JP2902066B2 - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
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- JP2902066B2 JP2902066B2 JP2188887A JP18888790A JP2902066B2 JP 2902066 B2 JP2902066 B2 JP 2902066B2 JP 2188887 A JP2188887 A JP 2188887A JP 18888790 A JP18888790 A JP 18888790A JP 2902066 B2 JP2902066 B2 JP 2902066B2
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- voltage
- vacuum chamber
- shield electrode
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Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明は、非走査型の電子線照射装置に関する。
（従来の技術） この種電子線照射装置において、真空チャンバーの内
部にカソードを設け、これより放射される電子線を、照
射窓から外部に向けて照射するようにしたものは、既に
よく知られている。
部にカソードを設け、これより放射される電子線を、照
射窓から外部に向けて照射するようにしたものは、既に
よく知られている。
このような構成において、カソードに加わる加速電圧
の安定化を図るために、絶縁碍子を多段とした構成が、
別途提案されている。
の安定化を図るために、絶縁碍子を多段とした構成が、
別途提案されている。
これを第２図によって説明すると、１は真空チャンバ
ー、２はその内部に設けられたシールド電極、３はシー
ルド電極２の内部に支持されているカソード、４は真空
チャンバー１の周壁に設けられた照射窓で、加熱された
カソード３から放射される電子線を、この照射窓４から
外部に向けて照射するようにしてある。
ー、２はその内部に設けられたシールド電極、３はシー
ルド電極２の内部に支持されているカソード、４は真空
チャンバー１の周壁に設けられた照射窓で、加熱された
カソード３から放射される電子線を、この照射窓４から
外部に向けて照射するようにしてある。
５はカソード３に加熱用の電力を供給するための供電
線、６はシールド電極２に、加速電圧（−HV）を印加す
るための、一方が開口されていて筒状とされている高電
圧引込用の導体、７は導体６を支持するための絶縁碍
子、８は真空チャンバー１に連なるタンクで、内部に絶
縁性のガスが封入されてある。
線、６はシールド電極２に、加速電圧（−HV）を印加す
るための、一方が開口されていて筒状とされている高電
圧引込用の導体、７は導体６を支持するための絶縁碍
子、８は真空チャンバー１に連なるタンクで、内部に絶
縁性のガスが封入されてある。
絶縁碍子７は前記のように導体６を機械的に支持する
他に、導体６を真空チャンバー１に対して絶縁するとと
もに、タンク８に対して仕切ることによって、真空チャ
ンバー１の内部を真空に維持する作用を果している。こ
の絶縁碍子７は、樹脂たとえばエポキシ樹脂によって構
成するのを普通としている。
他に、導体６を真空チャンバー１に対して絶縁するとと
もに、タンク８に対して仕切ることによって、真空チャ
ンバー１の内部を真空に維持する作用を果している。こ
の絶縁碍子７は、樹脂たとえばエポキシ樹脂によって構
成するのを普通としている。
11は中間導体で、これを絶縁碍子７に貫通させること
によって、真空チャンバー１に対して支持する。中間導
体11の一方の端部とシールド電極２のフランジ（金属
製）12との間にセラミック（たとえばアルミナ、サファ
イア、ジルコニアなど）からなる、筒状の絶縁碍子13を
固定して介在させる。
によって、真空チャンバー１に対して支持する。中間導
体11の一方の端部とシールド電極２のフランジ（金属
製）12との間にセラミック（たとえばアルミナ、サファ
イア、ジルコニアなど）からなる、筒状の絶縁碍子13を
固定して介在させる。
15,16は分圧抵抗で、直列に接続されて加速電圧部位
（たとえば導体６）とアース電位部位（たとえば真空チ
ャンバー２）との間に接続される。そして分圧抵抗15は
絶縁碍子13にまたがるように接続し、分圧抵抗16は絶縁
碍子７にまたがるように接続しておく。
（たとえば導体６）とアース電位部位（たとえば真空チ
ャンバー２）との間に接続される。そして分圧抵抗15は
絶縁碍子13にまたがるように接続し、分圧抵抗16は絶縁
碍子７にまたがるように接続しておく。
なお図中17は中間導体11に固定されてあるフランジ、
18は絶縁性の支柱である。
18は絶縁性の支柱である。
図の例では分圧抵抗15の一端は、導体６、フランジ12
を介して絶縁碍子13の一端に、また分圧抵抗15の他端
は、中間導体11を介して絶縁碍子13の他端に接続されて
いる。分圧抵抗15,16はたとえばタンク８内に設置され
る。
を介して絶縁碍子13の一端に、また分圧抵抗15の他端
は、中間導体11を介して絶縁碍子13の他端に接続されて
いる。分圧抵抗15,16はたとえばタンク８内に設置され
る。
このように構成すると、加速電圧は絶縁碍子7,13によ
って分担するようになり、しかも分圧抵抗15,16によっ
てその分担電圧が固定されることによって、絶縁碍子７
の表面絶縁抵抗によってのみ決定されていた従来構成に
比較して、シールド電極に印加される加速電圧は極めて
安定するようになる。
って分担するようになり、しかも分圧抵抗15,16によっ
てその分担電圧が固定されることによって、絶縁碍子７
の表面絶縁抵抗によってのみ決定されていた従来構成に
比較して、シールド電極に印加される加速電圧は極めて
安定するようになる。
この場合絶縁碍子13の電圧分担率を、少なくとも20％
以上とすることが望ましく、これより小さいと、第２の
絶縁碍子を使用する目的が低減してしまう。
以上とすることが望ましく、これより小さいと、第２の
絶縁碍子を使用する目的が低減してしまう。
なおその反面20％以上の電圧がなんらかの原因、たと
えばシールド電極２と真空チャンバー１との間で放電が
発生して、シールド電極１がアース電位に落ちたことに
よって、絶縁碍子13に前記した20％以上の電圧が印加さ
れるようなことがあると、絶縁破壊を起こすこともあり
得る。
えばシールド電極２と真空チャンバー１との間で放電が
発生して、シールド電極１がアース電位に落ちたことに
よって、絶縁碍子13に前記した20％以上の電圧が印加さ
れるようなことがあると、絶縁破壊を起こすこともあり
得る。
これを回避するために、絶縁碍子13にまたがって、保
護ギャップ20を接続しておくとよい。すると絶縁碍子13
に異常電圧が印加されたとき、保護ギャップが放電する
ようにしておけば、絶縁碍子13への異常電圧の印加が回
避されるようになる。
護ギャップ20を接続しておくとよい。すると絶縁碍子13
に異常電圧が印加されたとき、保護ギャップが放電する
ようにしておけば、絶縁碍子13への異常電圧の印加が回
避されるようになる。
（発明が解決しようとする課題） ところで前記した絶縁碍子７は樹脂製であるため、真
空中のコンタミネーションによって絶縁抵抗が減少する
ことがある。このように絶縁抵抗が減少すると、絶縁碍
子13の分担電圧が高くなり、そのため絶縁碍子13が破壊
してしまう可能性が生ずる。
空中のコンタミネーションによって絶縁抵抗が減少する
ことがある。このように絶縁抵抗が減少すると、絶縁碍
子13の分担電圧が高くなり、そのため絶縁碍子13が破壊
してしまう可能性が生ずる。
この発明は、樹脂製の絶縁碍子とセラミック製の絶縁
碍子とによる多段の絶縁碍子によってシールド電極を支
持するにあたり、樹脂製の絶縁碍子の絶縁抵抗の低下に
ともなう、セラミック製の絶縁碍子の分担電圧の上昇を
回避することを目的とする。
碍子とによる多段の絶縁碍子によってシールド電極を支
持するにあたり、樹脂製の絶縁碍子の絶縁抵抗の低下に
ともなう、セラミック製の絶縁碍子の分担電圧の上昇を
回避することを目的とする。
（課題を解決するための手段） この発明は、各絶縁碍子にまたがって接続されてある
分圧抵抗のうち、セラミック製の絶縁碍子の分担電圧を
固定するように、その絶縁碍子にまたがって接続されて
ある分圧抵抗にまたがって定電圧ダイオードを接続した
ことを特徴とする。
分圧抵抗のうち、セラミック製の絶縁碍子の分担電圧を
固定するように、その絶縁碍子にまたがって接続されて
ある分圧抵抗にまたがって定電圧ダイオードを接続した
ことを特徴とする。
（作用） 樹脂製の絶縁碍子の絶縁抵抗が、コンタミネーション
により低下したとき、セラミック製の絶縁碍子で分担す
る電圧が上昇しようとするが、定電圧ダイオードによっ
て、その分担電圧が一定とされているので、分担電圧の
上昇は起こらない。
により低下したとき、セラミック製の絶縁碍子で分担す
る電圧が上昇しようとするが、定電圧ダイオードによっ
て、その分担電圧が一定とされているので、分担電圧の
上昇は起こらない。
（実施例） この発明の実施例を第１図によって説明する。なお第
２図と同じ符号を付した部分は、同一または対応する部
分を示す。この発明にしたがい、定電圧ダイオード21を
分圧抵抗15にまたがって接続する。
２図と同じ符号を付した部分は、同一または対応する部
分を示す。この発明にしたがい、定電圧ダイオード21を
分圧抵抗15にまたがって接続する。
以上の構成において、絶縁碍子７の絶縁抵抗がコンタ
ミネーションによって低下したとすると、その分担電圧
が減少するので、これに応じて絶縁碍子13に印加される
電圧が上昇する。
ミネーションによって低下したとすると、その分担電圧
が減少するので、これに応じて絶縁碍子13に印加される
電圧が上昇する。
この電圧上昇によって絶縁碍子13が破損する可能性が
生ずるが、しかし定電圧ダイオード21が接続されてある
ので、この定電圧ダイオード21が分担する以上の電圧
が、絶縁碍子13に印加されることはない。これによって
絶縁碍子13の破損が回避されるようになる。
生ずるが、しかし定電圧ダイオード21が接続されてある
ので、この定電圧ダイオード21が分担する以上の電圧
が、絶縁碍子13に印加されることはない。これによって
絶縁碍子13の破損が回避されるようになる。
（発明の効果） 以上詳述したようにこの発明によれば、樹脂製の絶縁
碍子とセラミック製の絶縁碍子とによる多段の絶縁碍子
によってシールド電極を支持するにあたり、樹脂製の絶
縁碍子の絶縁抵抗の低下にともなう、セラミック製の絶
縁碍子の分担電圧の上昇を回避することができる効果を
奏する。
碍子とセラミック製の絶縁碍子とによる多段の絶縁碍子
によってシールド電極を支持するにあたり、樹脂製の絶
縁碍子の絶縁抵抗の低下にともなう、セラミック製の絶
縁碍子の分担電圧の上昇を回避することができる効果を
奏する。
第１図はこの発明の実施例による断面図、第２図は従来
例の断面図である。 １……真空チャンバー、２……シールド電極、３……カ
ソード、７……樹脂製の絶縁碍子、８……タンク、11…
…中間導体、13……セラミック製の絶縁碍子、15,16…
…分圧抵抗、20……保護ギャップ、21……定電圧ダイオ
ード、
例の断面図である。 １……真空チャンバー、２……シールド電極、３……カ
ソード、７……樹脂製の絶縁碍子、８……タンク、11…
…中間導体、13……セラミック製の絶縁碍子、15,16…
…分圧抵抗、20……保護ギャップ、21……定電圧ダイオ
ード、
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭48−21099（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−198045（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 37/248 H01J 37/06 G21K 5/04
Claims (1)
- 【請求項１】カソードが内部に設置されてあって、加速
電圧部位とされてあるシールド電極と、前記シールド電
極が内部に設置されてあって、アース電位とされてある
真空チャンバーと、内部に絶縁ガスが封入されてあるタ
ンクと、前記真空チャンバーとタンクを仕切る樹脂製の
第１の絶縁碍子と、前記第１の絶縁碍子を貫通し、前記
真空チャンバーに対して絶縁して支持されてある中間導
体と、前記中間導体と前記シールド電極との間に介在さ
れてあるセラミック製の第２の絶縁碍子と、一端が加速
電圧部位に接続され、他端が前記中間導体に接続されて
ある第１の分圧抵抗と、一端が前記中間導体に接続さ
れ、他端がアース電位部位に接続されてある第２の分圧
抵抗と、前記第１の分圧抵抗の分担電圧を固定するため
に前記第１の分圧抵抗にまたがって接続されてある定電
圧ダイオードとを備えてなる電子線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2188887A JP2902066B2 (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2188887A JP2902066B2 (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | 電子線照射装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0475244A JPH0475244A (ja) | 1992-03-10 |
| JP2902066B2 true JP2902066B2 (ja) | 1999-06-07 |
Family
ID=16231622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2188887A Expired - Fee Related JP2902066B2 (ja) | 1990-07-16 | 1990-07-16 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2902066B2 (ja) |
-
1990
- 1990-07-16 JP JP2188887A patent/JP2902066B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0475244A (ja) | 1992-03-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |