FI84961B - Foerfarande foer alstrande av hoegeffektelektronridaoer med hoeg verkningsgrad. - Google Patents
Foerfarande foer alstrande av hoegeffektelektronridaoer med hoeg verkningsgrad. Download PDFInfo
- Publication number
- FI84961B FI84961B FI890494A FI890494A FI84961B FI 84961 B FI84961 B FI 84961B FI 890494 A FI890494 A FI 890494A FI 890494 A FI890494 A FI 890494A FI 84961 B FI84961 B FI 84961B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- window
- windows
- electrons
- acceleration
- actual
- Prior art date
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims description 4
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 4
- 239000003546 flue gas Substances 0.000 description 3
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitrogen oxide Inorganic materials O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 239000005022 packaging material Substances 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 229910052815 sulfur oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J33/00—Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H5/00—Direct voltage accelerators; Accelerators using single pulses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
Description
1 84961
Menetelmä suuritehoisten elektroniverhojen tuottamisesta hyvällä hyötysuhteella
Keksinnön kohteena on menetelmä suuritehoisten 5 elektroniverhojen tuottamiseksi elektronikiihdyttimillä, jossa menetelmässä elektroneja kiihdytetään ensin elektro-nilähteen ja esikiihdytysikkunoiden välissä olevalla matala jännitteellä ja sen jälkeen kiihdytetään korkeajännitteellä, joka on esikiihdytysikkunoiden ja varsinaisten 10 ikkunoiden välillä.
Menetelmä kohdistuu elektronikiihdytintekniikkaan, jolla tuotetaan energialtaan 100 keV - 800 keV elektroneja teollisiin prosesseihin. Tyypilliset prosessit ovat aine-rainan pintaan tai sisään elektronipolymeroitavat päällys-15 teet ja täytteet sekä pakkausmateriaalien ja tuotteen sä-teilysterilointi. Nykyään on myös tämä elektronisuihku-tekniikka voimakkaasti tulossa mukaan savukaasujen puhdistamiseen rikin ja typen oksideista.
Laitteita on yleensä 2 tyyppiä, yhdestä pisteestä 20 elektroneja suihkuttavat laitteet tai laitteet, jotka tuottavat verhomaisen elektronisuihkun esimerkiksi tasaisesti poikittain laitteen läpi kulkevan aineradan yli. Lähes kaikissa teollisissa sovellutuksissa tarkoitus on saada tasainen elektronisuihkutus eli säteilyannos liikku-25 van ainerainan pintaan tai virtaavan savukaasun poikkipin ta-alaan mahdollisimman vakio säteilyannos. Elektronikiih-dyttimien sisällä on suurtyhjiö, jolloin elektronit edel-lämainituissa laitteissa otetaan kapeiden ja pitkien me-tallifolioikkunoiden läpi, jotka ovat massavirtaan nähden 30 poikittain.
Nykyään maailmassa valmistaa tällaisia verhomaisen elektronisuihkun tuottavia laitteita vain muutama toimittaja. Näissä kaikissa ohut metallifolioikkuna on kiihdytys jännitteeseen nähden pantu kenttäviivoilta suojaan ja 35 tuettu jäähdytysritilällä. Tällaisen ritilän asettaminen 2 84961 elektronien tielle aiheuttaa näissä laitteissa aina vähintään saman tehohäviön, joka on jäähdytystukien pinta-alan suhde ikkunapinta-alaan ja on nykyisissä laitteissa noin 25-35 %. Lisäksi tällainen elektronien kiihdyttäminen au-5 kosta aukkoon kiihdytysjännitteen yli aiheuttaa aina elektronien iskeytymistä ikkuna-aukon reunoihin sekä sisältäpäin katsottuna ikkuna-aukossa koholla olevien jäähdytys-ja tukiripojen pintaan tehotappioiden ollessa suuruusluokkaa 10-25 %. Itse ikkuna vie tehosta vähintään 5-15 %. Jos 10 taas ikkunoita ei käytetä ollenkaan, vaan laitteessa on pieni reikä, josta elektronit tulevat ulos ja josta poistetaan suuritehoisilla pumppujärjestelmillä sisälle tyhjiöön syöksyvä ilma, tulee ulospurkautuva elektronisuihku alussa hyvin tiheänä ja sen on pakko antaa tasaantua il-15 massa ennen käyttöä, koska käytössä tarvitaan aina tilavuus- tai pinta-alayksikköä kohti tasainen annos. Voidaan helposti laskea, että tällöin esimerkiksi savukaasusovel-lutuksessa tarvittava teho minimiannoksen saamiseksi poik-kiprofiilin jokaiseen pisteeseen nostaa tehontarpeen noin 20 kolminkertaiseksi verrattuna verhomaisten laitteiden tasaiseen annokseen. Nykyisin kiihdytettäessä aukosta aukkoon joudutaan piilossa olevassa hehkussa käyttämään suuria tehoja, joka usein vie kokonais tehosta 5-10 %. Kun arvioi tällaisen kiihdytystekniikan hyötytehoa, niin se jää 25 edellä mainittujen seikkojen takia yleensä 20-40 %:n luokkaan. Esimerkiksi kun suurissa voimalaitoksissa savukaasu-puhdistuksessa tällä menetelmällä tehot ovat jopa useita prosentteja laitoksen sähkötehosta, on hyötysuhteen parantamisella suuri merkitys näiden laitteiden hankinnan mie-30 lekkyyteen.
Keksinnön tarkoitus saavutetaan menetelmällä, jolle on tunnusomaista se, että elektronilähteenä käytetään pri-määrihehkusta kiihdytetyillä elektroneilla kuumennettua lautasmaista sekundäärihehkua, jonka pinnasta saatuja 35 elektroneja käytetään kiihdytyksiin, että sekundääriheh- 3 84961 kusta lähteneet matalajännitteellä kiihdytettävät elektronit muokataan sekä sähköisillä vastajännitteillä että magneettisella levityksellä homogeeniseksi vuoksi esikiih-dytysikkunoihin päin välittämättä elektronien hukasta sei-5 niin ja ikkunoiden reunoihin.
Edellä olevan keksinnön tärkeimmät edut ovat juuri elektronien kiihdytystekniikassa, missä suoritetaan ensin matalaenergisen kiihdytyksen yhteydessä elektronien liikeratojen muokkaaminen ja varsinaisessa suurenergiakiihdy-10 tyksessä elektronit saadaan menemään ikkunoiden läpi tehokkaasti . Myöskin teho laitetta kohti saadaan nostetuksi. koska laitteeseen saadaan peräkkäisiä ikkunoita useita, joista kaikista saadaan tehokas elektroniverho ulos.
Seuraavassa selvitetään keksinnön mukaista menetel-15 mää tarkemmin viittaamalla oheisiin piirustuksiin, joissa kuvio 1 esittää menetelmän mukaisen laitteen peri-aatepiirrosta katsoen pitkien ikkunoiden suuntaisesti ja kuvio 2 vastaavasti menetelmää kuvaavaa laitetta leikkauksen AA kuviosta 1 mukaisesti, jossa keskimmäinen 20 ikkuna näkyy pitkin paperin tasoa.
Menetelmässä kiihdytetään elektronilähteestä 1 saatavia elektroneja matalaenergisella kiihdytysjännitteellä vasten hilamaisia ikkunoita 2. Elektronien ohjautumista hilaikkunoihin tasaisesti säädellään hilaikkunoiden välis-25 sä olevilla vastajännitelangoilla 3 sekä magneettisella levittimellä 4. Kun tämä kiihdytys on esimerkiksi 100 eV ja kokonaiskiihdytys 300 keV, niin vaikka tässä menetettäisiin elektronitehosta ratojen muokkaamisen takia 90 % ei se ole kuitenkaan kokonaistehosta kuin häviävät 3 pro-30 millea. Myöskin elektroneja voidaan vetää tehokkaasti, koska pienen kiihdytysjännitteen kenttäviivat suoraan elektronilähteen pinnalla eivät jaksa aiheuttaa plasmapur-kauksesta johtuvaa läpilyöntiä. Varsinainen korkeajännite-kiihdytys voidaan nyt järjestää kuvien osoittamalla taval-35 la alaslaskettujen hilaikkunoiden ja ylöstaivutetun ikku- 4 84961 nan avulla välille suoraan, jolloin sähkökenttäviivat vievät aina hilaikkunoista lähtevät elektronit tasaisesti ikkunoiden läpi. Tällä tavalla saadaan yhden kapean ikkunan asemesta useita (jopa kymmeniä) ikkunoita ja ikkunoi-5 den jäähdytysritilät jätetään pois. Rakentamalla ikkuna-materiaali vielä kerroksittain esimerkiksi seuraavasti: alla on hyvin lämpöä ikkunasta jäähdytettyyn runkorakenteeseen siirtävä berylliumkalvo, jonka päällä taas ulkopuolella on hyvin korroosiota kestävä titaani-ikkuna. Täl-10 laisella kaksoisrakenteella saadaan myös huomattavasti tehokkaampi ikkuna kuin pelkällä titaani-ikkunalla, joita yleensä laitteissa käytetään. Titaani-ikkunan korroosio-ja mekaanista kestävyyttä voidaan vielä lisätä nitraamalla sen ulkopinta titaaninitridipinnaksi.
15 Keksintö ei rajoitu kuitenkaan edellä esitettyihin sovellutuksiin vaan se voi vaihdella patenttivaatimusten puitteissa.
Claims (4)
1. Menetelmä suuritehoisten elektroniverhojen tuottamiseksi elektronikiihdyttimillä, jossa menetelmässä 5 elektroneja kiihdytetään ensin elektronilähteen ja esi-kiihdytysikkunoiden välissä olevalla matalajännitteellä ja sen jälkeen kiihdytetään korkeajännitteellä, joka on esi-kiihdytysikkunoiden (2) ja varsinaisten ikkunoiden (5) välillä, tunnettu siitä, että elektronilähteenä 10 käytetään primäärihehkusta kiihdytetyillä elektroneilla kuumennettua lautasmaista sekundäärihehkua, jonka pinnasta saatuja elektroneja käytetään kiihdytyksiin, että sekun-däärihehkusta lähteneet matalajännitteellä kiihdytettävät elektronit muokataan sekä sähköisillä vastajännitteillä 15 (3) että magneettisella levityksellä (4) homogeeniseksi vuoksi esikiihdytysikkunoihin (2) päin välittämättä elektronien hukasta seiniin ja ikkunoiden reunoihin.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että matalakiihdytyksen ikkunat ovat 20 "alaslasketut" (2) hilaikkunat ja varsinaiset ikkunat (5) ovat taas "kaareutettu ylös", jolloin näiden välillä olevat korkeasta kiihdytysjännitteestä johtuvat kenttäviivat kulkevat homogeenisesti ikkunasta ikkunaan.
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen menetelmä, 25 tunnettu siitä, että ikkuna tehdään useammasta kerroksesta, joista yksi kerros on muodostettu beryllium-metallista, joka johtaa lämmön ikkunasta runkorakenteisiin tehokkaasti ja ulkopuolinen kerros on muodostettu hyvin korroosiota kestävästä materiaalista kuten titaanista.
4. Patenttivaatimusten 1-3 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että varsinainen ikkuna käsitellään kemiallisesti siten, että se kestää korroosiota paremmin kuin varsinainen ikkunamateriaali kuten esimerkiksi titaani-ikkunaan muodostetaan titaaninitridipinta. 6 84961
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI890494A FI84961C (fi) | 1989-02-02 | 1989-02-02 | Foerfarande foer alstrande av hoegeffektelektronridaoer med hoeg verkningsgrad. |
| PCT/FI1990/000033 WO1990009030A1 (en) | 1989-02-02 | 1990-02-01 | A method of producing high-energy electtron curtains with high performance |
| DD90337482A DD294609A5 (de) | 1989-02-02 | 1990-02-01 | Verfahren zur herstellung von hochenergieelektronenmauern mit hoher leistung |
| DE19904090107 DE4090107T (fi) | 1989-02-02 | 1990-02-01 | |
| AU49563/90A AU4956390A (en) | 1989-02-02 | 1990-02-01 | A method of producing high-energy electron curtains with high performance |
| US07/720,426 US5175436A (en) | 1989-02-02 | 1990-02-01 | Method of producing high-energy electron curtains with high performance |
| JP2502180A JPH04504483A (ja) | 1989-02-02 | 1990-02-01 | 高性能を有する高エネルギ電子カーテンの製造方法 |
| SE9101934A SE469305B (sv) | 1989-02-02 | 1991-06-24 | Foerfarande foer framstaellning av hoegeffektiva jonridaaer med hoeg verkningsgrad |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FI890494 | 1989-02-02 | ||
| FI890494A FI84961C (fi) | 1989-02-02 | 1989-02-02 | Foerfarande foer alstrande av hoegeffektelektronridaoer med hoeg verkningsgrad. |
Publications (4)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FI890494A0 FI890494A0 (fi) | 1989-02-02 |
| FI890494A FI890494A (fi) | 1990-08-03 |
| FI84961B true FI84961B (fi) | 1991-10-31 |
| FI84961C FI84961C (fi) | 1992-02-10 |
Family
ID=8527821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FI890494A FI84961C (fi) | 1989-02-02 | 1989-02-02 | Foerfarande foer alstrande av hoegeffektelektronridaoer med hoeg verkningsgrad. |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5175436A (fi) |
| JP (1) | JPH04504483A (fi) |
| AU (1) | AU4956390A (fi) |
| DD (1) | DD294609A5 (fi) |
| DE (1) | DE4090107T (fi) |
| FI (1) | FI84961C (fi) |
| SE (1) | SE469305B (fi) |
| WO (1) | WO1990009030A1 (fi) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DK0513080T3 (da) * | 1990-01-31 | 1994-09-26 | Ardenne Anlagentech Gmbh | Fremgangsmåde og indretning til behandling af styrtegods af partikelformet materiale |
| US5126633A (en) * | 1991-07-29 | 1992-06-30 | Energy Sciences Inc. | Method of and apparatus for generating uniform elongated electron beam with the aid of multiple filaments |
| US5561298A (en) * | 1994-02-09 | 1996-10-01 | Hughes Aircraft Company | Destruction of contaminants using a low-energy electron beam |
| US5962995A (en) * | 1997-01-02 | 1999-10-05 | Applied Advanced Technologies, Inc. | Electron beam accelerator |
| US6426507B1 (en) | 1999-11-05 | 2002-07-30 | Energy Sciences, Inc. | Particle beam processing apparatus |
| US7026635B2 (en) | 1999-11-05 | 2006-04-11 | Energy Sciences | Particle beam processing apparatus and materials treatable using the apparatus |
| US20030001108A1 (en) | 1999-11-05 | 2003-01-02 | Energy Sciences, Inc. | Particle beam processing apparatus and materials treatable using the apparatus |
| FR2861215B1 (fr) * | 2003-10-20 | 2006-05-19 | Calhene | Canon a electrons a anode focalisante, formant une fenetre de ce canon, application a l'irradiation et a la sterilisation |
| JP2007051996A (ja) * | 2005-08-19 | 2007-03-01 | Ngk Insulators Ltd | 電子線照射装置 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3013154A (en) * | 1958-11-14 | 1961-12-12 | High Voltage Engineering Corp | Method of and apparatus for irradiating matter with high energy electrons |
| US3144552A (en) * | 1960-08-24 | 1964-08-11 | Varian Associates | Apparatus for the iradiation of materials with a pulsed strip beam of electrons |
| GB1251333A (fi) * | 1967-10-31 | 1971-10-27 | ||
| US3469139A (en) * | 1968-02-27 | 1969-09-23 | Ford Motor Co | Apparatus for electron beam control |
| DE1950290B2 (de) * | 1969-10-06 | 1975-10-09 | Stahlwerke Suedwestfalen Ag, 5930 Huettental-Geisweid | Hochleistungs-Strahlerzeugungssystem |
| US3621327A (en) * | 1969-12-29 | 1971-11-16 | Ford Motor Co | Method of controlling the intensity of an electron beam |
| US3778655A (en) * | 1971-05-05 | 1973-12-11 | G Luce | High velocity atomic particle beam exit window |
| US3702412A (en) * | 1971-06-16 | 1972-11-07 | Energy Sciences Inc | Apparatus for and method of producing an energetic electron curtain |
| DE2503499A1 (de) * | 1975-01-29 | 1976-08-05 | Licentia Gmbh | Elektronendurchlaessiges fenster |
| US4061944A (en) * | 1975-06-25 | 1977-12-06 | Avco Everett Research Laboratory, Inc. | Electron beam window structure for broad area electron beam generators |
| US4048534A (en) * | 1976-03-25 | 1977-09-13 | Hughes Aircraft Company | Radial flow electron gun |
| US4362965A (en) * | 1980-12-29 | 1982-12-07 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Composite/laminated window for electron-beam guns |
| FI70346C (fi) * | 1983-05-03 | 1986-09-15 | Enso Gutzeit Oy | Anordning foer aostadkommande av en elektronridao |
| FI70347C (fi) * | 1983-05-03 | 1986-09-15 | Enso Gutzeit Oy | Foerfarande och anordning foer aostadkommande av en av intensitetfoerdelning justerbar elektronridao |
-
1989
- 1989-02-02 FI FI890494A patent/FI84961C/fi not_active IP Right Cessation
-
1990
- 1990-02-01 DD DD90337482A patent/DD294609A5/de not_active IP Right Cessation
- 1990-02-01 WO PCT/FI1990/000033 patent/WO1990009030A1/en active Application Filing
- 1990-02-01 AU AU49563/90A patent/AU4956390A/en not_active Abandoned
- 1990-02-01 JP JP2502180A patent/JPH04504483A/ja active Pending
- 1990-02-01 DE DE19904090107 patent/DE4090107T/de not_active Withdrawn
- 1990-02-01 US US07/720,426 patent/US5175436A/en not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-06-24 SE SE9101934A patent/SE469305B/sv not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FI890494A (fi) | 1990-08-03 |
| FI890494A0 (fi) | 1989-02-02 |
| SE9101934D0 (sv) | 1991-06-24 |
| SE469305B (sv) | 1993-06-14 |
| SE9101934L (sv) | 1991-06-24 |
| AU4956390A (en) | 1990-08-24 |
| WO1990009030A1 (en) | 1990-08-09 |
| DE4090107T (fi) | 1991-11-21 |
| DD294609A5 (de) | 1991-10-02 |
| JPH04504483A (ja) | 1992-08-06 |
| US5175436A (en) | 1992-12-29 |
| FI84961C (fi) | 1992-02-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| FI84961B (fi) | Foerfarande foer alstrande av hoegeffektelektronridaoer med hoeg verkningsgrad. | |
| RU2193254C2 (ru) | Откачивающее устройство, предусматривающее применение неиспаряющегося геттера, и способы применения данного геттера | |
| US8785874B2 (en) | Ionization window | |
| WO2005104168A3 (en) | Improved source for energetic electrons | |
| WO2003043046A1 (en) | Carbon nanotube coated anode | |
| KR930017103A (ko) | 드라이 에칭 방법 및 그 장치 | |
| US4771201A (en) | Method and apparatus for thermionic energy conversion | |
| WO2021202201A3 (en) | Methods of disarming viruses using reactive gas | |
| US4389165A (en) | Ion pump for producing an ultrahigh degree of vacuum | |
| US5101167A (en) | Accelerator vacuum pipe having a layer of a getter material disposed on an inner surface of the pipe | |
| Bilek | Effect of sheath evolution on metal ion implantation in a vacuum arc plasma source | |
| Tyrrell et al. | Energy-dispersive mass spectrometry of high energy ions generated during KrF excimer and frequency-doubled Nd: YAG laser ablation of metals | |
| US3988972A (en) | Gas shielding method for a fuel exchange pool and an apparatus therefor | |
| JP2007510311A5 (fi) | ||
| SU679089A1 (ru) | Выпускное окно ускорител электронов | |
| JP3678631B2 (ja) | 荷電粒子加速管の製作方法 | |
| Noé | Freon plasma surface treatment for multipactoring | |
| JPH0676782A (ja) | イオンビーム加工装置 | |
| Sun et al. | New plasma source ion-implantation technique for inner surface modification of materials | |
| RU2119275C1 (ru) | Плазменный ускоритель | |
| JPS62131520A (ja) | ドライエツチング装置 | |
| FI88226B (fi) | Foerfarande foer styrning av en elektronstraole i en elektronaccelerator samt en elektronaccelerator | |
| JPS639935A (ja) | ドライエツチング装置 | |
| Tahara et al. | Diagnostic measurement of supersonic ammonia and nitrogen/hydrogen-mixture DC plasma jets for nitriding under a low pressure environment | |
| JPH0215183A (ja) | 表面改質装置および表面改質方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM | Patent lapsed | ||
| MM | Patent lapsed |
Owner name: OY TAMPELLA AB |