SE469305B - Foerfarande foer framstaellning av hoegeffektiva jonridaaer med hoeg verkningsgrad - Google Patents

Foerfarande foer framstaellning av hoegeffektiva jonridaaer med hoeg verkningsgrad

Info

Publication number
SE469305B
SE469305B SE9101934A SE9101934A SE469305B SE 469305 B SE469305 B SE 469305B SE 9101934 A SE9101934 A SE 9101934A SE 9101934 A SE9101934 A SE 9101934A SE 469305 B SE469305 B SE 469305B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
acceleration
window
windows
electrons
voltage
Prior art date
Application number
SE9101934A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9101934D0 (sv
SE9101934L (sv
Inventor
P Puumalainen
Original Assignee
Tampella Oy Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tampella Oy Ab filed Critical Tampella Oy Ab
Publication of SE9101934D0 publication Critical patent/SE9101934D0/sv
Publication of SE9101934L publication Critical patent/SE9101934L/sv
Publication of SE469305B publication Critical patent/SE469305B/sv

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J33/00Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05HPLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H5/00Direct voltage accelerators; Accelerators using single pulses

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)

Description

'469 305 10 15 20 25 30 35 2 fönstrets ytareor. I tidigare kända anordningar varierar förlusten mellan 25 och 35 %. Dessutom åstadkommer dylik acceleration av elektroner från en öppning till en annan över en accelerationsspänning alltid att elektronerna träffar fönsteröppningens kanter och ytan av nedkyl- nings- och stödribborna som inifrån sett utskjuter från fönsteröppningarna, varvid de resulterande förlusterna ligger inom området 10 - 25 %. Själva fönstret åstad- kommer en förlust av minst 5 - 15 %. Ifall fönstren ersätts av ett litet hål anordnat i anordningen för avgivning av elektroner och för avtappning av luften som tvingats in i vakuumet med hj älp av högeffektiva pumpsystem, är den utkommande elektronstrålen först mycket tät och bör låtas bli jämnare i luften innan den används, eftersom alla elektronstråltillämpningar kräver en jämn dos per volym- eller areaenhet. Det är lätt att kalkylera att effekten som krävs i t.ex. en rökgas- tillämpning för att åstadkomma en minimidos på tvär- snittsprofilens varje punkt är därvid tre gånger större än i anordningar som framställer en ridåformig stråle.
För närvarande är det nödvändigt att använda höga effek- ter i det gömda glödet vid acceleration från öppning till öppning, vilket ofta förbrukar 5 - 10 % av total- effekten. Den beräknade verkningsgraden av denna accele- rationsteknik är i allmänhet så litet som 20 - 40 %.
T.ex. energin som i stora kraftverk förbrukas för ren- göring av rökgaser enligt denna teknik utgör flera pro- cent av kraftverkets behov av eleffekt, varför en för- höjd verkningsgrad är en viktig faktor då inköp av dessa anordningar skall göras attraktivare.
Uppfinningens avsikt uppnås med hjälp av ett förfarande som kännetecknas huvudsakligen av det som anges i bifogade patentkrav.
De viktigaste fördelarna med föreliggande upp- finning uppnås speciellt med hjälp av elektronaccele- 10 15 20 25 30 35 t§4e9 ses 3 rationstekniken, i vilken utformningen av elektronbanor utförs först i anslutning till lågenergiaccelerationen, medan elektronerna förs effektivt genom fönstren i den egentliga högenergiaccelerationen. Dessutom kan verk- ningsgraden av varje enskild anordning ökas, eftersom flera successiva fönster kan anordnas i anordningen, varvid varje fönster avger en högeffektiv jonridà.
I det följ ande beskrivs förfarandet enligt uppfinningen mera detaljerat med hänvisning till bi- fogade ritningar, där figur l är en allmän vy av en anordning enligt uppfinningen i riktning med de långa fönstren; och figur 2 visar anordningen för utförande av förfarandet i en genomskärning längs linjen A - A i figur 1, varvid det mellersta fönstret visas i plan med ritningen.
I förfarandet accelereras från en elektron- källa 1 erhållna elektroner av en lågenergiaccelera- tionsspänning mot gallerformiga föraccelerationsföns- ter 2. Motspänningstrådar 3 som är belägna mellan gallerfönstren och en magnetisk fördelare 4 är anordnade för att åstadkomma en jämn passage av elektroner till gallerfönstren. Dessutom omfattar anordningen egentliga accelerationsfönster 5 som är belägna på ett avstånd från föraccelerationsfönstren 2. En spänning av 100 eV förekommer mellan elektronkällan l och föraccelerations- fönstren 2, så att elektronernas hastighet över detta avstånd inte kommer att bli speciellt hög. Motspän- ningstrådarna 3 är belägna på ett annat avstånd från föraccelerationsfönstren 2, varvid trädens avstånd på- verkar elektronfördelningen i sidled på så sätt att elektronströmmen kommer att bli väsentligen jämn inom området för föraccelerationsfönstret. Mellan föraccele- rationsfönstren 2 och acoelerationsfönstren 5 råder en spänning av ca 300 kV, varvid elektronerna som kommit '469 305 10 15 20 25 30 35 4 till föraccelerationsfönstren utsätts för en stark acce- lerationseffekt. Det väsentliga i uppfinningen är att vid användning av en punktformig elektronkälla väljs ett lämpligt område i elektronströmmen, och elektronerna som rör sig inom detta område styrs med hjälp av motspän- ningstrådarna 3 till föraccelerationsfönstren 2 i önskad riktning, medan överflödiga elektroner och elektroner som rör sig i icke-önskad riktning kasseras då de träf- far väggarna i övre delen av utformningskammaren som innefattar elektronkällan 1, eftersom föraccelerations- fönstrens 2 attraktionskraft är svag i utformningskam- marens övre del. Eftersom spänningen mellan elektronkäl- lan 1 och föraccelerationsfönstren 2 är enbart 100 eV är förlusten, som de kasserade elektronerna förorsakar, praktiskt taget obetydlig då den jämförs med anord- ningens totala effektbehov. Största delen av anord- ningens effektbehov förbrukas i accelerationen av elek- tronerna som har träffat föraccelerationsfönstren, dvs. de förvalda elektronerna, av vilka de flesta kommer att ingå i den slutliga strålningen, med hjälp av den höga accelerationsspänningen mellan föraccelerationsfönstren 2 och de egentliga accelerationsfönstren 5. T.ex. vid en acceleration av 100 eV och en total acceleration av 300 keV kan utformningen av elektronbanor förbruka t.o.m. 90 % av elektroneffekten, vilket emellertid är endast 3 promille av totaleffekten. Dessutom kan elek- tronerna dras effektivt eftersom den låga accelerations- spänningens fältlinjer direkt på elektronkällans yta inte är tillräckligt starka för att åstadkomma ett ge- nomslag på grund av en plasmaurladdning. Den egentliga högspänningsaccelerationen kan nu påverkas direkt mel- lan det nedsänkta gallret eller föraccelerationsfönstren 2 och de uppåt böjda accelerationsfönstren 5, såsom visas i figurerna, varvid det elektriska fältets fält- linjer alltid för elektronerna som avges från galler- 10 15 #469 ass* 5 fönstren jämnt genom fönstren. På detta sätt åstadkoms flera (även tiotals) fönster i stället för ett smalt fönster och nedkylningsgallren i fönstren utelämnas.
Fönstermaterialet kan bestå av skikt genom att anordna t.ex. en berylliumhinna, som effektivt överför värme från fönstret till den nedkylna ramstrukturen, på inre ytan av ett titanfönster med god korrosionsbeständighet.
Ett fönster med dylik dubbelstruktur är dessutom betyd- ligt effektivare än ett konventionellt fönster som be- står enbart av titan. Titanfönstrets korrosionsbestän- dighet och mekaniska styrka kan vidare förbättras genom att nitrera dess yttre yta till en titannitridyta.
Uppfinningen är inte begränsad till ovan be- skrivna tillämpningar utan den kan varieras inom ramen för patentkraven.

Claims (4)

'469 505 10 15 20 25 30 35 PATENTKRAV
1. Förfarande för framställning av högeffektiva jonridåer med hjälp av elektronacceleratorer, i vilket förfarande elektronerna accelereras först med en låg- spänning mellan en elektronkälla och föraccelerations- fönster (2) och därefter med en högspänning mellan för- accelerationsfönstren (2) och accelerationsfönster (5), k ä n n e t e c k n a t därav, att elektronkällan är ett tallriksformat sekundärglöd som är upphettat av elektroner accelererade från ett primärglöd, varvid elektronerna erhållna från sekundärglödets yta används i accelerationerna, att de från sekundärglödet erhållna elektronerna som skall accelereras med en lågspänning formas med både elektriska motspänningar (3) och mag- netisk fördelning (4) att bilda en homogen ström till föraccelerationsfönstren (2) utan hänsyn till att elek- troner går förlorade i väggar och fönsterkanter.
2. Förfarande enligt patentkravet 1, k ä n - n e t e c k n a t därav, att lågspänningsföraccelera- tionsfönstren. är nedsänkta gallerfönster (2), medan accelerationsfönstren (5) är böjda uppåt, varvid den höga accelerationsspänningens fältlinjer går homogent från ett fönster till ett annat.
3. Förfarande enligt patentkravet 1 eller 2, k ä n n e t e c k n a t därav, att fönstret omfattar flera skikt, av vilka ett är ett berylliummetallskikt som effektivt leder värme från fönstret till ramstruk- turerna, och det yttersta skiktet är utgjort av ett material med god korrosionsbeständighet, såsom titan.
4. Förfarande enligt patentkravet l - 3, att accelerations- k ä n n e t e c k n a t därav, 'w fönstret behandlas kemiskt för att förbättra dess korro- sionsbeständighet t.ex. genom att förse titanfönstret med en titannitridyta. 4469 sssa
SE9101934A 1989-02-02 1991-06-24 Foerfarande foer framstaellning av hoegeffektiva jonridaaer med hoeg verkningsgrad SE469305B (sv)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI890494A FI84961C (sv) 1989-02-02 1989-02-02 Förfarande för alstrande av högeffektelektronridåer med hög verkningsg rad

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9101934D0 SE9101934D0 (sv) 1991-06-24
SE9101934L SE9101934L (sv) 1991-06-24
SE469305B true SE469305B (sv) 1993-06-14

Family

ID=8527821

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9101934A SE469305B (sv) 1989-02-02 1991-06-24 Foerfarande foer framstaellning av hoegeffektiva jonridaaer med hoeg verkningsgrad

Country Status (8)

Country Link
US (1) US5175436A (sv)
JP (1) JPH04504483A (sv)
AU (1) AU4956390A (sv)
DD (1) DD294609A5 (sv)
DE (1) DE4090107T (sv)
FI (1) FI84961C (sv)
SE (1) SE469305B (sv)
WO (1) WO1990009030A1 (sv)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE59102266D1 (de) * 1990-01-31 1994-08-25 Pfitzer Christian Verfahren und einrichtung zur behandlung vom teilchenförmigem material mit elektronenstralen.
US5126633A (en) * 1991-07-29 1992-06-30 Energy Sciences Inc. Method of and apparatus for generating uniform elongated electron beam with the aid of multiple filaments
US5561298A (en) * 1994-02-09 1996-10-01 Hughes Aircraft Company Destruction of contaminants using a low-energy electron beam
US5962995A (en) * 1997-01-02 1999-10-05 Applied Advanced Technologies, Inc. Electron beam accelerator
US7026635B2 (en) 1999-11-05 2006-04-11 Energy Sciences Particle beam processing apparatus and materials treatable using the apparatus
US6426507B1 (en) 1999-11-05 2002-07-30 Energy Sciences, Inc. Particle beam processing apparatus
US20030001108A1 (en) 1999-11-05 2003-01-02 Energy Sciences, Inc. Particle beam processing apparatus and materials treatable using the apparatus
FR2861215B1 (fr) * 2003-10-20 2006-05-19 Calhene Canon a electrons a anode focalisante, formant une fenetre de ce canon, application a l'irradiation et a la sterilisation
JP2007051996A (ja) * 2005-08-19 2007-03-01 Ngk Insulators Ltd 電子線照射装置

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3013154A (en) * 1958-11-14 1961-12-12 High Voltage Engineering Corp Method of and apparatus for irradiating matter with high energy electrons
US3144552A (en) * 1960-08-24 1964-08-11 Varian Associates Apparatus for the iradiation of materials with a pulsed strip beam of electrons
GB1251333A (sv) * 1967-10-31 1971-10-27
US3469139A (en) * 1968-02-27 1969-09-23 Ford Motor Co Apparatus for electron beam control
DE1950290B2 (de) * 1969-10-06 1975-10-09 Stahlwerke Suedwestfalen Ag, 5930 Huettental-Geisweid Hochleistungs-Strahlerzeugungssystem
US3621327A (en) * 1969-12-29 1971-11-16 Ford Motor Co Method of controlling the intensity of an electron beam
US3778655A (en) * 1971-05-05 1973-12-11 G Luce High velocity atomic particle beam exit window
US3702412A (en) * 1971-06-16 1972-11-07 Energy Sciences Inc Apparatus for and method of producing an energetic electron curtain
DE2503499A1 (de) * 1975-01-29 1976-08-05 Licentia Gmbh Elektronendurchlaessiges fenster
US4061944A (en) * 1975-06-25 1977-12-06 Avco Everett Research Laboratory, Inc. Electron beam window structure for broad area electron beam generators
US4048534A (en) * 1976-03-25 1977-09-13 Hughes Aircraft Company Radial flow electron gun
US4362965A (en) * 1980-12-29 1982-12-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Composite/laminated window for electron-beam guns
FI70347C (fi) * 1983-05-03 1986-09-15 Enso Gutzeit Oy Foerfarande och anordning foer aostadkommande av en av intensitetfoerdelning justerbar elektronridao
FI70346C (fi) * 1983-05-03 1986-09-15 Enso Gutzeit Oy Anordning foer aostadkommande av en elektronridao

Also Published As

Publication number Publication date
AU4956390A (en) 1990-08-24
FI890494A (fi) 1990-08-03
DE4090107T (sv) 1991-11-21
FI84961B (fi) 1991-10-31
SE9101934D0 (sv) 1991-06-24
WO1990009030A1 (en) 1990-08-09
SE9101934L (sv) 1991-06-24
US5175436A (en) 1992-12-29
FI84961C (sv) 1992-02-10
DD294609A5 (de) 1991-10-02
FI890494A0 (fi) 1989-02-02
JPH04504483A (ja) 1992-08-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3328498B2 (ja) 高速原子線源
JP4856571B2 (ja) プラズマ発生装置
US20120161672A1 (en) High-Current DC Proton Accelerator
KR101064567B1 (ko) 빔폭 제어 가능한 전자빔 제공 장치
US9564283B2 (en) Limiting migration of target material
JP2006506521A (ja) 高蒸着速度スパッタリング
RU2000127113A (ru) Способ и устройство для осаждения двухосно текстурированных покрытий
SE469305B (sv) Foerfarande foer framstaellning av hoegeffektiva jonridaaer med hoeg verkningsgrad
JP4385360B2 (ja) プラズマ真空ポンプセル
JPH01501353A (ja) 動電子放出装置
KR20120137920A (ko) 고효율 광조사식 제전 시스템
KR102118604B1 (ko) 라인 형태의 이온빔 방출 장치
US6151384A (en) X-ray tube with magnetic electron steering
JP3064214B2 (ja) 高速原子線源
JP2012164677A (ja) イオンガン、及び成膜装置
Suetsugu High-intensity synchrotron radiation effects
JP2007164987A (ja) ガスクラスターイオンビーム照射装置
FI88226C (sv) Förfarande för styrning av en elektronstråle i en elektronaccelerator samt en elektronaccelerator
CN109786203B (zh) 多通道离子源产生装置
JP6758958B2 (ja) 重イオンビーム生成装置及び方法
CN213374126U (zh) 一种等离子杀毒灭菌装置
CN109860008B (zh) 基于热电子放电的潘宁离子源
Kennedy Vacuum system for the LBL advanced light source (ALS)
JPH11231100A (ja) 電子線照射装置
Pivi et al. Suppressing electron cloud in future linear colliders

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed

Ref document number: 9101934-9

Effective date: 19940910

Format of ref document f/p: F