JP2920114B2

JP2920114B2 - 超高圧発生装置

Info

Publication number: JP2920114B2
Application number: JP8299780A
Authority: JP
Inventors: 正史田渡; 徹田中
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 1996-10-24
Filing date: 1996-10-24
Publication date: 1999-07-19
Anticipated expiration: 2016-10-24
Also published as: JPH10118481A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は超高圧発生装置に関す
る。さらに詳しくは、ダイヤモンドや立方晶窒化ほう素
の合成に用いたり、物質の超高圧下における変形特性を
試験するために用いられる超高圧発生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】超高圧発生装置において、物質の超高圧
下における変形特性を試験するための装置としては、こ
れまでに開発された例はない。従来よりの超高圧発生装
置はいずれもダイヤモンド等の合成用であるが、それら
の従来技術としては、特公昭47−50258 号公報や特開昭
54−21967 号公報に記載された超高圧発生装置がある。

【０００３】これらの従来装置は、いずれもピストン体
を作動させる駆動装置に油圧ラムが使われており、ピス
トン体にかかる圧力を制御することは可能であるが、ピ
ストン体の変位を制御することは油圧バルブのステック
や油圧回路からのリークおよび油の圧縮性等の影響によ
り難しい。

【０００４】さらに、ピストン体の駆動に多数のギヤを
組合せたギヤトレーンにより駆動する従来例も知られて
いるが、このタイプは多数のギヤを設置する為に広いス
ペースが必要となりコスト的にも高価なものとなる。

【０００５】そして、油圧ラム駆動タイプおよびギヤ駆
動タイプ共に、駆動部の剛性が小さく精度の良い変形実
験装置において使用するのは難しいという問題がある。

【０００６】さらに、上記のごとき従来の超高圧変形実
験装置において、超高圧空間へピストン体を挿入し、一
軸圧縮力を作用させる封圧が５ギガパスカル（ＧＰａ）
程度が限界とされている。しかし、材料の変形特性を試
験するためには、より高い封圧が実現できることが望ま
しい。また、ピストン体を挿入する際、ピストン体にか
かる圧力だけでなく、ピストン体の挿入変位量を制御で
きることが強く要望されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる事情に
鑑み、試料体に超高圧を発生させ保持した状態でピスト
ン体を超高圧空間へ装入し、一軸圧縮力を試料体へ作用
させて物質を合成したり、物質の超高圧下における変位
特性をテストする装置においてより高い超高圧を発生で
き、しかもピストン体に作用する圧力やピストン体の挿
入変位量を検知して、変形特性データを収集し、かつピ
ストン体の挿入変位量の制御を可能とした超高圧発生装
置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１の超高圧発生装
置は、複数個のアンビルで包囲して物質を収納する超高
圧発生室を形成し、前記アンビルの一つに前記超高圧発
生室に向ってピストン孔を形成し、該ピストン孔に外力
によって超高圧発生室側に移動されるピストン体を挿入
した超高圧発生装置であって、前記ピストン体を前記超
高圧発生室に対して進退させる駆動装置が、制御モータ
と、該制御モータの回転運動を前記ピストン体の直線進
退運動に変換し、かつモータ駆動力をピストン体駆動力
を倍力変換する動力変換機構とから構成されていること
を特徴とする。

【０００９】請求項２の超高圧発生装置は、前記駆動装
置が、ピストン体に加わる荷重を検出する荷重検出器
と、前記荷重検出器の検出信号を取り込み前記制御モー
タに駆動信号を発するコントローラとを備えたことを特
徴とする。請求項３の超高圧発生装置は、前記駆動装置
が、ピストン体の移動量を検出する変位検出器と、該変
位検出器の検出信号を取り込み前記モータに駆動信号を
発するコントローラとを備えたことを特徴とする。請求
項４の超高圧発生装置は、前記駆動装置が、前記変位検
出器に加えピストン体に加わる荷重を検出する荷重検出
器が設けられ、前記変位検出器および荷重検出器の検知
信号を取り込み、前記変位検知信号に前記荷重検知信号
を加えて補正をかけて前記制御モータに駆動信号を発す
るコントローラを備えたことを特徴とする。

【００１０】請求項５の超高圧発生装置は、前記動力変
換機構が、ピストン体挿入方向にガイドされ前記ピスト
ン体を支持した上ウェッジと、前記上ウェッジにクサビ
面同士を摺接させた下ウェッジと、該下ウェッジを進退
させるために前記制御モータの回転を直線運動に変換す
る直線型アクチュエータとからなることを特徴とする。
請求項６の超高圧発生装置は、前記動力変換機構が、ピ
ストン体の基端部に接触し、該ピストン体をその軸方向
に移動させる偏心カムと、前記制御モータの回転力を倍
力して前記偏心カムの回転力に変換する回転型アクチュ
エータとからなることを特徴とする。請求項７の超高圧
発生装置は、前記動力変換機構が、トグルジョイントの
一方のリンクの他端をピストン体挿入方向に移動自在に
ガイドすると共に前記ピストン体を支持し、他方のリン
クの他端を固定し、２本のリンクの連結点に直線型アク
チュエータを連結し、該直線型アクチュエータを前記制
御モータで伸縮させるようにしたことを特徴とする。請
求項８の超高圧発生装置は、前記動力変換機構が、前記
ピストン体を支持し、前記制御モータで該ピストン体の
軸方向に伸縮する倍力機能付の直線型アクチュエータで
あることを特徴とする。

【００１１】上記各発明において、直線型アクチュエー
タとは直線運動するアクチュエータをいい、そのような
機能を有していれば、種々のアクチュエータを利用でき
るが、請求項９の発明は直線型アクチュエータとしてス
クリュージャッキを用いたことを特徴とする。上記各発
明において、回転アクチュエータは、回転運動するアク
チュエータをいい、そのような機能を有していれば、種
々のアクチュエータを利用できるが、請求項１０の発明
は回転型アクチュエータとして、ウォーム減速機を用い
たことを特徴とする。

【００１２】

【発明の実施の形態】つぎに本発明の実施形態を図面に
基づき説明する。図１は本発明の一実施形態に係わる超
高圧発生装置の要部断面正面図、図２は図１の上・下ア
ンビル１、２およびサイドアンビル３の分解斜視図であ
る。

【００１３】図１〜２において、１は上部アンビル、２
は下部アンビルで、これら上下一対のアンビル１、２は
いずれも先細の四角錐台状の先端部を有し、その先端部
の端面が互いに対向するように配置されている。３は前
記アンビル１、２の中間位置に配設されたサイドアンビ
ルで、上記アンビル１、２と同様に、先細の四角錐台状
の先端部を有している。そして、アンビル３は前後左右
に配設され（図２において前方のサイドアンビルは図示
省略）、それらの先端部の端面と前記上下一対のアンビ
ル１、２の先端部の端面とで被圧縮物（試料体Ｘ）を入
れる空間である超高圧発生室４が形成されるようになっ
ている。

【００１４】図１において、プレスフレームは、上段フ
レーム８ａ、中段フレーム８ｂ、下段フレーム８ｃを４
本のコラムで連結したものとなっている。上段フレーム
８ａと中段フレーム８ｂの間において、前記上アンビル
１およびサイドアンビル３の上方を囲むように上ガイド
ブロック５が設けられ、前記下アンビル２およびサイド
アンビル３の下方を囲むように下ガイドブロック６が配
置され、いずれのガイドブロック５、６にも上下のアン
ビル１、２を上下方向に押圧する中央平坦面と４個のサ
イドアンビル３を中心方向に押し寄せる傾斜面を有して
いる。そして、下ガイドブロック６の下方には、ピスト
ン７ａとシリンダ７ｂからなる油圧ラム７等の加圧装置
が配置されている。そして前記一対のアンビル１、２、
および油圧ラム７はそれぞれ軸線ｙに中心を合わせ共軸
的にプレスフレーム８ａ、８ｂに取付けられている。

【００１５】したがって、油圧ラム７を伸長させ下ガイ
ドブロック６を上昇させると、下アンビル２が上昇し、
サイドアンビル３が中心方向に寄せられるので、超高圧
発生室４に入れられている試料体Ｘに超高圧をかけるこ
とができる。

【００１６】さらに、図２に示すように、前記下部アン
ビル２には前記軸線ｙと同軸心のピストン孔９が形成さ
れ、後述するピストン体10が挿入されるようになってい
る。

【００１７】図１において、10はピストン体であり、上
端部分は下部アンビル２を貫いて超高圧発生室４に挿入
可能とするため細径にされ、下方部分は剛性をもたせる
ため大径に形成されている。そして、ピストン体10は下
ガイドブロック６および油圧ラム７を貫いて、その下端
部はプレスフレーム８の下方部分に配置した駆動装置20
に支持されている。

【００１８】さらに、前記ピストン体10の細径部分に
は、横に延びるアーム11を取付け、上下方向の移動量を
検出する変位検出器12が取付けられ、ピストン体10の超
高圧発生室４への挿入量を検知できるようになってい
る。また、前記ピストン体10の太径部分には、ロードセ
ル等の荷重検出器13が介装され、ピストン体10に作用す
る荷重が検出できるようになっている。

【００１９】つぎに、中段フレーム８ｂと下段フレーム
８ｃの間に収められた第１実施形態の駆動装置20を説明
する。図３は第１実施形態の駆動装置20の正面図、図４
は同駆動装置20の側面図、図５は同駆動装置20の縦断面
図である。図１および図３〜５において、21はＬ字形の
支持フレームで下段フレーム８ｃ上に固定されている。
支持フレーム21の垂直部21ａにはリニアガイド23が取付
けられ、上ウエッジ24が上下に昇降自在にガイドされて
いる。

【００２０】この上ウエッジ24の上面には前記ピストン
体10の下端部が支持され、下面はクサビ面25に形成され
ている。このクサビ面25は基端側から先端側に向うにつ
れて上方に傾斜しており、リニアガイド26のガイドレー
ル26ａが取付けられている。

【００２１】一方、下ウエッジ27の上面はクサビ面28と
なっており、基端部から先端部に向けて下方に傾斜して
いる。そして、クサビ面28の上面には、前記リニアガイ
ド26のベアリング本体26ｂが取付けられている。そし
て、支持フレーム21の水平部21ｂの上面にはリニアガイ
ド29のガイドレール29ａが取付けられ、前記下ウエッジ
27の下面には前記下リニアガイド29のベアリング本体29
ｂが取付けられている。なお、前記クサビ面25、28を直
接接触させ摺動させてもよいが、上記のようにリニアガ
イド26、29を用いる方が、摺動抵抗が小さくなるので、
好ましい。

【００２２】また、支持フレーム21の水平部21ｂにはネ
ジ軸31が回転自在に支持され、そのネジ軸31には下ウエ
ッジ27の下面に固定したナット32が螺合している。この
ネジ軸31とナット32でボールネジが構成され、特許請求
の範囲にいうスクリュージャッキが構成されている。そ
して、前記ネジ軸31の一端には制御モータ30が取付けら
れている。

【００２３】上記の制御モータ30は、例えば、パルスモ
ータやステッピングモータがピストン本体10を微少変位
量で正確に位置制御するのに好適である。

【００２４】上記の構成により、制御モータ30を回転さ
せるとネジ軸31が回転し、下ウエッジ27が、矢印ａ、ｂ
方向に移動する。この下ウエッジ27の水平移動はクサビ
面25、28に取付けられたリニアガイド26で上ウエッジ24
の昇降移動に変換され、その昇降動作はリニアガイド23
で円滑にガイドされる。よって、本実施形態では制御モ
ータ30によってピストン体10が矢印方向ｕ、ｄ方向に昇
降させられる。

【００２５】上記に説明した本発明の超高圧発生装置に
おいて、超高圧発生室４に挿入した試料Ｘを油圧ラム７
を作動させて、６個のアンビル１、２、３で加圧し、目
的の超高圧を試料Ｘに発生させる。つぎに、超高圧室の
封圧を保持した状態にした後さらにピストン体10を矢印
Ｕ方向に挿入すると、超高圧下における物質の変形特性
をテストを行うことができる。

【００２６】この場合、ピストン体10を試粒に押し当
て、荷重検出器13により荷重Ｐｍを測定し、試料の超高
圧下における変位特性を求めるとともに、ピストン体10
を作動させる制御モータ30（パルスモータ）へ荷重Ｐｍ
をフィードバックして加圧制御を行う。

【００２７】また、ピストン体10をあるストロークＳだ
け作動させ、変位検出器12により、変位Ｘｍを測定し、
試料の超高圧下における変位特性を求めるとともにピス
トン体10を作動させる制御モータ30（パルスモータ）へ
それぞれ変位Ｘｍをフィードバックして変位制御を行
う。

【００２８】上記変位制御を行う場合、荷重検出器13に
より荷重Ｐｍを測定し、荷重Ｐｍによりピストン体10の
試料とアーム11間の歪（弾性変形量）を求め、その歪値
を変位Ｘｍに加えて変位量を補正するとより高精度の変
位制御を行うことができる。

【００２９】上記のような変形特性実験においては、ピ
ストン体10にかかる荷重を制御して行う実験とピストン
体10の装入変位を制御して行う実験があるが、後者の実
験において本実施形態では極微小スピードでのピストン
体挿入制御を行えるという利点がある。

【００３０】すなわち、上・下ウエッジ24、27の勾配を
１／20とすると、制御モータ30等による水平方向ストロ
ークは垂直方向には１／20に減少するのでピストン体10
を極微小の変位量にて制御することが可能となるからで
ある。また、ピストン体10に加わった荷重はウエッジ2
4、27のテーパ面により水平方向には１／20になるの
で、小さな動力でピストン体10を駆動できる。

【００３１】図６は本発明の第２実施形態に係る駆動装
置40の正面図、図７は同駆動装置40の側面図である。図
６〜７において、41は偏心カムであり、支軸42に固定さ
れている。この支軸の中心Ｏ２と偏心カムの中心Ｏ１は
寸法ｅだけ偏心している。支軸42は２個のブラケット43
で回転自在に支持され、その一端にはウォームホイール
44が固定されている。そして、このウォームホイール44
にはウォーム45が噛み合っており、ウォーム軸46は制御
モータ30に連結されている。前記ウォームホイール44と
ウォーム45は特許請求の範囲にいうウォーム減速機を構
成しており、制御モータ30の出力を減速し、偏心カム41
を回転させることによりモータ30の出力を倍力すること
ができる。

【００３２】このため、前記第１実施形態と同様に、極
超高圧のピストン体突入圧力が得られ、荷重制御方式の
変形特性実験だけでなく、ピストン体に極微少量の変位
を与えて、ピストン体突入変位に基づく変形データを収
集する実験も行うことができる。

【００３３】図８は本発明の第３実施形態に係る駆動装
置50の平面図、図９は同駆動装置50の正面図である。図
８〜９において、51はＵ字形の支持フレームで、２本の
垂直部51ａ、51ｂを有している。トグルジョイント52を
構成する第１リンク53と第２リンク54が一端同士が連結
ピン55で連結され、第１リンク53の他端は垂直部51ｂの
根元付近に下ピン60および台座61を介して支持され、第
２リンク54の他端は上ピン62を介して垂直部51ｂに上下
方向に形成したガイドレール56に沿って昇降する連結シ
ュー57に連結されている。そして、この連結シュー57に
ピストン体10の基端が支持されている。

【００３４】一方、前記連結ピン55には、制御モータ30
で駆動されるスクリュージャッキ58の一端がフォークエ
ンド59によって結合され、スクリュージャッキ58を駆動
する制御モータ30は他方の垂直部51ａにピン63で連結さ
れている。

【００３５】この実施形態では、スクリュージャッキ58
を伸長させるとトグルジョイント52を構成する第１、第
２リンク53、54がハの字状に折れ曲った状態から一直線
状に近づいて連結シュー57が上昇し、ピストン体10を上
昇させる。そして、第１・第２リンク53、54が一直線状
に近づくにつれて、連結シュー57のストロークは減少す
るが大きな押上げ力に倍力変換される。とくに、本実施
形態のトグルジョイント52は、ストロークエンド付近で
は無限大に近い出力が得られるので、極超高圧のピスト
ン体突入圧力が得られる。また、荷重制御方式の変形特
性実験だけでなく、ピストン体に極微少量の変位を与え
て、超高圧下における変形データを収集する実験も行う
ことができる。

【００３６】図10は本発明の第４実施形態の駆動装置70
の正面図である。同図において、71はスクリュージャッ
キで内蔵または外装されている制御モータにより駆動さ
れるようになっている。スクリュー72は上方に向けて立
設され、スクリュー72の上端に前記ピストン体10の基端
が載せられている。

【００３７】本実施形態においてもスクリュージャッキ
そのものが有する減速機能と倍力機能によって、極超高
圧のピストン体突入圧力が得られ、また、荷重制御方式
の変形特性実験だけでなく、ピストン体に極微少量の変
位を与えて、超高圧下における変形データを収集する実
験も行うことができる。

【００３８】つぎに、本発明の他の実施形態を説明す
る。前記各実施形態では、上・下アンビル１、２および
サイドアンビル３の６個のアンビルで構成された超高圧
発生装置について説明したが、図11に示すように、先細
りの円錐台状の先端部を有する上下一対のアンビル81、
82間に、中央部に孔84を有する中空アンビル（中空シリ
ンダー）83が配設された超高圧発生装置にも適用でき
る。中空アンビル（中空シリンダー）83には、アンビル
81、82に形成された円錐台状の先端部に対応する円錐状
の凹溝が上下に設けられている。そして、下部アンビル
82にピストン孔９が形成されている。その他の構成は前
記実施形態と実質同一の構成を採用でき、同様の効果を
奏することができる。

【００３９】また、前記各実施形態は、下部アンビルに
ピストン孔９を形成し、ピストン体を下方から上方へ移
動させて超高圧発生室４内の試料体Ｘに変形を与えるも
のであったが、ピストン体10の挿入方向はこれに限るこ
となく、上方から下方へ移動させてもよく、横方向から
中心の超高圧発生室に挿入させてもよい。

【００４０】ピストン体10を上方から下方に移動させる
には、前記各駆動装置20、40、50、70を上下反転させ
て、上方に配置し、ピストン孔を上部アンビル１、81に
形成すればよい。また、ピストン体10を横から挿入する
には、前記各駆動装置20、40、50、70をサイドアンビル
３の横に配置し、いずれか１個のサイドアンビル３また
は中空アンビル83の適所に横方向のピストン孔を形成す
ればよい。

【００４１】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、駆動装置の動
力変換機構が、モータ駆動力をピストン体駆動力に倍力
変換する機能を有しているので、ピストン体の挿入圧力
が所望の値まで高められ、倍力することによって変位量
は微小となるのでピストン体を微小変位させて所望の変
形特性データを収集することができる。

【００４２】請求項２の発明によれば、荷重検出器によ
ってピストン体挿入時の荷重を検出できるので、荷重を
制御して行う実験も可能であり、しかも、検出値をコン
トローラにフィードバックすることにより荷重の制御が
正確に行えるので、変形特性データの収集が容易とな
る。請求項３の発明によれば、変位検出器によってピス
トン体挿入時の変位量を検出できるので、変位量を制御
して行う実験も可能であり、しかも、検出値をコントロ
ーラにフィードバックすることによりピストン体の変位
制御が正確に行えるので、変形特性データの収集が容易
となる。請求項４の発明によれば、変位制御を行なう場
合、荷重検出器によりピストン体の荷重を測定し、その
荷重によりピストン体の歪を求め、その歪値をピストン
体の変位に加えて変位量を補正しているので、ピストン
体の変位制御を精度よく行なうことができる。

【００４３】請求項５の発明によれば、上下のウエッジ
によりピストン体の変位量を微少化し、かつ移動力を倍
力するので、ピストン体の微小変位制御が可能となり、
所望の極超高圧を試料体に発生させることができる。請
求項６の発明によれば、偏心カムによりピストン体の移
動量を微小化でき、しかも挿入力を倍加できるので、ピ
ストン体の微小変位制御が可能となり、所望の極超高圧
を試料体に発生させることができる。請求項７の発明に
よれば、トグルジョイントにより、ピストン体の移動量
を微小化でき、しかも挿入力を倍加できるので、ピスト
ン体の微小変位制御が可能となり、所望の極超高圧を試
料体に発生させることができる。請求項８の発明によれ
ば、スクリュージャッキにより、ピストン体の移動量を
微小化でき、しかも挿入力を倍加できるので、ピストン
体の微小変位制御が可能となり、所望の極超高圧を試料
体に発生させることができる。

【００４４】請求項９の発明によれば、スクリュージャ
ッキの機械的変位量は制御モータの回転量と正確に比例
し、動作は円滑であるので誤差がなく、微小変位制御が
正確に行え、しかもスクリュージャッキ自体の倍力機能
によりピストン体挿入によって試料体に所望の極超高圧
を発生させることが可能となる。請求項１０の発明によ
れば、ウォーム減速機の機械的変位量は制御モータの回
転量と正確に比例し、動作は円滑であるので誤差がな
く、微小変位制御が正確に行え、しかもウォーム減速機
自体の倍力機能によりピストン体挿入によって試料体に
所望の極超高圧を発生させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係わる超高圧発生装置の
要部断面正面図である。

【図２】図１の上・下アンビル１、２およびサイドアン
ビル３の分解斜視図である。

【図３】本発明の第１実施形態に係る駆動装置20の正面
図である。

【図４】本発明の第１実施形態に係る駆動装置20の側面
図である。

【図５】本発明の第１実施形態に係る駆動装置20の縦断
面図である。

【図６】本発明の第２実施形態に係る駆動装置40の正面
図である。

【図７】本発明の第２実施形態に係る駆動装置40の側面
図である。

【図８】本発明の第３形態に係る駆動装置50の平面図で
ある。

【図９】本発明の第３形態に係る駆動装置50の正面図で
ある。

【図１０】本発明の第４実施形態に係る駆動装置70の正
面図である。

【図１１】本発明における他の形式のアンビルの分解斜
視図である。

【符号の説明】

１上部アンビル２下部アンビル３サイドアンビル４超高圧発生室５上ガイドブロック６下ガイドブロック９ピストン孔 10 ピストン体 12 変位検出器 13 荷重検出器 20 駆動装置 40 駆動装置 50 駆動装置 70 駆動装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＧ０１Ｎ 3/08 Ｇ０１Ｎ 3/08 19/00 19/00 Ｚ (56)参考文献特開平６−91155（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−191034（ＪＰ，Ａ) 特開昭61−230732（ＪＰ，Ａ) 特開昭54−21967（ＪＰ，Ａ) 実開平４−9643（ＪＰ，Ｕ) 特公昭47−50258（ＪＰ，Ｂ１) 特公昭42−10789（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) B01J 3/06 G01N 3/00 - 3/62 C30B 28/00 - 35/00

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】複数個のアンビルで包囲して物質を収納す
る超高圧発生室を形成し、前記アンビルの一つに前記超
高圧発生室に向ってピストン孔を形成し、該ピストン孔
に外力によって超高圧発生室側に移動されるピストン体
を挿入した超高圧発生装置であって、前記ピストン体を
前記超高圧発生室に対して進退させる駆動装置が、制御
モータと、該制御モータの回転運動を前記ピストン体の
直線進退運動に変換し、かつモータ駆動力をピストン体
駆動力に倍力変換する動力変換機構とから構成されてい
ることを特徴とする超高圧発生装置。
【請求項２】前記駆動装置が、ピストン体に加わる荷重
を検出する荷重検出器と、前記荷重検出器の検出信号を
取り込み前記制御モータに駆動信号を発するコントロー
ラとを備えたことを特徴とする請求項１記載の超高圧発
生装置。
【請求項３】前記駆動装置が、ピストン体の移動量を検
出する変位検出器と、該変位検出器の検出信号を取り込
み前記モータに駆動信号を発するコントローラとを備え
たことを特徴とする請求項１記載の超高圧発生装置。
【請求項４】前記駆動装置が、前記変位検出器に加えピ
ストン体に加わる荷重を検出する荷重検出器が設けら
れ、前記変位検出器および荷重検出器の検知信号を取り
込み、前記変位検知信号に前記荷重検知信号を加えて補
正をかけて前記制御モータに駆動信号を発するコントロ
ーラを備えたことを特徴とする請求項３記載の超高圧発
生装置。
【請求項５】前記動力変換機構が、ピストン体挿入方向
にガイドされ前記ピストン体を支持した上ウェッジと、
前記上ウェッジにクサビ面同士を摺接させた下ウェッジ
と、該下ウェッジを進退させるために前記制御モータの
回転を直線運動に変換する直線型アクチュエータとから
なることを特徴とする請求項１、２、３または４記載の
超高圧発生装置。
【請求項６】前記動力変換機構が、ピストン体の基端部
に接触し、該ピストン体をその軸方向に移動させる偏心
カムと、前記制御モータの回転力を倍力して前記偏心カ
ムの回転力に変換する回転型アクチュエータとからなる
ことを特徴とする請求項１、２、３または４記載の超高
圧発生装置。
【請求項７】前記動力変換機構が、トグルジョイントの
一方のリンクの他端をピストン体挿入方向に移動自在に
ガイドすると共に前記ピストン体を支持し、他方のリン
クの他端を固定し、２本のリンクの連結点に直線型アク
チュエータを連結し、該直線型アクチュエータを前記制
御モータで伸縮させるようにしたことを特徴とする請求
項１、２、３または４記載の超高圧発生装置。
【請求項８】前記動力変換機構が、前記ピストン体を支
持し、前記制御モータで該ピストン体の軸方向に伸縮す
る倍力機能付の直線型アクチュエータであることを特徴
とする請求項１、２、３または４記載の超高圧発生装
置。
【請求項９】前記直線型アクチュエータが、スクリュー
ジャッキであることを特徴とする請求項５、７または８
記載の超高圧発生装置。
【請求項１０】前記回転型アクチュエータが、ウォーム
減速機であることを特徴とする請求項６記載の超高圧発
生装置。