JPH0273170A - 電子デバイス試験システム - Google Patents

電子デバイス試験システム

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JPH0273170A
JPH0273170A JP1117645A JP11764589A JPH0273170A JP H0273170 A JPH0273170 A JP H0273170A JP 1117645 A JP1117645 A JP 1117645A JP 11764589 A JP11764589 A JP 11764589A JP H0273170 A JPH0273170 A JP H0273170A
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    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/0009Energy-transferring means or control lines for movable machine parts; Control panels or boxes; Control parts
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals

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  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Debugging And Monitoring (AREA)
  • Memory System Of A Hierarchy Structure (AREA)
  • Molding Of Porous Articles (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、−船釣には、電子デバイスの試験に関し、特
に、電子試験ヘッドが試験されるデバイスの取扱装置に
接続およびそれと結合するように位置決めされるシステ
ムに関する。
〔従来の技術〕
集積回路および他の電子デバイスの自動試験では、試験
されるデバイスを所定位置に置く特別のデバイス取扱装
置が用いられてきた。電子試験自体は、デバイス取扱装
置に接続しかつ結合する試験ヘッドを含む大きくて高価
な自動試験システムによって、装備されていた。該試験
ヘッドが高速度電子タイミング信号を用いるので、その
電子回路は、試験中には該デバイスにできるだけ近接し
て置かれなければならない。したがって、精巧なデバイ
スの高速試験を達成するために、該試験ヘッドは電子回
路に高密度に実装される。
支持構造物に沿って移動可能な操縦器または位置調整器
は、試験ヘッドがデバイス取扱装置に接続しかつ結合す
るように位置決めされる所望場所に、試験ヘッドを運ぶ
。該試験ヘッドは、該位置調整器が移動する支持構造物
の軸の他に2つの直交軸で該試験ヘッドを回転するよう
にする手段によって、該位置調整器へ取り付けられる。
〔発明が解決しようとする課題〕
主要問題は重いケーブルを接続することである。
該重いケーブルは、自動試験システムのキャビネット格
納部から所望場所へおよび所望位置の中へそれ自身移動
可能である該試験ヘッドへ伸張する。
設備は該重いケーブルが試験ヘッドと共に移動するよう
にしなければならない。
過去に使用されたーの構成は、該試験ヘッドが該位置調
整器へ取り付けられる機構を介して該ケーブルを通過さ
せることを必要とする。この機構は該機構を介し才伸張
する水平軸で該試験ヘッドを回転運動可能にするように
構成され、かつ、該ケーブルと一直線にある。この機構
の設計は、該機構を介して該試験ヘッドへ該ケーブルを
通過するように変えても、特に複雑かつ高価になる。
別の構成では、該ケーブルは、該試験ヘッドが該位置調
整器へ取り付けられる該機構から反対の該試験ヘッド側
面における試験ヘッドに接続する方法で、該試験ヘッド
下につるされる。この方法は、該試験ヘッドが該位置調
整器へ取り付けられる複雑で高価な機構をさけて、該ケ
ーブルが該試験ヘッドへ接続されるが、該試験ヘッドの
多数の方向に対して該試験ヘッドの下には該試験ヘッド
の側面をはみ出してまで吊すケーブルは試験システムの
操作員のじゃまになる。
さらに別の構成では、該ケーブルはケーブル容器に通さ
れる。該ケーブル容器に該試験ヘッドは取り付けられの
で該試験ヘッドは該ケーブル容器に関して回転運動する
。回転する該ケーブル容器は該位置調整器に取り付けら
れて、水平軸で該ケーブル容器および該試験ヘッドを回
転させる。該試験ヘッドが取り付けられるので、二つの
直交軸で回転しうるけれども、該試験ヘッドの重心は該
ケーブル容器および試験ヘッドが回転する水平軸から動
かされる。結果として、上記で示されるように非常に重
い該試験ヘッドは平衡されなければならず、それによっ
て、該試験ヘッドが該位置調整器に取り付けられる手段
に対して複雑さおよびコストを加えることになる。
〔課題を解決するための手段〕
本発明によって構成される電子デバイス試験システムは
、支持構造物および該支持構造物に沿って移動可能な位
置調整器を含む。クレードル(cradle)および水
平軸で該クレードルを回転運動させる位置調整器に該ク
レードルを取り付ける手段も含められる。試験ヘッドは
該クレードルへ取り付けられ、該クレードルは、水平軸
に垂直な平面において水平軸で回転可能な第2の軸で該
試験ヘッドを回転運動させる。該試験システムは、さら
に、試験キャビネットおよびケーブルを含む。
該ケーブルは該試験キャビネットに伸張する第1の端部
および該第2の軸に沿って試験ヘッドに伸張する第2の
端部を有する。
〔実施例〕
第1図は本発明によって構成される電子デバイス試験シ
ステムの透視図である。このシステムは、米国特許第4
.527.942号;米国特許第4.588.346 
;米国特許4.705.447号に記載され、説明され
るものに概略して類似していて、この内容はこの中に出
典指示によって取り入れられている。第1図のシステム
はこの中で詳細に説明されているけれども、より詳細な
説明は上記3つの米国特許を参照することによって得ら
れる。
第1図のシステムは支持構造物10および該支持構造物
10に沿って垂直に移動可能に位置調整器12を含む。
クレードル14および水平軸に関して該クレードルを回
転運動させる位置調整器12に該クレードルを取り付け
る手段も含まれる。
この手段は、リスト結合集合体20を介して伸張する開
口にある軸受け(図示しない)内で回転する軸(図示し
ない)端にこじき(hub)16を含めてもよい。適切
なロック手段が、位置調整器12に関連する位置にクレ
ードル14を固定するために設けられる。クレードル1
4を位置調整器へ取り付ける追加詳細説明は、第3図お
よび4図に示されるクレードルの説明と合せてなされる
第1図のシステムは、試験ヘッドおよびクレードルが回
転する水平軸のまわりに回転可能な第2の軸に関して試
験ヘッドを回転運動させるクレードル14に試験ヘッド
を取り付ける手段も含む。
試験へラド22の回転軸は、クレードル14が回転する
水平軸に垂直な平面で回転する。試験ヘッド22をクレ
ードル14へ取り付ける手段は、周囲に伸張していて、
試験ヘッドに取り付けられている試験へラドヨーク24
および試験へラドヨークを回転運動させるクレードルと
第2の軸に関する試験ヘッドへ試験へラドヨークを取り
付ける手段を含めてもよい。試験へラドヨーク24をク
レードル14へ取り付けることについての追加の詳細は
第2図、3図および4図に示されるクレードルの説明と
合せてなされる。
第1図のシステムは、試験キャビネット26および該試
験キャビネットへ伸張する第1の端部と試験へラド22
へ伸張する第2の端部を有するケーブル28も含む。第
1図に示すように、ケーブル28は個々のケーブルの東
から構成される装置調整器12が柱32へ固定された主
軸30を垂直に移動されると、試験ヘッド22は、該位
置調整器によって所望垂直位置に支持され、操縦される
。第1図の仮想線はクレードル14および第2の垂直軸
の位置調整器12の一部を示す。支持構造物10に沿う
位置調整器12の移動は、平衡力、動力親ねじ駆動、気
体又は液体駆動のような種々な方法で制御しつる。
位置調整器12は主腕集合体34、前腕集合体36およ
びリスト結合集合体20を含む。前腕集合体36は主腕
集合体34に取り付けられることによって、該主腕集合
体に対して、垂直軸で回転しうる。同様に、リスト結合
集合体20は、前腕集合体36に取り付けられることに
よって、該前腕集合体に対して垂直軸で回転しろる。
第1図に示される本発明の実施例に対して、試験ヘッド
は、支持構造物に沿って垂直に、該支持構造物から離れ
て水平に移動可能であり、3つの直角軸で回転可能であ
る。上記したように、支持構造物10および位置調整器
12の構成および作用のより詳細な説明に関しては前記
した米国特許に言及されている。
本発明によって構成されるクレードルの第1の実施例を
示す第2図を説明する。該クレードルは、第1図に示さ
れるシステムの位置調整器12に取り付けられる第1の
脚部40および該脚部から離れるように伸張しかつ試験
へラド22が取り付けられる第2の脚部42を含む。第
3図および4図に示されるように、クレードル脚部40
は多数のネジ44によってこしき16へ取り付けられる
該多数のネジは、回転し、リスト結合集合体20によっ
て支えられるこじき16のネジ穴へ脚部40を介して伸
張する。
第2A図は試験へラド22を該クレードルへ取り付ける
ために用いられる構成を示す。クレードルの脚部42は
、回転し、適切な手段(図示しない)によって試験へラ
ドヨーク24に取り付けられるフランジ50へ溶接され
る軸48を受ける1対の軸受46を支持する。試験ヘッ
ドヨーク24が試験ヘッドへ固定されると共に、試験ヘ
ッドおよび試験へラドヨークは、シャフト48が向いて
いる軸で回転運動をするクレードルの脚部42へ取り付
けられる。この回転軸は、脚部40が回転する水平軸で
回転可能でありかつ脚部40が回転する軸に垂直な平面
にある。試験ヘッド22および試験へラドヨーク24は
ロックネジ52の手段によってクレードルの相対的な位
置に固定される。
クレードルの脚部40および420間にスペーサ52が
設けられる。クレードルの設計およびクレードルの位置
調整器12への取り付けに関連する該スペーサは、クレ
ードルへ取り付けられた集合体の重心で2つの回転軸の
交点の場所を決めるのに役立つ。この集合体は、試験ヘ
ッド、試験へラドヨーク、該試験ヘッドへ伸張するケー
ブルおよび後に詳細に検討されるケーブル支持物100
を含む。ケーブル支持物100が試験ヘッド22の高さ
の中点以下で、試験へラドヨーク24に取り付けられる
ことも言及される。すなわち、この取り付けは、第3の
軸が他の2つの軸と交差する集合体の重心を維持するよ
うになされ、ケーブルが試験ヘッドの底近くの試験ヘッ
ドに伸張されるので必要とされる。
ケーブル28は、試験ヘッドおよび試験へラドヨークが
回転する軸に沿って試験ヘッド22へ伸張する。第2図
に示されるクレードルの実施例に対しては、ケーブル2
8は取り付けクレードルの脚部42から反対にある該試
験ヘッド22の側面の該試験ヘッドに伸張する。
本発明によって構成されるクレードルの第2の実施例を
示す第3図を説明する。この実施例では、クレードルは
第1図のシステムの位置調整器12へ取り付けられる第
1の脚部60および試験ヘッド22と試験へラドヨーク
24が回転運動のために取り付けられる第2の脚部62
を有する。第2図の実施例と同様に、2つの回転軸は、
試験ヘッド、試験へラドヨーク、ケーブルおよびケーブ
ル支持物の集合体重心で交差する。脚部60および62
の間に設けられたスペーサ54は、第3図の実施例にお
いて、この結果を生じさせるためにも含められる。第1
図の実施例に対比して、ケーブル支持部100は、ケー
ブル28が試験ヘッド22に接続されている点でケーブ
ル28と軸方向に一列になるように設番ブられる。
第3図の実施例は、第2の実施例とは、試験ヘッド22
へのケーブルの挿着方向およびケーブルが試験ヘッドへ
挿着される機構においてのみ相違する。第2図の実施例
に対比して第3図の実施例ではケーブル28は、ケーブ
ル回転容器64およびクレードルの脚部62を通して試
験ヘッド22へ伸張する。第2図の実施例と同様に、ケ
ーブル28は、試験ヘッドおよび試験へラドヨーク24
が回転する軸に沿って試験ヘッド22へ伸張する。
第3A図は拡大スケールで第3図のケーブル回転容器6
4を示す。該ケーブル回転容器は、多数のネジ74によ
って外部リング73へ締着される停止リング72内に取
り付けられるウェブ部材70を含む。外部リング73は
脚部62の一部として製造される。ウェブ部材70は停
止リング72内で回転するように配置される。
ケーブル回転容器は、試験へラドヨーク24へ適切な手
段(図示しない)によって結合される内部リング76を
含む。内部リング76は、スペーサリング80によって
離れて保持されている1対の軸受け78によって外部リ
ング73から一定間隔にある。ウェブ部材70は多数の
ネジ81によって内部リング76へ取り付けられている
。試験ヘッド22および試験ヘッドヨーク24が所望位
置へ移動されたとき、ロックネジ82は内部リング76
を外部リング73に関して所定位置にロックする。すな
わち、このロックは、ロックネジ82の点端部が外部リ
ング73を押して、回転して、スペーサリング80と接
触させて、外部リングに関して内部リング76の回転を
防止することによって達成される。
ケーブル28はウェブ部材70の4つの開口を通して試
験ヘッド22へ伸張する。試験へラドヨーク24はケー
ブル回転容器に対応する外部形状を有し、ケーブル28
が通り抜けて試験ヘッド22に入る開口を有する。ウェ
ブ部材70が停止リング72内で回転可能であるととも
に、試験ヘッド22および試験へラドヨーク24が所望
位置へ移動されると、ウェブ部材およびケーブルは内部
リング7Gと共に回転する。ウェブ部材70が第3図お
よび3A図に示されているものと異なって構成されうろ
ことが、つまりケーブルが通過して試験ヘッドに入る、
異なる開口数が設けられうろことが明らかであろう。
第4図は本発明によって構成されるクレードルの第3の
実施例を示す図である。このクレードルは第1の脚部9
0を含む。該第1の脚部90は、第2図および3図の実
施例の脚部40および60とそれぞれ同じ方法で位置調
整器12へ取り付けられる。第4図の該クレードルは第
2の脚部92をも含む。試験ヘッド22および試験へラ
ドヨーク24は該第2の脚部92に取り付けられること
によって第2図の実施例に類似する方法で、回転運動す
るようになる。繰り返すと、クレードルとその位置調整
器への取り付けが構成されることによって、該2つの回
転軸は試験ヘッド、試験ヘッドヨーク、ケーブルおよび
ケーブル支持物の集合体重心で交差する。しかしながら
、本発明の第4の実施例において、クレードル脚部90
が回転すろ水平軸上にあるこの集合体重心の心合せはこ
しき16へのクレードル取り付け場所を脚部90上の適
切な点へ移動させることによって達成される。
第3図実施例と同様に、ケーブル支持物100は、ケー
ブル28が試験ヘッド22に結合される点で、ケーブル
28と軸方向に心合せされる。
第4図の取り付けクレードルは第3の脚部94をも含む
。該第3の脚部94は脚90から離れるようにして脚部
92に平行に伸張する。ケーブル回転容器96は第3図
の実施例のケーブル回転容器に、概略、類似し、脚部9
4上に配置される。
試験へラドヨーク24がその両端で該クレードルへ取り
付けられて、試験へラド22および試験へラドヨークを
回転運動させる点で、第4図の実施例は第2図および3
図の実施例とは異なる。繰り返すと、ケーブル28は、
該試験ヘッドおよび試験ヘッドヨーク24が回転する軸
に沿って、試験へラド22の中へ伸張する。
再び第1図を説明する。本発明の他の特徴は、ケーブル
28が沿って伸張するケーブル支持物100を備えるこ
とである。第1図で説明される本発明の実施例に対して
、ケーブル支持物100の一端は試験へラドヨーク24
へ取り付けられる。ケーブル支持物100の他端は別の
支持構造物へ、例えば試験キャビネット26またはケー
ブル28が試験キャビネットを出る点の近くに設けられ
た分離ユニット(図示されない)へ取り付けられる。第
5図と合せて、説明されるように、ケーブル支持物10
0は折り重さねユニットである。両端の間隔が試験キャ
ビネット26の場所に関する試験ヘッド22の位置また
は方向の変化に従って変化するにつれて、該折り重さね
ユニットは伸張しまたは収縮する。従って、ケーブル支
持物1000両端は、該ケーブル支持物の軸方向の変化
を容易にする球面軸受けによって、それらの各部分に結
合される。
第2図は、試験へラドヨーク24および試験キャビネッ
ト26の間で伸張するケーブル支持物100を拡大スケ
ールで示す。第3図および4図は、ケーブル回転容器6
4および96のそれぞれに対するケーブル支持物100
の取り付けを示す。
第1図および2図に示されるように、ある長さのケーブ
ル28はケーブルつり上げ機102内にある。該ケーブ
ルつり上げ機102は−または二辺上のワイヤ104に
よって平衡おもりユニット(図示されない)、例えば一
定力バネまたはつりあいおもりへ取り付けられる。ケー
ブル支持物100の両端の間隔が変化して、ケーブルの
両端の間隔も変化するので、ケーブルつり上げ機102
は要求されたときに垂直に移動してケーブルを“プレー
イン(play−in)″または“プレーアウト (p
lay−out)”にする。
第5図を説明する。該ケーブル支持物は、ピストン11
2が内部で移動できるシリンダ110を含む。
ピストン112の移動は、シリンダ110の密閉端部1
10aによって一方向において、また、円筒ピストン停
止部114によって他方向において制限される。シリン
ダ110 はネジ結合によってピストン停止部114に
取り付けられる。
ネジ結合によって該ピストン停止部にも取り付けられる
円筒軸受環116は、シリンダ110からピストン停止
部114の反対側にある。軸受環116は、ピストン1
12および軸受環116の間に位置する1対の線軸受け
118をとらえる。線軸受け118は、シリンダ110
 ピストン停止部114および軸受環116の集合体と
ピストン112との間で相対的線移動を可能にする。
該ケーブル支持物は、さらに、3つのケーブル支持ウェ
ブ120.122Jよび124を含む。ケーブル支持ウ
ェブ120は針状軸受け126の手段によって、シリン
ダ110に取り付けられ、シリンダ110 に関して回
転する。ケーブル支持ウェブ122は針状軸受け128
の手段によって、軸受環116に取り付けられ、軸受環
116に関して回転する。ケーブル支持ウェブ124は
ブレスばめによって軸受環116に取り付けられること
によって、このケーブル支持ウェブは該軸受環に関して
回転しない。該ケーブル支持物が第3図および4図のケ
ーブル回転容器と関連して使用されると、該ケーブル支
持物のケーブル支持ウェブ120は該ケーブル回転容器
のウェブ部材70である。
ケーブル支持ウェブ120.122および124の羽根
板は、東向の個々のケーブルが1対の羽根板の間を通過
するように構成される。個々のケーブルは、東または第
1図、2図および3図に示されるように帯金120 a
 、 122 aおよび124aによって、該ケーブル
支持ウェブの羽根板の間に保持される。
既に示されたように、該ケーブル支持物の各端部は球面
軸受けの手段によって各部に取り付けられる。これらの
球面軸受けは、第5図において、参照番号130および
132によって、確認される。
該球面軸受けは、該ケーブル支持物が取り付けられる部
分に関して、該ケーブル支持物の端部を回転させ、自在
にささえるように考慮する。シリンダ110の密閉端部
110 aは、球面軸受け130によって受けられる伸
張部134を有する。この球面軸受けは取り付けフラン
ジ136内に取り付けられる。
該取り付けフランジ136は本発明の第2図の実施例テ
する試験へラドヨーク24にまたは本発明の第3図およ
び4図の実施例であるケーブル回転容器64および96
のウェブ部材70に交互に取り付けられる。
該ケーブル支持物の反対端部では、ピストン112は球
面軸受け132によって受けられる伸張部138を有す
る。この球面軸受けは、回転するように試験キャビネッ
ト26へ取り付けられる取り付けフランジ140内に固
定される。
試験ヘッド22の位置または方向が変化すると、ピスト
ン112 はシリンダ110、ピストン停止部114お
よび軸受!116の集合体内で直線状に移動する。
該ケーブル支持物の軸方向の変化は、球面軸受け130
および132によって調節される。さらに、ケーブル支
持ウェブ120および122がシリンダ110および軸
受環116に関して、それぞれ回転するので、該試験ヘ
ッドがシリンダ1101 ピストン停止部114および
軸受環116の集合体に関して回転すると、該試験ヘッ
ドに接続された該ケーブルは該ケーブル支持部の長さに
沿ってねじることができる。
第2図および3図の比較から明らかなように、試験へラ
ドヨーク24は異なった形をとってもよい。第2図にお
いて、該試験へラドヨークは該試験ヘッドの横手側の周
囲を完全に伸張し、他方第3図において該試験ヘッドヨ
ークは該クレードルの脚部に沿って伸張する該試験ヘッ
ドの側面および該位置調整器から反対の該試験ヘッドの
側面だけに沿って伸張する。使用される特別の試験へラ
ドヨークは選択されたクレードルおよび該試験ヘッドに
依存し、ある試験ヘッドに対しては、該試験ヘッドヨー
クが完全に省略されうるので、該試験ヘッドは該クレー
ドルへ直接に取り付けられ、該ケーブル支持物は該試験
ヘッドへ直接に取り付けられる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によって構成される電子デバイス試験シ
ステムの好ましい実施例の透視図、第2図は本発明によ
って構成される第1の試験へラドクレードルを、拡大ス
ケールで、示す第1図のシステムの部分の透視図、 第2A図は、第1図の該試験ヘッドが第2図の該試験へ
ラドクレードルへ取り付けられる手段を示す透視図、 第3図は、本発明によって構成される試験へラドクレー
ドルの第2の実施例の透視図、第3A図は第3図の試験
へラドクレードルのケーブル回転容器の拡大透視図、 第4図は本発明によって構成される試験へラドクレード
ルの第3の実施例の透視図、 第5図は第1図のシステムの該ケーブル支持物を示す拡
大透視図である。 10・・・支持構造物、  12・・・位置調整器、1
4・・・クレードノベ  16−=こしき、20・・・
リスト結合集合体、 22・・・試験ヘッド、  24・・・試験へラドヨー
ク、26・・・試験キャビネット、 28・・・ケーブノペ   30・・・主軸、32・・
・柱、      34・・・主腕集合体、36・・・
前腕集合体、 40 、42 、60 、62・・・脚
部、44 、74・・・ネジ、    46・・・軸受
、48・・・軸、      50・・・フランジ、5
2・・・ロックネジ、  54・・・スペーサ、64・
・・ケーブル回転容器、 70・・・ウェブ部材、  72・・・停止リング、7
3・・・外部リング、  74・・・ネジ、76・・・
内部リング、 78・・・軸受け、80・・・スペーサ
リング、 82・・・ロックネジ、  84・・・開口、90 、
92 、94・・・脚部、 100・・・ケーブル支持
物、102・・・ケーブルつり上げ機、 104・・・ワイヤ、   110・・・シリンダ、1
10a・・・密閉端、   112・・・ピストン、1
14 ・・・ピストン停止部、 116・・・軸受環、 120、 122. 124・・・ケーブル支持ウェブ
、120 a  122 a  124 a・・・帯金
、130、132・・・球面軸受け。 λ面()1争1. メー、ン −ン一】−′−vノ手 続 補 正 書 (方式) %式% 事件の表示 平成1年特許願第117645号 発明の名称 電子デバイス試験システム 補正をする者 事件との関係   特許出願人 名称 インテスト コーボレインヨン 6、補正の対象 (1)  願書の「出願人の代表者」の欄(2)委任状 (3)明細書 (4)図面 7、補正の内容 (1)(2)  別紙の通り (3)  明細書の浄書(内容に変更なし)(4)図面
の浄書(内容に変更なし) 8、 添附書類の目録 (11訂正願書 (2)委任状及び訳文 (3)浄書明細書 (4)浄書図面 1通 各1通 1通 1通

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、支持構造物と、 前記支持構造物に沿って移動可能な位置調整器と、 試験ヘッド集合体であって (a)クレードルと、 (b)前記クレードルを前記位置調整器に取り付けて、
    水平軸で前記クレードルを回転運動させる手段と、 (c)試験ヘッドと、 (d)前記試験ヘッドを前記クレードルに取り付けて、
    前記水平軸に垂直な平面において前記水平軸で回転可能
    な第2の軸で前記試験ヘッドを回転運動させる手段を含
    む ものと、 試験キャビネットと、 ケーブル支持構造物と、 前記ケーブル支持構造物の第1の端部を前記試験ヘッド
    集合体と、 前記試験ヘッドおよび前記試験キャビネットの間に接続
    されかつ前記試験ヘッド集合体から離れた前記ケーブル
    支持構造物に沿って伸張するケーブルを含む電子デバイ
    ス試験システム。 2、前記ケーブルが、前記第2の軸に垂直に配置される
    前記試験ヘッドの側面に接続される請求項1記載の電子
    デバイス試験システム。 3、前記クレードルが、 (a)前記クレードル取り付け手段によって前記位置調
    整器へ取り付けられる第1の脚部と、(b)前記第1の
    脚部から離れるように伸張しかつ前記試験ヘッドが前記
    試験ヘッド取り付け手段によって取り付けられる第2の
    脚部を含む請求項2記載の電子デバイス試験システム。 4、前記ケーブルが前記クレードルの前記第2の脚部か
    ら反対にある前記試験ヘッド側面で前記試験ヘッドへ伸
    張する請求項3記載の電子デバイス試験システム。 5、前記ケーブルが前記クレードルの前記第2の脚部を
    介して前記試験ヘッドに伸張する請求項3記載の電子デ
    バイス試験システム。 6、前記クレードルが前記第1の脚部から離れるように
    して、前記第2の脚部に平行に伸張する第3の脚部を含
    み、前記ケーブルが前記第3の脚部を介して前記試験ヘ
    ッドへ伸張する請求項4記載の電子デバイス試験システ
    ム。 7、前記ケーブル支持物の第2の端部を支持構造物へ取
    り付ける手段を含む請求項2記載の電子デバイスシステ
    ム。 8、前記ケーブル支持物が前記試験ヘッド集合体へ取り
    付けられた前記第1の端部および前記支持構造物に取り
    付けられる前記第2の端部を有する折り重さねユニット
    を含む請求項7記載の電子デバイス試験システム。 9、前記試験ヘッドが前記第2の軸で回転するとき、前
    記折り重さねユニットで前記ケーブルをねじることに対
    して、前記ケーブル支持物が前記折り重さねユニットに
    取り付けられる手段を含む請求項8記載の電子デバイス
    試験システム。 10、前記ケーブル支持物の前記第1の端部を前記試験
    ヘッド集合体へ取り付ける手段および前記ケーブル支持
    物の前記第2の端部を前記支持構造物に取り付ける手段
    がそれぞれ前記ケーブル支持物と前記試験ヘッド集合体
    の間に、および、前記ケーブル支持物と前記支持構造物
    の間に回転および自由自在を可能にする球面軸受けを含
    む請求項7記載の電子デバイス試験システム。 11、円筒集合体内で該円筒集合体の密閉端に向かって
    およびそれから離れるように移動可能なピストンを有す
    る折り重さねユニットと、 中心から外側へ放射状に伸張する多数の羽根板を、それ
    ぞれ、有する第1、2および3のケーブル支持ウェブと
    、 前記第1のケーブル支持ウェブを前記密閉端で前記円筒
    集合体に取り付けて、前記円筒集合体に関して前記第1
    のケーブル支持ウェブを回転運動させる第1の手段と、 前記第2のケーブル支持ウェブを前記密閉端から一定間
    隔にある前記円筒集合体に取り付けて、前記円筒集合体
    に関して前記第2のケーブル支持ウェブを回転運動させ
    る第2の手段と、 前記第1のケーブル支持ウェブから反対にある前記第2
    のケーブル支持ウェブ側の前記円筒集合体に前記第3の
    ケーブル支持ウェブをかたくはめて連結するように取り
    付ける第3の手段を含むケーブル支持物。 12、前記第1、2および3ケーブル支持ウェブの外縁
    部の周囲をそれぞれ伸張する第1、2および第3の帯金
    を含む請求項11記載のケーブル支持物。
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