JP2899307B2 - 電子デバイス試験システム - Google Patents

電子デバイス試験システム

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JP2899307B2
JP2899307B2 JP1117645A JP11764589A JP2899307B2 JP 2899307 B2 JP2899307 B2 JP 2899307B2 JP 1117645 A JP1117645 A JP 1117645A JP 11764589 A JP11764589 A JP 11764589A JP 2899307 B2 JP2899307 B2 JP 2899307B2
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    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/0009—Energy-transferring means or control lines for movable machine parts; Control panels or boxes; Control parts
    • G—PHYSICS
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    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、一般的には、電子デバイスの試験に関し、
特に、電子試験ヘッドが試験されるデバイスの取扱装置
に接続およびそれと結合するように位置決めされるシス
テムに関する。
〔従来の技術〕
集積回路および他の電子デバイスの自動試験では、試
験されるデバイスを所定位置に置く特別のデバイス取扱
装置が用いられてきた。電子試験自体は、デバイス取扱
装置に接続しかつ結合する試験ヘッドを含む大きくて高
価な自動試験システムによって、装備されていた。該試
験ヘッドが高速度電子タイミング信号を用いるので、そ
の電子回路は、試験中には該デバイスにできるだけ近接
して置かれなければならない。したがって、精巧なデバ
イスの高速試験を達成するために、該試験ヘッドは電子
回路に高密度に実装される。
支持構造物に沿って移動可能な操縦器または位置調整
器は、試験ヘッドがデバイス取扱装置に接続しかつ結合
するように位置決めされる所望場所に、試験ヘッドを運
ぶ。該試験ヘッドは、該位置調整器が移動する支持構造
物の軸の他に２つの直交軸で該試験ヘッドを回転するよ
うにする手段によって、該位置調整器へ取り付けられ
る。
〔発明が解決しようとする課題〕
主要問題は重いケーブルを接続することである。該重
いケーブルは、自動試験システムのキャビネット格納部
から所望場所へおよび所望位置の中へそれ自身移動可能
である該試験ヘッドへ伸張する。設備は該重いケーブル
が試験ヘッドと共に移動するようにしなければならな
い。
過去に使用された一つの構成は、該試験ヘッドが該位
置調整器へ取り付けられる機構を介して該ケーブルを通
過させることを必要とする。この機構は該機構を介して
伸張する水平軸で該試験ヘッドを回転運動可能にするよ
うに構成され、かつ、該ケーブルと一直線にある。この
機構の設計は、該機構を介して該試験ヘッドへ該ケーブ
ルを通過するように変えても、特に複雑かつ高価にな
る。
別の構成では、該ケーブルは、該試験ヘッドが該位置
調整器へ取り付けられる該機構から反対の該試験ヘッド
側面における試験ヘッドに接続する方法で、該試験ヘッ
ド下につるされる。この方法は、該試験ヘッドが該位置
調整器へ取り付けられる複雑で高価な機構をさけて、該
ケーブルが該試験ヘッドへ接続されるが、該試験ヘッド
の多数の方向に対して該試験ヘッドの下には該試験ヘッ
ドの側面をはみ出してまで吊すケーブルは試験システム
の操作員のじゃまになる。
さらに別の構成では、該ケーブルはケーブル容器に通
される。該ケーブル容器に該試験ヘッドは取り付けられ
ので該試験ヘッドは該ケーブル容器に関して回転運動す
る。回転する該ケーブル容器は該位置調整器に取り付け
られて、水平軸で該ケーブル容器および該試験ヘッドを
回転させる。該試験ヘッドが取り付けられるので、二つ
の直交軸で回転しうるけれども、該試験ヘッドの重心は
該ケーブル容器および試験ヘッドが回転する水平軸から
動かされる。結果として、上記で示されるように非常に
重い該試験ヘッドは平衝されなけれはならず、それによ
って、該試験ヘッドが該位置調整器に取り付けられる手
段に対して複雑さおよびコストを加えることになる。
〔課題を解決するための手段〕
本発明によって構成される電子デバイス試験システム
は、支持構造物および該支持構造物に沿って移動可能な
位置調整器を含む。クレードル（cradle）および水平軸
で該クレードルを回転運動させる位置調整器に該クレー
ドルを取り付ける手段も含められる。試験ヘッドは該ク
レードルへ取り付けられ、該クレードルは、水平軸に垂
直な平面において水平軸で回転可能な第２の軸で該試験
ヘッドを回転運動させる。該試験システムは、さらに、
試験キャビネットおよびケーブルを含む。該ケーブルは
該試験キャビネットに伸張する第１の端部および該第２
の軸に沿って試験ヘッドに伸張する第２の端部を有す
る。
〔実施例〕
第１図は本発明によって構成される電子デバイス試験
システムの透視図である。このシステムは、米国特許第
4,527,942号；米国特許第4,588,346;米国特許4,705,447
号に記載され、説明されるものに概略して類似してい
て、この内容はこの中に出典指示によって取り入れられ
ている。第１図のシステムはこ中で詳細に説明されてい
るけれども、より詳細な説明は上記３つの米国特許を参
照することによって得られる。
第１図のシステムは支持構造物10および該支持構造物
10に沿って垂直に移動可能に位置調整器12を含む。クレ
ードル14および水平軸に関して該クレードルを回転運動
される位置調整器12に該クレードルを取り付ける手段も
含まれる。この手段は、リスト結合集合体20を介して伸
張する開口にある軸受け（図示しない）内で回転する軸
（図示しない）端にこしき（hub）16を含めてもよい。
適切なロック手段が、位置調整器12に関連する位置にク
レードル14を固定するために設けるれる。クレードル14
を位置調整器へ取り付ける追加詳細説明な、第３図およ
び４図に示されるクレードルの説明と合せてなされる。
第１図のシステムは、試験ヘッドおよびクレードル回
転する水平軸のまわりに回転可能な第２の軸に関して試
験ヘッドを回転運動させるクレードル14に試験ヘッドを
取り付ける手段も含む。試験ヘッド22の回転軸は、クレ
ードル14が回転する水平軸に垂直な平面で回転する。試
験ヘッド22をクレードル14へ取り付ける手段は、周囲に
伸張していて、試験ヘッドに取り付けられている試験ヘ
ッドヨーク24および試験ヘッドヨークを回転運動させる
クレードルと第２の軸に関する試験ヘッドへ試験ヘッド
ヨークを取り付ける手段を含めてもよい。試験ヘッドヨ
ーク24をクレードル14へ取り付けることについての追加
の詳細は第２図、３図および４図に示されるクレードル
の説明と合せてなされる。
第１図のシステムは、試験キャビネット26および該試
験キャビネットへ伸張する第１の端部と試験ヘッド22へ
伸張する第２の端部を有するケーブル28も含む。第１図
に示すように、ケーブル28は個々のケーブルの束から構
成される。
位置調整器12が柱32へ固定された主軸30を垂直に移動
されると、試験ヘッド22は、該位置調整器によって所望
垂直位置に支持され、操縦される。第１図の仮想線はク
レードル14および第２の垂直軸の位置調整器12の一部を
示す。支持構造10に沿う位置調整器12の移動は、平衡
力、動力親ねじ駆動、気体又は液体駆動のような種々な
方法で制御しうる。
位置調整器12は主腕集合体34、前腕集合体36およびリ
スト結合集合体20を含む。前腕集合体36は主腕集合体34
に取り付けられることによって、該主腕集合体に対し
て、垂直軸で回転しうる。同様に、リスト結合集合体20
は、前腕集合体36に取り付けられることによって、該前
腕集合体に対して垂直軸で回転しうる。
第１図に示される本発明の実施例に対して、試験ヘッ
ドは、支持構造物に沿って垂直に、該支持構造物から離
れて水平に移動可能であり、３つの直角軸で回転可能で
ある。上記したように、支持構造物10および位置調整器
12の構成および作用のより詳細な説明に関しては前記し
た米国特許に言及されている。
本発明によって構成されるクレードルの第１の実施例
を示す第２図を説明する。該クレードルは、第１図に示
されるシステムの位置調整器12に取り付けられる第１の
脚部40および該脚部から離れるように伸張しかつ試験ヘ
ッド22が取り付けられる第２の脚部42を含む。第３図お
よび４図に示されるように、クレードル脚部40は多数の
ネジ44によってこしき16へ取り付けられる。該多数のネ
ジは、回転し、リスト結合集合体20によって支えられる
こしき16のネジ穴へ脚部40を介して伸張する。
第2A図は試験ヘッド22を該クレードルへ取り付けるた
めに用いられる構成を示す。クレードルの脚部42は、回
転し、適切な手段（図示しない）によって試験ヘッドヨ
ーク24に取り付けられるフランジ50へ溶接される軸48を
受ける１対の軸受46を支持する。試験ヘッドヨーク24が
試験ヘッドへ固定されると共に、試験ヘッドおよび試験
ヘッドヨークは、シャフト48が向いている軸で回転運動
をするクレードルの脚部42へ取り付けられる。この回転
軸は、脚部40が回転する水平軸で回転可能でありかつ脚
部40が回転する軸に垂直な平面にある。試験ヘッド22お
よび試験ヘッドヨーク24はロックネジ52の手段によって
クレードルの相対的な位置に固定される。クレードルの
脚部40および42の間にスペーサ52が設けられる。クレー
ドルの設計およびクレードルの位置調整器12への取り付
けに関連する該スペーサは、クレードルへ取り付けられ
た集合体の重心で２つの回転軸の交点の場所を決めるの
に役立つ。この集合体は、試験ヘッド、試験ヘッドヨー
ク、該試験ヘッドへ伸張するケーブルおよび後に詳細に
検討されるケーブル支持物100を含む。ケーブル支持物1
00が試験ヘッド22の高さの中点以下で、試験ヘッドヨー
ク24に取り付けられることも言及される。すなわち、こ
の取り付けは、第３の軸が他の２つの軸と交差する集合
体の重心を維持するようになされ、ケーブルが試験ヘッ
ドの底近くの試験ヘッドに伸張されるので必要とされ
る。
ケーブル28は、試験ヘッドおよび試験ヘッドヨークが
回転する軸に沿って試験ヘッド22へ伸張する。第２図に
示されるクレードルの実施例に対しては、ケーブル28は
取り付けクレードルの脚部42から反対にある該試験ヘッ
ド22の側面の該試験ヘッドに伸張する。
本発明によって構成されるケレードルの第２の実施例
を示す第３図を説明する。この実施例では、クレードル
は第１図のシステムの位置調整器12へ取り付けられる第
１の脚部60および試験ヘッド22と試験ヘッドヨーク24が
回転運動のために取り付けられる第２の脚部62を有す
る。第２図の実施例と同様に、２つの回転軸は、試験ヘ
ッド、試験ヘッドヨーク、ケーブルおよびケーブル支持
物の集合体重心で交差する。脚部60および62の間に設け
られたスペーサ54は、第３図の実施例において、この結
果を生じさせるためにも含められる。第１図の実施例に
対比して、ケーブル支持部100は、ケーブル28が試験ヘ
ッド22に接続されている点でケーブル28と軸方向に一列
になるように設けられる。
第３図の実施例は、第２の実施例とは、試験ヘッド22
へのケーブルの挿着方向およびケーブルが試験ヘッドへ
挿着される機構においてのみ相違する。第２図の実施例
に対比して第３図の実施例ではケーブル28は、ケーブル
回転容器64およびクレードルの脚部62を通して試験ヘッ
ド22へ伸張する。第２図の実施例と同様に、ケーブル28
は、試験ヘッドおよび試験ヘッドヨーク24が回転する軸
に沿って試験ヘッド22へ伸張する。
第3A図は拡大スケールで第３図のケーブル回転容器64
を示す。該ケーブル回転容器は、多数のネジ74によって
外部リング73へ締着される停止リング72内に取り付けら
れるウエブ部材70を含む。外部リング73は脚部62の一部
として製造される。ウエブ部材70は停止リング72内で回
転するように配置される。
ケーブル回転容器は、試験ヘッドヨーク24へ適切な手
段（図示しない）によって結合される内部リング76を含
む。内部リング76は、スペーサリング80によって離れて
保持されている１対の軸受け78によって外部リング73か
ら一定間隔にある。ウエブ部材70は多数のネジ81によっ
て内部リング76へ取り付けられている。試験ヘッド22お
よび試験ヘッドヨーク24が所望位置へ移動されたとき、
ロックネジ82は内部リング76を外部リング73に関して所
定位置にロックする。すなわち、このロックは、ロック
ネジ82の点端部が外部リング73を押して、回転して、ス
ペーサリング80と接触させて、外部リングに関して内部
リング76の回転を防止することによって達成される。
ケーブル28はウエブ部材70の４つの開口を通して試験
ヘッド22へ伸張する。試験ヘッドヨーク24はケーブル回
転容器に対応する外部形状を有し、ケーブル28が通り抜
けて試験ヘッド22に入る開口を有する。ウエブ部材70が
停止リング72内で回転可能であるとともに、試験ヘッド
22および試験ヘッドヨーク24が所望位置へ移動される
と、ウエブ部材およびケーブルは内部リング76と共に回
転する。ウエブ部材70が第３図および3A図に示されてい
るものと異なって構成されうることが、つまりケーブル
が通過して試験ヘッドに入る、異なる開口数が設けられ
うることが明らかであろう。
第４図は本発明によって構成されるクレードルの第３
の実施例を示す図である。このクレードルは第１の脚部
90を含む。該第１の脚部90は、第２図および３図の実施
例の脚部40および60とそれぞれ同じ方法で位置調整器12
へ取り付けられる。第４図の該クレードルは第２の脚部
92をも含む。試験ヘッド22および試験ヘッドヨーク24は
該第２の脚部92に取り付けられることによって第２図の
実施例に類似する方法で、回転運動するようになる。繰
り返すと、クレードルとその位置調整器への取り付けが
構成されることによって、該２つの回転軸は試験ヘッ
ド、試験ヘッドヨーク、ケーブルおよびケーブル支持物
の集合体重心で交差する。しかしながら、本発明の第４
の実施例において、クレードル脚部90が回転する水平軸
上にあるこの集合体重心の心合せはこしき16へのクレー
ドル取り付け場所を脚部90上の適切な点へ移動させるこ
とによって達成される。第３図実施例と同様に、ケーブ
ル支持物100は、ケーブル28が試験ヘッド22に結合され
る点で、ケーブル28と軸方向に心合せされる。
第４図の取り付けクレードルは第３の脚部94をも含
む。該第３の脚部94は脚90から離れるようにして脚部92
に平行に伸張する。ケーブル回転容器96は第３図の実施
例のケーブル回転容器に、概略、類似し、脚部94上に配
置される。試験ヘッドヨーク24がその両端で該クレード
ルへ取り付けられて、試験ヘッド22および試験ヘッドヨ
ークを回転運動させる点で、第４図の実施例は第２図お
よび３図の実施例とは異なる。繰り返すと、ケーブル28
は、該試験ヘッドおよび試験ヘッドヨーク24が回転する
軸に沿って、試験ヘッド22の中へ伸張する。
再び第１図を説明する。本発明の他の特徴は、ケーブ
ル28が沿って伸張するケーブル支持物100を備えること
である。第１回で説明される本発明の実施例に対して、
ケーブル支持物100の一端は試験ヘッドヨーク24へ取り
付けられる。ケーブル支持物100の他端は別の支持構造
物へ、例えば試験キャビネット26またはケーブル28が試
験キャビネットを出る点の近くに設けられた分離ユニッ
ト（図示されない）へ取り付けられる。第５図と合せ
て、説明されるように、ケーブル支持物100は折り重さ
ねユニットである。両端の間隔が試験キャビネット26の
場所に関する試験ヘッド22の位置または方向の変化に従
って変化するにつれて、該折り重さねユニットは伸張し
または収縮する。従って、ケーブル支持物100の両端
は、該ケーブル支持物の軸方向の変化を容易にする球面
軸受けによって、それらの各部分に結合される。第２図
は、試験ヘッドヨーク24および試験キャビネット26の間
で伸張するケーブル支持物100を拡大スケールで示す。
第３図および４図は、ケーブル回転容器64および96のそ
れぞれに対するケーブル支持物100の取り付けを示す。
第１図および２図に示されるように、ある長さのケー
ブル28はケーブルつり上げ機102内にある。該ケーブル
つり上げ機102は一または二以上のワイヤ104によって平
衡おもりユニット（図示されない）、例えば一定力バネ
またはつりあいおもりへ取り付けられる。ケーブル支持
物100の両端の間隔が変化して、ケーブルの両端な間隔
も変化するので、ケーブルつり上げ機102は要求された
ときに垂直に移動してケーブルを“プレーイン（play−
in）”または“プレーアウト（play−out）”にする。
第５図を説明する。該ケーブル支持物は、ピストン11
2が内部で移動できるシリンダ110を含む。ピストン112
の移動は、シリンダ110の密閉端部110aによって一方向
において、また、円筒ピストン停止部114によって他方
向において制限される。シリンダ110はネジ結合によっ
てピストン停止部114に取り付けられる。
ネジ結合によって該ピストン停止部にも取り付けられ
る円筒軸受環116は、シリンダ110からピストン停止部11
4の反対側にある。軸受環116は、ピストン112および軸
受環116の間に位置する１対の線軸受け118をとらえる。
線軸受け118は、シリンダ110ピストン停止部114および
軸受環116の集合体とピストン112との間で相対的線移動
を可能にする。
該ケーブル支持物は、さらに、３つのケーブル支持ウ
エブ120,122および124を含む。ケーブル支持ウエブ120
は針状軸受け126の手段によって、シリンダ110に取り付
けられ、シリンダ110に関して回転する。ケーブル支持
ウエブ122は針状軸受け128の手段によって、軸受環116
に取り付けられ、軸受環116に関して回転する。ケーブ
ル支持ウエブ124はプレスばめによって軸受環116に取り
付けられることによって、このケーブル支持ウエブは該
軸受環に関して回転しない。該ケーブル支持物が第３図
および４図のケーブル回転容器と関連して使用される
と、該ケーブル支持物のケーブル支持ウエブ120は該ケ
ーブル回転容器のウエブ部材70である。
ケーブル支持ウエブ120,122および124の羽根板は、束
内の個々のケーブルが１対の羽根板の間を通過するよう
に構成される。個々のケーブルは、束または第１図、２
図および３図に示されるように帯金120a,122aおよび124
aによって、該ケーブル支持ウエブの羽根板の間に保持
される。
既に示されたように、該ケーブル支持物の各端部は球
面軸受けの手段によって各部に取り付けられる。これら
の球面軸受けは、第５図において、参照番号130および1
32によって、確認される。該球面軸受けは、該ケーブル
支持物が取り付けられる部分に関して、該ケーブル支持
物の端部を回転させ、自在にささえるように考慮する。
シリンダ110の密閉端部110aは、球面軸受け130によって
受けられる伸張部134を有する。この球面軸受けは取り
付けフランジ136内に取り付けられる。該取り付けフラ
ンジ136は本発明の第２図の実施例である試験ヘッドヨ
ーク24にまたは本発明の第３図および４図の実施列であ
るケーブル回転容器64および96のウエブ部材70に交互に
取り付けられる。
該ケーブル支持物の反対端部では、ピストン112は球
面軸受け132によって受けられる伸張部138を有する。こ
の球面軸受けは、回転するように試験キャビネット26へ
取り付けられる取り付けフランジ140内に固定される。
試験ヘッド22の位置または方向が変化すると、ピスト
ン112はシリンダ110、ピストン停止部114および軸受環1
16の集合体内で直線状に移動する。該ケーブル支持物の
軸方向の変化は、球面軸受け130および132によって調節
される。さらに、ケーブル支持ウエブ120および122がシ
リンダ110および軸受環116に関して、それぞれ回転する
ので、該試験ヘッドがシリンダ110、ピストン停止部114
および軸受環116の集合体に関して回転すると、該試験
ヘッドに接続された該ケーブルは該ケーブル支持部の長
さに沿ってねじることができる。
第２図および３図の比較から明らかなように、試験ヘ
ッドヨーク14は異なった形をとってもよい。第２図にお
いて、該試験ヘッドヨークは該試験ヘッドの横手側の周
囲を完全に伸張し、他方第３図において該試験ヘッドヨ
ークは該クレードルの脚部に沿って伸張する該試験ヘッ
ドの側面および該位置調整器から反対の該試験ヘッドの
側面だけに沿って伸張する。使用される特別の試験ヘッ
ドヨークは選択されたクレードルおよび該試験ヘッドに
依存し、ある試験ヘッドに対しては、該試験ヘッドヨー
クが完全に省略されうるので、該試験ヘッドは該クレー
ドルへ直接に取り付けられ、該ケーブル支持物は該試験
ヘッドへ直接に取り付けられる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明によって構成される電子デバイス試験シ
ステムの好ましい実施例の透視図、 第２図は本発明によって構成される第１の試験ヘッドク
レードルを、拡大シケールで、示す第１図のシステムの
部分の透視図、 第2A図は、第１図の該試験ヘッドが第２図の該試験ヘッ
ドクレードルへ取り付けられる手段を示す透視図、 第３図は、本発明によって構成される試験ヘッドクレー
ドルの第２実施例の透視図、第3A図は、第３図の試験ヘ
ッドクレードルのケーブル回転容器の拡大透視図、 第４図は本発明によって構成される試験ヘッドクレード
ルの第３の実施例の透視図、 第５図は第１図のシステムの該ケーブル支持物を示す拡
大透視図である。 10……支持構造物、12……位置調整器、14……クレード
ル、16……こしき、20……リスト結合集合体、22……試
験ヘッド、24……試験ヘッドヨーク、26……試験キャビ
ネット、28……ケーブル、30……主軸、32……柱、34…
…主腕集合体、36……前腕集合体、40,42,60,61……脚
部、44,74……ネジ、46……軸受、48……軸、50……フ
ランジ、52……ロックネジ、54……スペーサ、64……ケ
ーブル回転容器、70……ウエブ部材、72……停止リン
グ、73……外部リング、74……ネジ、76……内部リン
グ、78……軸受け、80……スペーサリング、82……ロッ
クネジ、84……開口、90,92,94……脚部、100……ケー
ブル支持物、102……ケーブルつり上げ機、104……ワイ
ヤ、110……シリンダ、110a……密閉端、112……ピスト
ン、114……ピストン停止部、116……軸受環、120,122,
124……ケーブル支持ウエブ、120a,122a,124a……帯
金、130,132……球面軸受け。
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01R 31/26,31/28 H01L 21/66

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】支持構造物（10）と；前記支持構造物に沿
    って移動する位置調整器（12）と：（ａ）クレードル
    と、（ｂ）水平軸について前記クレードルの回転運動に
    対して前記位置調整器に前記クレードルを取り付ける手
    段（16、44）と、（ｃ）試験ヘッド（22）と、（ｄ）さ
    らなる軸について前記試験ヘッドの回転運動に対して前
    記クレードルに前記ヘッドを取り付ける手段（24、46、
    48、50）とを備える試験ヘッド集合体と、さらなる支持
    構造物（26）を具備する電子デバイス試験システムにお
    いて： 直線で長さの調整が可能でありシリンダ（110）及びピ
    ストン（112）を有する伸縮自在のケーブル支持部（10
    0）と； 前記試験ヘッド集合体に前記ケーブル支持部の第１端を
    結合し且つ前記さらなる支持構造物（26）に対して前記
    ケーブル支持部の第２端を結合して前記ケーブル支持部
    （100）について前記試験ヘッドの回転を可能にする手
    段と； 前記試験ヘッド（22）及び前記さらなる支持構造物（2
    6）の間に接続されるケーブル（28）の束（28）と、 前記シリンダに沿い且つその回りにケーブルの前記束
    （28）を軸方向に配置する第１ケーブル支持ウェブとを
    具備する電子デバイス試験システム。
  2. 【請求項２】ケーブル（28）の前記束は前記さらなる軸
    に対して垂直に配置される前記試験ヘッドの側に接続さ
    れる請求項１に記載の電子デバイス試験システム。
  3. 【請求項３】前記クレードルは； （ａ）前記クレードル取付手段により前記位置調整器に
    取り付けられる第１脚部（40、60、90）と、 （ｂ）前記第１脚部に取り付けられ前記第１脚部から離
    れて伸長し、前記試験ヘッドが前記試験ヘッド取付手段
    により取り付けられる第２脚部（42、62、92）とを具備
    する請求項２に記載の電子デバイス試験システム。
  4. 【請求項４】ケーブル（28）の前記束は、前記クレード
    ルの前記第２脚部に対向する前記試験ヘッドの側におい
    て、前記試験ヘッド中に伸長する請求項３に記載の電子
    デバイス試験システム。
  5. 【請求項５】個々のケーブル（28）の前記束は前記試験
    ヘッド（22）に前記クレードルの前記第２脚部を経由し
    て伸長する請求項３に記載の電子デバイス試験システ
    ム。
  6. 【請求項６】前記クレードルは前記第１脚部に取り付け
    られて前記第１脚部から離れて伸長し前記第２脚部に平
    行な第３脚部（94）且つ個々のケーブル（28）の前記束
    は前記試験ヘッド（22）に第３脚部を経由して伸長する
    請求項４に記載の電子デバイス試験システム。
  7. 【請求項７】ケーブル回転容器は個々のケーブル（28）
    の前記束を納める請求項１に記載の電子デバイス試験シ
    ステム。
  8. 【請求項８】帯金は個々のケーブル（28）の前記束を納
    める請求項１に記載の電子デバイス試験システム。
  9. 【請求項９】前記シリンダ（110）に取り付けられる第
    ２ケーブル支持ウェブ（122）と； 前記シリンダ（110）に取り付けられ且つ前記シリンダ
    （110）について非回転である第３ケーブル支持ウェブ
    （124）とを具備し； 前記第１ケーブル支持ウェブ（120）及び前記第２ケー
    ブル支持ウェブは前記シリンダ（110）について各々独
    立に回転可能であり； 前記試験ヘッド（22）が前記さらなる軸について回転す
    るにつれて、前記第１ケーブル支持ウェブ（120）、前
    記第２ケーブル支持ウェブ（122）及び前記第３ケーブ
    ル支持ウェブ（124）の少なくとも１つは前記シリンダ
    （110）に沿って個々のケーブル（28）の前記束の部分
    長さの捩じれを分配する請求項１に記載の電子デバイス
    試験システム。
  10. 【請求項１０】前記試験ヘッドに前記ケーブル支持部の
    前記第１端を結合する前記手段は第１軸受け（130）を
    具備し； 前記さらなる支持構造物（26）に前記ケーブル支持部を
    結合する前記手段は第２軸受け（132）を具備し； 個々のケーブル（28）の前記束の一部は吊り上げ器中に
    まとめられている請求項１に記載の電子デバイス試験シ
    ステム。
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