JPH11251662A

JPH11251662A - 金属蒸気レーザ装置

Info

Publication number: JPH11251662A
Application number: JP5510698A
Authority: JP
Inventors: Ryoichi Otani; 良一大谷; Noriyasu Kobayashi; 徳康小林; Takayuki Shibano; 隆之芝野; Makoto Fukuda; 誠福田; Hideki Naito; 英樹内藤
Original assignee: Toshiba Engineering Corp; Toshiba Corp; Laser Atomic Separation Engineering Research Association of Japan; Toshiba Electronic Engineering Co Ltd
Current assignee: Toshiba Engineering Corp; Toshiba Corp; Toshiba Development and Engineering Corp; Laser Atomic Separation Engineering Research Association of Japan
Priority date: 1998-03-06
Filing date: 1998-03-06
Publication date: 1999-09-17

Abstract

(57)【要約】【課題】長時間安定した出力で運転が可能であり、且つ
レーザ光の遮蔽が少ない金属蒸気レーザ装置を提供する
ことを目的とする。【解決手段】金属蒸気源１が内部に設置された放電管と
してのレーザ管２の両端部には、金属電極としての陽極
４及び陰極５が対向して接続されている。これらの金属
電極は、その内部に水路２０を備え、配管１９から純水
が注水されることにより水路２０内を純水が循環されて
強制的に冷却されているとともに、レーザ管２側に面す
る内径が拡大されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、金属蒸気レーザ
装置に係り、特に長時間運転が可能となる長寿命電極を
有する金属蒸気レーザ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般的な金属蒸気レーザ装置は、例えば
図７に示すように構成されている。すなわち、この金属
蒸気レーザ装置は、図７に示すように、金属蒸気源１が
内部に設置されたレーザ管２の両端に陽極４及び陰極５
が接続された放電管を有している。この放電管における
陽極４及び陰極５には、それぞれ電極フランジ６が設け
られている。この電極フランジ６は、上述した放電管を
包囲する胴体９及び絶縁管１０と、ブリュスタ管１１と
の間に介在されて固定されている。

【０００３】レーザ管２及び陽極４と陰極５の外周面
は、断熱材１３で包囲され、断熱材１３の外部は、胴体
９及び絶縁管フランジ１８を有する絶縁管１０で覆われ
ている。それぞれの電極フランジ６には、一対のブリュ
スタ管１１が接続され、このブリュスタ管１１の開口部
には、それぞれ窓１２が取着されている。これらの窓１
２の外側には、出力ミラー２３と全反射ミラー１４が配
置され、共振器を構成している。

【０００４】図７中において、左側に示されるブリュス
タ管１１には、例えばネオン（Ｎｅ）ガスを供給するガ
ス供給管３が接続され、また、右側に示されるブリュス
タ管１１には、圧力調整弁１６を介して真空排気ポンプ
１７に接続されたガス排気管８が接続されている。左側
の電極フランジ６と絶縁管フランジ１８との間には、高
電圧が印加される。陽極４及び陰極５にそれぞれ電流を
流す一対の電極フランジ６には、高圧パルス放電回路７
が接続され、この高圧パルス放電回路７は、パルス高圧
電源１５から電力を供給されている。

【０００５】上述したような構造の金属蒸気レーザ装置
においては、まず、金属蒸気源１が内部に配置された放
電管としてのレーザ管２内に、ガス供給管３から放電用
バッファガス、例えばネオンガスを供給する。続いて、
圧力調整弁１６により、レーザ管２内の放電ガス圧力を
数ｋＰａの圧力で一定に維持するための調整が実行され
る。続いて、レーザ管２の両端に設けられた陽極４と陰
極５との間に高電圧パルスを印加して、放電プラズマを
形成する。この放電プラズマにより、レーザ管２が高温
に加熱されて、金属蒸気源１からレーザ媒体となる蒸気
化された金属粒子、すなわち金属蒸気が生成される。そ
して、この金属蒸気を成す金属原子は、レーザ管２内に
拡散し、レーザ管２内の放電プラズマ中に含まれる電子
により基底準位からより高いエネルギ準位に励起され
る。この励起された金属原子が、低いエネルギ準位に遷
移する際に所定周波数のレーザ光を放出する。

【０００６】上述したように、レーザ媒体となる金属蒸
気の生成は、パルス高電圧電源１５を起動させて、陽極
４及び陰極５間に放電を生じさせて、このパルス２極放
電のエネルギをレーザ管２に付与して、このレーザ管２
を加熱することにより行っているが、例えば、金属蒸気
源１として銅を使用する場合は、レーザ管２を常温から
１５００℃まで加熱している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の金属蒸気レーザ装置では、１対の陽極４と陰極５との
間に高電圧パルスを印加して放電を生じさせ、レーザ管
２内に形成した放電プラズマの熱によってレーザ管２内
の金属蒸気源１を加熱し、レーザ発振に適した金属蒸気
量を発生させている。

【０００８】ところで、数百時間以上の長時間のレーザ
発振運転時の直流高圧放電によって、陽極４及び陰極５
は、過度に加熱されるため、電極の一部が蒸発したり、
変形するなどの破損を生じる。このため、放電の異常、
レーザ光の遮蔽などを誘発して、レーザ出力を低下させ
るといった問題が発生する。

【０００９】図３には、従来の電極におけるレーザ発振
時間と電極破損率すなわち電極消耗率との関係が示され
ている。図３に示したように、約１５０時間の発振時間
で、電極重量の１０％が消耗することが分かる。これ
は、電極重量のうちの約２０乃至３０ｇに相当する。

【００１０】電極における消耗した部分に相当する金属
は、金属蒸気となってレーザ管２内に拡散されることに
なる。電極を形成していた金属は、レーザ媒体の金属蒸
気源とは組成が異なるため、レーザ管内の放電を不安定
にする虞がある。これにより、レーザ出力を不安定にし
たり、出力低下を招いたりするといった問題が生じる。
そこで、この発明の目的は、長時間安定した出力で運転
が可能であり、且つレーザ光の遮蔽が少ない金属蒸気レ
ーザ装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明は、金属蒸気源
を内部に備えたレーザ管の両端に一対の金属電極が互い
に対向して設けられた放電管を有する金属蒸気レーザ装
置において、前記金属電極の少なくとも一方は、冷却媒
体によって強制冷却されるように構成されていることを
特徴とする金属蒸気レーザ装置である。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明に
係る金属蒸気レーザ装置の実施の形態について詳細に説
明する。すなわち、この金属蒸気レーザ装置は、図１に
示すように、金属蒸気源１が内部に設置された放電管と
してのレーザ管２を備えている。このレーザ管２の両端
部には、リング状の陽極４及び陰極５が対向して接続さ
れている。これらの陽極４及び陰極５の間では、パルス
２極放電が行われる。

【００１３】レーザ管２の外周面は、断熱材１３で包囲
され、断熱材１３の外部は、金属製の胴体９、及び絶縁
性の絶縁管フランジ１８を有する絶縁管１０によって覆
われている。

【００１４】レーザ管２の両端部における陽極４及び陰
極５の外周には、一対のブリュスタ管１１が接続され、
このブリュスタ管１１の開口部には、それぞれ窓１２が
取着されている。これらの窓１２の外側には、出力ミラ
ー２３と全反射ミラー１４とが配置され、レーザ共振器
を構成している。

【００１５】図１中において、左側に示されるブリュス
タ管１１には、例えばネオン（Ｎｅ）ガス等の放電用バ
ッファガスを供給するガス供給系に接続されたガス供給
管３が設けられている。また、右側に示されるブリュス
タ管１１には、ガス排気系に接続されたガス排気管８が
設けられている。このガス排気系は、圧力調整弁１６を
介して接続された真空排気ポンプ１７を有し、レーザ管
２内の放電用バッファガスなどを外部に排出するもので
ある。

【００１６】陽極４と陰極５との間で発生されるパルス
２極放電は、それぞれの電極に接続されたパルス高圧電
源７によりなされる。このパルス高圧電源７は、直流高
圧電源１５によって電力を供給されている。このパルス
高圧電源７は、ほぼ１０^-7秒以下の立ち上がり時間で放
電電流を発生するように設定されている。この実施の形
態で発生させるパルス高電圧は、例えば、電圧が数ｋｖ
〜数１０ｋｖ、繰り返し周波数が数ｋＨｚ〜数１０ｋＨ
ｚである。

【００１７】ところで、この実施の形態に係る金属蒸気
レーザ装置に適用される陽極４及び陰極５は、図１に示
したように、内径４ａ，５ａがレーザ管２側に拡大され
ている。より詳細には、図２の（ａ）及び（ｂ）に示さ
れている。図２の（ａ）は、この実施の形態に係る金属
蒸気レーザ装置の陽極及び陰極に適用される電極の構造
を示す正面図であり、図２の（ｂ）は、図２の（ａ）に
示した電極の断面図である。

【００１８】すなわち、リング状に形成された電極４
は、その内径４ａがレーザ管２側に拡大されている。つ
まり、電極は、レーザ管２側の電極の内径がブリュスタ
管１１側の内径より大きくなるように形成されている。
この時、電極の最小内径すなわちブリュスタ管１１側の
内径は、少なくともレーザ管２内で発生されるレーザ光
を遮光しない程度の大きさが確保されている。

【００１９】また、この電極は、冷却媒体として、例え
ば純水を電極内部に注水するための注水口１９ａ、およ
び電極内部から純水を排水するための排水口１９ｂから
なる純水配管１９を有している。この純水配管１９は、
注水された純水を電極の内部に循環させるためにリング
状に形成された冷却水路２０に接続されている。

【００２０】さらに、この電極は、その内側面に放射状
に形成された幅（深さ）１ｍｍ以下の複数の溝２１を備
えている。この電極は、純水配管１９から注水された純
水を水路２０内に循環させることにより強制的に冷却さ
れる。金属蒸気レーザ装置が作動されている間は、純水
配管１９から注水された純水が水路２０を介して電極内
を循環し、電極が冷却されている。

【００２１】このように、レーザ管２の両端に設置され
る陽極及び陰極として、強制的に純水で冷却された金属
電極を適用することにより、過度の加熱に対しても電極
表面の温度が上昇せず、溶融、蒸発などの破損を防止す
ることができる。

【００２２】また、電極表面に溝を設置することによ
り、ホローカソード効果と呼ばれる電子放出能力が向上
し、放電の局部集中を防止することが可能となる。これ
により、電極の局所的な温度上昇を発生させることが防
止できる。この時、放電集中が発生しなくなる条件は、
放電抵抗が減少、つまり放電電流が増加することが必要
となる。図４は、金属電極の内面に形成された溝幅と放
電電流との関係を示す実験データである。図４に示した
ように、溝幅を１ｍｍ以下とすることにより、放電電流
が増大することが分かる。この結果、溝幅１ｍｍ以下の
溝を金属電極の内面に多数設置することが、電極の局所
的な温度上昇を防止するのに有効であることがわかる。

【００２３】さらに、図５の（ａ）には、従来の金属蒸
気レーザ装置に適用される電極４、すなわち内径が長手
方向にわたって一定の金属電極における電位分布が示さ
れ、図５の（ｂ）には、この実施の形態に係る金属蒸気
レーザ装置に適用される電極４、すなわちレーザ管側の
内径４ａがブリュスタ管側より拡大された金属電極にお
ける電位分布がそれぞれ示されている。なお、陽極と陰
極との間の電位差をＶｐとしてある。

【００２４】図５の（ｂ）に示した金属電極の例では、
内径４ａの断面がレーザ管の内径断面に平行な水平線に
対して約８度の角度でレーザ管側で広がっているととも
に、長手方向の厚さがレーザ管口径寸法以内であり、こ
の実施の形態では、金属電極の長手方向の厚さは、例え
ばレーザ管口径の約５／８である。すなわち、図５の
（ｂ）に示したような構造の金属電極を適用することに
より、図５の（ａ）に示したような構造の金属電極よ
り、金属電極の内部、すなわちレーザ管側からブリュス
タ管側に向って電位分布が浸透していることが分かる。
このことは、電極表面を有効利用することが可能となる
ことを示しており、このため放電は、広範囲から発生
し、電極表面の温度上昇を小さくすることが可能にな
る。

【００２５】また、図６中の中心軸Ｃから上方に示すよ
うに、従来の構造の金属電極を用いた場合、レーザ発振
時のレーザ管内からの赤外線すなわち熱輻射が金属電極
で反射された後、ブリュスタ管１１の窓１２で反射さ
れ、窓１２の温度を上昇させる虞があったが、図６中の
中心軸Ｃより下方に示すように、この発明のレーザ管側
に拡大された内径を有する金属電極を用いることによ
り、レーザ管内からの熱輻射が金属電極で反射されて
も、ブリュスタ管１１の内面に到達するのみであって、
窓１２に到達する熱輻射量を減少させることが可能とな
る。このため、窓１２の温度上昇を防止することが可能
となる。

【００２６】なお、電極の厚さすなわち管軸方向の長さ
は、レーザ装置の小型化、共振ミラー間距離の増加によ
るレーザ出力の低下などから、可能な限り薄いことが望
ましい。

【００２７】このように、強制的に冷却されるとともに
レーザ管側に拡大された内径を有し、しかも溝幅１ｍｍ
以下の複数の溝を備えた金属電極を適用することによ
り、電極の温度上昇を防止するとともに、電極の溶融、
蒸発などの破損を防止することが可能となり、長時間安
定したレーザ出力を得ることが可能となる。

【００２８】この金属蒸気レーザ装置に適用される金属
電極は、熱伝導性が良好で、電気抵抗が比較的小さい銅
またはその合金によって形成されている。次に、上述し
た構造の金属蒸気レーザ装置の動作について説明する。

【００２９】まず、排気系を作動させて、ガス排気管８
からレーザ管２内を排気し、金属蒸気源１が内部に配置
された放電管としてのレーザ管２内に、ガス供給管３を
経由して、例えばネオンガスなどの放電用バッファガス
を供給する。続いて、圧力調整弁１６により、レーザ管
２内の放電ガス圧力を数ｋＰａの圧力で一定に維持する
ための調整が実行される。また一方で、純水配管１９の
注水管１９ａから陽極４及び陰極５の内部に形成された
水路２０に純水を注水し、陽極４及び陰極５を強制的に
冷却する。

【００３０】続いて、パルス高圧電源７を作動させて、
レーザ管２の両端に設けられた陽極４と陰極５との間に
高電圧パルスを印加して、放電プラズマを形成する。こ
の時、陽極４及び陰極５は、ともに強制的に冷却されて
いるとともに、レーザ管側に内径が拡大されているた
め、放電集中及び過度の加熱により電極材の蒸発、溶融
などの破損のない安定した放電を発生させることが可能
となり、レーザ管２内に安定した放電プラズマを生成す
ることができる。

【００３１】この安定した放電プラズマにより、レーザ
管２が高温に加熱され、この加熱に伴ってレーザ管２内
に設置されていた金属蒸気源１が金属蒸気を生成し得る
温度まで昇温される。レーザ発振に必要な温度は、例え
ば金属蒸気源１の蒸気源金属が銅の場合には、約１５０
０℃である。この状態が保持されることにより、金属蒸
気すなわち金属粒子が生成され、この金属蒸気がレーザ
管２内に拡散し、一様に分布する。

【００３２】そして、この金属蒸気に安定した放電プラ
ズマ中に含まれる自由電子が衝突することにより、一定
量の金属蒸気を成す金属原子は、基底準位からより高い
エネルギ準位に励起され、やがて、レーザ管２内の金属
蒸気は、反転分布の状態となる。この状態において、励
起された金属原子が低いエネルギ準位に遷移する際に所
定周波数の光を誘導放出する。このようにしてレーザ管
２内で発生した光は、ブリュスタ管１１の窓１２を通過
して、レーザ共振器を構成する出力ミラー２３及び全反
射ミラー１４の間で反射する間に、その振幅が増幅さ
れ、やがて、出力ミラー２３から十分な出力に達したレ
ーザ光として取り出される。

【００３３】上述したように、この実施の形態に係る金
属蒸気レーザ装置によれば、レーザ管の両端に設置した
金属電極であって、強制的に純水で冷却され、幅が１ｍ
ｍ以下の溝を多数備え、そのレーザ管側に接する内径が
ブリュスタ管側に接する内径より拡大された陽極及び陰
極を適用することにより、電極の異常な加熱によって生
じる蒸発、溶融、変形、電極材の飛散などを防止するこ
とが可能となり、電極の長寿命化が達成できるととも
に、長時間安定したレーザ出力を得ることが可能とな
る。また、電極の変形によるレーザ光の遮蔽によるレー
ザ出力の低下もなく、高効率の発振が得られる。さら
に、電極を強制的に冷却するため、電極材料として耐高
温性金属を用いる必要がなくなり、比較的融点の低い金
属蒸気源を用いた場合であってもその金属蒸気源と同じ
材料の電極を用いることが可能となる。この場合、たと
え電極材が飛散したとしてもレーザ媒体となる金属蒸気
源と同じ材料であるため、レーザ出力への影響を軽減す
ることが可能となる。

【００３４】すなわち、この発明の請求項１によれば、
金属蒸気源を内部に備えたレーザ管の両端に一対の金属
電極が互いに対向して設けられた放電管を有する金属蒸
気レーザ装置において、前記金属電極の少なくとも一方
は、冷却媒体によって強制冷却されるように構成されて
いることを特徴とする金属蒸気レーザ装置が提供され
る。

【００３５】請求項１に記載の金属蒸気レーザ装置によ
れば、冷却媒体によって冷却された金属電極を用いるこ
とにより、放電管内で放電が形成されている間であって
も、電極表面の過度の温度上昇を抑制することが可能と
なり、電極材の溶融、蒸発などの破損を防止することが
できる。これにより、長時間安定して運転することが可
能となる。

【００３６】請求項２によれば、前記金属電極が、その
内部に前記冷却媒体を循環させるための循環路と、この
循環路に前記冷却媒体を注入するための注入口と、前記
循環路から前記冷却媒体を排出するための排出口と、を
備えたことを特徴とする請求項１に記載の金属蒸気レー
ザ装置が提供される。

【００３７】請求項２に記載の金属蒸気レーザ装置によ
れば、金属電極の内部に冷却媒体を循環させるための循
環路が形成され、この循環路には注入口と排出口とが接
続されているため、常に冷却媒体を金属電極内で循環さ
せることが可能となり、電極の過度の温度上昇を抑制す
ることが可能となる。

【００３８】請求項３によれば、前記金属電極が、放電
によって生じた光を前記放電管の外部に取り出すために
リング状に形成されているとともに、その内面に幅１ｍ
ｍ以下の溝を複数備えていることを特徴とする請求項１
に記載の金属蒸気レーザ装置が提供される。

【００３９】請求項３に記載の金属蒸気レーザ装置によ
れば、金属電極の表面に溝を形成することにより、電子
放出能力が向上し、放電の局部集中を防止することが可
能となる。また、溝幅を１ｍｍ以下とすることにより放
電抵抗を減少、すなわち放電電流を増加することが可能
となり、より放電集中の発生を抑制することができる。
これにより、金属電極の局所的な温度上昇を発生させる
ことを抑制することができる。

【００４０】請求項４によれば、前記金属電極が、放電
によって生じた光を前記放電管の外部に取り出すために
リング状に形成されているとともに、その内径は、前記
レーザ管側に向うにしたがって次第に拡大するように形
成されていることを特徴とする請求項１に記載の金属蒸
気レーザ装置が提供される。

【００４１】請求項４に記載の金属蒸気レーザ装置によ
れば、放電管内で放電が形成されている間に、レーザ管
内からレーザ管窓に到達する熱輻射量が減少され、窓の
温度上昇を抑制することが可能となる。

【００４２】請求項５によれば、前記金属電極が、その
長手方向の厚さが前記レーザ管の口径寸法以内であるこ
とを特徴とする請求項１に記載の金属蒸気レーザ装置が
提供される。

【００４３】請求項５に記載の金属蒸気レーザ装置によ
れば、金属電極内部まで電位分布を浸透させることが可
能となり、電極表面を有効に利用することが可能とな
る。請求項６によれば、前記金属電極が、前記レーザ管
の内部に備えられた金属蒸気源と同じ金属によって形成
されていることを特徴とする請求項１に記載の金属蒸気
レーザ装置が提供される。

【００４４】請求項６に記載の金属蒸気レーザ装置によ
れば、金属電極は、金属蒸気源と同じ材質の金属によっ
て形成されているため、たとえ電極材が蒸発したとして
も、レーザ出力に悪影響を及ぼす虞がない。

【００４５】請求項７によれば、前記金属電極が、銅又
は銅合金によって形成されていることを特徴とする請求
項１に記載の金属蒸気レーザ装置が提供される。請求項
７に記載の金属蒸気レーザ装置によれば、金属電極は、
銅又はその合金によって形成されているため、熱伝導性
が良好であるとともに、電気抵抗が比較的小さい。この
ため、冷却媒体によって冷却した際に、迅速に放熱させ
ることが可能であるとともに、過度の加熱を抑制するこ
とが可能となる。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、長時間安定した出力で運転が可能であり、且つレー
ザ光の遮蔽が少ない金属蒸気レーザ装置を提供すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、この発明の一実施の形態に係る金属蒸
気レーザ装置の構造を概略的に示す断面図である。

【図２】図２の（ａ）は、図１に示した金属蒸気レーザ
装置に適用される金属電極の正面図であり、図２の
（ｂ）は、この金属電極の断面図である。

【図３】図３は、従来の金属蒸気レーザ装置における運
転時間と電極の破損率との関係を示す図である。

【図４】図４は、図２の（ａ）及び（ｂ）に示したよう
な構造の金属電極における電極内面の溝幅と放電電流と
の関係を示す図である。

【図５】図５の（ａ）は、従来の金属蒸気レーザ装置に
おける金属電極付近の電位分布を示す図であり、図５の
（ｂ）は、この発明の金属蒸気レーザ装置の金属電極付
近における電位分布を示す図である。

【図６】図６は、電極内径をレーザ管側に向って拡大す
ることにってレーザ管内部からの赤外線熱輻射量が減少
することを説明するための図である。

【図７】図７は、従来の金属蒸気レーザ装置の構造を概
略的に示す断面図である。

【符号の説明】

１…金属蒸気源２…レーザ管４…陽極５…陰極２０…水路２１…溝

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大谷良一栃木県大田原市下石上1385番の１株式会社東芝那須電子管工場内 (72)発明者小林徳康神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地株式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者芝野隆之神奈川県横浜市磯子区新杉田町８番地株式会社東芝横浜事業所内 (72)発明者福田誠神奈川県川崎市川崎区日進町７番地１東芝電子エンジニアリング株式会社内 (72)発明者内藤英樹神奈川県川崎市幸区堀川町66番２東芝エンジニアリング株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】金属蒸気源を内部に備えたレーザ管の両端
に一対の金属電極が互いに対向して設けられた放電管を
有する金属蒸気レーザ装置において、前記金属電極の少なくとも一方は、冷却媒体によって強
制冷却されるように構成されていることを特徴とする金
属蒸気レーザ装置。
【請求項２】前記金属電極は、その内部に前記冷却媒体
を循環させるための循環路と、この循環路に前記冷却媒
体を注入するための注入口と、前記循環路から前記冷却
媒体を排出するための排出口と、を備えていることを特
徴とする請求項１に記載の金属蒸気レーザ装置。
【請求項３】前記金属電極は、放電によって生じた光を
前記放電管の外部に取り出すためにリング状に形成され
ているとともに、その内面に幅１ｍｍ以下の溝を複数備
えていることを特徴とする請求項１に記載の金属蒸気レ
ーザ装置。
【請求項４】前記金属電極は、放電によって生じた光を
前記放電管の外部に取り出すためにリング状に形成され
ているとともに、その内径は、前記レーザ管側に向うに
したがって次第に拡大するように形成されていることを
特徴とする請求項１に記載の金属蒸気レーザ装置。
【請求項５】前記金属電極は、その長手方向の厚さが前
記レーザ管の口径寸法以内であることを特徴とする請求
項１に記載の金属蒸気レーザ装置。
【請求項６】前記金属電極は、前記レーザ管の内部に備
えられた金属蒸気源と同じ金属によって形成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の金属蒸気レーザ装
置。
【請求項７】前記金属電極は、銅又は銅合金によって形
成されていることを特徴とする請求項１に記載の金属蒸
気レーザ装置。