバータG3の出力端子がＬ
レベルとなり、フリツプフロツプF1のクロツク端子CLへ
の入力信号がＬレベルになる。
以上の作動を繰り返し、リレー47がON−OFFを繰り返
すことにより、パルス幅調整回路B3の出力パルスの立ち
上がり（Ｈレベル）と基準パルス（パルス幅調整回路C3
の出力パルス）より32パルス遅れて立ち上がる遅延パル
スの立ち上がり（Ｈレベル）とが一致（フリツプフロツ
プF1のクロツク端子CLにＨレベルの信号が入力されると
同時にシフトレジスタSR1の反転端子ＱにＬレベルの信
号が出力される）される。尚、シフト回路A4及び不一致
回路E1により、同様にパルス幅調整回路A3の出力パルス
の立ち上がり（Ｈレベル）と基準パルス（パルス幅調整
回路C3の出力パルス）より16パルス遅れて立ち上がる遅
延パルスの立ち上がり（Ｈレベル）とが一致される。
すことにより、パルス幅調整回路B3の出力パルスの立ち
上がり（Ｈレベル）と基準パルス（パルス幅調整回路C3
の出力パルス）より32パルス遅れて立ち上がる遅延パル
スの立ち上がり（Ｈレベル）とが一致（フリツプフロツ
プF1のクロツク端子CLにＨレベルの信号が入力されると
同時にシフトレジスタSR1の反転端子ＱにＬレベルの信
号が出力される）される。尚、シフト回路A4及び不一致
回路E1により、同様にパルス幅調整回路A3の出力パルス
の立ち上がり（Ｈレベル）と基準パルス（パルス幅調整
回路C3の出力パルス）より16パルス遅れて立ち上がる遅
延パルスの立ち上がり（Ｈレベル）とが一致される。
従つて、弁開閉時期制御回路50により、パルス幅調整
回路C3の出力パルスのＨレベル間（クライオポンプ30の
電動モータ33への供給電流の最大値間）にパルス幅調整
回路A3,B3の各出力パルスのＨレベルが等間隔に現れる
ようになる。その結果、効率良く均等に圧縮機40よりの
作動ガスを各クライオポンプ10,20,30に供給することが
できる。
回路C3の出力パルスのＨレベル間（クライオポンプ30の
電動モータ33への供給電流の最大値間）にパルス幅調整
回路A3,B3の各出力パルスのＨレベルが等間隔に現れる
ようになる。その結果、効率良く均等に圧縮機40よりの
作動ガスを各クライオポンプ10,20,30に供給することが
できる。
以上説明したように、本発明によれば、クライオポン
プ本体に大幅な改造を要することなく、従来設備に電流
検出手段及び電源開閉手段を付加するだけで、コストを
増大することなく、効率良く均等に圧縮機よりの作動ガ
スを各クライオポンプに供給することができる。
プ本体に大幅な改造を要することなく、従来設備に電流
検出手段及び電源開閉手段を付加するだけで、コストを
増大することなく、効率良く均等に圧縮機よりの作動ガ
スを各クライオポンプに供給することができる。
また、本発明においては従来設備に付加する電流検出
手段及び電源開閉手段がクライオポンプと物理的には接
触してないため、ガス洩れ，機械故障等の心配がない。
手段及び電源開閉手段がクライオポンプと物理的には接
触してないため、ガス洩れ，機械故障等の心配がない。
第１図及び第２図は本発明に従つたマルチヘツドクライ
オポンプの一実施例を示す概略構成図、第３図及び第４
図は本発明における弁開閉時期制御手段の概略ブロツク
図、第５図は本発明における弁開閉時期制御手段の一実
施例の一部を示す回路図、第６図は第５図に示す回路の
論理表である。 10,20,30……クライオポンプ、12……ピストン、13,23,
33……電動モータ、15……高圧弁（弁機構）、16……低
圧弁（弁機構）、40……圧縮機、42……電源線、43,44,
45……電流センサ（電流検出手段）、46,47……リレー
（電源開閉手段）、50……弁開閉時期制御回路（弁開閉
時期制御手段）、A1,B1,C1……全波整流回路（弁開閉時
期制御手段）、A2,B2,C2,D1……波形整形回路（弁開閉
時期制御手段）、D2……駆動パルス抽出回路（弁開閉時
期制御手段）、A3,B3,C3……パルス幅調整回路（弁開閉
時期制御手段）、A4,B4……シフト回路（弁開閉時期制
御手段）、E1,E2……不一致検出回路（弁開閉時期制御
手段）。
オポンプの一実施例を示す概略構成図、第３図及び第４
図は本発明における弁開閉時期制御手段の概略ブロツク
図、第５図は本発明における弁開閉時期制御手段の一実
施例の一部を示す回路図、第６図は第５図に示す回路の
論理表である。 10,20,30……クライオポンプ、12……ピストン、13,23,
33……電動モータ、15……高圧弁（弁機構）、16……低
圧弁（弁機構）、40……圧縮機、42……電源線、43,44,
45……電流センサ（電流検出手段）、46,47……リレー
（電源開閉手段）、50……弁開閉時期制御回路（弁開閉
時期制御手段）、A1,B1,C1……全波整流回路（弁開閉時
期制御手段）、A2,B2,C2,D1……波形整形回路（弁開閉
時期制御手段）、D2……駆動パルス抽出回路（弁開閉時
期制御手段）、A3,B3,C3……パルス幅調整回路（弁開閉
時期制御手段）、A4,B4……シフト回路（弁開閉時期制
御手段）、E1,E2……不一致検出回路（弁開閉時期制御
手段）。
Claims (2)
- 【請求項１】電動モータにより往復動されるピストンに
連動する弁機構を介して吸排される作動ガスを断熱膨張
させ、発生した極低温をクライオパネルに熱伝導させ
て、クライオパネルに容器内の分子を吸着し、容器内を
真空化するクライオポンプの複数台を、１台の圧縮機に
接続してなるマルチヘツドクライオポンプにおいて、前
記各クライオポンプを駆動する前記各電動モータの供給
電流を夫々検出する電流検出手段と、該電流検出手段に
より検出された夫々の電流値に応じて前記各弁機構の開
閉時期を互いに等間隔に制御する弁開閉時期制御手段と
を備えていることを特徴とするマルチヘツドクライオポ
ンプ。 - 【請求項２】前記弁開閉時期制御手段は、前記各電動モ
ータと電源との連結を開閉する電源開閉手段を前記各電
流検出手段により検出された夫々の電流値の最大値が等
間隔になるように開閉制御させることを特徴とする請求
項（１）に記載のマルチヘツドクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2082454A JP2926853B2 (ja) | 1989-03-30 | 1990-03-29 | マルチヘツドクライオポンプ |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8056089 | 1989-03-30 | ||
| JP1-80560 | 1989-03-30 | ||
| JP2082454A JP2926853B2 (ja) | 1989-03-30 | 1990-03-29 | マルチヘツドクライオポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0315677A JPH0315677A (ja) | 1991-01-24 |
| JP2926853B2 true JP2926853B2 (ja) | 1999-07-28 |
Family
ID=26421559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2082454A Expired - Fee Related JP2926853B2 (ja) | 1989-03-30 | 1990-03-29 | マルチヘツドクライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2926853B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160054439A (ko) * | 2013-03-04 | 2016-05-16 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 극저온 냉동장치, 및 극저온 냉동장치의 제어방법 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3754992B2 (ja) | 2001-08-03 | 2006-03-15 | 住友重機械工業株式会社 | マルチシステム冷凍機の運転方法、装置及び冷凍装置 |
| CN1839285A (zh) * | 2003-08-20 | 2006-09-27 | 莱博尔德真空技术有限责任公司 | 真空设备 |
-
1990
- 1990-03-29 JP JP2082454A patent/JP2926853B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20160054439A (ko) * | 2013-03-04 | 2016-05-16 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 극저온 냉동장치, 및 극저온 냉동장치의 제어방법 |
| KR101990519B1 (ko) | 2013-03-04 | 2019-06-18 | 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 | 극저온 냉동장치, 및 극저온 냉동장치의 제어방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0315677A (ja) | 1991-01-24 |
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Legal Events
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