JP2714357B2

JP2714357B2 - エキシマレーザ発振装置

Info

Publication number: JP2714357B2
Application number: JP6216908A
Authority: JP
Inventors: 伸一郎小杉; 達美後藤
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1994-09-12
Filing date: 1994-09-12
Publication date: 1998-02-16
Anticipated expiration: 2013-02-16
Also published as: JPH0883945A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は半導体製造などに使用さ
れるエキシマレーザを発生せしめるエキシマレーザ発振
装置に係り、特に、一対の放電電極等を改良したエキシ
マレーザ発振装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のエキシマレーザ発振装置
の一例としては、図６に示すものがある。このエキシマ
レーザ発振装置１は、密閉容器である本体ケース２内に
レーザガス３を充填し、一対の放電電極４ａ，４ｂ間の
ギャップに効率よく高速でレーザガスを流すために、一
対の放電電極４ａ，４ｂのギャップを狭隘に絞る一方、
それ以外のガス流路は広く取って流路抵抗を減少させ、
レーザガス３を送風機５により例えば図中の矢印方向に
循環させ、放電により加熱されたレーザガス３を図中左
右一対の熱交換器６ａ，６ｂにより冷却するようになっ
ている。

【０００３】そして、図７にも示すようにレーザガス３
が例えば図中左から右に流されると、このレーザガス３
は、一対の放電電極４ａ，４ｂのパルス放電により加熱
され、かつイオン化するが、このガスと、電極スパッタ
リングによって生じる金属蒸気とを放電部から除去する
ために、レーザガス３がパルス繰り返し数に応じた速度
で流される。

【０００４】また、かかる放電は例えば２対の予備電離
電極７ａと７ｂ，８ａと８ｂから、放電電極４ａ，４ｂ
の順に行なわれ、予備電離電極７ａと７ｂ，８ａと８ｂ
では瞬間的に非常に強いアーク放電が行なわれて、紫外
光を発生させ、この紫外光の光電離作用により放電電極
４ａ，４ｂ間のレーザガス３を予備電離する。次に、一
対の放電電極４ａ，４ｂ間でグロー放電が行なわれて、
レーザガス３が励起され、レーザ光が紙面に垂直方向に
取り出される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のエキシマレーザ発振装置１では、本体ケース
２内のレーザガス３の流れに境界層が発達し易いという
課題がある。

【０００６】つまり、一対の放電電極４ａ，４ｂ回りの
放電部の狭いギャップに効率よくレーザガス３を高速で
流すために、放電部の上流側では、放電部に向ってガス
流路を絞って縮小させる一方、放電部よりも下流側では
再びガス流路を拡大している。このため図７に示すよう
にレーザガス３の上流側流路断面積が断面Ａ−Ａまでは
縮小する一方、断面Ｂ−Ｂ以後の下流側流路断面積がガ
ス流れ方向に沿って次第に広がっていくので、ガス流断
面Ａ−Ａまでが加速流となる一方、断面Ｂ−Ｂ以降は減
速流となり、断面Ｂ−Ｂ以降は境界層９が発達し易い。
つまり。レーザガス３の流路断面積が最小となる断面Ａ
−Ａ以降急速に境界層９が発達する。

【０００７】したがって、レーザガス３の流速分布は図
８（Ａ）に示すように、断面Ａ−Ａでは流速分布が縮小
流路であるためにほぼ均一になる。しかし、図８（Ｂ）
に示すようにレーザガス３の流路断面Ｂ−Ｂでは境界層
９の発達により、流路壁面、例えば上，下壁面近くでの
流速分布は遅くなってしまう。

【０００８】ところで、エキシマレーザ１では一対の放
電電極４ａ，４ｂ間のレーザガス３を放電励起し、レー
ザ出力を得るが、この放電励起には、通常数気圧の高ガ
ス圧力下において非常に高いエネルギ密度の放電入力を
必要とする。高エネルギ密度の放電ではガス温度は瞬時
に高温となり、放電は不安定になり易い。このため放電
は数１００ｎｓしか持続できず間欠的パルスでしか運転
できない。

【０００９】また、一対の放電電極４ａ，４ｂの放電後
の高温になったレーザガス３はそのガス流により放電部
から除去され、新しいガスが放電部に連続的に供給され
て入れ替るが、境界層９の発達により下流側流路壁面付
近のガス流速が著しく低下するため一対の放電電極４
ａ，４ｂ表面のレーザガス３の入れ替えが効率よく行な
われなかった。そのため放電部流速を必要以上に高めて
放電部のガスの入れ替えを行なっている。

【００１０】しかし、レーザガス３の循環に必要な動力
は一般にガス流速の３乗に比例するうえに、従来のエキ
シマレーザ発振装置１では理論上必要な放電部流速に対
して現実にはその理論値の５〜１０倍のガス流速を安定
に運転するために流している。そのため、理論的に必要
なガス循環動力の１００倍から１０００倍の動力をガス
循環のために浪費している。

【００１１】また、放電部にはパルス繰返し数に応じて
レーザガス３を流しているが、これは局所的な放電集中
の抑止、および放電部構造体の冷却を主目的としてい
る。つまり、放電集中はレーザ出力を低下させ、さらに
放電電極４ａ，４ｂを損傷し、レーザガスの劣化を早め
るので、放電集中の抑止は重要な技術課題となってい
る。

【００１２】ところで、エキシマレーザ発振装置１の放
電では予備電離７ａと７ｂ，８ａと８ｂにより紫外光を
発生させ、その光電離作用により一対の放電電極４ａ，
４ｂ間を流れるレーザガス３を電離する。このとき生成
された初期電子は、放電電極４ａ，４ｂへの電圧印加の
初期段階では電解によりアノード方向に移動すると共
に、カソード近傍の電子も移動するのでカソード表面上
に電子欠乏層ができる。

【００１３】しかし、この電子欠乏層が厚いと放電集中
が起きる（V.G.Geinman,他６名著、「Formation of sel
f-sustained volume discharges in large interelectr
odegaps. 」Sov.Phys.Tech.Phys.,Vol.30,Dec.1985,pp1
394-1397 参照）。

【００１４】したがって、従来のエキシマレーザ発振装
置１では高繰返しパルス放電により運転すると、放電電
極４ａ，４ｂの数ヵ所に電流が集中する場所が生じ、電
気回路の特性として高繰返し運転では放電電極４ａ，４
ｂへの電圧印加がパルス繰り返しの遅い場合よりもゆっ
くり起きる。この電圧印加速度が遅いと、電子欠乏層が
厚くなり電流の集中が生じる。電流の集中が生じると放
電電流が有効に使用されず、レーザ発振効率が悪くなっ
てしまう。

【００１５】また、従来の放電電極４ａ，４ｂの外面が
平滑であるので、長期間使用すると、放電の作用により
一点から数点の放電集中部が発生し、放電によるレーザ
ガス励起が一部に集中し、レーザガス３の励起効率が悪
化してしまう。

【００１６】本発明は上記の問題点を解決するためにな
されたもので、その目的は放電部におけるレーザガスの
流れを均等化してその流速を向上させることができる高
効率のエキシマレーザ発振装置を提供することを目的と
する。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために次のように構成される。

【００１８】本願の請求項１に記載の発明は、本体ケー
ス内のレーザガスを冷却自在に循環せしめる装置と、前
記レーザガスの流路でパルス放電してこのレーザガスを
励起する一対の放電電極とを有するエキシマレーザ発振
装置において、前記放電電極よりも下流側であって、前
記レーザガスの流れ方向に沿って末広のレーザガス流路
の壁面に、複数の凹部を形成する一方、前記放電電極の
外面に複数の円形状凹部または溝を形成し、各円形状凹
部の直径または溝の幅を、一対の放電電極の放電間距離
の５０％以下に設定してなることを特徴とする。

【００１９】また、本願の請求項２に記載の発明は、円
形状凹部は、放電電極の総面積に対する面積比が７８．
５％以下になるように形成されていることを特徴とす
る。

【００２０】さらに、本願の請求項３に記載の発明は、
円形状凹部または溝は、一対の放電電極のカソードに形
成されていることを特徴とする。

【００２１】さらにまた、本願の請求項４に記載の発明
は、本体ケース内のレーザガスを冷却自在に循環せしめ
る装置と、前記レーザガスの流路でパルス放電してこの
レーザガスを励起する一対の放電電極とを有するエキシ
マレーザ発振装置において、放電電極の少なくとも一部
を透過するＸ線をレーザガスに照射し、このレーザガス
を予備電離せしめるＸ線管を設ける一方、前記Ｘ線が透
過する前記放電電極のＸ線透過部の肉厚を薄くし、この
薄肉部外面に円形状凹部または溝を形成したことを特徴
とする。

【００２２】

【作用】放電電極の外面、または、その下流側のレーザ
ガスの流路壁面には、円形凹部であるディンプルや溝等
の凹部を形成しているので、これら凹部でレーザガスの
流れに乱れが発生する。このレーザガスの乱れによって
ガス流路壁面付近の低い速度（運動量）のレーザガスは
流れ中心部に流れ込み、逆に中心部の大きな速度（運動
量）のレーザガスは流路壁面付近に流れ込む。そのため
運動量の異なるレーザガス同士の混合が発生するので、
境界層の発達を防止ないし低減して放電部のレーザガス
の流速が均一化される。特に、レーザガス流路壁面付近
のガス流速が改善されるので、放電部のレーザガスの入
れ替え効率が良くなり、送風機の風量を低くしても、そ
のガスの入れ替えが充分に行なわれる。そのため、送風
機風量を下げることができる。送風機動力は送風機風量
の例えばほぼ３乗に比例するので、送風機風量を若干で
も下げることは送風機動力の大幅な低減につながり、レ
ーザ発振装置全体の効率を著しく向上させることができ
る。

【００２３】そして、各円形状凹部の直径または溝の幅
を、一対の放電電極の放電間距離の５０％以下に設定し
ているので、これら円形状凹部または溝のレーザガスを
放電励起させることができる。

【００２４】しかも、請求項２の発明によれば、円形状
凹部については、その凹部の総面積が放電電極の総面積
に対する面積比が７８．５％以下になるように形成する
ことにより、円形状凹部同士間の間隙が小さくなり過ぎ
て放電が不安定になるのを低減ないし防止することがで
きる。つまり、一対の放電電極間の放電を安定させるこ
とができる。

【００２５】また、請求項３の発明によれば、カソード
に、円形状凹部または溝を形成するので、これら円形状
凹部または溝のエッジ部で発生する放電から電子が補給
されるので、電子欠乏層を低減して放電集中を低減ない
し防止することができる。

【００２６】そして、請求項４の発明によれば、円形状
凹部または溝がＸ線管からのＸ線を散乱させるので、レ
ーザガスをより均一に予備電離でき、放電が一層均一に
なるので、レーザガスの励起効率を向上させることがで
きる。

【００２７】

【実施例】以下、本発明の実施例を図１〜図５に基づい
て説明する。なお、図１〜図５中、同一または相当部分
には同一符号を付している。

【００２８】図１は本発明の第１実施例の全体構成を示
す縦断面図であり、この図１において、エキシマレーザ
発振装置１１は密閉容器の本体ケース１２内に、レーザ
ガス１３を充填する一方、所要の繰り返し周波数でパル
ス放電する上下一対の放電電極１４ａ，１４ｂと、レー
ザガス１３を本体ケース１２内で例えば図中矢印方向に
循環せしめる送風機１５と、この送風機１５の図中左右
に配設されて、レーザガス１３を冷却せしめる一対の熱
交換器１６ａ，１６ｂとを内蔵している。

【００２９】また、一対の放電電極１４ａ，１４ｂの図
中左右には、上下一対の予備電離電極１７ａと１７ｂ，
１８ａと１８ｂを配設している。図２にも示すように一
対の放電電極１４ａ，１４ｂ間のギャップには、その垂
直方向、つまり、図中矢印方向に流れるレーザガス１３
の流路１９を形成し、この流路１９は上流側１９ａと下
流側１９ｂとに向けてそれぞれ次第に拡径するように形
成されている。

【００３０】そして、一対の放電電極１４ａ，１４ｂ
は、その半球状外面に、平面形状が円形の円形凹部であ
る複数のディンプル２０をそれぞれ形成している。

【００３１】このディンプル２０には文献（加藤雅弘、
他３名著、「球状飛翔体における抗力と揚力、流れの可
視化」Vol.7 Suppl.、１９８７年１０月、pp.153-156）
に示されるように流体流れの剥離を妨げる効果がある。
つまり、ゴルフボールに形成されるディンプルは気流に
乱れを発生させ、その乱れによってボール表面付近の低
い速度のガス流が流れ中心部に流れ込む一方、流れ中心
部の高速度のガスは壁面付近に流れ込む。そのため、壁
面近くの上述の壁面近くの遅いガス流と壁面から離れた
部分の速いガス流とが混合し、ゴルフボール表面の流速
が上がる。流れの剥離とは表面近くの流速が０またはマ
イナスになった状態をいうので、ディンプルの剥離を妨
げる効果はこの乱れの発生による。

【００３２】これとほぼ同様に、一対の放電電極１４
ａ，１４ｂの外面のディンプル２０も同様にレーザガス
１３の流れに乱れを発生させ、その乱れによって放電電
極１４ａ，１４ｂ付近の低い速度（運動量）のレーザガ
ス流は中心部に流れ込み、逆に中心部の大きな速度（運
動量）のレーザガス流は壁面付近に流れ込み、これらは
混合するので、上述のゴルフボールと同様に、図７で示
す従来のエキシマレーザ発振装置１の境界層９の発達が
防止ないし低減されて放電部におけるレーザガス１３の
流速が均一化される。

【００３３】したがって、レーザガス１３の放電部にお
ける入れ替え効率が良くなり、送風機１５の風量が低く
ても放電部のレーザガスの入替えが十分に行なわれるの
で、送風機風量を下げることができる。このため、従来
は、レーザの高繰返し運転をする際、放電電極１４ａ，
１４ｂ外面近傍のレーザガス１３の流速が必要なガス流
速になるように、送風機風量を増大させることで対応し
てきたが、従来は放電電極１４ａ，１４ｂ近傍のレーザ
ガス流速を必要最小限の値としても、放電電極１４ａ，
１４ｂ間中央部での連続ガス流速は必要量を大幅に上回
りに無駄になっていた。これに対して本実施例のように
ディンプル２０を放電電極１４ａ，１４ｂに設けると、
放電電極１４ａ，１４ｂ近傍のレーザガス流速が放電電
極１４ａ，１４ｂ間中心部の流速値に近付く。したがっ
て、放電電極１４ａ，１４ｂ近傍の流速を必要最小限の
値にすると、放電電極１４ａ，１４ｂ中心部のガス流速
も壁面での流速と大きく変わらないので無駄が少なくな
る。また、送風機動力は送風機風量の３乗に比例するの
で、送風機１５の風量を若干でも下げることは送風機動
力の大幅な低減につながり、レーザ発振装置１１全体の
効率を著しく向上させることができる。

【００３４】ところで、ディンプル２０を放電電極１４
ａ，１４ｂの外面に形成することによりディンプル２０
のエッジ部に電界が集中するので、ディンプル２０のエ
ッジ部に電流が集中する可能性が高くなる。しかも、こ
の電界集中が一点に集中する場合や、この集中部の電極
表面全体に対する面積比が非常に小さい場合は、レーザ
出力が低下してしまう。図７で示す従来の放電電極４
ａ，４ｂの場合、その外面が平滑であるので、長期間使
用すると、放電作用により一点から数点の放電集中部が
発生し、放電によるレーザガス励起が一部に集中し、レ
ーザガスの励起効率が悪くなってしまう。

【００３５】これに対し、ディンプル２０を放電電極１
４ａ，１４ｂの外面に設けた本実施例の場合は、電界集
中部が電極表面に満遍なく分布することになり、放電は
長期的に安定化し、放電によるレーザガス励起も均一に
行なわれる。

【００３６】なお、上記ディンプル２０は放電電極１４
ａ，１４ｂ外面のレーザガス流に乱れを与えるために形
成したものであるから、レーザガス１３の流れを乱す形
状であれば、ディンプル２０の代りに複数の溝を放電電
極１４ａ，１４ｂの外面に形成してもよく、上記実施例
とほぼ同様の効果を得ることができる。この溝は碁盤目
状に形成してもよいし、スパイラルにしてもよい。また
これら、溝、ディンプル２０の形状は、突起でなければ
どのような形状であってもよく、また、一対の放電電極
１４ａ，１４ｂのカソードとアノードとで形状を変えて
もよい。なお、突起でも流体力学的には同様の効果を得
ることができるが、突起とした場合、放電時に電流が突
起に集中し、アーク状放電になり易い。この場合に、レ
ーザ出力は低下するがレーザ発振をすることはできる。

【００３７】そして、上記第１実施例の場合、放電電極
１４ａ，１４ｂの外面に形成した各ディンプル２０のサ
イズが大き過ぎると、ディンプル２０の凹部のレーザガ
スが放電励起されなくなってしまい、上記効果が得られ
なくなる場合がある。つまり、各ディンプル２０のサイ
ズは少なくとも放電幅（放電間距離）よりも小さい直径
（溝の場合は幅）であることが必要であり、放電幅の５
０％以下が適当な大きさである。またディンプル２０の
ピッチも放電に関係するディンプル凹部を除く部分の面
積があまり小さくなると、放電の不安定を招くため、デ
ィンプル２０の凹部の総面積が放電電極１４ａ，１４ｂ
の総面積に対する面積比が７８．５％以下であることが
必要である。

【００３８】図３は本発明の第２実施例の要部縦断面図
であり、これは電極部の下流側のレーザガス流路１９ｂ
の内壁面１９ｃにも複数のディンプル２０ａを形成した
点に特徴がある。

【００３９】この第２実施例によれば、下流側レーザガ
ス流路１９ｂの壁面１９ｃにこのように複数のディンプ
ル２０ａを設けることによりレーザガス１３の流れの剥
離を防止することができる。つまり、レーザガス１３の
流れが剥離してしまった場合は、その流路壁面近傍でレ
ーザガス１３が停滞する。放電後のレーザガス１３は電
離しており、また金属蒸気を含むので電気抵抗が低い。
したがって、レーザガス１３が放電電極１４ａ，１４ｂ
の近傍で滞留した場合、その電気抵抗の低い部分を放電
電流が流れるので、レーザガス１３が有効に励起されな
くなり、レーザ発振効率を悪化させる。

【００４０】これに対し、この第２実施例では一対の放
電電極１４ａ，１４ｂ外面と流路壁面１９ｃとにディン
プル２０，２０ａを設けるので、レーザガス１３の循環
が良好になり、このために、放電電流がレーザガス１３
の励起に有効に使われ、レーザ発振効率を向上させるこ
とができる。

【００４１】図４は本発明の第３実施例の要部縦断面図
であり、この実施例は上記第１実施例における予備電離
電極１７ａと１７ｂ，１８ａと１８ｂをＸ線管２１に置
換した点に特徴がある。このＸ線管２１は一対の放電電
極１４ａ，１４ｂの一方、例えば１４ｂ内へ、その裏面
の凹部１４ｂ1 より挿入されて、その先端よりも先方の
透過部１４ｂ2 を透過してレーザガス１３にＸ線を照射
してレーザガス１３を予備電離するものである。

【００４２】そして、一方の放電電極１４ｂのＸ線透過
部１４ｂ2 の外面にも複数のディンプル２０または溝を
設けている。このために、ディンプル２０または溝がＸ
線管２１からのＸ線を散乱させる効果を持つので、レー
ザガス１３をより均一に予備電離でき、放電がより均一
になるので、レーザガス１３の励起効率を向上させるこ
とができる。また、図５に示すように、放電電極のＸ線
透過部１４ｂ2 の肉厚をより薄くすることにより、この
部分のＸ線透過率を上げて予備電離効率をさらに高め、
レーザガス励起効率を向上させることができる。

【００４３】なお、高繰返し運転のエキシマレーザでは
レーザガス１３の流速が非常に速い。この場合、放電電
極１４ａ，１４ｂ間の流路１９に流れるレーザガス１３
の流れは完全に乱流となり、境界層９（図７参照）はあ
まり発達しない。このような場合にも放電電極１４ａ，
１４ｂのカソード側にディンプル２０を設けると、放電
集中を防止する効果が得られる。つまり、ティンプル２
０を設けると、そのディンプル２０のエッジ部に電界の
集中が起きるが、カソードにディンプル２０を設ける
と、この電界集中部からの電子の放出が、電圧印加の初
期段階から起きる。そして、前述したように高繰返し運
転時にはカソード表面近傍の電子欠乏層が厚くなり、放
電電流集中を引き起こし、レーザ発振効率を下げてしま
うが、ディンプル２０をカソードに設けると、ディンプ
ルのエッジ部から放出される電子がこれを補い、電子欠
乏層が生じない。そのため、高繰返し運転時特有の放電
電流の集中を避けることができるので、高繰返し運転時
の効率の低下を防ぐことかできる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、放電電極
の外面、またはその下流側のレーザガスの流路壁面に、
円形凹部であるディンプルや溝等の凹部を複数形成した
ので、これら凹部によりレーザガスの流れに乱流を与え
て、その流路に境界層が形成されるのを低減ないし防止
することができる。このために、レーザガス循環に必要
な送風機動力を低減することができると共に、レーザガ
ス流速を高めて放電領域で加熱されたレーザガスの入替
えをスムーズに行なうことができるので、レーザ発振効
率を高めることができる。

【００４５】そして、各円形状凹部の直径または溝の幅
を、一対の放電電極の放電間距離の５０％以下に設定し
ているので、これら円形状凹部または溝のレーザガスを
放電励起させることができる。

【００４６】しかも、円形状凹部については、その凹部
の総面積が放電電極の総面積に対する面積比が７８．５
％以下になるように形成することにより、円形状凹部同
士間の間隙が小さくなり過ぎて放電が不安定になるのを
低減ないし防止することができる。つまり、一対の放電
電極間の放電を安定させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るエキシマレーザ発振装置の第１実
施例の全体構成を示す縦断面図。

【図２】図１の要部拡大図。

【図３】本発明の第２実施例の要部拡大図。

【図４】本発明の第３実施例の要部拡大図。

【図５】本発明の第４実施例の要部拡大図。

【図６】従来のエキシマレーザ発振装置の全体構成を示
す縦断面図。

【図７】図６の一部拡大図。

【図８】（Ａ）は図７で示すＡ−Ａ部のレーザガス流速
分布図、（Ｂ）は図７で示すＢ−Ｂ部のレーザガス流速
分布図。

【符号の説明】

１１エキシマレーザ発振装置１２本体ケース１３レーザガス１４ａ，１４ｂ一対の放電電極１５送風機１６ａ，１６ｂ熱交換器１７ａと１７ｂ，１８ａと１８ｂ２対の予備電離電極１９流路１９ｂ下流側流路１９ｃ流路壁面２０，２０ａディンプル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平４−129283（ＪＰ，Ａ) 特開平２−199883（ＪＰ，Ａ) 特開平６−152003（ＪＰ，Ａ) 特開平４−305987（ＪＰ，Ａ) 特開平５−47671（ＪＰ，Ａ) 特開平３−239914（ＪＰ，Ａ) 特開平３−80876（ＪＰ，Ａ) 特開平６−85350（ＪＰ，Ａ) 特開平４−348573（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】本体ケース内のレーザガスを冷却自在に
循環せしめる装置と、前記レーザガスの流路でパルス放
電してこのレーザガスを励起する一対の放電電極とを有
するエキシマレーザ発振装置において、前記放電電極よ
りも下流側であって、前記レーザガスの流れ方向に沿っ
て末広のレーザガス流路の壁面に、複数の凹部を形成す
る一方、前記放電電極の外面に複数の円形状凹部または
溝を形成し、各円形状凹部の直径または溝の幅を、一対
の放電電極の放電間距離の５０％以下に設定してなるこ
とを特徴とするエキシマレーザ発振装置。
【請求項２】円形状凹部は、放電電極の総面積に対す
る面積比が７８．５％以下になるように形成されている
ことを特徴とする請求項１記載のエキシマレーザ発振装
置。
【請求項３】円形状凹部または溝は、一対の放電電極
のカソードに形成されていることを特徴とする請求項１
または２に記載のエキシマレーザ発振装置。
【請求項４】本体ケース内のレーザガスを冷却自在に
循環せしめる装置と、前記レーザガスの流路でパルス放
電してこのレーザガスを励起する一対の放電電極とを有
するエキシマレーザ発振装置において、放電電極の少な
くとも一部を透過するＸ線をレーザガスに照射し、この
レーザガスを予備電離せしめるＸ線管を設ける一方、前
記Ｘ線が透過する前記放電電極のＸ線透過部の肉厚を薄
くし、この薄肉部外面に円形状凹部または溝を形成した
ことを特徴とするエキシマレーザ発振装置。