JP2919646B2 - 位置決め判定方法と該判定方法による位置決め制御装置 - Google Patents
位置決め判定方法と該判定方法による位置決め制御装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は移動体の位置決め装置に
関し、特に、ＸＹステージ等の高速かつ高精度な位置決
めが必要とされる移動体の位置決め制御装置に関する。
関し、特に、ＸＹステージ等の高速かつ高精度な位置決
めが必要とされる移動体の位置決め制御装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、縮小投影露光装置用ＸＹステージ
等の高速かつ高精度な位置決めが必要とされる位置決め
制御装置は、移動体の移動を行う工程から次の工程に移
るときには、移動体の移動が完了したことを確認する必
要がある。
等の高速かつ高精度な位置決めが必要とされる位置決め
制御装置は、移動体の移動を行う工程から次の工程に移
るときには、移動体の移動が完了したことを確認する必
要がある。
【０００３】移動体の移動を確認する判定方法として
は、移動体が移動した後の位置を計測し、該計測位置と
予め定められた目標位置との差が所定の判定基準値以内
に所定の時間入り続ければ位置決め完了とみなす位置決
め判定方法（第１の判定方法）がとられていた。位置決
め制御装置ではこのような判定方法による位置決め完了
が確認された後に次の工程に移っていた。
は、移動体が移動した後の位置を計測し、該計測位置と
予め定められた目標位置との差が所定の判定基準値以内
に所定の時間入り続ければ位置決め完了とみなす位置決
め判定方法（第１の判定方法）がとられていた。位置決
め制御装置ではこのような判定方法による位置決め完了
が確認された後に次の工程に移っていた。
【０００４】このような位置決め制御装置においては、
残留振動の周波数に係らずに振動振幅のみを位置決めの
完了確認手段としていたため、次のような欠点があっ
た。
残留振動の周波数に係らずに振動振幅のみを位置決めの
完了確認手段としていたため、次のような欠点があっ
た。
【０００５】縮小投影露光装置のＸＹステージなどは高
速かつ高精度な位置決めが必要とされ、位置の計測精度
が極めて高いものであるため、移動体（ＸＹステージ）
自身の振動のみならず、外部のアクチュエータ（パルス
モータ等）の振動までも検出してしまう。これらの外部
振動は、その周波数が高いものであり、ある程度までの
振幅のものならば縮小投影露光装置の焼付け性能に影響
をおよぼすことはない。
速かつ高精度な位置決めが必要とされ、位置の計測精度
が極めて高いものであるため、移動体（ＸＹステージ）
自身の振動のみならず、外部のアクチュエータ（パルス
モータ等）の振動までも検出してしまう。これらの外部
振動は、その周波数が高いものであり、ある程度までの
振幅のものならば縮小投影露光装置の焼付け性能に影響
をおよぼすことはない。
【０００６】上述したような計測位置と目標位置との差
が所定の判定基準値以内に所定の時間入ることにより位
置決め判定を行うのでは、どんな周波数の振動でも振幅
が一定値以下とならないと位置決めが完了したことにな
らず、縮小投影露光装置の焼付け性能に影響をおよぼす
ことのない高周波振動であっても位置決めが完了しない
ので、ロスタイムが大きくなり、装置のスループットを
上げるために好ましくない。
が所定の判定基準値以内に所定の時間入ることにより位
置決め判定を行うのでは、どんな周波数の振動でも振幅
が一定値以下とならないと位置決めが完了したことにな
らず、縮小投影露光装置の焼付け性能に影響をおよぼす
ことのない高周波振動であっても位置決めが完了しない
ので、ロスタイムが大きくなり、装置のスループットを
上げるために好ましくない。
【０００７】図５は第１の判定方法によるＸＹステージ
移動終了後の位置決めの様子を示す図である。
移動終了後の位置決めの様子を示す図である。
【０００８】図５において、横軸には時間ｔがとられ、
縦軸にはＸＹステージの目標位置との差がとられてい
る。図３に示される位置決め波形には、外乱として高い
周波数の振動がのっているが、この振動は縮小投影露光
装置の焼付け性能に影響をおよぼさないものとする。し
かしながら第１の判定方法では、ＸＹステージの計測位
置と目標位置の差が判定基準±Ｔに入らないため、焼付
け可能な状態であるにもかかわらず、位置決め完了とな
らない。
縦軸にはＸＹステージの目標位置との差がとられてい
る。図３に示される位置決め波形には、外乱として高い
周波数の振動がのっているが、この振動は縮小投影露光
装置の焼付け性能に影響をおよぼさないものとする。し
かしながら第１の判定方法では、ＸＹステージの計測位
置と目標位置の差が判定基準±Ｔに入らないため、焼付
け可能な状態であるにもかかわらず、位置決め完了とな
らない。
【０００９】上記のような不具合を防ぐための位置決め
判定方法として、移動体の計測位置と目標位置の差を平
均し、その平均値を所定の判定条件と比較をすることに
より、装置性能に影響を与えないような高周波振動を無
視して位置決めの完了を判定する方法（第２の判定方
法）がある。
判定方法として、移動体の計測位置と目標位置の差を平
均し、その平均値を所定の判定条件と比較をすることに
より、装置性能に影響を与えないような高周波振動を無
視して位置決めの完了を判定する方法（第２の判定方
法）がある。
【００１０】第２の判定方法は、縮小投影露光装置の焼
付け性能に影響をおよぼさないような高周波振動を無視
して、装置のスループットを上げようとしたものである
が、平均値のみを判定条件としているため、ある周波数
以上の振動はどんなに振幅が大きくても無視されてしま
い位置決め完了となってしまう。このため、縮小投影露
光装置の焼付け性能に影響をおよぼすような振幅の大き
い外部振動がある場合にも縮小投影露光が行われてしま
い、露光パターンに解像不良などが生じてしまい、精度
が悪化してしまう。
付け性能に影響をおよぼさないような高周波振動を無視
して、装置のスループットを上げようとしたものである
が、平均値のみを判定条件としているため、ある周波数
以上の振動はどんなに振幅が大きくても無視されてしま
い位置決め完了となってしまう。このため、縮小投影露
光装置の焼付け性能に影響をおよぼすような振幅の大き
い外部振動がある場合にも縮小投影露光が行われてしま
い、露光パターンに解像不良などが生じてしまい、精度
が悪化してしまう。
【００１１】図６は第２の判定方法によるＸＹステージ
移動終了後の位置決めの様子を示す図である。
移動終了後の位置決めの様子を示す図である。
【００１２】外乱として振幅の大きな高周波振動がのっ
ているが、第２の判定方法に従って図６の波形を一定時
間ごとに平均したものを図７に示す。この様にどんなに
振幅が大きくても第２の判定方法の判定条件を通ってし
まい、装置の精度不良を引きおこす。
ているが、第２の判定方法に従って図６の波形を一定時
間ごとに平均したものを図７に示す。この様にどんなに
振幅が大きくても第２の判定方法の判定条件を通ってし
まい、装置の精度不良を引きおこす。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の位置決
め判定方法のうち、計測位置と目標位置との差が所定の
判定基準値以内に所定の時間入ることにより位置決め判
定を行う第１の判定方法においては、装置に影響をおよ
ぼすことのない高周波振動であっても位置決めが完了し
ないので、ロスタイムが大きくなり、装置のスループッ
トが低いという問題点がある。
め判定方法のうち、計測位置と目標位置との差が所定の
判定基準値以内に所定の時間入ることにより位置決め判
定を行う第１の判定方法においては、装置に影響をおよ
ぼすことのない高周波振動であっても位置決めが完了し
ないので、ロスタイムが大きくなり、装置のスループッ
トが低いという問題点がある。
【００１４】移動体の計測位置と目標位置の差を平均
し、その平均値を所定の判定条件と比較をすることによ
り、装置性能に影響を与えないような高周波振動を無視
して位置決めの完了を判定する第２の判定方法において
は、装置性能に影響をおよぼすような振幅の大きい外部
振動がある場合にも位置決めの完了が判定されてしま
い、装置の精度が劣化してしまうという問題点がある。
し、その平均値を所定の判定条件と比較をすることによ
り、装置性能に影響を与えないような高周波振動を無視
して位置決めの完了を判定する第２の判定方法において
は、装置性能に影響をおよぼすような振幅の大きい外部
振動がある場合にも位置決めの完了が判定されてしま
い、装置の精度が劣化してしまうという問題点がある。
【００１５】本発明は上述したような従来の技術が有す
る問題点に鑑みてなされたものであって、装置の精度を
劣化させることなくスループットを向上することのでき
る位置決め判定方法を実現することを目的とする。
る問題点に鑑みてなされたものであって、装置の精度を
劣化させることなくスループットを向上することのでき
る位置決め判定方法を実現することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明の位置決め判定方
法は、移動体の移動を目標位置設定器に設定された目標
位置と位置計測手段を用いて計測される前記移動体の現
在位置の差に基づいて制御している際に前記目標位置と
前記現在位置の差をサンプリング手段で所定期間Ｓ 1 の
間サンプリングし、前記所定期間Ｓ 1 の間にサンプリン
グされた前記目標位置と前記現在位置の差の平均値の絶
対値｜ａ｜が判定基準値Ｔ 1 より小さいか否かを平均値
判定手段で判定し、前記所定期間Ｓ １ の間にサンプリン
グされた前記目標位置と前記現在位置の差の最大値の絶
対値｜ｂ｜が判定基準値Ｔ 2 より小さいか否かを最大値
判定手段で判定し、前記平均値判定手段で前記絶対値｜
ａ｜が前記判定基準値Ｔ 1 より小さいと判定され且つ前
記最大値判定手段で前記絶対値｜ｂ｜が前記判定基準値
Ｔ 2 より小さいと判定された前記所定期間Ｓ 1 の回数ｎが
判定値Ｎに等しくなった時に位置決め判定手段が前記移
動体の位置決め完了を判定することを特徴とする。
法は、移動体の移動を目標位置設定器に設定された目標
位置と位置計測手段を用いて計測される前記移動体の現
在位置の差に基づいて制御している際に前記目標位置と
前記現在位置の差をサンプリング手段で所定期間Ｓ 1 の
間サンプリングし、前記所定期間Ｓ 1 の間にサンプリン
グされた前記目標位置と前記現在位置の差の平均値の絶
対値｜ａ｜が判定基準値Ｔ 1 より小さいか否かを平均値
判定手段で判定し、前記所定期間Ｓ １ の間にサンプリン
グされた前記目標位置と前記現在位置の差の最大値の絶
対値｜ｂ｜が判定基準値Ｔ 2 より小さいか否かを最大値
判定手段で判定し、前記平均値判定手段で前記絶対値｜
ａ｜が前記判定基準値Ｔ 1 より小さいと判定され且つ前
記最大値判定手段で前記絶対値｜ｂ｜が前記判定基準値
Ｔ 2 より小さいと判定された前記所定期間Ｓ 1 の回数ｎが
判定値Ｎに等しくなった時に位置決め判定手段が前記移
動体の位置決め完了を判定することを特徴とする。
【００１７】本発明の位置決め制御装置は、移動体の移
動を目標位置設定器に設定された目標位置と位置計測手
段を用いて計測される前記移動体の現在位置の差に基づ
いて制御している際に前記目標位置と前記現在位置の差
を所定期間Ｓ 1 の間サンプリングするサンプリング手段
と、前記所定期間Ｓ 1 の間にサンプリングされた前記目
標位置と前記現在位置の差の平均値の絶対値｜ａ｜が判
定基準値Ｔ 1 より小さいか否かを判定する平均値判定手
段と、前記所定期間Ｓ 1 の間にサンプリングされた前記
目標位置と前記現在位置の差の最大値の絶対値｜ｂ｜が
判定基準値Ｔ 2 より小さいか否かを判定する最大値判定
手段と、前記平均値判定手段で前記絶対値｜ａ｜が前記
判定基準値Ｔ 1 より小さいと判定され旦つ前記最大値判
定手段で前記絶対値｜ｂ｜が前記判定基準値Ｔ 2 より小
さいと判定された前記所定期間Ｓ 1 の回数ｎが判定値Ｎ
に等しくなった時に前記移動体の位置決め完了を判定す
る位置決め判定手段を有することを特徴とする。
動を目標位置設定器に設定された目標位置と位置計測手
段を用いて計測される前記移動体の現在位置の差に基づ
いて制御している際に前記目標位置と前記現在位置の差
を所定期間Ｓ 1 の間サンプリングするサンプリング手段
と、前記所定期間Ｓ 1 の間にサンプリングされた前記目
標位置と前記現在位置の差の平均値の絶対値｜ａ｜が判
定基準値Ｔ 1 より小さいか否かを判定する平均値判定手
段と、前記所定期間Ｓ 1 の間にサンプリングされた前記
目標位置と前記現在位置の差の最大値の絶対値｜ｂ｜が
判定基準値Ｔ 2 より小さいか否かを判定する最大値判定
手段と、前記平均値判定手段で前記絶対値｜ａ｜が前記
判定基準値Ｔ 1 より小さいと判定され旦つ前記最大値判
定手段で前記絶対値｜ｂ｜が前記判定基準値Ｔ 2 より小
さいと判定された前記所定期間Ｓ 1 の回数ｎが判定値Ｎ
に等しくなった時に前記移動体の位置決め完了を判定す
る位置決め判定手段を有することを特徴とする。
【００１８】この場合、装置性能に影響を及ばさない振
動の周波数をｆ 1 以上とする時、前記所定期間Ｓ 1 は１／
ｆ 1 に略等しいこととしてもよい。また、前記移動体の
代表的な振動周波数をｆ 2 とする時、前記判定値Ｎは１
／２・ｆ 2 ・Ｓ 1 に略等しいこととしてもよい。 さらに、
装置性能に影響を及ばさない振動の振幅をＫ以下とする
時、前記判定基準値Ｔ 2 はＫ／２に等しいこととしても
よい。
動の周波数をｆ 1 以上とする時、前記所定期間Ｓ 1 は１／
ｆ 1 に略等しいこととしてもよい。また、前記移動体の
代表的な振動周波数をｆ 2 とする時、前記判定値Ｎは１
／２・ｆ 2 ・Ｓ 1 に略等しいこととしてもよい。 さらに、
装置性能に影響を及ばさない振動の振幅をＫ以下とする
時、前記判定基準値Ｔ 2 はＫ／２に等しいこととしても
よい。
【００１９】
【作用】所定期間内における移動体の位置と目標位置と
の差の平均値および最大値がそれぞれに対して予め定め
られた基準値以下である状態が一定期間続いたときに移
動体の目標位置への移動が完了とみなされる。
の差の平均値および最大値がそれぞれに対して予め定め
られた基準値以下である状態が一定期間続いたときに移
動体の目標位置への移動が完了とみなされる。
【００２０】上記の所定期間の長さによって決定される
周波数の外乱は、平均化されて基準値と比較されるので
無視されて移動が完了したと判定される。このとき所定
期間内の最大値が基準値と比較されるので、装置性能に
影響を与えるような振幅の振動がある場合には移動が完
了したと判定されることはない。
周波数の外乱は、平均化されて基準値と比較されるので
無視されて移動が完了したと判定される。このとき所定
期間内の最大値が基準値と比較されるので、装置性能に
影響を与えるような振幅の振動がある場合には移動が完
了したと判定されることはない。
【００２１】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００２２】図１は本発明の一実施例に係るＸＹステー
ジ位置決め装置の制御回路のブロック図である。
ジ位置決め装置の制御回路のブロック図である。
【００２３】ＸＹステージ１０１は駆動用のモータ１０
２によって駆動されるものであり、ＸＹステージ１０１
とモータ１０２とは例えばボールネジでカップリングさ
れている。モータ１０２はドライバ１０３の出力によっ
て回転する。またモータ１０２にはその回転数を計測す
るタコジェネレータ１０４が付加されており、タコジェ
ネレータ１０４の出力はスピード制御用としてドライバ
１０３にフィードバックされている。ＸＹステージ１０
１の位置は測長器１０５の出力信号を入力し、該測長器
１０５とともに位置計測手段を構成する現在位置カウン
タ１０６にて計測される。測長器１０５としてはレーザ
ー干渉計によるものを用いた。現在位置カウンタ１０６
による計測値はメインバス１０８を介して制御手段であ
るＣＰＵ１０７に送られ、ＣＰＵ１０７はこれによりＸ
Ｙステージ１０１の位置を認識する。
２によって駆動されるものであり、ＸＹステージ１０１
とモータ１０２とは例えばボールネジでカップリングさ
れている。モータ１０２はドライバ１０３の出力によっ
て回転する。またモータ１０２にはその回転数を計測す
るタコジェネレータ１０４が付加されており、タコジェ
ネレータ１０４の出力はスピード制御用としてドライバ
１０３にフィードバックされている。ＸＹステージ１０
１の位置は測長器１０５の出力信号を入力し、該測長器
１０５とともに位置計測手段を構成する現在位置カウン
タ１０６にて計測される。測長器１０５としてはレーザ
ー干渉計によるものを用いた。現在位置カウンタ１０６
による計測値はメインバス１０８を介して制御手段であ
るＣＰＵ１０７に送られ、ＣＰＵ１０７はこれによりＸ
Ｙステージ１０１の位置を認識する。
【００２４】目標位置設定器１０９はＸＹステージ１０
１が移動すべき目標位置をラッチするものであり、ＣＰ
Ｕ１０７が不図示の外部入力器への入力にしたがってＸ
Ｙステージ１０１の移動目標位置を設定する。差分器１
１０は現在位置カウンタ１０６と目標位置設定値１０９
の差分を出力するものである。この差出力は位置サーボ
制御用のフィードバック信号として位置サーボアンプ１
１１に入力される。位置サーボアンプ１１１の出力はド
ライバ１０３に入力され、これによりＸＹステージ１０
１が位置サーボ制御で駆動される。ＣＰＵ１０７が出力
する位置決め完了信号１１２は、ＣＰＵ１０７が現在位
置カウンタ１０６の値と移動目標位置とからＸＹステー
ジ１０１の位置決めが完了と判定したときに出力するも
ので、この位置決め完了信号を受けて外部回路（不図
示）はＸＹステージ１０１の移動が完了したことを認識
する。
１が移動すべき目標位置をラッチするものであり、ＣＰ
Ｕ１０７が不図示の外部入力器への入力にしたがってＸ
Ｙステージ１０１の移動目標位置を設定する。差分器１
１０は現在位置カウンタ１０６と目標位置設定値１０９
の差分を出力するものである。この差出力は位置サーボ
制御用のフィードバック信号として位置サーボアンプ１
１１に入力される。位置サーボアンプ１１１の出力はド
ライバ１０３に入力され、これによりＸＹステージ１０
１が位置サーボ制御で駆動される。ＣＰＵ１０７が出力
する位置決め完了信号１１２は、ＣＰＵ１０７が現在位
置カウンタ１０６の値と移動目標位置とからＸＹステー
ジ１０１の位置決めが完了と判定したときに出力するも
ので、この位置決め完了信号を受けて外部回路（不図
示）はＸＹステージ１０１の移動が完了したことを認識
する。
【００２５】ＣＰＵ１０７による位置決め完了の判定方
法は、所定期間内における移動体の計測位置と目標位置
との差の平均値および最大値のそれぞれが所定の値以下
である状態が一定期間続くかを確認することにより行う
ものである。
法は、所定期間内における移動体の計測位置と目標位置
との差の平均値および最大値のそれぞれが所定の値以下
である状態が一定期間続くかを確認することにより行う
ものである。
【００２６】図２は、ＣＰＵ１０７によるＸＹステージ
１０１の位置決め完了を判定する方法を示すフローチャ
ートである。
１０１の位置決め完了を判定する方法を示すフローチャ
ートである。
【００２７】ＸＹステージ１０１Ｎ移動が開始される
と、ＣＰＵ１０７は内蔵するカウンタの値ｎをクリアす
る（ステップＳ２００）。次に、一定期間Ｓ1の間、Ｘ
Ｙステージ１０１の現在位置と目標位置の差をサンプリ
ングし、平均した値をａを求める（ステップＳ２０
１）。続いて、ステップＳ２０１で平均値を求めた一定
期間Ｓ1の区間において、サンプリングした現在位置と
目標位置の差のうち、最も絶対値の大きな値ｂを求める
（ステップＳ２０２）。
と、ＣＰＵ１０７は内蔵するカウンタの値ｎをクリアす
る（ステップＳ２００）。次に、一定期間Ｓ1の間、Ｘ
Ｙステージ１０１の現在位置と目標位置の差をサンプリ
ングし、平均した値をａを求める（ステップＳ２０
１）。続いて、ステップＳ２０１で平均値を求めた一定
期間Ｓ1の区間において、サンプリングした現在位置と
目標位置の差のうち、最も絶対値の大きな値ｂを求める
（ステップＳ２０２）。
【００２８】次に、平均値ａの絶対値が判定基準値Ｔ1
以下であるかを確認し（ステップＳ２０３）、判定基準
値Ｔ1以上であれば位置決め判定開始時のステップＳ２
００にもどる。平均値ａの絶対値が判定基準値Ｔ1以下
であれば、続いて差の最大値ｂの絶対値が判定基準値Ｔ
2以下であるかを確認し（ステップＳ２０４）、判定基
準値Ｔ2以上であれば位置決め判定開始時のステップＳ
２００にもどる。平均値ａの絶対値が判定基準値Ｔ1以
下であり、差の最大値ｂの絶対値が判定基準値Ｔ2以下
である場合には、内蔵するカウンタの値ｎを１カウント
アップする（ステップＳ２０５）。
以下であるかを確認し（ステップＳ２０３）、判定基準
値Ｔ1以上であれば位置決め判定開始時のステップＳ２
００にもどる。平均値ａの絶対値が判定基準値Ｔ1以下
であれば、続いて差の最大値ｂの絶対値が判定基準値Ｔ
2以下であるかを確認し（ステップＳ２０４）、判定基
準値Ｔ2以上であれば位置決め判定開始時のステップＳ
２００にもどる。平均値ａの絶対値が判定基準値Ｔ1以
下であり、差の最大値ｂの絶対値が判定基準値Ｔ2以下
である場合には、内蔵するカウンタの値ｎを１カウント
アップする（ステップＳ２０５）。
【００２９】次に、内蔵するカウンタの値ｎが予め定め
られた判定値Ｎに等しいものであるかを確認する（ステ
ップＳ２０６）。このことを確認することにより、移動
体の計測位置と目標位置との差の平均値および最大値の
それぞれが所定の値以下である状態が一定期間続いてい
るかが確認される。内蔵するカウンタの値ｎが予め定め
られた判定値Ｎに等しくなければ、移動体の計測位置と
目標位置との差の平均値ａを求めるステップＳ２０１に
もどり、ｎがＮと等しくなるまで上記の各ステップＳ２
０１〜Ｓ２０５をくりかえす。ｎ＝Ｎとなったときに位
置決め完了と判定し、終了する。
られた判定値Ｎに等しいものであるかを確認する（ステ
ップＳ２０６）。このことを確認することにより、移動
体の計測位置と目標位置との差の平均値および最大値の
それぞれが所定の値以下である状態が一定期間続いてい
るかが確認される。内蔵するカウンタの値ｎが予め定め
られた判定値Ｎに等しくなければ、移動体の計測位置と
目標位置との差の平均値ａを求めるステップＳ２０１に
もどり、ｎがＮと等しくなるまで上記の各ステップＳ２
０１〜Ｓ２０５をくりかえす。ｎ＝Ｎとなったときに位
置決め完了と判定し、終了する。
【００３０】ただし、以上のフローチャートにおいて、
装置性能に影響をおよぼさない振動の周波数をｆ1以
上、振幅をＫ以下とし、ＸＹステージの代表的な振動周
波数をｆ2としたとき、Ｓ1，Ｎ，Ｔ2は以下の条件を満
足するように設定するものとする。
装置性能に影響をおよぼさない振動の周波数をｆ1以
上、振幅をＫ以下とし、ＸＹステージの代表的な振動周
波数をｆ2としたとき、Ｓ1，Ｎ，Ｔ2は以下の条件を満
足するように設定するものとする。
【００３１】
【数１】 図３は移動終了後の大きな振幅の外乱振動がのったＸＹ
ステージ１０１の代表的な位置決めの判定様子を示す図
である。
ステージ１０１の代表的な位置決めの判定様子を示す図
である。
【００３２】図中、横軸に時間、縦軸にＸＹステージの
目標位置と差がとられ、図６に示した波形を時間Ｓ1ご
とに平均した値ａと、Ｓ1区間の差の最大値ｂとが示さ
れている。また、波形の下にはカウンタｎの値が示され
ている。判定値Ｎ＝４とする。
目標位置と差がとられ、図６に示した波形を時間Ｓ1ご
とに平均した値ａと、Ｓ1区間の差の最大値ｂとが示さ
れている。また、波形の下にはカウンタｎの値が示され
ている。判定値Ｎ＝４とする。
【００３３】この位置決め波形には外乱として高い周波
数ｆ1の振動がのっている。この周波数の振動は振幅Ｋ
以下のものであれば縮小投影露光装置の焼付け性能に影
響をおよぼさないものである。図３に示すようにカウン
タｎの値は｜ａ｜＜Ｔ1かつ｜ｂ｜＜Ｔ2のときにカウン
トアップされ、判定値４に等しくなると位置決め完了と
なる。
数ｆ1の振動がのっている。この周波数の振動は振幅Ｋ
以下のものであれば縮小投影露光装置の焼付け性能に影
響をおよぼさないものである。図３に示すようにカウン
タｎの値は｜ａ｜＜Ｔ1かつ｜ｂ｜＜Ｔ2のときにカウン
トアップされ、判定値４に等しくなると位置決め完了と
なる。
【００３４】このように本実施例によれば、Ｓ1，Ｎ，
Ｔ2を〜のように設定することにより、高い周波数
ｆ1の外乱振動が装置の性能に影響をおよぼすような振
幅Ｋ以上の振動のときはこれを検出して位置決め完了と
せず、高い周波数ｆ1の外乱振動が装置の性能に影響を
およぼさない振幅Ｋ以下の振動のときにはこれを無視し
てＸＹステージの代表的な振動周波数ｆ2をとらえるこ
とが可能である。
Ｔ2を〜のように設定することにより、高い周波数
ｆ1の外乱振動が装置の性能に影響をおよぼすような振
幅Ｋ以上の振動のときはこれを検出して位置決め完了と
せず、高い周波数ｆ1の外乱振動が装置の性能に影響を
およぼさない振幅Ｋ以下の振動のときにはこれを無視し
てＸＹステージの代表的な振動周波数ｆ2をとらえるこ
とが可能である。
【００３５】図４は本発明の他の実施例に係るＸＹステ
ージ位置決め装置の制御回路のブロック図である。
ージ位置決め装置の制御回路のブロック図である。
【００３６】本実施例は、図１に示した実施例に目標位
置設定器１０９の出力を受け、メインバス１０８を介し
てＣＰＵ１０７と結ばれる平均値計算器４１３および最
大値ホールド器４１４とを付設したものである。この他
の構成は図１に示したものと同様であるため、図１と同
じ番号を付して説明は省略する。
置設定器１０９の出力を受け、メインバス１０８を介し
てＣＰＵ１０７と結ばれる平均値計算器４１３および最
大値ホールド器４１４とを付設したものである。この他
の構成は図１に示したものと同様であるため、図１と同
じ番号を付して説明は省略する。
【００３７】本実施例において、現在位置と目標位置の
差の平均値は平均値計算器４１３により平均される。ま
た、現在位置と目標位置の差の一定区間内の最大値は最
大値ホールド器４１４によりホールドされる。ＣＰＵ１
０７は、これらによって求められた平均値と最大値をも
とにして、図２のフローチャートにより、位置決め完了
の判定を行う。上記のように、平均値を計算することや
ピークホールドを行うことを平均値計算器４１３および
最大値ホールド器４１４によって行うことで、ＣＰＵ１
０７の負荷を減らすことができ、複数の軸を同時に制御
することや高速なサンプリングを行うことができる。
差の平均値は平均値計算器４１３により平均される。ま
た、現在位置と目標位置の差の一定区間内の最大値は最
大値ホールド器４１４によりホールドされる。ＣＰＵ１
０７は、これらによって求められた平均値と最大値をも
とにして、図２のフローチャートにより、位置決め完了
の判定を行う。上記のように、平均値を計算することや
ピークホールドを行うことを平均値計算器４１３および
最大値ホールド器４１４によって行うことで、ＣＰＵ１
０７の負荷を減らすことができ、複数の軸を同時に制御
することや高速なサンプリングを行うことができる。
【００３８】
【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
いるので、以下に記載するような効果を奏する。
【００３９】請求項１に記載の方法においては、装置性
能に影響を与えないような振幅の高周波振動は無視し、
装置性能に影響のある大きな振幅の高周波振動がある場
合には移動体の完了と判定しないため、装置の精度に悪
影響を与えることなく、装置全体のスループットを向上
することができる効果がある。
能に影響を与えないような振幅の高周波振動は無視し、
装置性能に影響のある大きな振幅の高周波振動がある場
合には移動体の完了と判定しないため、装置の精度に悪
影響を与えることなく、装置全体のスループットを向上
することができる効果がある。
【００４０】請求項２に記載のものにおいては、上記の
効果を有する位置決め制御装置を実現することができる
効果がある。
効果を有する位置決め制御装置を実現することができる
効果がある。
【００４１】請求項３に記載のものにおいては、上記の
効果に加えて動作が高速化された位置決め制御装置を実
現することができる効果がある。
効果に加えて動作が高速化された位置決め制御装置を実
現することができる効果がある。
【図１】本発明の一実施例に係るＸＹステージ位置決め
装置の制御回路のブロック図である。
装置の制御回路のブロック図である。
【図２】本発明のの判定方法を説明するための図であ
り、図１中のＣＰＵ１０７によるＸＹステージ１０１の
位置決め完了を判定する方法を示すフローチャートであ
る。
り、図１中のＣＰＵ１０７によるＸＹステージ１０１の
位置決め完了を判定する方法を示すフローチャートであ
る。
【図３】本発明のの判定方法を説明するための図であ
り、移動終了後の大きな振幅の外乱振動がのったＸＹス
テージ１０１の代表的な位置決めの判定様子を示す図で
ある。
り、移動終了後の大きな振幅の外乱振動がのったＸＹス
テージ１０１の代表的な位置決めの判定様子を示す図で
ある。
【図４】本発明の他の実施例に係るＸＹステージ位置決
め装置の制御回路のブロック図である。
め装置の制御回路のブロック図である。
【図５】従来の判定方法を説明するための図である。
【図６】従来の判定方法を説明するための図である。
【図７】従来の判定方法を説明するための図である。
１０１ ＸＹステージ １０２ モータ １０３ ドライバ １０４ タコジェネレータ １０５ 測長器 １０６ 現在位置カウンタ １０７ ＣＰＵ １０８ メインバス １０９ 目標位置設定器 １１０ 差分器 １１１ 位置サーボアンプ １１２ 位置決め検出信号 ４１３ 平均値計算器 ４１４ 最大値ホールド器 Ｓ２００〜Ｓ２０６ ステップ
Claims (5)
- 【請求項１】 移動体の移動を目標位置設定器に設定さ
れた目標位置と位置計測手段を用いて計測される前記移
動体の現在位置の差に基づいて制御している際に前記目
標位置と前記現在位置の差をサンプリング手段で所定期
間Ｓ 1 の間サンプリングし、前記所定期間Ｓ 1 の間にサン
プリングされた前記目標位置と前記現在位置の差の平均
値の絶対値｜ａ｜が判定基準値Ｔ 1 より小さいか否かを
平均値判定手段で判定し、前記所定期間Ｓ １ の間にサン
プリングされた前記目標位置と前記現在位置の差の最大
値の絶対値｜ｂ｜が判定基準値Ｔ 2 より小さいか否かを
最大値判定手段で判定し、前記平均値判定手段で前記絶
対値｜ａ｜が前記判定基準値Ｔ 1 より小さいと判定され
且つ前記最大値判定手段で前記絶対値｜ｂ｜が前記判定
基準値Ｔ 2 より小さいと判定された前記所定期間Ｓ 1 の回
数ｎが判定値Ｎに等しくなった時に位置決め判定手段が
前記移動体の位置決め完了を判定することを特徴とする
位置決め判定方法。 - 【請求項２】 移動体の移動を目標位置設定器に設定さ
れた目標位置と位置計測手段を用いて計測される前記移
動体の現在位置の差に基づいて制御している際に前記目
標位置と前記現在位置の差を所定期間Ｓ 1 の間サンプリ
ングするサンプリング手段と、前記所定期間Ｓ 1 の間に
サンプリングされた前記目標位置と前記現在位置の差の
平均値の絶対値｜ａ｜が判定基準値Ｔ 1 より小さいか否
かを判定する平均値判定手段と、前記所定期間Ｓ 1 の間
にサンプリングされた前記目標位置と前記現在位置の差
の最大値の絶対値｜ｂ｜が判定基準値Ｔ 2 より小さいか
否かを判定する最大値判定手段と、前記平均値判定手段
で前記絶対値｜ａ｜が前記判定基準値Ｔ 1 より小さいと
判定され旦つ前記最大値判定手段で前記絶対値｜ｂ｜が
前記判定基準値Ｔ 2 より小さいと判定された前記所定期
間Ｓ 1 の回数ｎが判定値Ｎに等しくなった時に前記移動
体の位置決め完了を判定する位置決め判定手段を有する
ことを特徴とする位置決め制御装置。 - 【請求項３】 装置性能に影響を及ばさない振動の周波
数をｆ 1 以上とする時、前記所定期間Ｓ 1 は１／ｆ 1 に略
等しいことを特徴とする請求項２の位置決め制御装置。 - 【請求項４】 前記移動体の代表的な振動周波数をｆ 2
とする時、前記判定 値Ｎは１／２・ｆ 2 ・Ｓ 1 に略等しい
ことを特徴とする請求項３の位置決め制御装置。 - 【請求項５】 装置性能に影響を及ばさない振動の振幅
をＫ以下とする時、前記判定基準値Ｔ 2 はＫ／２に等し
いことを特徴とする請求項４の位置決め制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17829491A JP2919646B2 (ja) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | 位置決め判定方法と該判定方法による位置決め制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17829491A JP2919646B2 (ja) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | 位置決め判定方法と該判定方法による位置決め制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0527818A JPH0527818A (ja) | 1993-02-05 |
| JP2919646B2 true JP2919646B2 (ja) | 1999-07-12 |
Family
ID=16045958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17829491A Expired - Fee Related JP2919646B2 (ja) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | 位置決め判定方法と該判定方法による位置決め制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2919646B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE69631273T2 (de) | 1995-03-08 | 2004-11-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma | Vorrichung und verfahren zur datenwiedergabe einer platte, plattendrehzahlsteuerungsanordnung und wiedergabetaktgeneratorvorrichung |
-
1991
- 1991-07-18 JP JP17829491A patent/JP2919646B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0527818A (ja) | 1993-02-05 |
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