JP2888904B2 - 陽極火花放電によりセラミックス複合皮膜を形成させる方法 - Google Patents
陽極火花放電によりセラミックス複合皮膜を形成させる方法Info
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- JP2888904B2 JP2888904B2 JP5482790A JP5482790A JP2888904B2 JP 2888904 B2 JP2888904 B2 JP 2888904B2 JP 5482790 A JP5482790 A JP 5482790A JP 5482790 A JP5482790 A JP 5482790A JP 2888904 B2 JP2888904 B2 JP 2888904B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、金属基体表面に陽極火花放電法によりセラ
ミックス複合皮膜を形成させるにあたり、浴中に特定の
微粒子を懸濁させて共析させる方法に関するものであ
る。
ミックス複合皮膜を形成させるにあたり、浴中に特定の
微粒子を懸濁させて共析させる方法に関するものであ
る。
〔従来の技術〕 陽極火花放電法により得られるセラミックス皮膜は、
電気絶縁性、超高真空でのガス放出特性、遠赤外放射特
性、耐放射線特性、耐食性、可撓性及び密着性にすぐれ
る等、種々の特長を有するので、該火花放電法は近年注
目を集める皮膜形成技術となっている。
電気絶縁性、超高真空でのガス放出特性、遠赤外放射特
性、耐放射線特性、耐食性、可撓性及び密着性にすぐれ
る等、種々の特長を有するので、該火花放電法は近年注
目を集める皮膜形成技術となっている。
従って、この火花放電を用いた皮膜形成については、
すでに多くの特許が出願されている。例えば、特公昭58
-17278号公報には、特殊な電流波形を用いることにより
従来の方法に比べてアルミニウム材表面に効率よく保護
皮膜を形成する方法が開示されている。また、特公昭59
-28636号公報及び同59-45722号公報には電解浴の組成中
に金属塩などを添加して様々な色調の着色保護皮膜をア
ルミニウム基材上に形成する方法が開示されている。
すでに多くの特許が出願されている。例えば、特公昭58
-17278号公報には、特殊な電流波形を用いることにより
従来の方法に比べてアルミニウム材表面に効率よく保護
皮膜を形成する方法が開示されている。また、特公昭59
-28636号公報及び同59-45722号公報には電解浴の組成中
に金属塩などを添加して様々な色調の着色保護皮膜をア
ルミニウム基材上に形成する方法が開示されている。
一方、特公昭59-28637号公報には特殊な電流波形を用
いる事により、マグネシウム基材上に効率よく皮膜を形
成する方法が開示され、さらに、様々な色調を有する保
護皮膜を形成する方法が、特公昭59-28638号公報に開示
されている。
いる事により、マグネシウム基材上に効率よく皮膜を形
成する方法が開示され、さらに、様々な色調を有する保
護皮膜を形成する方法が、特公昭59-28638号公報に開示
されている。
本件発明者らは、すでにセラミックス微粒子を懸濁さ
せて共析させる方法について特許出願している（特願平
1-228639号）。この方法によれば、皮膜の硬度、絶縁破
壊電圧及び皮膜形成速度の問題は改善されるものの、耐
摩耗性は充分とはいえず、さらに改善が望まれている。
せて共析させる方法について特許出願している（特願平
1-228639号）。この方法によれば、皮膜の硬度、絶縁破
壊電圧及び皮膜形成速度の問題は改善されるものの、耐
摩耗性は充分とはいえず、さらに改善が望まれている。
本発明は、耐摩耗性にすぐれたセラミックス複合皮膜
を、陽極火花放電によって金属基材表面に効率よく形成
できる方法を提供することを目的とする。
を、陽極火花放電によって金属基材表面に効率よく形成
できる方法を提供することを目的とする。
本発明は、金属基体上に陽極火花放電により、セラミ
ックス皮膜を形成する電解浴中に特定の自己潤滑性を有
する微粒子を懸濁させ、懸濁させた微粒子を電解浴中の
成分と同時に析出させると上記課題を効率よく解決でき
るとの知見に基づいてなされたものである。
ックス皮膜を形成する電解浴中に特定の自己潤滑性を有
する微粒子を懸濁させ、懸濁させた微粒子を電解浴中の
成分と同時に析出させると上記課題を効率よく解決でき
るとの知見に基づいてなされたものである。
すなわち、本発明は、電解浴中で火花放電により基体
表面にセラミックス複合皮膜を形成させる方法であっ
て、電解浴中で水溶性若しくはコロイド状ケイ酸塩及び
／又は酸素酸塩を含有する水溶液に、二硫化モリブデ
ン、炭素、フッ化黒鉛及び四フッ化エチレン樹脂の群か
ら選ばれる少くとも１種の微粒子を懸濁させながら火花
放電を行うことを特徴とするセラミックス複合皮膜を形
成させる方法を提供する。
表面にセラミックス複合皮膜を形成させる方法であっ
て、電解浴中で水溶性若しくはコロイド状ケイ酸塩及び
／又は酸素酸塩を含有する水溶液に、二硫化モリブデ
ン、炭素、フッ化黒鉛及び四フッ化エチレン樹脂の群か
ら選ばれる少くとも１種の微粒子を懸濁させながら火花
放電を行うことを特徴とするセラミックス複合皮膜を形
成させる方法を提供する。
本発明で用いる電解浴としては、水溶性若しくはコロ
イド状ケイ酸塩及び／又はタングステン酸、錫酸塩、モ
リブデン酸、ホウ酸塩、アルミン酸塩、リン酸塩等の酸
素酸塩を１種ないし２種以上添加した水溶液に、自己潤
滑性を有する微粒子を分散させたものを用いる。さら
に、Ni、Co、Zn、Ca、Ba、Mg、Pb、Cr等の金属イオンを
可溶性の塩の形で、１種ないし２種以上添加する事が出
来る。尚、ケイ酸塩としては、一般式M2O・nSiO2（Ｍは
アルカリ金属を示し、ｎは0.5乃至100の正数を示す）で
表わされる種々の水溶性のもの、例えば、ケイ酸ナトリ
ウム、ケイ酸カリウム、ケイ酸リチウムと、水分散性の
ものとしてはコロイダルシリカ等を挙げることができ
る。これらのケイ酸塩は単独で、若しくは２種以上の混
合物として用いることができる。
イド状ケイ酸塩及び／又はタングステン酸、錫酸塩、モ
リブデン酸、ホウ酸塩、アルミン酸塩、リン酸塩等の酸
素酸塩を１種ないし２種以上添加した水溶液に、自己潤
滑性を有する微粒子を分散させたものを用いる。さら
に、Ni、Co、Zn、Ca、Ba、Mg、Pb、Cr等の金属イオンを
可溶性の塩の形で、１種ないし２種以上添加する事が出
来る。尚、ケイ酸塩としては、一般式M2O・nSiO2（Ｍは
アルカリ金属を示し、ｎは0.5乃至100の正数を示す）で
表わされる種々の水溶性のもの、例えば、ケイ酸ナトリ
ウム、ケイ酸カリウム、ケイ酸リチウムと、水分散性の
ものとしてはコロイダルシリカ等を挙げることができ
る。これらのケイ酸塩は単独で、若しくは２種以上の混
合物として用いることができる。
電解浴に用いる水溶液中のケイ酸塩及び／又は酸素酸
塩の濃度は5g/l以上が好ましく、25〜200g/lが好適であ
る。特に酸素酸塩では、飽和に近い濃度とすると皮膜形
成速度が最も上昇するが、濃度上昇とともに形成された
皮膜が不均一となる現象も発生しやすくなるので上記濃
度とするのがよい。尚、水溶液のpHは任意であるが、３
〜13.5とするのがよい。
塩の濃度は5g/l以上が好ましく、25〜200g/lが好適であ
る。特に酸素酸塩では、飽和に近い濃度とすると皮膜形
成速度が最も上昇するが、濃度上昇とともに形成された
皮膜が不均一となる現象も発生しやすくなるので上記濃
度とするのがよい。尚、水溶液のpHは任意であるが、３
〜13.5とするのがよい。
上記水溶液に加える微粒子は、硫化モリブデン、炭
素、フッ化黒鉛及び四フッ化エチレン樹脂から選ばれる
１種又は２種以上の混合物があげられる。ここで用いに
炭素としては黒鉛がより好ましい。これらの微粒子は自
己潤滑性を有し、火花放電時にセラミックス被膜中にと
り込まれて耐摩耗性の良好な皮膜が形成される。
素、フッ化黒鉛及び四フッ化エチレン樹脂から選ばれる
１種又は２種以上の混合物があげられる。ここで用いに
炭素としては黒鉛がより好ましい。これらの微粒子は自
己潤滑性を有し、火花放電時にセラミックス被膜中にと
り込まれて耐摩耗性の良好な皮膜が形成される。
本発明では、上記自己潤滑性を有する微粒子に加え
て、別種のセラミックス微粒子、例えばAl2O3、Al(O
H)3、SiO2、3Al2O3・2SiO2、TiO2、Cr2O3、ZrO2、部分
安定したジルコニア、安定化ジルコニア等の酸化物系セ
ラミックスやSiC、SiN、ZrSi2、TiSi2、MoSi2、WSi2、B
N等の非酸化物系のセラミックスなどを添加混合して用
いる事が出来る。
て、別種のセラミックス微粒子、例えばAl2O3、Al(O
H)3、SiO2、3Al2O3・2SiO2、TiO2、Cr2O3、ZrO2、部分
安定したジルコニア、安定化ジルコニア等の酸化物系セ
ラミックスやSiC、SiN、ZrSi2、TiSi2、MoSi2、WSi2、B
N等の非酸化物系のセラミックスなどを添加混合して用
いる事が出来る。
自己潤滑性を有する微粒子の粒子径は、0.01μｍ〜10
0μｍの粒子径のものが良く、特に0.03μｍ〜20μｍが
好ましい。つまり粒子径が大きくなるのに従い共析しに
くくなり、共析した場合も皮膜が不均一となるからであ
る。
0μｍの粒子径のものが良く、特に0.03μｍ〜20μｍが
好ましい。つまり粒子径が大きくなるのに従い共析しに
くくなり、共析した場合も皮膜が不均一となるからであ
る。
自己潤滑性を有する微粒子の添加量は、微粒子を懸濁
させる電解液の種類や析出させようとする微粒子の量に
より任意に決定できるが、通常200g/lまででよく、５〜
100g/lの範囲が析出効率から考えて最も好ましい。
させる電解液の種類や析出させようとする微粒子の量に
より任意に決定できるが、通常200g/lまででよく、５〜
100g/lの範囲が析出効率から考えて最も好ましい。
さらに、溶液分散性の悪い微粒子では、カチオン系、
ノニオン系、非イオン系、アニオン系等の界面活性剤を
加えて分散させるのがよい。
ノニオン系、非イオン系、アニオン系等の界面活性剤を
加えて分散させるのがよい。
本発明により火花放電にセラミックス複合皮膜を形成
出来る金属基材としては、アルミニウム及びその合金、
ジルコニウム、チタン、ニオブ、マグネシウム及びその
合金等があげられる。
出来る金属基材としては、アルミニウム及びその合金、
ジルコニウム、チタン、ニオブ、マグネシウム及びその
合金等があげられる。
通常これらの金属基材に火花放電複合皮膜を形成する
場合、特に前処理を行なわなくともよいが、脱脂、エッ
チング、酸洗等により充分に清浄化しておくのが望まし
い。
場合、特に前処理を行なわなくともよいが、脱脂、エッ
チング、酸洗等により充分に清浄化しておくのが望まし
い。
陰極には、鉄、ステンレス、ニッケル等不溶性電極を
用いる。
用いる。
本発明では上記電解浴においてセラミックス微粒子の
懸濁状態を維持しながら火花放電を行う。自己潤滑性を
有する微粒子はその自重により沈降するので常法により
均一な懸濁状態を維持しながら行うことが重要である。
例えば、撹拌や液の循環により行うことができる。
懸濁状態を維持しながら火花放電を行う。自己潤滑性を
有する微粒子はその自重により沈降するので常法により
均一な懸濁状態を維持しながら行うことが重要である。
例えば、撹拌や液の循環により行うことができる。
火花放電を行う際の浴温は、５〜90℃好ましくは15〜
60℃がよい。低温では火花放電による皮膜の形成速度が
おそくなり、一方高温では、形成された皮膜が不均一と
なりやすいためである。
60℃がよい。低温では火花放電による皮膜の形成速度が
おそくなり、一方高温では、形成された皮膜が不均一と
なりやすいためである。
電流密度が低いと微粉体が析出しにくくなり、高すぎ
ると高電流部の皮膜粒子が荒くなるため、0.2〜20A/dm2
で行なうのがよく、好ましくは１〜5A/dm2である。
ると高電流部の皮膜粒子が荒くなるため、0.2〜20A/dm2
で行なうのがよく、好ましくは１〜5A/dm2である。
整流器の出力は任意の波形の直流で良いが、パルス波
形（矩形波波形）、ノコギリ波形又は単相半波波形が好
ましい。
形（矩形波波形）、ノコギリ波形又は単相半波波形が好
ましい。
電解時間は希望する膜厚により決定するが、膜厚が薄
い場合には複合皮膜本来の性能が発揮されないため、５
分以上電解すべきである。通常、10〜60分の電解で実用
的な皮膜、例えば２〜80μｍ厚のものが得られる。
い場合には複合皮膜本来の性能が発揮されないため、５
分以上電解すべきである。通常、10〜60分の電解で実用
的な皮膜、例えば２〜80μｍ厚のものが得られる。
本発明によれば、耐摩耗性に優れるセラミックス複合
皮膜を有する金属材が効率よく製造される。
皮膜を有する金属材が効率よく製造される。
従って、例えば、本発明の複合皮膜を真空容器中の可
動部分のしゅう動面に施せばガス放出性及び耐食性にす
ぐれ、さらに耐久性の良好な装置とすることができる。
また、高温装置の可動部分のしゅう動面に施せば、耐温
性、耐食性に優れ、さらに耐久性の良好な装置とするこ
とができる。
動部分のしゅう動面に施せばガス放出性及び耐食性にす
ぐれ、さらに耐久性の良好な装置とすることができる。
また、高温装置の可動部分のしゅう動面に施せば、耐温
性、耐食性に優れ、さらに耐久性の良好な装置とするこ
とができる。
さらに、真空あるいは放射線雰囲気中で用いる電線の
被覆としてこのセラミックス複合皮膜を用いれば、ガス
放出性及び耐食性にすぐれ、かつ摩擦等の摩耗等による
損傷の少ない信号線等を得ることができる。
被覆としてこのセラミックス複合皮膜を用いれば、ガス
放出性及び耐食性にすぐれ、かつ摩擦等の摩耗等による
損傷の少ない信号線等を得ることができる。
なお、炭素を複合させた皮膜では、遠赤外放射特性が
さらに向上するため、より遠赤外放射特性にすぐれるヒ
ーターに応用でき、外観的にも黒色化するため装飾的な
用途にも活用できる。
さらに向上するため、より遠赤外放射特性にすぐれるヒ
ーターに応用でき、外観的にも黒色化するため装飾的な
用途にも活用できる。
次に実施例により本発明を説明する。
実施例１ アルミニウム板に脱脂、アルカリエッチング、酸活性
化処理を施して清浄化した後、陽極として用い、ステン
レス板を陰極とし、Na4P2O7・10H2O70g/lの水溶液にフ
ッ化黒鉛微粒子（セントラル硝子株式会社、セフボン、
平均粒子径２μｍ）3g/lをノニオン系界面活性剤（日華
化学ペルテックス1225）0.3g/lにより分散させた溶液中
で火花放電させた。尚、フッ化黒鉛微粒子が沈降しない
ように撹拌し、良好な懸濁状態を維持した。40℃、1A/d
m2、60分間の火花放電により、10μｍの複合皮膜が得ら
れ、この皮膜をＸ線マイクロアナライザにより元素分析
したところ、Al、Ｏ、Ｃ、Ｆ、が検出され、フッ化黒鉛
を含むセラミックス皮膜が形成されたことが判明した。
化処理を施して清浄化した後、陽極として用い、ステン
レス板を陰極とし、Na4P2O7・10H2O70g/lの水溶液にフ
ッ化黒鉛微粒子（セントラル硝子株式会社、セフボン、
平均粒子径２μｍ）3g/lをノニオン系界面活性剤（日華
化学ペルテックス1225）0.3g/lにより分散させた溶液中
で火花放電させた。尚、フッ化黒鉛微粒子が沈降しない
ように撹拌し、良好な懸濁状態を維持した。40℃、1A/d
m2、60分間の火花放電により、10μｍの複合皮膜が得ら
れ、この皮膜をＸ線マイクロアナライザにより元素分析
したところ、Al、Ｏ、Ｃ、Ｆ、が検出され、フッ化黒鉛
を含むセラミックス皮膜が形成されたことが判明した。
実施例２ 実施例１と同様の陽極と陰極を用い、Al2O3微粒子
（昭和電工（株）、アルミナ、AL-160SG、平均粒子径0.
4μｍ）を40g/lを懸濁させたNa4P2O7・10H2O70g/lの水
溶液にさらにMoS2微粒子分散ゾル（日立粉末冶金
（株））ヒタゾルMA-407S）50g/lを懸濁させた溶液を用
いて、40℃、1A/dm2で60分間の火花放電させた。この結
果、平均膜厚15μｍの複合皮膜が得られ、Ｘ線マイクロ
アナライザーによる分析から、Al、Ｏ、Mo、Ｓ、が検出
され、二硫化モリブデンが共析したことが判明した。
（昭和電工（株）、アルミナ、AL-160SG、平均粒子径0.
4μｍ）を40g/lを懸濁させたNa4P2O7・10H2O70g/lの水
溶液にさらにMoS2微粒子分散ゾル（日立粉末冶金
（株））ヒタゾルMA-407S）50g/lを懸濁させた溶液を用
いて、40℃、1A/dm2で60分間の火花放電させた。この結
果、平均膜厚15μｍの複合皮膜が得られ、Ｘ線マイクロ
アナライザーによる分析から、Al、Ｏ、Mo、Ｓ、が検出
され、二硫化モリブデンが共析したことが判明した。
実施例３ 実施例１と同様の陽極、陰極を用い、Al2O3微粒子
（昭和電工（株））AL-160SG）40g/lを懸濁させたNa4P2
O7・10H2O70g/l水溶液にさらに、黒鉛微粒子ゾル（日立
粉末冶金（株）AB-1D、平均粒子１μｍ）50g/lを懸濁さ
せた溶液を用いて、30℃、1A/dm2で40分間火花放電させ
た。
（昭和電工（株））AL-160SG）40g/lを懸濁させたNa4P2
O7・10H2O70g/l水溶液にさらに、黒鉛微粒子ゾル（日立
粉末冶金（株）AB-1D、平均粒子１μｍ）50g/lを懸濁さ
せた溶液を用いて、30℃、1A/dm2で40分間火花放電させ
た。
その結果、膜厚13μｍの複合皮膜が得られ、Ｘ線マイ
クロアナライザーによる分析から、Al、Ｏ、Ｃ、が検出
され、黒鉛微粒子が共析したことが判明した。
クロアナライザーによる分析から、Al、Ｏ、Ｃ、が検出
され、黒鉛微粒子が共析したことが判明した。
実施例４ 実施例１と同様の陽極、陰極を用い、Al2O3微粒子
（昭和電工（株）、AL-160SG）40g/lを懸濁させたNa4P2
O7・10H2O70g/l水溶液にさらに、分散剤としてフッ素系
非イオン型界面活性剤（大日本インキ（株））、商品
名、メガファック F-142D）1g/lを用い、四フッ化エチ
レン樹脂微粒子（セントラル硝子（株）、商品名、セラ
ラルルーブ−Ｉ、粒子径３μｍ）2g/lを懸濁させた溶液
を用いて、30℃、1A/dm2、40分間の火花放電させた。
（昭和電工（株）、AL-160SG）40g/lを懸濁させたNa4P2
O7・10H2O70g/l水溶液にさらに、分散剤としてフッ素系
非イオン型界面活性剤（大日本インキ（株））、商品
名、メガファック F-142D）1g/lを用い、四フッ化エチ
レン樹脂微粒子（セントラル硝子（株）、商品名、セラ
ラルルーブ−Ｉ、粒子径３μｍ）2g/lを懸濁させた溶液
を用いて、30℃、1A/dm2、40分間の火花放電させた。
この結果、膜厚14μｍの複合皮膜が得られ、Ｘ線マイ
クロアナライザによる分析から、Al、Ｏ、Ｆ、Ｃが検出
され、四フッ化エチレン樹脂微粒子が共析したことが判
明した。
クロアナライザによる分析から、Al、Ｏ、Ｆ、Ｃが検出
され、四フッ化エチレン樹脂微粒子が共析したことが判
明した。
比較例１ 実施例１と同様にして清浄化したアルミニウム板を陽
極として用い、ステンレス板を陰極とし、Na4P2O7・10H
2O70g/lの水溶液中で、実施例１と同様の条件で火花放
電させた。
極として用い、ステンレス板を陰極とし、Na4P2O7・10H
2O70g/lの水溶液中で、実施例１と同様の条件で火花放
電させた。
比較例２ 実施例１と同様にして清浄化したアルミニウム板を陽
極として用い、ステンレス板を陰極とし、Al2O3微粒子4
0g/lを懸濁させたNa4P2O7・10H2O70g/lの水溶液を用い
て、実施例２と同様の条件で火花放電させた。
極として用い、ステンレス板を陰極とし、Al2O3微粒子4
0g/lを懸濁させたNa4P2O7・10H2O70g/lの水溶液を用い
て、実施例２と同様の条件で火花放電させた。
このようにして得られたセラミックス複合皮膜の特性
を下記の方法で評価した。結果をまとめて表−１に示
す。
を下記の方法で評価した。結果をまとめて表−１に示
す。
膜厚 渦電流方式厚み計、パーマスコープE110B型（Fischer
製）で測定した。
製）で測定した。
耐摩耗性 スガ摩耗試験器（スガ試験器（株））を用い、下記の
条件で耐摩耗性を評価した。なお、試験に先立ち、予備
摩耗を100回行なった。
条件で耐摩耗性を評価した。なお、試験に先立ち、予備
摩耗を100回行なった。
研磨紙 ：＜＜＃400 摩擦回数:400回 荷 重:500gf. 摩耗輪 ：ゴム 摩擦速度:40ds/min
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭57−60098（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−197288（ＪＰ，Ａ) 特公 昭51−46742（ＪＰ，Ｂ１) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) C25D 11/04,11/06 C25D 15/02 C23C 26/00
Claims (1)
- 【請求項１】電解浴中で火花放電により基体表面にセラ
ミックス複合皮膜を形成させる方法であって、電解浴中
で水溶性若しくはコロイド状ケイ酸塩及び／又は酸素酸
塩を含有する水溶液に、二硫化モリブデン、炭素、フッ
化黒鉛及び四フッ化エチレン樹脂の群から選ばれる少く
とも１種の微粒子を懸濁させながら火花放電を行うこと
を特徴とするセラミックス複合皮膜を形成させる方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5482790A JP2888904B2 (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 陽極火花放電によりセラミックス複合皮膜を形成させる方法 |
| US07/573,703 US5147515A (en) | 1989-09-04 | 1990-08-28 | Method for forming ceramic films by anode-spark discharge |
| GB9019189A GB2237030B (en) | 1989-09-04 | 1990-09-03 | Method for forming ceramics films by anode-spark discharge |
| DE4027999A DE4027999C2 (de) | 1989-09-04 | 1990-09-04 | Verfahren zur Bildung einer keramischen Beschichtung durch Funkenentladung |
| FR9010978A FR2651509A1 (fr) | 1989-09-04 | 1990-09-04 | Procede pour la production de films de ceramiques par decharge d'etincelles a l'anode. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5482790A JP2888904B2 (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 陽極火花放電によりセラミックス複合皮膜を形成させる方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03257195A JPH03257195A (ja) | 1991-11-15 |
| JP2888904B2 true JP2888904B2 (ja) | 1999-05-10 |
Family
ID=12981504
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5482790A Expired - Fee Related JP2888904B2 (ja) | 1989-09-04 | 1990-03-06 | 陽極火花放電によりセラミックス複合皮膜を形成させる方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2888904B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5416437B2 (ja) * | 2009-03-10 | 2014-02-12 | 株式会社神戸製鋼所 | 半導体や液晶の製造設備における真空チャンバ或いはその真空チャンバの内部に設けられる部品の材料に用いられるアルミニウム合金部材 |
| CN108277516B (zh) * | 2018-04-13 | 2022-09-27 | 中国人民解放军陆军装甲兵学院 | 一种微弧氧化电解液和一种微弧氧化膜的制备方法 |
-
1990
- 1990-03-06 JP JP5482790A patent/JP2888904B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
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| JPH03257195A (ja) | 1991-11-15 |
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