JP2897993B2 - 振れ検出装置、振れ検出装置を備えた光学機器および振れ検出装置を備えた機器 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、機器の振動を検出するための振れ検出装
置、および振れ検出装置を備えた機器に関する。

［従来の技術］ 本発明の対象となる従来技術を、以下説明する。

現代のカメラでは露出決定やピント合せ等の撮影にと
って重要な作業はすべて自動化されているため、カメラ
操作に未熟な人でも撮影失敗を起す可能性は非常に少な
くなっているが、カメラブレによる撮影失敗だけは自動
的に防ぐことができない。

それ故、最近ではカメラブレに起因する撮影失敗をも
防止することのできるカメラが研究されており、特に、
撮影者の手ブレによる撮影失敗を防止することのできる
カメラについての開発、研究が進められている。

上記の手ブレは、周波数として通常1Hzないし12Hzの
振動であるが、カメラシャッターのレリーズ時点におい
てこのような手ブレを起していても像ブレのない写真を
撮影可能とするためには、上記手ブレによるカメラの振
動を検出し、その検出値に応じて補正レンズをカメラの
振動変位の方向に応じて変位させてやらなければならな
い。したがって、上記目的（すなわち、カメラのブレが
生じても像ブレを生じない写真を撮影できること）を達
成するためにはカメラの振動（特に手ブレによる振動）
を正確に検出することが必要となる。

そしてカメラブレの検出は、原理的にいえば、加速度
信号を出力する加速度計および該加速度信号を１階積分
もしくは２階積分して速度信号もしくは変位信号を出力
する積分器を含むカメラブレ検出システムをカメラに搭
載することによっておこなうことができる。

ここで加速度計を用いたカメラブレ検出システムにつ
いて第４図を用いてその概要を説明する。

第４図の例は、光軸Ｌに対して直交する矢印41で示す
不図示のカメラ本体におけるピッチ方向（Pitch）と、
矢印42で示す該カメラ本体におけるヨー方向（Yaw）の
カメラブレを検出するシステムである。43は補正光学系
48を有するレンズ鏡筒で、光軸Ｌを中心としてピッチ方
向に一対の加速度計44P₁，44P₂と、ヨー方向に一対の加
速度計44Y₁，44Y₂が取り付けられている。これらの各々
の加速度計44P₁，44P₂、44Y₁，44Y₂はサーボ加速度計等
の微小加速度を検出できるもので、夫々の加速度検出方
向（感度軸）を矢印45P₁，45P₂，45Y₁，45Y₂で示す。46
P,46Yは対をなす加速度計44P₁，44P₂と対をなす加速度
計44Y₁，44Y₂の出力の差分をとる差動増幅器、47P,47Y
は公知のアナログ積分回路（以下単に積分回路という）
であり、差動増幅器からの差動加速度信号を積分器47P,
47Yにより１階積分して手ブレ速度もしくは２階積分し
て手ブレ変位に変換する。49Pは補正光学系48をＹ軸方
向に駆動するピッチ駆動部、49Yは補正光学系48をＸ軸
方向に駆動するヨー駆動部、50Pは補正光学系48のＹ軸
方向の位置を検出するピッチ位置センサ、50Yは補正光
学系48のＸ軸方向の位置を検出するヨー位置センサ、51
P,51Yはサーボ増幅器で、これらの駆動部49P,49Y、位置
センサ50P,50Yは、サーボ増幅器51P,51Yにより公知のサ
ーボ回路を構成している。 いまカメラマンがカメラを
構え被写体を狙い始めるとする。

このときカメラは矢印41のピッチ方向および矢印42の
ヨー方向に微妙にブレる。このブレは周波数1Hzないし1
2Hzの振動である。

カメラが前記矢印41方向にブレるとピッチ方向に対を
なす加速度計44P₁，44P₂には各々異なったブレ加速度が
入力される。これは例えばカメラが第４図に示した点Ｏ
を中心としてブレた場合、その加速度は光軸Ｌより上側
の加速度計44P₁と、光軸Ｌより下側の加速度計44P₂とで
逆相となるためである。この対をなす二つの加速度計44
P₁，44P₂の出力の差分を差動増幅器46Pにより求めるこ
とで、カメラが矢印41方向にブレるとき生じたピッチブ
レの加速度信号が得られる。

この信号に応じて補正光学系48をピッチ駆動部49Pに
て第４図Ｙ軸方向に駆動することで像ブレ防止を図る。

［発明が解決しようとする課題］ このようなシステムにあっては、手ブレ等のブレとは
別に外部から衝撃等の振動が入力されると、それを加速
度計44P₁，44P₂が拾い、その信号で補正光学系48を駆動
する。このような衝撃信号で補正光学系48を駆動する
と、補正光学系48自身からも振動が発生し、カメラ又は
レンズ内を第４図中矢印55で示す如く振動が伝播（以下
伝播振動と称す）し、さらに加速度計を加振してしま
い、防振効果を全く失ってしまう。

そこで、このような振動の閉じた系を防ぐために、差
動増幅器46Pの出力と公知のローパスフイルタを介して
補正光学系48を駆動制御する方式が提案されている。

これは、このような伝播振動が高周波であるためにロ
ーパスフイルタにより十分減衰できるからである。

しかしこのような方式では、実際の伝播振動の起きて
いる方向ばかりではなく、手ブレ方向の振動、つまり手
ブレ検知出力までも減衰させてしまい、防振効果の低下
を招いてしまう。

本出願に係る発明の目的は、衝撃等により発生する振
動の影響で誤検出することのない振れ検出装置、および
振れ検出装置を備えた機器を提供しようとするものであ
る。

［課題を解決するための手段］ 請求項１に記載した発明は、被検出物体に取り付けら
れ、互いに異なる方向の振動を検出する複数の振れセン
サを有する振れ検出装置において、前記複数の振れセン
サを１つの取付部材に固着し、前記取付部材を前記被検
出物体に取り付ける際に、前記取付部材と前記被検出物
体との間に作用する圧縮方向の振動を剪断方向の振動に
比べて大きく減衰させる弾性部材を前記取付部材と前記
被検出物体との間に介在させることを特徴としている。

請求項２に記載した発明は、請求項１に記載した発明
において、前記振れセンサは、前記振れセンサの感度軸
と前記被検出物体側で規定される基準軸とのアライメン
トを調節するアライメント調節手段を介在させて前記取
付部材に取付けられることを特徴としている。

請求項３に記載した発明は、請求項１または２に記載
した発明において、前記取付部材を前記被検出物体に取
付ける際に、治具を用いて取り付け位置を調節すること
ができるものであって、前記取付部材に前記治具と係合
する部位を設けることを特徴している。

請求項４に記載した発明は、互いに異なる方向の振動
を検出する複数の振れセンサを有する振れ検出装置を備
えた光学機器において、前記複数の振れセンサを１つの
取付部材に固着し、前記取付部材を前記光学機器に取り
付ける際、前記取付部材と前記光学機器との間に、前記
光学機器の光軸と直交する方向の振動を減衰させる弾性
部材を介在させることを特徴としている。

請求項５に記載した発明は、請求項４に記載した発明
において、前記振れセンサは、前記振れセンサの感度軸
と前記光学機器側で規定される基準軸とのアライメント
を調節するアライメント調節手段を介在させて前記取付
部材に取付けられることを特徴としている。

請求項６に記載した発明は、請求項４または５に記載
した発明において、前記取付部材を前記光学機器に取り
付ける際に、治具を用いて取り付け位置を調節すること
ができるものであって、前記取付部材に前記治具と係合
する部位を設けることを特徴としている。

請求項７に記載した発明は、被検出物体に取り付けら
れ、振動を検出する振れセンサを有する振れ検出装置に
おいて、前記振れセンサは、前記振れセンサの感度軸と
前記被検出物体側で規定される基準軸とのアライメント
を直交する２方向にて調節するアライメント調節手段を
介在させて前記被検出物体に取り付けられることを特徴
としている。

請求項８に記載した発明は、被検出物体に取り付けら
れ、互いに異なる方向の振動を検出する複数の振れセン
サを有する振れ検出装置において、前記振れセンサは、
前記複数の振れセンサのそれぞれの感度軸と前記被検出
物体側で規定される基準軸とのアライメントを調節する
アライメント調節手段を介在させて前記被検出物体に取
り付けられることを特徴としている。

請求項９に記載した発明は、振動を検出する振れセン
サを有する振れ検出装置を備えた機器において、前記振
れセンサは、前記振れセンサの感度軸と前記機器側で規
定される基準軸とのアライメントを直交する２方向にて
調節するアライメント調節手段を介在させて前記機器に
取り付けられることを特徴としている。

請求項10に記載した発明は、互いに異なる方向の振動
を検出する複数の振れセンサを有する振れ検出装置を備
えた機器において、前記振れセンサは、前記複数の振れ
センサのそれぞれの感度軸と前記機器側で規定される基
準軸とのアライメントを調節するアライメント調節手段
を介在させて前記機器に取り付けられることを特徴とし
ている。

［実施例］ 以下本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。

実施例１ 第１図（ａ）〜（ｃ）は本発明の実施例１の斜視図で
ある。

本実施例は前述した従来例と同様に、補正レンズ光学
系（不図示）を有するレンズ鏡筒の周囲に、カメラのピ
ッチ方向におけるブレを検出する対をなす加速度計44
P₁，44P₂（不図示）と、カメラのヨー方向におけるブレ
を検出する対をなす不図示の加速度計44Y₁，44Y₂を配置
するようにしたもので、第１図（ａ）において、レンズ
鏡筒の固定筒57に筒状に形成した加速度計取付け基台
（以下基台と略す）１を光軸Ｌを中心として回転可能、
かつ光軸Ｌ方向への移動を不能とするようにして外装し
ている。この基台１には光軸Ｌに対して互いに直交する
軸線L₁，L₂上に、夫々対をなす加速度計44P₁，44P₂と、
対をなす加速度計44Y₁，44Y₂が配置されるようになって
いるが、基台１を全体の1/4のみ図示しているので、加
速度計44P₁のみを図示し、他の加速度計を不図示として
いる。

基台１は、内周面に沿って加速度計に対応して接着固
定された周方向に長いブタジウムゴム等からなる板状に
形成された弾性部材２を介して固定筒57にガタなく外装
保持され、弾性部材２との摩擦力により光軸Ｌを中心と
する回転が規制されている。この基台１の前端縁の一部
には、周方向に沿ってラック３が形成され、また固定筒
57にはラック３の前方に後記する治具４の支軸4bが嵌入
する軸孔57aが形成されている。

４は基台１を固定筒57に対して光軸Ｌを中心に回動さ
せて、対をなす加速度計44P₁，44P₂との間の軸心と軸線
L₁とを一致させると共に、対をなす加速度計44Y₁，44Y₂
との間の軸心と軸線L₂とを一致させるための治具で、ラ
ック３に噛合するピニオンギア4aと、ピニオンギア4aか
ら支出されて固定筒57の軸孔57aに嵌入する支軸4bとか
らなり、この支軸4bを中心としてピニオンギア4aを回転
させることで基台１を回動可能としている。治具４によ
る基台１の回動調整が終了すると、弾性部材２を固定筒
57に接着剤により接着し、弾性部材２を介して基台１と
固定筒57とを固定する。

一方、加速度計（44P₁）は、軸線L₂方向における断面
が略字形状に形成された母板５の底板部5a上に載置さ
れるアライメント板６に取付けられ、この母板５の両側
板部5b,5cが基台１に対向して立設された支持板部7,8に
支持されている。

第１図（ｂ）において、アライメント板６には母板５
の底板部5aに穿設した軸孔９に嵌入する支軸部10が突設
され、この支軸部10を視点としてアライメント板６は母
板５に対し矢印11方向に回動できるようになっている。
また、アライメント板６には加速度計（44P₁）の取付場
所から外れた位置に長孔12が形成され、この長孔12に対
応して母板５の底板部5aに後記する治具13の支軸13bが
嵌入する軸孔14が形成されている。13はアライメント板
６を矢印11方向に回動させるための治具で、長孔12に嵌
合する軸部13aと軸孔14に嵌入する支軸13bとが偏心して
形成され、支軸13bを軸孔14に嵌入し、矢印方向に回転
することにより、長孔12に嵌入する軸部13aの偏心回転
でアライメント板６が支軸部10を支点として回動する。

ななわち、第１図（ａ）に示すように、アライメント
板６に取付けられる加速度計44P₁の感度軸45P₁を、軸線
L₁を中心として回転し、加速度計44P₁の感度軸45P₁を光
軸Ｌと一致させることができる。

そして、治具13による加速度計44P₁の感度軸45P₁の調
整が終了すると、ねじ30（ねじと軸孔14が同部番）によ
りアライメント板６を母板５の底板部5aに固定する。

上記した第１図（ａ）、第１図（ｂ）の調整により、
対をなす加速度計は夫々軸線L₁とL₂との軸線上に一致さ
せ、また各加速度計の感度軸を光軸Ｌに一致させること
ができるが、各加速度計の感度軸は光軸Ｌに対して必ず
しも平行であるとは言えない。

第１図（ｃ）は加速度計の感度軸の光軸Ｌに対する倒
れを調整して、加速度計の感度軸と光軸Ｌとを平行にす
る調整機構で、基台１の対向する支持部材7,8に、軸線L
₂方向に軸部を有するピン15により夫々母板５の両側板
部5b,5cを回動可能に支持し、また第１図（ｂ）の治具1
3の支軸13bが嵌入する軸孔16を母板５の一方の側板部5b
に形成し、さらに治具13の軸部13aが嵌合する長孔17を
一方の支持板部７に形成している。そして、この治具13
により母板５をピン15を支点として回動させ、加速度計
の感度軸の光軸Ｌに対する倒れを調整して、加速度計の
感度軸と光軸Ｌとを平行にし、ねじ18により基台１の支
持板部７と母板５の側板部5bとを固定して調整が終了す
る。

以上が本実施例の構造であるが、本実施では軸線L₁と
補正光学系48のＹ軸方向における駆動方向とを一致させ
ているので、治具４による基台１の位置調整により、対
をなす加速度計44P₁，44P₂間の軸心すなわちカメラブレ
検出軸、および対をなす加速度計44Y₁，44Y₂間の軸心
（カメラブレ検出軸）を夫々補正光学系48のＹ軸方向、
Ｘ軸方向の駆動方向に一致させることができることにな
る。

また、個々の加速度計の感度軸の位置調整も、治具13
によりアライメント板６を母板５に対して回動させると
共に、母板５を基台１に対して回動させることにより、
光軸Ｌに対して一致し、かつ平行に位置合わせすること
ができることとなる。

さらに、基台１を弾性部材２を介して固定筒57に固定
し、この弾性部材２は圧縮方向（光軸Ｌと直角な平面に
おいて、光軸Ｌを中心とする放射方向）のみ減衰させ、
剪断方向の振動（手ブレ方向）は減衰させないように、
剪断方向（基台１の周方向）の長さを長く設定してある
ため、レンズ鏡筒側からの振動は減衰して加速度計に伝
わらず、手ブレ方向の振動は減衰せずに加速度計に伝達
される。

実施例２ 第２図は加速度計取付け装置の実施例２の斜視図であ
る。

本実施例は、前述した実施例１と同様に、弾性部材２
を介して円筒状の基台１′を固定筒57の外周に回転可能
に支持させ、この基台１′を実施例１と同様に治具４
（不図示）によるラックとピニオンギアの噛合で光軸Ｌ
を中心に回動できるようにしており、対をなす加速度計
44P₁と44P₂とを光軸Ｌ方向に沿って夫々の感度軸45P₁，
45P₂が軸線L₁と平行な向きに離隔対向して配置し、また
対をなす加速度計44Y₁と44Y₂とを光軸Ｌ方向に沿って夫
々の感度軸45Y₁，45Y₂が軸線L₂と平行な向きに離隔対向
して配置し、矢印41で示すピッチ方向のカメラブレ検知
を加速度計44P₁および44P₂の出力の差の積分値、矢印42
で示すヨー方向のカメラブレ検知を加速度計44Y₁と44Y₂
の出力の差の積分値により求める点は第１図に示した実
施例１の場合と同様である。

また、各加速度計は実施例１と同様に、母板５の底板
部に治具13（不図示）により位置調整可能に取付けられ
たアライメント板６（不図示）に固定されて感度軸の位
置調整が行え、母板５を基台１に対して光軸Ｌ方向を回
転の中心として治具13（不図示）により回動可能に支持
し、加速度計の感度軸の倒れを調整できるようにしてい
る。

実施例３ 第３図は加速度計取付け装置の実施例３を示す斜視図
である。

本実施例は固定筒57に対し、弾性部材２を介して光軸
Ｌを中心として回転可能に支持される基台１″に、角加
速度計71Pと71Yとを夫々の感度軸70Pと70Yとが光軸Ｌに
対し互いに直交するように取付けている。

本実施例では、角加速度計を用いているので、前述し
た各実施例のように、対の加速度計の感度軸調整は不要
であるが、補正光学系の駆動方向である軸線L₂，L₁と各
感度軸70P,70Yとを一致させる必要があり、基台１″に
は実施例１と同様にラック３が形成され、治具４により
回転させることができるようになっている。

実施例４ 第８図は実施例４の斜視図を示している。

前述した各実施例は、固定筒57に対し、加速度計の取
付けられる基台1,1′,1″を弾性部材２を介して支持さ
せるようにしているが、本実施例は固定筒57にラック73
を有する円筒状のラック筒20を回転可能に外装し、この
ラック筒20に対し、加速度計を取付けた基台21を弾性部
材２を介して支持固定させ、実施例１の場合と同様に、
治具４（不図示）の支軸4aを固定筒57の軸孔57aに嵌入
してラック筒20を回転させる。そして、調整が終了する
とねじ22によりラック筒20を固定筒57に固定する。な
お、弾性部材２は予め接着剤によりラック筒20と基台21
とに接着固定されている。

本実施例では、ラック筒20を固定筒57に対し光軸Ｌを
中心として回転させるので、前述した各実施例のように
弾性部材２を介しての摩擦回転が避けられるので、回転
調整を行い易いという利点がある。

［発明の効果］ 請求項１に記載した発明は、複数の振れセンサを１つ
の取付部材に固着することで、複数の振れセンサ同士の
相対的な位置を高精度に決めることができ、そして前記
取付部材を前記被検出物体に取り付ける際に、前記取付
部材と前記被検出物体との間に作用する圧縮方向の振動
を剪断方向の振動に比べて大きく減衰させる弾性部材を
前記取付部材と前記被検出物体との間に介在させるの
で、複数の振れセンサ同士の相対的な位置精度を維持し
たまま、振れセンサが検出すべき振動を減衰させること
なく不要な振動だけを減衰させることができる。

請求項２に記載した発明は、請求項１に記載した発明
において、前記振れセンサは、前記振れセンサの感度軸
と前記被検出物体側で規定される基準軸とのアライメン
トを調節するアライメント調節手段を介在させて前記取
付部材に取付けられることにより、振れセンサを取付部
材に正確に取付けることができ、高精度な振れ検出を可
能にする。

請求項３に記載した発明は、請求項１または２に記載
した発明において、前記取付部材を前記被検出物体に取
付ける際に、治具を用いて取り付け位置を調節すること
ができるものであって、前記取付部材に前記治具と係合
する部位を設けることにより、取付部材を前記被検出物
体に正確に取付けることができ、高精度な振れ検出を可
能にする。

請求項４に記載した発明は、複数の振れセンサを１つ
の取付部材に固着することで、複数の振れセンサ同士の
相対的な位置を高精度に決めることができ、そして前記
取付部材を前記被検出物体に取り付ける際、前記取付部
材と前記光学機器との間に、前記光学機器の光軸と直交
する方向の振動を減衰させる弾性部材を介在させるの
で、複数の振れセンサ同士の相対的な位置精度を維持し
たまま、振れセンサが検出すべき手ぶれ方向の振動を減
衰させることなく光学機器からの不要な振動だけを減衰
させることができる。

請求項５に記載した発明は、請求項４に記載した発明
において、前記振れセンサは、前記振れセンサの感度軸
と前記光学機器側で規定される基準軸とのアライメント
を調節するアライメント調節手段を介在させて前記取付
部材に取付られることにより、振れセンサを取付部材に
正確に取り付けることができ、高精度な振れ検出を可能
にする。

請求項６に記載した発明は、請求項４または５に記載
した発明において、前記取付部材を前記光学機器に取り
付ける際に、治具を用いて取り付け位置を調節すること
ができるものであって、前記取付部材に前記治具と係合
する部位を設けることにより、取付部材を光学機器に正
確に取り付けることができ、高精度な振れ検出を可能に
する。

請求項７に記載した発明は、被検出物体に取り付けら
れ、振動を検出する振れセンサを有する振れ検出装置に
おいて、前記振れセンサは、前記振れセンサの感度軸と
前記被検出物体側で規定される基準軸とのアライメント
を直交する２方向にて調節するアライメント調節手段を
介在させて前記被検出物体に取り付けられることによ
り、振れセンサを正確に被検出物体に取り付けることが
でき、高精度な振れ検出を可能にする。

請求項８に記載した発明は、被検出物体に取り付けら
れ、互いに異なる方向の振動を検出する複数の振れセン
サを有する振れ検出装置において、前記振れセンサは、
前記複数の振れセンサのそれぞれの感度軸と前記被検出
物体側で規定される基準軸とのアライメントを調節する
アライメント調節手段を介在させて前記被検出物体に取
り付けられることにより、より正確に振れセンサを被検
出物体に取り付けることができ、高精度な振れ検出を可
能にする。

請求項９に記載した発明は、振動を検出する振れセン
サを有する振れ検出装置を備えた機器において、前記振
れセンサは、前記振れセンサの感度軸と前記機器側で規
定される基準軸とのアライメントを直交する２方向にて
調節するアライメント調節手段を介在させて前記機器に
取り付けられることにより、振れセンサを正確に機器に
取り付けることができ、高精度な振れ検出を可能にす
る。

請求項10に記載した発明は、互いに異なる方向の振動
を検出する複数の振れセンサを有する振れ検出装置を備
えた機器において、前記振れセンサは、前記複数の振れ
センサのそれぞれの感度軸と前記機器側で規定される基
準軸とのアライメントを調節するアライメント調節手段
を介在させて前記機器に取り付けられることにより、よ
り正確に振れセンサを機器に取り付けることができ、高
精度な振れ検出を可能にする。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ），（ｂ），（ｃ）は本発明の実施例１の斜
視図、第２図は実施例２の斜視図、第３図は実施例３の
斜視図、第４図乃至第６図は従来の加速度計取付法を用
いたカメラブレ検出システムを示す斜視図、第７図は実
施例４の斜視図である。 1,1′,1″,21:基台、2:弾性部材、3:ラック、4 13:治
具、5:母板、6:アライメント板、44P₁，44P₂，44Y₁，44
Y₂：加速度計、57:固定筒、71P,71Y:角加速度計。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−47013（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−180212（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−186859（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−233768（ＪＰ，Ａ) 実開 昭60−176176（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−7330（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−162058（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01P 15/08 G03B 5/00 G02B 7/28

Claims (10)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】被検出物体に取り付けられ、互いに異なる
   方向の振動を検出する複数の振れセンサを有する振れ検
   出装置において、 前記複数の振れセンサを１つの取付部材に固着し、前記
   取付部材を前記被検出物体に取り付ける際に、前記取付
   部材と前記被検出物体との間に作用する圧縮方向の振動
   を剪断方向の振動に比べて大きく減衰させる弾性部材を
   前記取付部材と前記被検出物体との間に介在させること
   を特徴とする振れ検出装置。
2. 【請求項２】前記振れセンサは、前記振れセンサの感度
   軸と前記被検出物体側で規定される基準軸とのアライメ
   ントを調節するアライメント調節手段を介在させて前記
   取付部材に取付けられることを特徴とする請求項１に記
   載の振れ検出装置。
3. 【請求項３】前記取付部材を前記被検出物体に取付ける
   際に、治具を用いて取り付け位置を調節することができ
   るものであって、前記取付部材に前記治具と係合する部
   位を設けることを特徴とする請求項１または２に記載の
   振れ検出装置。
4. 【請求項４】互いに異なる方向の振動を検出する複数の
   振れセンサを有する振れ検出装置を備えた光学機器にお
   いて、 前記複数の振れセンサを１つの取付部材に固着し、前記
   取付部材を前記光学機器に取り付ける際、前記取付部材
   と前記光学機器との間に、前記光学機器の光軸と直交す
   る方向の振動を減衰させる弾性部材を介在させることを
   特徴とする振れ検出装置を備えた光学機器。
5. 【請求項５】前記振れセンサは、前記振れセンサの感度
   軸と前記光学機器側で規定される基準軸とのアライメン
   トを調節するアライメント調節手段を介在させて前記取
   付部材に取付けられることを特徴とする請求項４に記載
   の振れ検出装置を備えた光学機器。
6. 【請求項６】前記取付部材を前記光学機器に取り付ける
   際に、治具を用いて取り付け位置を調節することができ
   るものであって、前記取付部材に前記治具と係合する部
   位を設けることを特徴とする請求項４または５に記載の
   振れ検出装置を備えた光学機器。
7. 【請求項７】被検出物体に取り付けられ、振動を検出す
   る振れセンサを有する振れ検出装置において、 前記振れセンサは、前記振れセンサの感度軸と前記被検
   出物体側で規定される基準軸とのアライメントを直交す
   る２方向にて調節するアライメント調節手段を介在させ
   て前記被検出物体に取り付けられることを特徴とする振
   れ検出装置。
8. 【請求項８】被検出物体に取り付けられ、互いに異なる
   方向の振動を検出する複数の振れセンサを有する振れ検
   出装置において、 前記振れセンサは、前記複数の振れセンサのそれぞれの
   感度軸と前記被検出物体側で規定される基準軸とのアラ
   イメントを調節するアライメント調節手段を介在させて
   前記被検出物体に取り付けられることを特徴とする振れ
   検出装置。
9. 【請求項９】振動を検出する振れセンサを有する振れ検
   出装置を備えた機器において、 前記振れセンサは、前記振れセンサの感度軸と前記機器
   側で規定される基準軸とのアライメントを直交する２方
   向にて調節するアライメント調節手段を介在させて前記
   機器に取り付けられることを特徴とする振れ検出装置を
   備えた機器。
10. 【請求項１０】互いに異なる方向の振動を検出する複数
    の振れセンサを有する振れ検出装置を備えた機器におい
    て、 前記振れセンサは、前記複数の振れセンサのそれぞれの
    感度軸と前記機器側で規定される基準軸とのアライメン
    トを調節するアライメント調節手段を介在させて前記機
    器に取り付けられることを特徴とする振れ検出装置を備
    えた機器。