SE469305B - Foerfarande foer framstaellning av hoegeffektiva jonridaaer med hoeg verkningsgrad - Google Patents
Foerfarande foer framstaellning av hoegeffektiva jonridaaer med hoeg verkningsgradInfo
- Publication number
- SE469305B SE469305B SE9101934A SE9101934A SE469305B SE 469305 B SE469305 B SE 469305B SE 9101934 A SE9101934 A SE 9101934A SE 9101934 A SE9101934 A SE 9101934A SE 469305 B SE469305 B SE 469305B
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- acceleration
- window
- windows
- electrons
- voltage
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 39
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 4
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 239000003546 flue gas Substances 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J33/00—Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H5/00—Direct voltage accelerators; Accelerators using single pulses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
Description
'469 305 10 15 20 25 30 35 2 fönstrets ytareor. I tidigare kända anordningar varierar förlusten mellan 25 och 35 %. Dessutom åstadkommer dylik acceleration av elektroner från en öppning till en annan över en accelerationsspänning alltid att elektronerna träffar fönsteröppningens kanter och ytan av nedkyl- nings- och stödribborna som inifrån sett utskjuter från fönsteröppningarna, varvid de resulterande förlusterna ligger inom området 10 - 25 %. Själva fönstret åstad- kommer en förlust av minst 5 - 15 %. Ifall fönstren ersätts av ett litet hål anordnat i anordningen för avgivning av elektroner och för avtappning av luften som tvingats in i vakuumet med hj älp av högeffektiva pumpsystem, är den utkommande elektronstrålen först mycket tät och bör låtas bli jämnare i luften innan den används, eftersom alla elektronstråltillämpningar kräver en jämn dos per volym- eller areaenhet. Det är lätt att kalkylera att effekten som krävs i t.ex. en rökgas- tillämpning för att åstadkomma en minimidos på tvär- snittsprofilens varje punkt är därvid tre gånger större än i anordningar som framställer en ridåformig stråle.
För närvarande är det nödvändigt att använda höga effek- ter i det gömda glödet vid acceleration från öppning till öppning, vilket ofta förbrukar 5 - 10 % av total- effekten. Den beräknade verkningsgraden av denna accele- rationsteknik är i allmänhet så litet som 20 - 40 %.
T.ex. energin som i stora kraftverk förbrukas för ren- göring av rökgaser enligt denna teknik utgör flera pro- cent av kraftverkets behov av eleffekt, varför en för- höjd verkningsgrad är en viktig faktor då inköp av dessa anordningar skall göras attraktivare.
Uppfinningens avsikt uppnås med hjälp av ett förfarande som kännetecknas huvudsakligen av det som anges i bifogade patentkrav.
De viktigaste fördelarna med föreliggande upp- finning uppnås speciellt med hjälp av elektronaccele- 10 15 20 25 30 35 t§4e9 ses 3 rationstekniken, i vilken utformningen av elektronbanor utförs först i anslutning till lågenergiaccelerationen, medan elektronerna förs effektivt genom fönstren i den egentliga högenergiaccelerationen. Dessutom kan verk- ningsgraden av varje enskild anordning ökas, eftersom flera successiva fönster kan anordnas i anordningen, varvid varje fönster avger en högeffektiv jonridà.
I det följ ande beskrivs förfarandet enligt uppfinningen mera detaljerat med hänvisning till bi- fogade ritningar, där figur l är en allmän vy av en anordning enligt uppfinningen i riktning med de långa fönstren; och figur 2 visar anordningen för utförande av förfarandet i en genomskärning längs linjen A - A i figur 1, varvid det mellersta fönstret visas i plan med ritningen.
I förfarandet accelereras från en elektron- källa 1 erhållna elektroner av en lågenergiaccelera- tionsspänning mot gallerformiga föraccelerationsföns- ter 2. Motspänningstrådar 3 som är belägna mellan gallerfönstren och en magnetisk fördelare 4 är anordnade för att åstadkomma en jämn passage av elektroner till gallerfönstren. Dessutom omfattar anordningen egentliga accelerationsfönster 5 som är belägna på ett avstånd från föraccelerationsfönstren 2. En spänning av 100 eV förekommer mellan elektronkällan l och föraccelerations- fönstren 2, så att elektronernas hastighet över detta avstånd inte kommer att bli speciellt hög. Motspän- ningstrådarna 3 är belägna på ett annat avstånd från föraccelerationsfönstren 2, varvid trädens avstånd på- verkar elektronfördelningen i sidled på så sätt att elektronströmmen kommer att bli väsentligen jämn inom området för föraccelerationsfönstret. Mellan föraccele- rationsfönstren 2 och acoelerationsfönstren 5 råder en spänning av ca 300 kV, varvid elektronerna som kommit '469 305 10 15 20 25 30 35 4 till föraccelerationsfönstren utsätts för en stark acce- lerationseffekt. Det väsentliga i uppfinningen är att vid användning av en punktformig elektronkälla väljs ett lämpligt område i elektronströmmen, och elektronerna som rör sig inom detta område styrs med hjälp av motspän- ningstrådarna 3 till föraccelerationsfönstren 2 i önskad riktning, medan överflödiga elektroner och elektroner som rör sig i icke-önskad riktning kasseras då de träf- far väggarna i övre delen av utformningskammaren som innefattar elektronkällan 1, eftersom föraccelerations- fönstrens 2 attraktionskraft är svag i utformningskam- marens övre del. Eftersom spänningen mellan elektronkäl- lan 1 och föraccelerationsfönstren 2 är enbart 100 eV är förlusten, som de kasserade elektronerna förorsakar, praktiskt taget obetydlig då den jämförs med anord- ningens totala effektbehov. Största delen av anord- ningens effektbehov förbrukas i accelerationen av elek- tronerna som har träffat föraccelerationsfönstren, dvs. de förvalda elektronerna, av vilka de flesta kommer att ingå i den slutliga strålningen, med hjälp av den höga accelerationsspänningen mellan föraccelerationsfönstren 2 och de egentliga accelerationsfönstren 5. T.ex. vid en acceleration av 100 eV och en total acceleration av 300 keV kan utformningen av elektronbanor förbruka t.o.m. 90 % av elektroneffekten, vilket emellertid är endast 3 promille av totaleffekten. Dessutom kan elek- tronerna dras effektivt eftersom den låga accelerations- spänningens fältlinjer direkt på elektronkällans yta inte är tillräckligt starka för att åstadkomma ett ge- nomslag på grund av en plasmaurladdning. Den egentliga högspänningsaccelerationen kan nu påverkas direkt mel- lan det nedsänkta gallret eller föraccelerationsfönstren 2 och de uppåt böjda accelerationsfönstren 5, såsom visas i figurerna, varvid det elektriska fältets fält- linjer alltid för elektronerna som avges från galler- 10 15 #469 ass* 5 fönstren jämnt genom fönstren. På detta sätt åstadkoms flera (även tiotals) fönster i stället för ett smalt fönster och nedkylningsgallren i fönstren utelämnas.
Fönstermaterialet kan bestå av skikt genom att anordna t.ex. en berylliumhinna, som effektivt överför värme från fönstret till den nedkylna ramstrukturen, på inre ytan av ett titanfönster med god korrosionsbeständighet.
Ett fönster med dylik dubbelstruktur är dessutom betyd- ligt effektivare än ett konventionellt fönster som be- står enbart av titan. Titanfönstrets korrosionsbestän- dighet och mekaniska styrka kan vidare förbättras genom att nitrera dess yttre yta till en titannitridyta.
Uppfinningen är inte begränsad till ovan be- skrivna tillämpningar utan den kan varieras inom ramen för patentkraven.
Claims (4)
1. Förfarande för framställning av högeffektiva jonridåer med hjälp av elektronacceleratorer, i vilket förfarande elektronerna accelereras först med en låg- spänning mellan en elektronkälla och föraccelerations- fönster (2) och därefter med en högspänning mellan för- accelerationsfönstren (2) och accelerationsfönster (5), k ä n n e t e c k n a t därav, att elektronkällan är ett tallriksformat sekundärglöd som är upphettat av elektroner accelererade från ett primärglöd, varvid elektronerna erhållna från sekundärglödets yta används i accelerationerna, att de från sekundärglödet erhållna elektronerna som skall accelereras med en lågspänning formas med både elektriska motspänningar (3) och mag- netisk fördelning (4) att bilda en homogen ström till föraccelerationsfönstren (2) utan hänsyn till att elek- troner går förlorade i väggar och fönsterkanter.
2. Förfarande enligt patentkravet 1, k ä n - n e t e c k n a t därav, att lågspänningsföraccelera- tionsfönstren. är nedsänkta gallerfönster (2), medan accelerationsfönstren (5) är böjda uppåt, varvid den höga accelerationsspänningens fältlinjer går homogent från ett fönster till ett annat.
3. Förfarande enligt patentkravet 1 eller 2, k ä n n e t e c k n a t därav, att fönstret omfattar flera skikt, av vilka ett är ett berylliummetallskikt som effektivt leder värme från fönstret till ramstruk- turerna, och det yttersta skiktet är utgjort av ett material med god korrosionsbeständighet, såsom titan.
4. Förfarande enligt patentkravet l - 3, att accelerations- k ä n n e t e c k n a t därav, 'w fönstret behandlas kemiskt för att förbättra dess korro- sionsbeständighet t.ex. genom att förse titanfönstret med en titannitridyta. 4469 sssa
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI890494A FI84961C (sv) | 1989-02-02 | 1989-02-02 | Förfarande för alstrande av högeffektelektronridåer med hög verkningsg rad |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SE9101934D0 SE9101934D0 (sv) | 1991-06-24 |
SE9101934L SE9101934L (sv) | 1991-06-24 |
SE469305B true SE469305B (sv) | 1993-06-14 |
Family
ID=8527821
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SE9101934A SE469305B (sv) | 1989-02-02 | 1991-06-24 | Foerfarande foer framstaellning av hoegeffektiva jonridaaer med hoeg verkningsgrad |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5175436A (sv) |
JP (1) | JPH04504483A (sv) |
AU (1) | AU4956390A (sv) |
DD (1) | DD294609A5 (sv) |
DE (1) | DE4090107T (sv) |
FI (1) | FI84961C (sv) |
SE (1) | SE469305B (sv) |
WO (1) | WO1990009030A1 (sv) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE59102266D1 (de) * | 1990-01-31 | 1994-08-25 | Pfitzer Christian | Verfahren und einrichtung zur behandlung vom teilchenförmigem material mit elektronenstralen. |
US5126633A (en) * | 1991-07-29 | 1992-06-30 | Energy Sciences Inc. | Method of and apparatus for generating uniform elongated electron beam with the aid of multiple filaments |
US5561298A (en) * | 1994-02-09 | 1996-10-01 | Hughes Aircraft Company | Destruction of contaminants using a low-energy electron beam |
US5962995A (en) * | 1997-01-02 | 1999-10-05 | Applied Advanced Technologies, Inc. | Electron beam accelerator |
US7026635B2 (en) | 1999-11-05 | 2006-04-11 | Energy Sciences | Particle beam processing apparatus and materials treatable using the apparatus |
US6426507B1 (en) | 1999-11-05 | 2002-07-30 | Energy Sciences, Inc. | Particle beam processing apparatus |
US20030001108A1 (en) | 1999-11-05 | 2003-01-02 | Energy Sciences, Inc. | Particle beam processing apparatus and materials treatable using the apparatus |
FR2861215B1 (fr) * | 2003-10-20 | 2006-05-19 | Calhene | Canon a electrons a anode focalisante, formant une fenetre de ce canon, application a l'irradiation et a la sterilisation |
JP2007051996A (ja) * | 2005-08-19 | 2007-03-01 | Ngk Insulators Ltd | 電子線照射装置 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3013154A (en) * | 1958-11-14 | 1961-12-12 | High Voltage Engineering Corp | Method of and apparatus for irradiating matter with high energy electrons |
US3144552A (en) * | 1960-08-24 | 1964-08-11 | Varian Associates | Apparatus for the iradiation of materials with a pulsed strip beam of electrons |
GB1251333A (sv) * | 1967-10-31 | 1971-10-27 | ||
US3469139A (en) * | 1968-02-27 | 1969-09-23 | Ford Motor Co | Apparatus for electron beam control |
DE1950290B2 (de) * | 1969-10-06 | 1975-10-09 | Stahlwerke Suedwestfalen Ag, 5930 Huettental-Geisweid | Hochleistungs-Strahlerzeugungssystem |
US3621327A (en) * | 1969-12-29 | 1971-11-16 | Ford Motor Co | Method of controlling the intensity of an electron beam |
US3778655A (en) * | 1971-05-05 | 1973-12-11 | G Luce | High velocity atomic particle beam exit window |
US3702412A (en) * | 1971-06-16 | 1972-11-07 | Energy Sciences Inc | Apparatus for and method of producing an energetic electron curtain |
DE2503499A1 (de) * | 1975-01-29 | 1976-08-05 | Licentia Gmbh | Elektronendurchlaessiges fenster |
US4061944A (en) * | 1975-06-25 | 1977-12-06 | Avco Everett Research Laboratory, Inc. | Electron beam window structure for broad area electron beam generators |
US4048534A (en) * | 1976-03-25 | 1977-09-13 | Hughes Aircraft Company | Radial flow electron gun |
US4362965A (en) * | 1980-12-29 | 1982-12-07 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Composite/laminated window for electron-beam guns |
FI70347C (fi) * | 1983-05-03 | 1986-09-15 | Enso Gutzeit Oy | Foerfarande och anordning foer aostadkommande av en av intensitetfoerdelning justerbar elektronridao |
FI70346C (fi) * | 1983-05-03 | 1986-09-15 | Enso Gutzeit Oy | Anordning foer aostadkommande av en elektronridao |
-
1989
- 1989-02-02 FI FI890494A patent/FI84961C/sv not_active IP Right Cessation
-
1990
- 1990-02-01 WO PCT/FI1990/000033 patent/WO1990009030A1/en active Application Filing
- 1990-02-01 DE DE19904090107 patent/DE4090107T/de not_active Withdrawn
- 1990-02-01 US US07/720,426 patent/US5175436A/en not_active Expired - Fee Related
- 1990-02-01 AU AU49563/90A patent/AU4956390A/en not_active Abandoned
- 1990-02-01 DD DD90337482A patent/DD294609A5/de not_active IP Right Cessation
- 1990-02-01 JP JP2502180A patent/JPH04504483A/ja active Pending
-
1991
- 1991-06-24 SE SE9101934A patent/SE469305B/sv not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
AU4956390A (en) | 1990-08-24 |
FI890494A (fi) | 1990-08-03 |
DE4090107T (sv) | 1991-11-21 |
FI84961B (fi) | 1991-10-31 |
SE9101934D0 (sv) | 1991-06-24 |
WO1990009030A1 (en) | 1990-08-09 |
SE9101934L (sv) | 1991-06-24 |
US5175436A (en) | 1992-12-29 |
FI84961C (sv) | 1992-02-10 |
DD294609A5 (de) | 1991-10-02 |
FI890494A0 (fi) | 1989-02-02 |
JPH04504483A (ja) | 1992-08-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3328498B2 (ja) | 高速原子線源 | |
JP4856571B2 (ja) | プラズマ発生装置 | |
US20120161672A1 (en) | High-Current DC Proton Accelerator | |
KR101064567B1 (ko) | 빔폭 제어 가능한 전자빔 제공 장치 | |
US9564283B2 (en) | Limiting migration of target material | |
JP2006506521A (ja) | 高蒸着速度スパッタリング | |
RU2000127113A (ru) | Способ и устройство для осаждения двухосно текстурированных покрытий | |
SE469305B (sv) | Foerfarande foer framstaellning av hoegeffektiva jonridaaer med hoeg verkningsgrad | |
JP4385360B2 (ja) | プラズマ真空ポンプセル | |
JPH01501353A (ja) | 動電子放出装置 | |
KR20120137920A (ko) | 고효율 광조사식 제전 시스템 | |
KR102118604B1 (ko) | 라인 형태의 이온빔 방출 장치 | |
US6151384A (en) | X-ray tube with magnetic electron steering | |
JP3064214B2 (ja) | 高速原子線源 | |
JP2012164677A (ja) | イオンガン、及び成膜装置 | |
Suetsugu | High-intensity synchrotron radiation effects | |
JP2007164987A (ja) | ガスクラスターイオンビーム照射装置 | |
FI88226C (sv) | Förfarande för styrning av en elektronstråle i en elektronaccelerator samt en elektronaccelerator | |
CN109786203B (zh) | 多通道离子源产生装置 | |
JP6758958B2 (ja) | 重イオンビーム生成装置及び方法 | |
CN213374126U (zh) | 一种等离子杀毒灭菌装置 | |
CN109860008B (zh) | 基于热电子放电的潘宁离子源 | |
Kennedy | Vacuum system for the LBL advanced light source (ALS) | |
JPH11231100A (ja) | 電子線照射装置 | |
Pivi et al. | Suppressing electron cloud in future linear colliders |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
NUG | Patent has lapsed |
Ref document number: 9101934-9 Effective date: 19940910 Format of ref document f/p: F |