JP2911987B2 - ガスレーザ発振装置 - Google Patents
ガスレーザ発振装置Info
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- JP2911987B2 JP2911987B2 JP24870190A JP24870190A JP2911987B2 JP 2911987 B2 JP2911987 B2 JP 2911987B2 JP 24870190 A JP24870190 A JP 24870190A JP 24870190 A JP24870190 A JP 24870190A JP 2911987 B2 JP2911987 B2 JP 2911987B2
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- laser oscillation
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明はガスレーザ発振装置に関する。
（従来の技術） レーザ光に対して主放電方向が直交するTEACO2レーザ
やエキシマレーザなどのパルスレーザについて、第６図
を参照して説明する。すなわち、ガスレーザ媒質を所定
の圧力で封入した気密容器であるレーザ管（１）を有
し、その内部には横断面がほぼ平等電界を形成する形状
になる陰極（２）および陽極（３）からなる一対の主放
電電極が所定の主放電空間（４）を形成して設けられて
いる。上記主放電空間（４）の近傍に予備電離用のピン
電極（５）が紙面垂直方向になるレーザ光軸に沿って複
数対設けられている。これらピン電極（５）はそれぞれ
ピーキングコンデンサ（６）を介し主電源（７）に接続
されている。レーザ管（１）の内部には上記主放電電極
の他に上記ガスレーザ媒質の循環手段である送風機
（９）と、循環中ガスレーザ媒質を冷却する熱交換器
（８）とが設けられている。
やエキシマレーザなどのパルスレーザについて、第６図
を参照して説明する。すなわち、ガスレーザ媒質を所定
の圧力で封入した気密容器であるレーザ管（１）を有
し、その内部には横断面がほぼ平等電界を形成する形状
になる陰極（２）および陽極（３）からなる一対の主放
電電極が所定の主放電空間（４）を形成して設けられて
いる。上記主放電空間（４）の近傍に予備電離用のピン
電極（５）が紙面垂直方向になるレーザ光軸に沿って複
数対設けられている。これらピン電極（５）はそれぞれ
ピーキングコンデンサ（６）を介し主電源（７）に接続
されている。レーザ管（１）の内部には上記主放電電極
の他に上記ガスレーザ媒質の循環手段である送風機
（９）と、循環中ガスレーザ媒質を冷却する熱交換器
（８）とが設けられている。
（発明が解決しようとする課題） 上記の構成になるガスレーザ発振装置において、ピン
電極（５）間での予備放電後に点孤する主放電時に衝撃
波や音波が発生する。これら発生によってガス密度ゆら
ぎが発生する。この密度ゆらぎは主放電電極間で反射を
繰返し、次第に弱くなる。繰返し数が増すと、密度ゆら
ぎが消失する前に次の主放電が点孤するようになる。密
度ゆらぎは放電部にガスの粗密波を発生させるため、ガ
ス密度が高いところは主放電が点孤しずらく、密度の低
い部分は点孤しやすくなる。この結果、主放電は空間的
に不均一となる。この状態で、放電集中部では利得があ
るものの、他の部分では利得がなくなり、第５図（Ａ）
で示すように、ある繰返し数以上になるとレーザ出力が
低下していた。
電極（５）間での予備放電後に点孤する主放電時に衝撃
波や音波が発生する。これら発生によってガス密度ゆら
ぎが発生する。この密度ゆらぎは主放電電極間で反射を
繰返し、次第に弱くなる。繰返し数が増すと、密度ゆら
ぎが消失する前に次の主放電が点孤するようになる。密
度ゆらぎは放電部にガスの粗密波を発生させるため、ガ
ス密度が高いところは主放電が点孤しずらく、密度の低
い部分は点孤しやすくなる。この結果、主放電は空間的
に不均一となる。この状態で、放電集中部では利得があ
るものの、他の部分では利得がなくなり、第５図（Ａ）
で示すように、ある繰返し数以上になるとレーザ出力が
低下していた。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、放
電で発生する密度ゆらぎに主放電近傍で吸収し、安定に
高繰返し動作するガスレーザ発振装置を提供することを
目的とする。
電で発生する密度ゆらぎに主放電近傍で吸収し、安定に
高繰返し動作するガスレーザ発振装置を提供することを
目的とする。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段と作用） ガスレーザ媒質が封入される気密容器と、この気密容
器内に設けられた横断面がほぼ平等電界を形成する形状
になる少なくとも一対の主放電電極と、上記ガスレーザ
媒質を上記気密容器内で循環させる送風手段とを備えた
ガスレーザ発振装置において、上記主放電電極の少なく
とも一方は主放電発生面を除く面に主放電時に発生する
衝撃波減衰部が形成されているようにしたもので、繰返
し数を増やすことが可能になった。
器内に設けられた横断面がほぼ平等電界を形成する形状
になる少なくとも一対の主放電電極と、上記ガスレーザ
媒質を上記気密容器内で循環させる送風手段とを備えた
ガスレーザ発振装置において、上記主放電電極の少なく
とも一方は主放電発生面を除く面に主放電時に発生する
衝撃波減衰部が形成されているようにしたもので、繰返
し数を増やすことが可能になった。
（実施例） 以下、実施例を示す図面に基づいて本発明を説明す
る。第１図、第２図は本発明の第１の実施例で、対にな
る一方の主放電電極（10）を示す。すなわち、主放電電
極（10）の他方の主放電電極との対向面側における主放
電発生面（11）を除く面に主放電時に発生する衝撃波減
衰部を形成したものである。上記衝撃波減衰部は直径1m
m乃至数mmのいわゆる不貫通孔（12）を上記直径と同程
度の間隔を開けて複数形成した小孔群からなっている。
不貫通孔（12）のピッチは規則的または不規則どちらで
もよいが、なるべく多く形成したほうが好ましい。
る。第１図、第２図は本発明の第１の実施例で、対にな
る一方の主放電電極（10）を示す。すなわち、主放電電
極（10）の他方の主放電電極との対向面側における主放
電発生面（11）を除く面に主放電時に発生する衝撃波減
衰部を形成したものである。上記衝撃波減衰部は直径1m
m乃至数mmのいわゆる不貫通孔（12）を上記直径と同程
度の間隔を開けて複数形成した小孔群からなっている。
不貫通孔（12）のピッチは規則的または不規則どちらで
もよいが、なるべく多く形成したほうが好ましい。
第３図は本発明の第２の実施例で、衝撃減衰部を複数
の直線の細溝（13）で形成したものである。この場合、
細溝（13）の深さは幅と同程度以上の寸法が望ましい。
の直線の細溝（13）で形成したものである。この場合、
細溝（13）の深さは幅と同程度以上の寸法が望ましい。
第４図は本発明の第３の実施例で、衝撃減衰部をジグ
ザグ状の細溝（14）で形成したものである。
ザグ状の細溝（14）で形成したものである。
なお、衝撃減衰部は上記実施例に限らず、貫通孔やあ
るいは、一本に繋がっていない細切れ状の複数の細溝等
で形成することが可能である。
るいは、一本に繋がっていない細切れ状の複数の細溝等
で形成することが可能である。
［発明の効果］ 主放電時に発生した音響波や衝撃波による密度ゆらぎ
は不貫通孔（12）で波面が乱され、電極周辺部から急激
に減衰し、密度ゆらぎの残留時間は2/3〜1/3程度に短く
なった。したがって、次の主放電までの時間間隔を2/3
〜1/3に短縮可能となり、繰返し数は第５図に示すよう
に1.5〜２倍程度高くなった。また、不貫通孔（12）等
の衝撃波減衰部は放電が発生しない部分に形成されてい
るので、均一な主放電が保たれる。
は不貫通孔（12）で波面が乱され、電極周辺部から急激
に減衰し、密度ゆらぎの残留時間は2/3〜1/3程度に短く
なった。したがって、次の主放電までの時間間隔を2/3
〜1/3に短縮可能となり、繰返し数は第５図に示すよう
に1.5〜２倍程度高くなった。また、不貫通孔（12）等
の衝撃波減衰部は放電が発生しない部分に形成されてい
るので、均一な主放電が保たれる。
第１図は本発明の第１の実施例を示す要部平面図、第２
図は第１図のＸ−Ｘにおける横断面図、第３図は本発明
の第２の実施例を示す平面図、第４図は本発明の第３の
実施例を示す平面図、第５図は発振繰返し数とレーザ出
力との関係図、第６図は従来例を示す構成図である。 （10）……主放電電極 （11）……放電発生面 （12）……不貫通孔
図は第１図のＸ−Ｘにおける横断面図、第３図は本発明
の第２の実施例を示す平面図、第４図は本発明の第３の
実施例を示す平面図、第５図は発振繰返し数とレーザ出
力との関係図、第６図は従来例を示す構成図である。 （10）……主放電電極 （11）……放電発生面 （12）……不貫通孔
Claims (1)
- 【請求項１】ガスレーザ媒質が封入される気密容器と、
この気密容器内に設けられ横断面がほぼ平等電界を形成
する形状になる少なくとも一対の主放電電極と、上記ガ
スレーザ媒質を上記気密容器内で循環させる送風手段と
を備えたガスレーザ発振装置において、上記主放電電極
の少なくとも一方は主放電発生面を除く面に主放電時に
発生する衝撃波減衰部が形成されていることを特徴とす
るガスレーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24870190A JP2911987B2 (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | ガスレーザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24870190A JP2911987B2 (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | ガスレーザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04129283A JPH04129283A (ja) | 1992-04-30 |
| JP2911987B2 true JP2911987B2 (ja) | 1999-06-28 |
Family
ID=17182049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24870190A Expired - Lifetime JP2911987B2 (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | ガスレーザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2911987B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2714357B2 (ja) * | 1994-09-12 | 1998-02-16 | 株式会社東芝 | エキシマレーザ発振装置 |
| JP4579002B2 (ja) * | 2005-02-21 | 2010-11-10 | 株式会社小松製作所 | パルス発振型放電励起レーザ装置 |
| JP2006229137A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-08-31 | Komatsu Ltd | パルス発振型放電励起レーザ装置 |
| CN107851951B (zh) | 2015-08-05 | 2021-06-15 | 极光先进雷射株式会社 | 激光腔室 |
-
1990
- 1990-09-20 JP JP24870190A patent/JP2911987B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04129283A (ja) | 1992-04-30 |
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