JP2916640B2

JP2916640B2 - マイクロ探子用装置

Info

Publication number: JP2916640B2
Application number: JP20114189A
Authority: JP
Inventors: ヘルムート・フィッシャー
Original assignee: Herumuuto Fuitsushaa Unto Co GmbH
Current assignee: Herumuuto Fuitsushaa Unto Co GmbH
Priority date: 1989-08-01
Filing date: 1989-08-01
Publication date: 1999-07-05
Anticipated expiration: 2014-07-05
Also published as: JPH0372210A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、金属コーティングの厚みの電量測定を行
うのに用いるマイクロ探子用装置に関する。

［従来の技術］従来におけるこの種のマイクロ探子用装置として、ド
イツ特許出願P38 31 399.5が公知である。この他、米国
特許第4,488,938及びドイツ特許第3046 198等にも類似
の装置が開示されている。

前記ドイツ特許出願P38 31 399.5には、一般に電解質液用の出口開口を備え、圧力媒質用の第
１接続部を有する外部スリーブと、この外部スリーブ中の内部スリーブと、前記外部スリーブと内部スリーブの間の第１スペース
と、前記内部スリーブ内で且つ前記出口開口とは反対の部
分にある第２スペースと、この第２スペースと連通する圧力媒質用の第２接続部
と、ノズル開口が前記第１スペースの中で前記出口開口の
後にあり、第２スペースから出口開口に通じるノズル
と、少なくとも前記第２接続部に圧力媒質を通して接続さ
れている接続管を備え、且つ前記第１スペースおよび第
２スペースに対して少なくとも間接に、少なくとも一つ
は低圧振動（oszillierend）する２つの異なった使用圧
力P₀およびP₁を生じさせるポンプとを備える電量測定のためのマイクロ探子用装置が開示さ
れている。

上記のようにしてなるマイクロ探子用装置では、ポン
プの中のピストンの位置により、測定の状態すなわち出
口開口が閉じている時には、電解質液はノズルから１回
測定対象物に向けて噴射され、次に第１スペースに戻
る。或いは電解質液は第１スペースから出口開口へ且つ
測定対象物に向って噴射され、そしてノズル端より再び
吸引される。この流れの動作の頻度は１ヘルツ程度であ
る。

［発明が解決しようとする課題］ところで、公知のように、上記の如き電解質液はそれ
が酸性であれ塩基性であれ浸蝕性を持っている。上述し
たような正常な操作が行われている限り、電解質液がマ
イクロ探子から出てくることはない。しかしながら、取
扱説明書等において指摘されているにも拘らず、しばし
ば測定動作中にマイクロ探子が持ち上げられることがあ
る。そして、その結果、出口開口から電解質液がきわめ
て高速で噴出する。この場合、電解質液は第１スペース
からも第２スペースからも押し出される可能性がある。

このような現象がもたらす結果すなわち問題点は容易
に想像がつく。つまり、まず電解質液が失われることに
なる。また、コーティング層が広範囲にわたって浸蝕さ
れ使用不能となる虞がある。さらに、電解質が例えば操
作者の眼，鼻，口等に飛び込んだりあるいはその衣服に
付着して生地を傷めたりすることがあるという問題もあ
る。

発明の目的は、測定動作中に誤って持ち上げても、出
口開口から電解質液が出てくることのないマイクロ探子
用装置をを提供することにある。

［課題を解決するための手段］上記目的を達成する請求項１によるマイクロ探子用装
置は、（ａ）前記ポンプと探子の間にバルブ装置が設けら
れ、（ｂ）少なくとも圧力の一つにポンプおよびバルブ装
置の作動状態に於いて負圧力P₂がオーバーラップし、且
つこの負圧は使用圧力P₀またはP₁の最高圧力より著しく
低いことを特徴としている。

上記のような圧力条件は、例えば請求項２に示すよう
に、ポンプが最低圧力P₂を接続管に生じる定圧力として
生じるようにし、接続管と第１スペースに付随する第１
接続部との間に第１回路を設け、第１回路に第１バルブ
を設け、且つ第１バルブに圧力媒質用の第２の入口を備
え、且つこの媒質の圧力値がゼロの領域を有するように
し、且つその第２の入口を周期的に開閉が可能とするこ
とにより発生させることができる。

上記圧力媒質は空気であることが好ましい。

また、使用圧力P₀およびP₁が負圧であることをが好ま
しい。

上記第１バルブの第２入口はニードルバルブで開閉可
能とすることができる。

このニードルバルブの前には防塵フィルターが設けて
おくことが好ましい。

前記接続管と第２スペースに付随する第２接続部との
間に、この間の流体抵抗が前記第１回路のそれよりも小
さい第２の回路を設けることができる。

出口開口は電解質液に対して毛細管的に作用する程度
に小さいことが好ましい。

第２スペースと第２回路との間には電解質液のセパレ
ータが設けておくのがよい。

発明の他の数ある特徴は後述する発明の詳細な説明に
より明らかにされるであろう。

［作用］上記のような請求項１の構成によるマイクロ探子用装
置によれば、使用圧力P₀およびP₁が振動する量に相当す
る大きな負圧のためにすべての電解質液が吸い戻され、
且つ第１スペースからもまた第２スペースからも出て行
くことはなくなる。これは脈動する直流電流にも比すべ
きものである。すなわち、かかる直流電流では電子の流
れに往復現象が生じ、したがって交流電流の場合と同じ
条件が生まれる。真の交流電流に追加的に印加された直
流電圧−この場合には第１負圧に相当する−はしかしき
わめて高いので、この条件を直角座標に記載するときに
はＸ軸から十分な距離が保たれる。

請求項２のようにすれば、ポンプは根本的に負圧を生
じせしめるものであり、振動圧を第１回路に於いてのみ
生じせしめることが可能となる。負圧を作り出すには例
えばダイビング装置の分野の量産型ポンプを用いること
ができる。

請求項３のようにすれば、装置は通常の大気条件下で
運転することができる。このとき、電解質液はその中で
酸化することはない。

請求項４によれば、使用圧力が常時負圧となる。

請求項５のようにすることにより、負圧を極めて微細
に制御することができる。

請求項６のようにすれば、針の機能が損なわれること
がない。

請求項７に如き構成とすると、電解質液は第１スペー
スに吸い戻され、電解質の分離はこの位置、および場合
によってはそれに続く回路の中で行われるに止どまるこ
とができる。

請求項８のようにすれば、ポンプを停止した場合にも
電解質液がマイクロ探子から流出することがない。

請求項９のような構成とすることにより、大きな運動
エネルギをもって吸い戻された電解質液は決してポンプ
まで到達することがなく、場合によっては第２回路の中
に設けられるバルブの前で排除される。第１スペースか
ら電解質液が吸い出される場合は、電解質液排除のため
の装置が設けられなければならない。

［実施例］第１図に示すように、母材１の上に測定対象となる金
属コーティング層２が施されている。

マイクロ探子３は、外部スリーブ４および内部スリー
ブ６を備える。これらのスリーブ4,6は略全体がプラス
チック製である。外部スリーブ４には、下側に出口開口
７が形成されている。内部スリーブ６は下側においてノ
ズル８に移行している。第１図において模式的に示され
たパッキング９により、前記外部スリーブ４および内部
スリーブ６は気密的に且つ液密的にシールされている。
外部スリーブ４と内部スリーブ６またはノズル８との間
には第１スペース11が設けられている。また、ノズル８
を含む内部スリーブ６内には第２スペース12が設けられ
ている。さらに、外部スリーブ４には第１スペース11の
上端部側に第１の接続部13が設けられており、内部スリ
ーブ６には第２スペース12の上部に第２の接続部14が設
けられている。

第１回路16は前記第１の接続部13から分岐位置17に延
び、第２回路20は接続部14から分岐位置17に延びてい
る。また、分岐位置17からは回路18が別の分岐位置19に
延びている。この分岐位置19からは回路21及び回路22が
分岐している。第１回路16にはバルブ29が、第２回路20
にはバルブ31がそれぞれ介設されている。一方、回路21
にはバルブ23が、回路22にはバルブ24がそれぞれ介設さ
れている。また、回路21はポンプ28の吸引ノズル26に、
一方回路22は同じくポンプ28の圧力側ノズル27にそれぞ
れ接続されている。

前記バルブ23は、吸引ノズル26と連結された口Ｋから
分岐位置19に連結された口Ｇに向う接続とすることを可
能とするものであり、したがって、この状態で、吸引ノ
ズル26は回路21,回路18を経て、バルブ29,31の分岐位置
17側で回路16,20に連通する。バルブ23において外気と
通じるノズルＨも出入口Ｇと接続することができ、口Ｇ
との接続を口ＫからこのノズルＨに切換えた場合、前記
回路21,18及び分岐位置17側の回路16,20では外気圧が保
たれる。

同様にして、バルブ24は、口Ｐから口Ｌへの接続とノ
ズルＯから口Ｌへの接続とを切り換えることができる。

同じく、バルブ31は、口Ｆから口Ｄへの接続と口Ｆか
らノズルＥ（外気圧）への接続とを切り換えることがで
きる。

上記バルブ23,24,31による接続は開閉式の接続であ
る。

しかし、第１回路16に介設されたバルブ29はニードル
バルブの構造を有し、且つノズルＡの前には防塵用エア
フィルタ32が設けられている。このバルブ29では、それ
自体公知の方法でニードルの先端が多少ともニードルシ
ートを閉じることができる。このようにすることによ
り、第３図に示す圧力P₁を微細に調節することができ
る。ニードルバルブ29は多少とも貫流性の長時間にわた
る通気を可能にする。すなわちノズルＡと口Ｃの間に接
続が成立する。極端な場合この接続を途絶えさせたとき
には圧力P₁は圧力P₀となり、すなわち低圧振動動作は起
こらなくなる。

逆に、ニードルバルブ29がニードルのストローク動作
に伴って全開された場合にはノズルＡと口Ｃ間が貫通
し、この場合には圧力P₁は僅かな負圧となり、第３図に
おけるｔ軸近くに位置することになる。この両者の間の
いづれかの位置に最適値が存在するために、第１スペー
ス11内の液面レベル33及びノズル８内の液面レベル34
は、常に例えば振幅Ｘをもって揺動し、第１スペース11
及び第２スペース12は共に決して完全に空になることも
満たされることもない。何故ならば、仮にかかる場合が
生じた時には、電解質液の代りに空気が出口開口７に達
することになるからである。バルブ29のニードルの閉じ
る度合いにより振幅Ｘは大きくも小さくもなる。

以下に作動原理を述べる。

電解質液を第２スペース12に満たすこと：マイクロ探子３の下端を電解質液貯槽に浸漬する。ポ
ンプが吸引する。バルブ29は口Ｃ−ノズルＡの位置にあ
り、一方バルブ31は口Ｆ−口Ｄの位置にある。したがっ
て、電解質液は出口開口７を通って貯槽から第２スペー
ス12に吸引される。

マイクロ探子３の第１スペース11と第２スペース12と
を同じレベルに満たすこと：バルブ31は口Ｆ−口Ｄの位置に、バルブ29は口Ｃ−口
Ｂの位置にあり、この状態でポンプ28が吸引する。よっ
て、電解質液は液面レベル33,34を等しいレベルに保
つ。

測定：バルブ29は交互に口Ｃ−ノズルＡ位置と口Ｃ−口Ｂ位
置間で切換えられる。バルブ31は口Ｆ−口Ｄ位置にあ
り、この状態でポンプ28が吸引する。

正規の終了：バルブ29の切換動作を停止する。すなわち口Ｃ−口Ｂ
の位置に固定する。バルブ31はノズルＥ−口Ｄの位置に
ある。これによって電解質液は第２スペース12に流入す
る。

次に、バルブ29を短時間口Ｃ−ノズルＡ位置に切り換
えると、第１スペース11内の負圧が減少し、これにより
電解質液は第２スペース12に流入する。

測定中に誤ってマイクロ探子を持ち上げた時：ポンプ28は回転し、バルブ29は口Ｃ−口Ｂ位置と口Ｃ
−ノズルＡ位置との間で交互に切り換えられている。ま
た、出口開口７には大気圧がかかる。流れを抑制しよう
とする高い流体抵抗のために、第１接続部13から流出す
る空気量は第２接続部14からの量よりも少ない。よっ
て、第２スペース12にある電解質液は上向きに吸引され
るが、ノズル８の開口43が出口開口７よりも僅かに上に
あり且つ第１スペースから下に向って流れる電解質液は
開口43を通過せねばならないことから、第１スペースに
ある電解質液もまた同様に上向きに吸引される。

電解質液の排出：バルブ29を口Ｃ−ノズルＡ位置に、バルブ23をノズル
Ｈ−口Ｋ位置に、バルブ31を口Ｆ−口Ｄ位置に、まだバ
ルブ24を口Ｌ−口Ｐ位置にしてポンプ28を運転する。こ
れによって電解液は第２スペース12から流出する。尚、
通常の運転時にはバルブ24は当然口Ｐ−ノズルＯ位置に
ある。

第２スペース12の洗浄：電解質液の充填および排出時の動作と同じである。

上記マイクロ探子用装置は上述の如く作動法に多様な
種類が有するが、マイクロ探子３が不用意に持ち上げら
れた時の機能は殊に有用である。

第４図はマイクロ探子３の具体例を示す分解側面図
で、この第４図には、外部スリーブ4,ノズル８を備える
内部スリーブ6,パッキング9,接続部14,第２スペース12,
出口開口7,回路20が示されている。

外部スリーブ４には電極42が貫通状態で固定されてい
る。この電極42はドイツ特許30 46 198の電極33に相当
する。この外部スリーブ４が内部スリーブ６に固定され
ているときには、ノズル８の開口43は外部スリーブ４の
出口開口７の左に同心的に位置し、この出口開口７の前
に位置する左の端末周縁44が内部スリーブ６のカラー48
の上に気密的且つ液密的に着座し、且つ外部スリーブ４
においてさらに左側の端面47が内部スリーブ６の円環面
46に被さる。

マイクロ探子３は、幾何学的な長軸49に略回転対称的
なデザインを有している。内部スリーブ６は第４図にお
いて左側で拡大部51に移行しているが、この拡大部51も
また回転対称的である。この拡大部51の中には比較的大
きい左方向に開放しているカップ52が形成されており、
このカップ52は前記第２スペース12と連通している。カ
ップ52の底は凹面状であり、このためマイクロ探子３を
垂直姿勢とした状態で、時としてこのカップ52に達する
電解質液は、迅速に且つ残ることなく第２スペース12に
移行されうるようになっている。

拡大部51のさらに左側にはリングフランジ54が設けら
れており、その外周面にＯ−リング56が嵌め込まれてい
る。このリングフランジ54は中間ピース58の外周フラン
ジ57の内側に気密的に挿入されうるようになっている。

中間ピース58は前記カップ52とともに電解質液セパレ
ータを形成するもので、別体のネジ込みカートリッジ59
を備えている。

カートリッジ59にはリングヘッド61が形成されてお
り、このリングヘッド61の外径は前記カップ52の内径よ
りも小さい。このリングヘッド61にはまた右側に開口す
る凹面状の陥凹62が形成されており、この陥凹62によっ
て右端に鋭い辺縁63が形成されている。カートリッジ59
の左側には、リングヘッド61よりも径が遥かに小さい短
いネジシャンク64が形成されている、このネジシャク64
には外ネジ66が螺設されているが、この外ネジ66はネジ
シャク64の根元を除く破線67迄しか螺設されていないた
め、このネジシャンク64は完全にねじこむことはできな
い。ネジシャンク64の直径上の対立する位置に、その全
長にわたる二つの溝68が加工されている。これらの溝68
は第４図の左から右に向って延び、さらに前記破線67の
右側にも貫通している。

前記中間ピース58において外周フランジ57の左側は底
部69に移行しており、この底部69の中に同軸的にネジ穴
71が加工されている。そしてこのネジ穴71には、前記ネ
ジシャンク64の外ネジ66が破線67迄捩じ込まれうる。前
記底69の左側には第３のスペースとなるカップ72が形成
されており、そのさらに左側はリングフランジ73に移行
している。このリングフランジ73は外から入れられるＯ
−リング74を備え、且つこれらの寸法は正確に前記リン
グフランジ54およびＯ−リング56と同じである。したが
って、中間ピース58を用いない場合には、カバー76を直
接前記拡大部51に気密的に着座させることができる。

カバー76は外周フランジ77を有している。この外周フ
ランジ77は、気密的且つ液密的に前記リングフランジ73
に嵌合する。また、このカバー76は中央に貫通穴78を有
し、且つこの貫通穴78は接続部14に開口している。第４
図によればこの接続部14はニップルの形状を有してい
る。

通常上記のごとくしてなるマイクロ探子は、米国特許
4 488.938の第１図に示されている如く垂直またはほぼ
垂直に保持される。

さて、上記のようなマイクロ探子３を測定中に誤って
持ち上げたために、出口開口７が被測定面から離れた時
には、内部スリーブの開口43は強い負圧P₂のために電解
質液を第２スペース12の中に吸引する。この吸引の際の
運動エネルギーが大きいために、電解質液は第２スペー
ス12の中に停止状態で保たれることができずカップ52に
迄上昇する。このカップ52は径が第２スペース12のそれ
よりも大きいため、一旦膨脹が生じ、よって電解質液の
運動エネルギーの一部が消滅する。それにも拘らず、尚
陥凹62の中に突き当たった液はこれにより下方に向きを
変える。下方に向う液は上昇する液を制動する。したが
って、電解質液はこのカップ52の中で一旦静止し、再び
第２スペース12の中に戻る。ところで、リングヘッド61
の存在により、溝68は電解質液の噴流の死角の中に存在
することになる。したがって、回路20からの大きな負圧
は溝68およびリングヘッド61の外側を介してカップ52に
到達するにも拘らず、電解質液は回路20に入り込むこと
がない。リングヘッド61の鋭い辺縁63は電解質液の進行
方向を反転させるためのエッジを形成している。

ところで、マイクロ探子３が誤って持ち上げられたと
き、前述したように電解質液は大きなエネルギを以て上
方に移動するため、場合によっては第４図の如き構成の
マイクロ探子３においても尚回路20に至ろうとすること
がある。このような場合には、バルブ31より左側の回路
20に、第２図に示すようなセパレータ容器36を介設する
とよい。このセパレータ容器36の容器本体37は上側で栓
38により閉じられている。この栓38を貫通して気密的に
立ち上がりパイプ39が設けられている。このパイプ39は
前記接続部14と連続する回路20の一端をなし、容器本体
37の底とは幾らかの間隔を隔てて開口している。一方、
容器本体37には、この立ち上がりパイプ39の開口よりも
十分に高い位置に貫通口41が穿設されており、この貫通
口41にバルブ31側の回路20が気密的に挿入されている。
このようなセパレータ容器36を設けると、電解質液は接
続部14を横切って回路20内に侵入しても容器本体37の下
に溜まる。この容器本体37の下に溜まった電解質液40
は、立ち上がりパイプ39の開口が貫通口41から大きな距
離を隔てているために、高い逆流速度であっても貫通口
41に挿入されたバルブ31側の回路20に入り込むことはな
い。

［発明の効果］請求項１によれば、測定操作中に誤ってマイクロ螺子
を持ち上げても電解質液が飛び出さないから、探子中か
ら電解質液が失われてしまうことがない。また、コーテ
ィング層を浸蝕して使用不能にする虞れもない。さら
に、操作者も眼，鼻，口等に飛び込むようなこともなく
なり、且つ衣服等にかかって生地を傷めるようなことも
なくなる。

請求項２によれば、振動圧を得る具体的構成が得られ
る。

請求項３によれば、実用的な装置とすることができ
る。

請求項４によれば、いずれの圧力下でも電解質液は吸
い戻される。

請求項５によれば、最適な負圧を得ることができる。

請求項６によれば、動作条件は長期にわたって正しく
維持される。

請求項７によれば、電解質液の分離位置を特定するこ
とができる。

請求項８によれば、ポンプを停止した場合にも流出し
た電解質液による被害が生じない。

請求項９によれば、ポンプを電解質液により損傷させ
ることがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は回路の模式図、第２図はセパレータ容器の断面
図、第３図は第１スペース内の圧力を示すグラフ、第４
図はマイクロ探子の分解側面図である。４……外部スリーブ、６……内部スリーブ 11……第１スペース、12……第２スペース 13……第１接続部、14……第２接続部 28……ポンプ 29,31,23,24……バルブ装置 P₀，P₁……使用圧力、P₂……負圧

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01N 27/42

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】一端に電解質液用の出口開口を備え、圧力
媒質用の第１接続部を有する外部スリーブと、この外部スリーブ中の内部スリーブと、前記外部スリーブと内部スリーブの間の第１スペース
と、前記内部スリーブ内で且つ前記出口開口とは反対の部分
にある第２スペースと、この第２スペースと連通する圧力媒質用の第２接続部
と、ノズル開口が前記第１スペースの中で前記出口開口の後
にあり、第２スペースから出口開口に通じるノズルと、少なくとも前記第２接続部に圧力媒質を通して接続され
ている接続管を備え、且つ前記第１スペースおよび第２
スペースに対して少なくとも間接に、少なくとも一つは
低圧振動する２つの異なった使用圧力P₀およびP₁を生じ
させるポンプとを備える金属コーティングの厚みの電量
測定のためのマイクロ探子用装置であって、（ａ）前記ポンプと探子の間にバルブ装置が設けられ、（ｂ）少なくとも使用圧力の一つはポンプおよびバルブ
装置の作動状態に於いて使用圧力P₀またはP₁の最高圧力
より十分に低い負圧P₂にオーバーラップしていることを特徴とするマイクロ探子用装置。
【請求項２】ポンプは最低圧力P₂を接続管に生じる定圧
力として生じさせ、接続管と第１スペースに付随する第
１接続部との間に第１回路が設けられ、第１回路には第
１バルブが設けられ、且つ第１バルブは圧力媒質用の第
２の入口を備え、且つこの媒質の圧力値はゼロの領域を
有し、且つその第２の入口は周期的に開閉が可能である
ことを特徴とする請求項１のマイクロ探子用装置。
【請求項３】圧力媒質が空気であることを特徴とする請
求項１のマイクロ探子用装置。
【請求項４】使用圧力P₀およびP₁が負圧であることを特
徴とする請求項１のマイクロ探子用装置。
【請求項５】第１バルブの第２入口はニードルバルブで
開閉が可能であることを特徴とする請求項２のマイクロ
探子用装置。
【請求項６】ニードルバルブの前に防塵フィルターが設
けられていることを特徴とする請求項５のマイクロ探子
用装置。
【請求項７】第２スペースに付随する第２接続部と接続
管との間に第２回路を設け、この第２接続部と接続管と
の間の流体抵抗は前記第１回路のそれよりも小さいこと
を特徴とする請求項１のマイクロ探子用装置。
【請求項８】出口開口が小さく、電解質液に対して毛細
管的に作用することを特徴とする請求項１のマイクロ探
子用装置。
【請求項９】第２スペースと第２回路との間に電解質液
のセパレータが設けられていることを特徴とする請求項
７に記載のマイクロ探子用装置。
【請求項１０】セパレータがノズルの延長上に吸い戻さ
れる電解質液用の反射板を備え、且つノズル端の延長線
外および電解質液を跳ね返す反射板の外側に、第２接続
部に連通する少なくとも一つの圧力媒質用の貫通口が設
けられていることを特徴とする請求項９のマイクロ探子
用装置。
【請求項１１】反射板がノズルの方に向って凹面状をな
すことを特徴とする請求項10のマイクロ探子用装置。
【請求項１２】反射板がノズルの方に向く鋭い辺縁を持
つことを特徴とする請求項11のマイクロ探子用装置。
【請求項１３】反射板が、第２スペースに対して辺縁部
分で距離を隔てて且つ同軸的に設けられていることを特
徴とする請求項10〜12のいずれかひとつに記載のマイク
ロ探子用装置。
【請求項１４】第２スペースの背後に、中に貫通口が開
口する第３のスペースが設けらていることを特徴とする
請求項10〜13のいずれかひとつに記載のマイクロ探子用
装置。
【請求項１５】貫通口はゾンデが垂直に保持された時に
第３スペースの最下端に開口することを特徴とする請求
項14のマイクロ探子用装置。
【請求項１６】反射板の背面が第２スペースのカバーか
ら間隔を隔てており、且つ貫通口は反射板の背面に於い
て始まることを特徴とする請求項10〜15のいずれかに記
載のマイクロ探子用装置。
【請求項１７】反射板は一つの突起を以て第２スペース
のカバーの穴に挿入されていることを特徴とする請求項
10〜16のいずれか一つに記載のマイクロ探子用装置。
【請求項１８】貫通口が穴の部分および／または突起の
周辺に設けられていることを特徴とする請求項10〜17の
いずれかひとつに記載のマイクロ探子用装置。
【請求項１９】第２スペースは反射板によって拡大部に
移行することを特徴とする請求項10〜18のいずれか一つ
に記載のマイクロ探子用装置。
【請求項２０】セパレータは容器セパレータであり、且
つこれは第２回路の中に在るバルブの前に設けられてい
ることを特徴とする請求項９のマイクロ探子用装置。