FI88226C - Förfarande för styrning av en elektronstråle i en elektronaccelerator samt en elektronaccelerator - Google Patents

Förfarande för styrning av en elektronstråle i en elektronaccelerator samt en elektronaccelerator Download PDF

Info

Publication number
FI88226C
FI88226C FI902595A FI902595A FI88226C FI 88226 C FI88226 C FI 88226C FI 902595 A FI902595 A FI 902595A FI 902595 A FI902595 A FI 902595A FI 88226 C FI88226 C FI 88226C
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
window
actual
electrons
electron
grating
Prior art date
Application number
FI902595A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI902595A (fi
FI902595A0 (fi
FI88226B (fi
Inventor
Pertti Puumalainen
Original Assignee
Tampella Oy Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tampella Oy Ab filed Critical Tampella Oy Ab
Priority to FI902595A priority Critical patent/FI88226C/sv
Publication of FI902595A0 publication Critical patent/FI902595A0/fi
Priority to DE19914191099 priority patent/DE4191099T/de
Priority to PCT/FI1991/000153 priority patent/WO1991018411A1/en
Priority to JP91509283A priority patent/JPH05506538A/ja
Publication of FI902595A publication Critical patent/FI902595A/fi
Priority to GB9223836A priority patent/GB2261987A/en
Priority to SE9203508A priority patent/SE9203508L/sv
Application granted granted Critical
Publication of FI88226B publication Critical patent/FI88226B/fi
Publication of FI88226C publication Critical patent/FI88226C/sv

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J33/00—Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes
    • H01J33/02—Details
    • H01J33/04—Windows
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H7/00—Details of devices of the types covered by groups H05H9/00, H05H11/00, H05H13/00

Claims (5)

1. Förfarande för styrning av en elektronstrAle i en elektronaccelerator, i vilket förfarande frAn en elektron- 5 källa (2) kommande elektroner (3) leds genom ett galler-fönster (4) tili ett accelerationsutrynune och frAn accele-rationsutrymmet genom ett med nedkylningsribbor (7a) för-sett egentligt fönster (6) ut ur elektronacceleratorn, och i vilket elektroner (3) accelereras med en mellan galler-10 fönstret (4) och det egentliga fönstret (6) bildad accele-rationsspänning, kännetecknat därav, att mellan gallerfönstret (4) och det egentliga fönstret (6) bildas en elektrisk laddning som är spegelsymmetrisk i förhAllande tili ett halvvägs mellan gallerfönstret (4) och det egent-15 liga fönstret (6) beläget imaginärt symmetriplan (S), var-vid en jämn distribution pä gallerfönstret Aterspeglas som en jämn distribution pA det egentliga fönstret.
2. Förfarande enligt patentkravet 1, kännetecknat därav, att den spegelsyrometriska elektriska 20 laddningen bildas genom att pä gallerfönstrets (4) mot det egentliga fönstret (6) vända yta ställa elfältsledare (5a) vilkas form i förhAilande tili det imaginära symmetriplanet (S) är spegelsymmetrisk med formen av det egentliga fönst-rets (6) nedkylningsribbor (7a). 25
3. Förfarande enligt patentkravet 2, känne tecknat därav, att elfältsledarnas (5a) och ned-kylningsribbornas (7a) höjd (a, c) och avstAndet mellan dem installs sA att elektronernas rörelse mellan gallerfönstret (4) och det egentliga fönstret (6) är väsentligen rätlinjig 30 och parallell.
4. Elektronaccelerator med en elektronkälla (2), ett gallerfönster (4) och ett med nedkylningsribbor (7a) för-sett egentligt fönster ( 6), varvid elektroner (3) som kom-mer frAn elektronkällan (2) leds genom gallerfönstret (4) 35 tili ett accelerationsutrynune och frAn accelerationsutrym- 9 88226 met genom det egentliga fönstret (6) ut ur elektronaccele-ratorn, och elektronerna (3) accelereras med en mellan gallerfönstret (4) och det egentliga fönstret (6) bildad accelerationsspänning, kännetecknad därav, att 5 ρά gallerfönstrets (4) mot det egentliga fönstret (6) vända yta har ställts elfältsledare (5a) vilkas form är spegel-symmetrisk med formen av det egentliga fönstrets (6) ned-kylningsribbor (7a) i förhällande tili ett imaginärt sym-metriplan (S) halvvägs mellan gallerfönstret (4) och det 10 egentliga fönstret (6).
5. Elektronaccelerator enligt patentkravet 4, kännetecknad därav, att nedkylningsribborna (7a) och elfältsledarna (5a) är utformade att löpa snett i förhällande tili det egentliga fönstret (6) och galler-15 fönstret (4).
FI902595A 1990-05-24 1990-05-24 Förfarande för styrning av en elektronstråle i en elektronaccelerator samt en elektronaccelerator FI88226C (sv)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI902595A FI88226C (sv) 1990-05-24 1990-05-24 Förfarande för styrning av en elektronstråle i en elektronaccelerator samt en elektronaccelerator
DE19914191099 DE4191099T (sv) 1990-05-24 1991-05-14
PCT/FI1991/000153 WO1991018411A1 (en) 1990-05-24 1991-05-14 Method of controlling an electron beam in an electron accelerator and an electron accelerator
JP91509283A JPH05506538A (ja) 1990-05-24 1991-05-14 電子加速器の電子ビームを制御する方法と電子加速器
GB9223836A GB2261987A (en) 1990-05-24 1992-10-08 Method of controlling an electron beam in an electron accelerator and an electron accelerator
SE9203508A SE9203508L (sv) 1990-05-24 1992-11-23 Foerfarande foer styrning av en elektronstraale i en elektronaccelerator samt en elektronaccelertor

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI902595A FI88226C (sv) 1990-05-24 1990-05-24 Förfarande för styrning av en elektronstråle i en elektronaccelerator samt en elektronaccelerator
FI902595 1990-05-24

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI902595A0 FI902595A0 (fi) 1990-05-24
FI902595A FI902595A (fi) 1991-11-25
FI88226B FI88226B (fi) 1992-12-31
FI88226C true FI88226C (sv) 1993-04-13

Family

ID=8530507

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI902595A FI88226C (sv) 1990-05-24 1990-05-24 Förfarande för styrning av en elektronstråle i en elektronaccelerator samt en elektronaccelerator

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JPH05506538A (sv)
DE (1) DE4191099T (sv)
FI (1) FI88226C (sv)
GB (1) GB2261987A (sv)
SE (1) SE9203508L (sv)
WO (1) WO1991018411A1 (sv)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8339024B2 (en) 2009-07-20 2012-12-25 Hitachi Zosen Corporation Methods and apparatuses for reducing heat on an emitter exit window
CN104717822B (zh) * 2015-03-30 2017-11-03 同方威视技术股份有限公司 电子帘加速器和控制方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1179277A (en) * 1967-02-14 1970-01-28 Ford Motor Co An Electron Discharge Device.
US4061944A (en) * 1975-06-25 1977-12-06 Avco Everett Research Laboratory, Inc. Electron beam window structure for broad area electron beam generators
DE3020809A1 (de) * 1980-06-02 1981-12-10 M.A.N. Maschinenfabrik Augsburg-Nürnberg AG, 8000 München Verfahren zur herstellung eines elektronenstrahlaustrittsfensters
FI70346C (fi) * 1983-05-03 1986-09-15 Enso Gutzeit Oy Anordning foer aostadkommande av en elektronridao
US4591756A (en) * 1985-02-25 1986-05-27 Energy Sciences, Inc. High power window and support structure for electron beam processors

Also Published As

Publication number Publication date
FI902595A (fi) 1991-11-25
JPH05506538A (ja) 1993-09-22
SE9203508D0 (sv) 1992-11-23
FI902595A0 (fi) 1990-05-24
GB9223836D0 (en) 1993-03-24
GB2261987A (en) 1993-06-02
SE9203508L (sv) 1992-11-23
DE4191099T (sv) 1993-05-13
WO1991018411A1 (en) 1991-11-28
FI88226B (fi) 1992-12-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7217941B2 (en) Systems and methods for deflecting plasma-generated ions to prevent the ions from reaching an internal component of an EUV light source
JP4832285B2 (ja) Ｘ線源
WO2002039792A2 (en) Target for production of x-rays
EP1662541A2 (en) Beam space-charge compensation device and ion implanation system having the same
JPH01284268A (ja) 荷電粒子ビームの発生および輪送のための装置
GB2378313A (en) Reducing space charge effects in ion beams using cusp-type magnetic fields
FI88226C (sv) Förfarande för styrning av en elektronstråle i en elektronaccelerator samt en elektronaccelerator
US2890342A (en) System for charge neutralization
KR20000061395A (ko) 전자빔 가속기를 이용한 산업용 엑스선원 및 전자선원
SE467990B (sv) Jonplasmaelektronkanon
JPS61279100A (ja) 光学的にパルス出力された電子の加速器
JP4470126B2 (ja) イオン注入装置用の電子シャワー
SE469305B (sv) Foerfarande foer framstaellning av hoegeffektiva jonridaaer med hoeg verkningsgrad
US6341157B1 (en) Rotation anticathode-X ray generating equipment
JPH0456418B2 (sv)
KR100711529B1 (ko) 아크-프리 전자총
US3469139A (en) Apparatus for electron beam control
US6151384A (en) X-ray tube with magnetic electron steering
FI70347C (fi) Foerfarande och anordning foer aostadkommande av en av intensitetfoerdelning justerbar elektronridao
US5631471A (en) Device to irradiate surfaces with electrons
US3679930A (en) Method for increasing the output of an electron accelerator
US3720828A (en) Apparatus for and method of controlling relativistic charged particle beam distribution and transport
US3536951A (en) Electron and heavy particle beam scanning systems
US3323088A (en) Charged particle extracting magnet for an accelerator
CN210535623U (zh) X射线源和x射线成像设备

Legal Events

Date Code Title Description
MM Patent lapsed
MM Patent lapsed

Owner name: OY TAMPELLA AB