JP2912248B2 - 横型ベーク炉装置 - Google Patents
横型ベーク炉装置Info
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- JP2912248B2 JP2912248B2 JP21628796A JP21628796A JP2912248B2 JP 2912248 B2 JP2912248 B2 JP 2912248B2 JP 21628796 A JP21628796 A JP 21628796A JP 21628796 A JP21628796 A JP 21628796A JP 2912248 B2 JP2912248 B2 JP 2912248B2
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- tube
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ポリイミド膜等を
ベークする横型ベーク炉装置に関する。
ベークする横型ベーク炉装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は従来の一例を示す横型ベーク炉装
置の模式断面図である。従来、この種の横型ベーク炉装
置は、例えば、図３に示すように、一方側にガス供給管
８を他方側にガス排気管５に隣接するガス排気口５ａを
有し水平に設置されるとともに外周囲にヒータ７が取付
けられる反応管２と、複数枚のウェハ１３を立て並べ搭
載するとともに反応管２内に収納されるボート４と、こ
のボート４を反応管２より引き出したり押し込んだりす
るボート４と連結される長尺なロッド３を具備するウェ
ハ移送治具６とを備えている。
置の模式断面図である。従来、この種の横型ベーク炉装
置は、例えば、図３に示すように、一方側にガス供給管
８を他方側にガス排気管５に隣接するガス排気口５ａを
有し水平に設置されるとともに外周囲にヒータ７が取付
けられる反応管２と、複数枚のウェハ１３を立て並べ搭
載するとともに反応管２内に収納されるボート４と、こ
のボート４を反応管２より引き出したり押し込んだりす
るボート４と連結される長尺なロッド３を具備するウェ
ハ移送治具６とを備えている。
【０００３】この横型ベーク炉装置でガス供給管８から
窒素ガスを供給しウェハ１３のポリイミド樹脂をベーキ
ングする際に、加熱されたウェハ１３に塗布されたポリ
イミド樹脂が蒸発し、ヒータ７から離れている反応管２
の排気口５ａの近くは冷却され、有機物１４として反応
管２の内壁に付着する。処理を繰返す内に有機物１４は
堆積し、ボート４を移送する際にこの有機物１４が剥離
し落下してウェハ１３に再付着しウェハを汚染するとい
う問題があった。
窒素ガスを供給しウェハ１３のポリイミド樹脂をベーキ
ングする際に、加熱されたウェハ１３に塗布されたポリ
イミド樹脂が蒸発し、ヒータ７から離れている反応管２
の排気口５ａの近くは冷却され、有機物１４として反応
管２の内壁に付着する。処理を繰返す内に有機物１４は
堆積し、ボート４を移送する際にこの有機物１４が剥離
し落下してウェハ１３に再付着しウェハを汚染するとい
う問題があった。
【０００４】従って、定期的に反応管２に清掃しなけれ
ばならなかった。この有機物１４を取り除くには、ガス
供給管８から窒素ガスの代りに酸素ガスを反応管２に流
し、時間をかけてる堆積した有機物１４を炭酸ガスにし
取り除くか、あるいは、反応管２を取り外し、洗浄機で
ウェットクリーニングするしかなかった。
ばならなかった。この有機物１４を取り除くには、ガス
供給管８から窒素ガスの代りに酸素ガスを反応管２に流
し、時間をかけてる堆積した有機物１４を炭酸ガスにし
取り除くか、あるいは、反応管２を取り外し、洗浄機で
ウェットクリーニングするしかなかった。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述した
酸素ガスを流し取除く方法は、ウェハのポリイミド樹脂
が酸化されないようにウェハを搬出しなければならず、
しかも完全に除去するのに時間がかかり装置の稼働率を
低下させるという欠点がある。特に、長期間清掃しない
まま有機物が厚く堆積すると、この方法では取除くこと
は困難である。一方、後者のクリーニングによる方法
は、反応管を取り外したり取り付けたり煩雑な作業を必
要とし、反応管を破損する恐れがある。
酸素ガスを流し取除く方法は、ウェハのポリイミド樹脂
が酸化されないようにウェハを搬出しなければならず、
しかも完全に除去するのに時間がかかり装置の稼働率を
低下させるという欠点がある。特に、長期間清掃しない
まま有機物が厚く堆積すると、この方法では取除くこと
は困難である。一方、後者のクリーニングによる方法
は、反応管を取り外したり取り付けたり煩雑な作業を必
要とし、反応管を破損する恐れがある。
【０００６】従って、本発明の目的は、反応管の内壁に
発生する有機物の付着を抑制することができる横型ベー
ク炉装置を提供することである。
発生する有機物の付着を抑制することができる横型ベー
ク炉装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、一方の
側にガス供給管を他方の側にガス排気口を有し水平に設
置される反応管と、この反応管のガス供給管側の反応部
を取囲む第１のヒータと、前記反応管の該排気口側を取
囲む第２のヒータと、複数枚のウェハを立て並べ搭載す
るとともに前記反応管内に収納されるボートと、このボ
ートを前記炉芯管より引き出したり押し込んだりする前
記ボートと連結される長尺な搬出入部材を具備するウェ
ハ移送治具と、前記搬出入部材と前記ボートとの連結部
付近に取り付けられ前記炉芯管の内径より稍小さめの外
形をもつ仕切板と、前記ボートが該反応管に収納された
状態のときに前記反応管の該排気口と前記仕切板との間
の前記反応管に配設される複数の酸素ガス導入管とを備
える横型ベーク炉装置である。
側にガス供給管を他方の側にガス排気口を有し水平に設
置される反応管と、この反応管のガス供給管側の反応部
を取囲む第１のヒータと、前記反応管の該排気口側を取
囲む第２のヒータと、複数枚のウェハを立て並べ搭載す
るとともに前記反応管内に収納されるボートと、このボ
ートを前記炉芯管より引き出したり押し込んだりする前
記ボートと連結される長尺な搬出入部材を具備するウェ
ハ移送治具と、前記搬出入部材と前記ボートとの連結部
付近に取り付けられ前記炉芯管の内径より稍小さめの外
形をもつ仕切板と、前記ボートが該反応管に収納された
状態のときに前記反応管の該排気口と前記仕切板との間
の前記反応管に配設される複数の酸素ガス導入管とを備
える横型ベーク炉装置である。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【０００９】図１は本発明の一実施の形態における横型
ベーク炉装置を示す模式断面図である。この横型ベーク
炉装置は、図１に示すように、ボート４とロッド３との
連結部４ａの付近に取付けられるとともに反応管２の反
応部２ａと排気側部２ｂを仕切る仕切板１と、排気側部
２ｂの反応管２に酸素ガス１５を導入する導入管８ａ
と、排気側部２ｂの反応管２を取囲む炉口ヒータ７ａを
設けたことである。それ以外は前述の従来例と同じであ
る。
ベーク炉装置を示す模式断面図である。この横型ベーク
炉装置は、図１に示すように、ボート４とロッド３との
連結部４ａの付近に取付けられるとともに反応管２の反
応部２ａと排気側部２ｂを仕切る仕切板１と、排気側部
２ｂの反応管２に酸素ガス１５を導入する導入管８ａ
と、排気側部２ｂの反応管２を取囲む炉口ヒータ７ａを
設けたことである。それ以外は前述の従来例と同じであ
る。
【００１０】すなわち、有機物が付着し難いように排気
側部２ｂの反応管２の内壁を加熱するようにヒータ７ａ
を設け、有機物を炭酸ガス化させる酸素ガスを供給しこ
の酸素ガスが反応部２ａに入り込まないように仕切板１
を設けたことである。なお、導入管８ａは反応管２の周
囲に均等に複数設けることが望ましい。
側部２ｂの反応管２の内壁を加熱するようにヒータ７ａ
を設け、有機物を炭酸ガス化させる酸素ガスを供給しこ
の酸素ガスが反応部２ａに入り込まないように仕切板１
を設けたことである。なお、導入管８ａは反応管２の周
囲に均等に複数設けることが望ましい。
【００１１】次に、こ横型ベーク炉装置の動作を説明す
る。まず、ポリイミド樹脂膜が施されたウェハ１３を搭
載したボート４をウェハ移送治具６により排気口５ａか
ら反応管２の反応部２ａに収納する。このことにより仕
切板１が反応管２の反応部２ａと排気側部２ａと仕切
る。なお、仕切板１の外形は反応管２の内径より稍小さ
く製作されている。例えば、仕切板１と反応管２の内壁
の隙間が１ｍｍ程度にし、仕切板１の幅が２０ｍｍにな
るように外縁部が折り返させてある。次に、窒素ガスを
ガス供給管８より反応管２の反応部２ａに適宜の流量で
供給する一方導入管８ａより酸素ガス１５を排気口５ａ
に向けて流し込む。
る。まず、ポリイミド樹脂膜が施されたウェハ１３を搭
載したボート４をウェハ移送治具６により排気口５ａか
ら反応管２の反応部２ａに収納する。このことにより仕
切板１が反応管２の反応部２ａと排気側部２ａと仕切
る。なお、仕切板１の外形は反応管２の内径より稍小さ
く製作されている。例えば、仕切板１と反応管２の内壁
の隙間が１ｍｍ程度にし、仕切板１の幅が２０ｍｍにな
るように外縁部が折り返させてある。次に、窒素ガスを
ガス供給管８より反応管２の反応部２ａに適宜の流量で
供給する一方導入管８ａより酸素ガス１５を排気口５ａ
に向けて流し込む。
【００１２】このときの酸素ガスの流量と窒素ガスの流
量の比は、例えば、８：１０といった比にする。要は、
反応部２ｂと排気側部２ｂとの間でガスの流通がないよ
うにする。すなわち、仕切板１を境にして窒素雰囲気室
と酸素雰囲気室を形成したと同じ状態にする。
量の比は、例えば、８：１０といった比にする。要は、
反応部２ｂと排気側部２ｂとの間でガスの流通がないよ
うにする。すなわち、仕切板１を境にして窒素雰囲気室
と酸素雰囲気室を形成したと同じ状態にする。
【００１３】また、窒素ガスは常時反応管２内にガス供
給管８から供給し反応管２の反応部２ａに充満してか
ら、導入管８ａからの酸素ガスの供給は、例えば、１分
程度遅れて行なう。これはあくまでも反応部２ａに酸素
ガスが侵入することを避けるためである。さらに、ガス
の供給を停止するときは、逆に、酸素ガスの供給を停止
してから、窒素ガスの供給を停止する。勿論、この時間
設定は、反応管２の容量および窒素ガスと酸素ガスの流
量から設計される。
給管８から供給し反応管２の反応部２ａに充満してか
ら、導入管８ａからの酸素ガスの供給は、例えば、１分
程度遅れて行なう。これはあくまでも反応部２ａに酸素
ガスが侵入することを避けるためである。さらに、ガス
の供給を停止するときは、逆に、酸素ガスの供給を停止
してから、窒素ガスの供給を停止する。勿論、この時間
設定は、反応管２の容量および窒素ガスと酸素ガスの流
量から設計される。
【００１４】次に、ウェハ１３のポリイミド樹脂膜がヒ
ータ７で加熱された窒素雰囲気により加熱されると、有
機質の蒸発物が発生し、仕切板１で仕切られていても、
仕切板１の外形部と反応管２の内壁との隙間から蒸発物
が排気側部２ｂに入り込む。このことは、前述したよう
に、窒素ガスの流量を酸素ガスの流量よりやや大きくし
てあるからである。このようにして排気側部２ｂに反応
管２の内壁に付着するまでに、導入された酸素ガスと反
応し二酸化炭素と水分に分解され排気口５ａを経て排気
管５を通り装置外に排出される。また、排気側部２ｂは
炉口ヒータ７ａで加熱されているので蒸発物が露結する
ことがない。
ータ７で加熱された窒素雰囲気により加熱されると、有
機質の蒸発物が発生し、仕切板１で仕切られていても、
仕切板１の外形部と反応管２の内壁との隙間から蒸発物
が排気側部２ｂに入り込む。このことは、前述したよう
に、窒素ガスの流量を酸素ガスの流量よりやや大きくし
てあるからである。このようにして排気側部２ｂに反応
管２の内壁に付着するまでに、導入された酸素ガスと反
応し二酸化炭素と水分に分解され排気口５ａを経て排気
管５を通り装置外に排出される。また、排気側部２ｂは
炉口ヒータ７ａで加熱されているので蒸発物が露結する
ことがない。
【００１５】このように、仕切板１を設け反応管２を酸
素雰囲気室と窒素雰囲気室とに分離することによって、
ウェハ１３のベーキング処理しながら有機物の除去を行
なうことができるので従来行なっていた反応管２のクリ
ーニングを行なわないまでも、クリーニングの頻度がよ
り少なくなり使用時間も大幅に延長できるようになっ
た。
素雰囲気室と窒素雰囲気室とに分離することによって、
ウェハ１３のベーキング処理しながら有機物の除去を行
なうことができるので従来行なっていた反応管２のクリ
ーニングを行なわないまでも、クリーニングの頻度がよ
り少なくなり使用時間も大幅に延長できるようになっ
た。
【００１６】図２は図１の横型ベーク炉装置の変形例を
示す模式断面図である。この横型ベーク炉装置は、図２
に示すように、パーティクル発生を防止するために、搬
出入時にボートと反応管２の内壁と接触させないでボー
ト４を反応管２に収納するソフトランディング機構６ａ
を具備する装置に仕切板１を取り付けたことである。そ
れ以外の酸素ガスの導入管８ａおよび炉口ヒータ７ａは
前述の実施の形態と同様に設けられている。
示す模式断面図である。この横型ベーク炉装置は、図２
に示すように、パーティクル発生を防止するために、搬
出入時にボートと反応管２の内壁と接触させないでボー
ト４を反応管２に収納するソフトランディング機構６ａ
を具備する装置に仕切板１を取り付けたことである。そ
れ以外の酸素ガスの導入管８ａおよび炉口ヒータ７ａは
前述の実施の形態と同様に設けられている。
【００１７】この仕切板１は上下動するフォオーク３ａ
のボート４に近い位置に取り付けられ、ボート４が反応
管２に載置されたとき、仕切板１の下側が反応管２の内
壁と接触し、上側の部分が反応管２の内壁と隙間があく
ように仕切板１の外形を設計することである。この隙間
はフオーク３ａの上下ストローク量にやや大きめである
ので、この隙間に応じた酸素および窒素ガスの流量を設
定する必要がある。
のボート４に近い位置に取り付けられ、ボート４が反応
管２に載置されたとき、仕切板１の下側が反応管２の内
壁と接触し、上側の部分が反応管２の内壁と隙間があく
ように仕切板１の外形を設計することである。この隙間
はフオーク３ａの上下ストローク量にやや大きめである
ので、この隙間に応じた酸素および窒素ガスの流量を設
定する必要がある。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、反応管に
適宜の位置に二室に仕切る仕切板と、仕切られた二室に
窒素ガス導入管と酸素ガス導入管とを設け、ベーキング
する室を窒素雰囲気にし、このベーキング室から仕切板
を通して流入する有機物の蒸発物を分解する酸素ガス雰
囲気室にすることにより、ウェハをベーキングしながら
有機物の分解および排出ができるので、有機物の反応管
への付着を抑制し、従来行なっていたクリーニング頻度
を少なくすることができ、使用時間を大幅に延長できる
という効果が得られた。
適宜の位置に二室に仕切る仕切板と、仕切られた二室に
窒素ガス導入管と酸素ガス導入管とを設け、ベーキング
する室を窒素雰囲気にし、このベーキング室から仕切板
を通して流入する有機物の蒸発物を分解する酸素ガス雰
囲気室にすることにより、ウェハをベーキングしながら
有機物の分解および排出ができるので、有機物の反応管
への付着を抑制し、従来行なっていたクリーニング頻度
を少なくすることができ、使用時間を大幅に延長できる
という効果が得られた。
【００１９】また、有機物が露結し易い反応管の排気口
の近い部分を加熱するヒータを設けることによって、さ
らに、有機物の付着を抑制することができるので、その
効果がより一層に大きく得ることができた。
の近い部分を加熱するヒータを設けることによって、さ
らに、有機物の付着を抑制することができるので、その
効果がより一層に大きく得ることができた。
【図１】本発明の一実施の形態における横型ベーク炉装
置を示す模式断面図である。
置を示す模式断面図である。
【図２】図１の横型ベーク炉装置の変形例を示す模式断
面図である。
面図である。
【図３】従来の一例を示す横型ベーク炉装置の模式断面
図である。
図である。
１ 仕切板 ２ 反応管 ２ａ 反応部 ２ｂ 排気側部 ３ ロッド ３ａ フオーク ４ ボート ５ 排気管 ６ ウェハ移送治具 ６ａ ソフトランディング機構 ７ ヒータ ７ａ 炉口ヒータ ８ ガス供給管 ８ａ 導入管 １３ ウェハ １４ 有機物 １５ 酸素ガス
Claims (1)
- 【請求項１】 一方の側にガス供給管を他方の側にガス
排気口を有し水平に設置される反応管と、この反応管の
ガス供給管側の反応部を取囲む第１のヒータと、前記反
応管の該排気口側を取囲む第２のヒータと、複数枚のウ
ェハを立て並べ搭載するとともに前記反応管内に収納さ
れるボートと、このボートを前記炉芯管より引き出した
り押し込んだりする前記ボートと連結される長尺な搬出
入部材を具備するウェハ移送治具と、前記搬出入部材と
前記ボートとの連結部付近に取り付けられ前記炉芯管の
内径より稍小さめの外形をもつ仕切板と、前記ボートが
該反応管に収納された状態のときに前記反応管の該排気
口と前記仕切板との間の前記反応管に配設される酸素ガ
ス導入管とを備えることを特徴とする横型ベーク炉装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21628796A JP2912248B2 (ja) | 1996-08-16 | 1996-08-16 | 横型ベーク炉装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21628796A JP2912248B2 (ja) | 1996-08-16 | 1996-08-16 | 横型ベーク炉装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1064894A JPH1064894A (ja) | 1998-03-06 |
| JP2912248B2 true JP2912248B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=16686177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21628796A Expired - Lifetime JP2912248B2 (ja) | 1996-08-16 | 1996-08-16 | 横型ベーク炉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2912248B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7317912B2 (ja) * | 2021-09-21 | 2023-07-31 | 株式会社Kokusai Electric | 炉口部構造、基板処理装置、および半導体装置の製造方法 |
-
1996
- 1996-08-16 JP JP21628796A patent/JP2912248B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1064894A (ja) | 1998-03-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19990309 |