JP2874025B2 - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、有機高分子材料を感湿
層として用い、湿度の変化を電気抵抗あるいは容量の変
化として検出する湿度センサに関する。
層として用い、湿度の変化を電気抵抗あるいは容量の変
化として検出する湿度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、有機高分子材料は水分子の吸脱
着に優れているため、この有機高分子材料を感湿層とし
て利用し得ることが知られている。
着に優れているため、この有機高分子材料を感湿層とし
て利用し得ることが知られている。
【０００３】従来、これら有機高分子材料を感湿層とし
て用いた湿度センサは、例えば特開昭５９−１３３４５
３号公報によって提案されている。
て用いた湿度センサは、例えば特開昭５９−１３３４５
３号公報によって提案されている。
【０００４】この技術内容は、例えばアルミナやガラス
などからなる公知の絶縁基板上に形成した一対の電極間
に、有機高分子材料としてメタクリルアミドプロピルト
リエチルアンモニウムハライドの重合体又は共重合体か
らなる感湿剤を塗布して感湿層を形成し、この感湿層の
電気抵抗の湿度に対する変化を利用したものである。
などからなる公知の絶縁基板上に形成した一対の電極間
に、有機高分子材料としてメタクリルアミドプロピルト
リエチルアンモニウムハライドの重合体又は共重合体か
らなる感湿剤を塗布して感湿層を形成し、この感湿層の
電気抵抗の湿度に対する変化を利用したものである。
【０００５】しかしながら、上記のような公報によって
開示された有機高分子材料を感湿層として用いた湿度セ
ンサは、本発明者の検討結果から、 高温度雰囲気での経時安定性に欠ける。
開示された有機高分子材料を感湿層として用いた湿度セ
ンサは、本発明者の検討結果から、 高温度雰囲気での経時安定性に欠ける。
【０００６】高湿度雰囲気での経時安定性に欠ける。
【０００７】相対湿度と電気抵抗値の関係が対数直線
的でない。（直線性に欠ける） などの問題点を有し、より高い信頼性を得る上で、実用
上必ずしも好ましいものとなっていないことが確認され
た。
的でない。（直線性に欠ける） などの問題点を有し、より高い信頼性を得る上で、実用
上必ずしも好ましいものとなっていないことが確認され
た。
【０００８】このため、感湿層上に例えばエチルセルロ
−スなどを塗布しオーバーコートを施すなどの方法を採
用し、上記問題点の解消を試みてみたが、この試みによ
って上記問題点の一時的な解消に貢献することができる
が、構造が複雑化し、かつ工数が増し高価になることは
元より、長期的な使用下での経時変化による特性劣化が
あり、また、直線性に欠ける問題は依然として残り、こ
のような湿度センサを用いて湿度センサユニット回路を
構成する場合、直線近似回路構成が複雑化しユニット全
体として高価なものにならざるを得ず、上記問題点の基
本的な解消には至らなかった。
−スなどを塗布しオーバーコートを施すなどの方法を採
用し、上記問題点の解消を試みてみたが、この試みによ
って上記問題点の一時的な解消に貢献することができる
が、構造が複雑化し、かつ工数が増し高価になることは
元より、長期的な使用下での経時変化による特性劣化が
あり、また、直線性に欠ける問題は依然として残り、こ
のような湿度センサを用いて湿度センサユニット回路を
構成する場合、直線近似回路構成が複雑化しユニット全
体として高価なものにならざるを得ず、上記問題点の基
本的な解消には至らなかった。
【０００９】このことは、上記した有機高分子材料自体
に起因するものであり、上記問題点の基本的な解消に貢
献できる有機高分子材料の改良が必要であった。
に起因するものであり、上記問題点の基本的な解消に貢
献できる有機高分子材料の改良が必要であった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来提案
されている有機高分子材料を感湿層とした湿度センサ
は、感湿層を構成する有機高分子材料自体に起因して、
信頼性に欠け、所望の性能を得ることができなかった。
されている有機高分子材料を感湿層とした湿度センサ
は、感湿層を構成する有機高分子材料自体に起因して、
信頼性に欠け、所望の性能を得ることができなかった。
【００１１】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、従来技術において問題点とされ
ていた、 高温及び高湿下での経時的安定性に欠ける。
ためになされたもので、従来技術において問題点とされ
ていた、 高温及び高湿下での経時的安定性に欠ける。
【００１２】直線性に欠ける。 などの欠点を解消し、高温及び高湿雰囲気での経時特性
にも優れ、かつ直線性に優れ、しかも湿度ヒステリシス
の小さい湿度センサを提供することを目的とするもので
ある。
にも優れ、かつ直線性に優れ、しかも湿度ヒステリシス
の小さい湿度センサを提供することを目的とするもので
ある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明になる湿度センサ
は、絶縁基板上に形成した一対の電極間に、ジメチルア
ミノプロピルメタクリルアミドをオクチルハライド，デ
シルハライド，ラウリルハライド，ミリスチルハライ
ド，セチルハライド又はステアリルハライドで４級塩化
し合成したモノマーのうち少なくとも１種と、ジエチル
アミノプロピルメタクリルアミドをメチルハライド，エ
チルハライド又はイソプロピルハライドで４級塩化し合
成したモノマ−のうち少なくとも１種との共重合体から
なる感湿層を設けたことを特徴とするものである。
は、絶縁基板上に形成した一対の電極間に、ジメチルア
ミノプロピルメタクリルアミドをオクチルハライド，デ
シルハライド，ラウリルハライド，ミリスチルハライ
ド，セチルハライド又はステアリルハライドで４級塩化
し合成したモノマーのうち少なくとも１種と、ジエチル
アミノプロピルメタクリルアミドをメチルハライド，エ
チルハライド又はイソプロピルハライドで４級塩化し合
成したモノマ−のうち少なくとも１種との共重合体から
なる感湿層を設けたことを特徴とするものである。
【００１４】
【作用】このように構成された湿度センサによれば、感
湿層がジメチルアミノプロピルメタクリルアミドをオク
チルハライド，デシルハライド，ラウリルハライド，ミ
リスチルハライド，セチルハライド又はステアリルハラ
イドで４級塩化し合成したモノマーのうち少なくとも１
種と、ジエチルアミノプロピルメタクリルアミドをメチ
ルハライド，エチルハライド又はイソプロピルハライド
で４級塩化し合成したモノマ−のうち少なくとも１種と
の共重合体から構成されるものとなり、この感湿層は湿
度センサとして要求される室温中ではもちろん高温及び
高湿中でも経時安定性に優れ、かつ直線性が良く、湿度
ヒステリシスも小さい性能を発揮することから、高信頼
性化に大きく貢献する。
湿層がジメチルアミノプロピルメタクリルアミドをオク
チルハライド，デシルハライド，ラウリルハライド，ミ
リスチルハライド，セチルハライド又はステアリルハラ
イドで４級塩化し合成したモノマーのうち少なくとも１
種と、ジエチルアミノプロピルメタクリルアミドをメチ
ルハライド，エチルハライド又はイソプロピルハライド
で４級塩化し合成したモノマ−のうち少なくとも１種と
の共重合体から構成されるものとなり、この感湿層は湿
度センサとして要求される室温中ではもちろん高温及び
高湿中でも経時安定性に優れ、かつ直線性が良く、湿度
ヒステリシスも小さい性能を発揮することから、高信頼
性化に大きく貢献する。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００１６】図１に示すように、表面に白金，金などか
らなる一対の櫛形電極１，２を印刷などによって形成し
た、例えばアルミナ、又はガラスなどからなる無機質の
絶縁基板３を、以下に述べる感湿剤溶液に浸漬させ、し
かる後１００℃中で２０分間乾燥させて、前記一対の櫛
形電極１，２間及びこの櫛形電極１，２面上に感湿層４
を形成する。
らなる一対の櫛形電極１，２を印刷などによって形成し
た、例えばアルミナ、又はガラスなどからなる無機質の
絶縁基板３を、以下に述べる感湿剤溶液に浸漬させ、し
かる後１００℃中で２０分間乾燥させて、前記一対の櫛
形電極１，２間及びこの櫛形電極１，２面上に感湿層４
を形成する。
【００１７】上記感湿剤溶液は、次の手段で作製する。
すなわち、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドと
オクチルハライド，デシルハライド，ラウリルハライ
ド，ミリスチルハライド，セチルハライド又はステアリ
ルハライドをアセトンに溶解させ、５０℃，３０時間反
応させて合成した４級塩モノマーをエーテル中に投入
し、ろ別を行い真空乾燥して得た白色固形物のモノマー
のうち少なくとも１種と、また同様にジエチルアミノプ
ロピルメタクリルアミドとメチルハライド，エチルハラ
イド又はイソプロピルハライドをアセトンに溶解させ、
５０℃，３０時間反応させて合成した４級塩モノマーの
うち少なくとも１種をエーテル中に投入し、ろ別を行い
真空乾燥して得た白色固形物のモノマーをベンゼン中に
過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真空下６０℃
で２０時間反応させてメタクリルアミノプロピルジメチ
ルオクチルアンモニウムハライド，メタクリルアミノプ
ロピルジメチルデシルアンモニウムハライド，メタクリ
ルアミノプロピルジメチルラウリルアンモニウムハライ
ド，メタクリルアミノプロピルジメチルミリスチルアン
モニウムハライド，メタクリルアミノプロピルジメチル
セチルアンモニウムハライド又はメタクリルアミノプロ
ピルジメチルステアリルアンモニウムハライドのうち少
なくとも１種と、メタクリルアミノプロピルメチルジエ
チルアンモニウムハライド，メタクリルアミノプロピル
トリエチルアンモニウムハライド又はメタクリルアミノ
プロピルジエチルプロピルアンモニウムハライドのうち
少なくとも１種との重合体（ポリマー）を得た後、メタ
ノール，酢酸エチル等で精製を行い、乾燥後に再度メタ
ノールに溶解させて調製する。
すなわち、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドと
オクチルハライド，デシルハライド，ラウリルハライ
ド，ミリスチルハライド，セチルハライド又はステアリ
ルハライドをアセトンに溶解させ、５０℃，３０時間反
応させて合成した４級塩モノマーをエーテル中に投入
し、ろ別を行い真空乾燥して得た白色固形物のモノマー
のうち少なくとも１種と、また同様にジエチルアミノプ
ロピルメタクリルアミドとメチルハライド，エチルハラ
イド又はイソプロピルハライドをアセトンに溶解させ、
５０℃，３０時間反応させて合成した４級塩モノマーの
うち少なくとも１種をエーテル中に投入し、ろ別を行い
真空乾燥して得た白色固形物のモノマーをベンゼン中に
過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真空下６０℃
で２０時間反応させてメタクリルアミノプロピルジメチ
ルオクチルアンモニウムハライド，メタクリルアミノプ
ロピルジメチルデシルアンモニウムハライド，メタクリ
ルアミノプロピルジメチルラウリルアンモニウムハライ
ド，メタクリルアミノプロピルジメチルミリスチルアン
モニウムハライド，メタクリルアミノプロピルジメチル
セチルアンモニウムハライド又はメタクリルアミノプロ
ピルジメチルステアリルアンモニウムハライドのうち少
なくとも１種と、メタクリルアミノプロピルメチルジエ
チルアンモニウムハライド，メタクリルアミノプロピル
トリエチルアンモニウムハライド又はメタクリルアミノ
プロピルジエチルプロピルアンモニウムハライドのうち
少なくとも１種との重合体（ポリマー）を得た後、メタ
ノール，酢酸エチル等で精製を行い、乾燥後に再度メタ
ノールに溶解させて調製する。
【００１８】次に、前記一対の櫛形電極１，２の端子導
出部５，６それぞれに、例えばはんだ７を介してリ−ド
端子８，９を取着して湿度センサを完成するものであ
る。
出部５，６それぞれに、例えばはんだ７を介してリ−ド
端子８，９を取着して湿度センサを完成するものであ
る。
【００１９】以上のような構成になる湿度センサによれ
ば、感湿層４がジメチルアミノプロピルメタクリルアミ
ドをオクチルハライド，デシルハライド，ラウリルハラ
イド，ミリスチルハライド，セチルハライド又はステア
リルハライドで４級塩化し合成したモノマーのうち少な
くとも１種と、ジエチルアミノプロピルメタクリルアミ
ドをメチルハライド，エチルハライド又はイソプロピル
ハライドで４級塩化し合成したモノマ−のうち少なくと
も１種との共重合体から構成されるものとなり、室温中
ではもちろん高温及び高湿中でも経時安定性に優れ、長
時間安定した特性を維持できると同時に、直線性が良
く、湿度ヒステリシスも小さい性能を発揮することか
ら、各種回路に組み込み使用した湿度センサの高信頼性
化に大きく貢献できる優れた効果を得ることができる利
点を有する。
ば、感湿層４がジメチルアミノプロピルメタクリルアミ
ドをオクチルハライド，デシルハライド，ラウリルハラ
イド，ミリスチルハライド，セチルハライド又はステア
リルハライドで４級塩化し合成したモノマーのうち少な
くとも１種と、ジエチルアミノプロピルメタクリルアミ
ドをメチルハライド，エチルハライド又はイソプロピル
ハライドで４級塩化し合成したモノマ−のうち少なくと
も１種との共重合体から構成されるものとなり、室温中
ではもちろん高温及び高湿中でも経時安定性に優れ、長
時間安定した特性を維持できると同時に、直線性が良
く、湿度ヒステリシスも小さい性能を発揮することか
ら、各種回路に組み込み使用した湿度センサの高信頼性
化に大きく貢献できる優れた効果を得ることができる利
点を有する。
【００２０】このことは、以下に述べる本発明と従来例
の特性比較を行った実験結果によって実証された。
の特性比較を行った実験結果によって実証された。
【００２１】（実施例−１）感湿層としてジメチルアミ
ノプロピルメタクリルアミド８５．２ｇをオクチルブロ
マイド９６．５ｇで４級塩化し合成したモノマーと、ジ
エチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０ｇをメ
チルブロマイド４７．５ｇで４級塩化し合成したモノマ
ーとの共重合体で構成した本発明Ａと、感湿層として上
記従来例であるメタクリルアミドプロピルトリエチルア
ンモニウムブロマイドの重合体で構成した従来例Ａとの
相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った結果、図２に
示す通りとなった。
ノプロピルメタクリルアミド８５．２ｇをオクチルブロ
マイド９６．５ｇで４級塩化し合成したモノマーと、ジ
エチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０ｇをメ
チルブロマイド４７．５ｇで４級塩化し合成したモノマ
ーとの共重合体で構成した本発明Ａと、感湿層として上
記従来例であるメタクリルアミドプロピルトリエチルア
ンモニウムブロマイドの重合体で構成した従来例Ａとの
相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った結果、図２に
示す通りとなった。
【００２２】（実施例−２）感湿層としてジメチルアミ
ノプロピルメタクリルアミド８５．２ｇをデシルブロマ
イド１１０．５ｇで４級塩化し合成したモノマーと、ジ
エチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０ｇをメ
チルブロマイド４７．５ｇで４級塩化し合成したモノマ
ーとの共重合体で構成した本発明Ｂと、感湿層として上
記従来例であるメタクリルアミドプロピルトリエチルア
ンモニウムブロマイドの重合体で構成した従来例Ａとの
相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った結果、図３に
示す通りとなった。
ノプロピルメタクリルアミド８５．２ｇをデシルブロマ
イド１１０．５ｇで４級塩化し合成したモノマーと、ジ
エチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０ｇをメ
チルブロマイド４７．５ｇで４級塩化し合成したモノマ
ーとの共重合体で構成した本発明Ｂと、感湿層として上
記従来例であるメタクリルアミドプロピルトリエチルア
ンモニウムブロマイドの重合体で構成した従来例Ａとの
相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った結果、図３に
示す通りとなった。
【００２３】（実施例−３）感湿層としてジメチルアミ
ノプロピルメタクリルアミド８５．２ｇをラウリルブロ
マイド１２４．５ｇで４級塩化し合成したモノマーと、
ジエチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０ｇを
メチルブロマイド４７．５ｇで４級塩化し合成したモノ
マーとの共重合体で構成した本発明Ｃと、感湿層として
上記従来例であるメタクリルアミドプロピルトリエチル
アンモニウムブロマイドの重合体で構成した従来例Ａと
の相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った結果、図４
に示す通りとなった。
ノプロピルメタクリルアミド８５．２ｇをラウリルブロ
マイド１２４．５ｇで４級塩化し合成したモノマーと、
ジエチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０ｇを
メチルブロマイド４７．５ｇで４級塩化し合成したモノ
マーとの共重合体で構成した本発明Ｃと、感湿層として
上記従来例であるメタクリルアミドプロピルトリエチル
アンモニウムブロマイドの重合体で構成した従来例Ａと
の相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った結果、図４
に示す通りとなった。
【００２４】（実施例−４）感湿層としてジメチルアミ
ノプロピルメタクリルアミド８５．２ｇをミリスチルブ
ロマイド１３８．５ｇで４級塩化し合成したモノマー
と、ジエチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０
ｇをメチルブロマイド４７．５ｇで４級塩化し合成した
モノマーとの共重合体で構成した本発明Ｄと、感湿層と
して上記従来例であるメタクリルアミドプロピルトリエ
チルアンモニウムブロマイドの重合体で構成した従来例
Ａとの相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った結果、
図５に示す通りとなった。
ノプロピルメタクリルアミド８５．２ｇをミリスチルブ
ロマイド１３８．５ｇで４級塩化し合成したモノマー
と、ジエチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０
ｇをメチルブロマイド４７．５ｇで４級塩化し合成した
モノマーとの共重合体で構成した本発明Ｄと、感湿層と
して上記従来例であるメタクリルアミドプロピルトリエ
チルアンモニウムブロマイドの重合体で構成した従来例
Ａとの相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った結果、
図５に示す通りとなった。
【００２５】（実施例−５）感湿層としてジメチルアミ
ノプロピルメタクリルアミド８５．２ｇをセチルブロマ
イド１５２．５ｇで４級塩化し合成したモノマーと、ジ
エチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０ｇをメ
チルブロマイド４７．５ｇで４級塩化し合成したモノマ
ーとの共重合体で構成した本発明Ｅと、感湿層として上
記従来例であるメタクリルアミドプロピルトリエチルア
ンモニウムブロマイドの重合体で構成した従来例Ａとの
相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った結果、図６に
示す通りとなった。
ノプロピルメタクリルアミド８５．２ｇをセチルブロマ
イド１５２．５ｇで４級塩化し合成したモノマーと、ジ
エチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０ｇをメ
チルブロマイド４７．５ｇで４級塩化し合成したモノマ
ーとの共重合体で構成した本発明Ｅと、感湿層として上
記従来例であるメタクリルアミドプロピルトリエチルア
ンモニウムブロマイドの重合体で構成した従来例Ａとの
相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った結果、図６に
示す通りとなった。
【００２６】（実施例−６）感湿層としてジメチルアミ
ノプロピルメタクリルアミド８５．２ｇをステアリルブ
ロマイド１６６．５ｇで４級塩化し合成したモノマー
と、ジエチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０
ｇをメチルブロマイド４７．５ｇで４級塩化し合成した
モノマーとの共重合体で構成した本発明Ｆと、感湿層と
して上記従来例であるメタクリルアミドプロピルトリエ
チルアンモニウムブロマイドの重合体で構成した従来例
Ａとの相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った結果、
図７に示す通りとなった。
ノプロピルメタクリルアミド８５．２ｇをステアリルブ
ロマイド１６６．５ｇで４級塩化し合成したモノマー
と、ジエチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０
ｇをメチルブロマイド４７．５ｇで４級塩化し合成した
モノマーとの共重合体で構成した本発明Ｆと、感湿層と
して上記従来例であるメタクリルアミドプロピルトリエ
チルアンモニウムブロマイドの重合体で構成した従来例
Ａとの相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った結果、
図７に示す通りとなった。
【００２７】（実施例−７）感湿層としてジメチルアミ
ノプロピルメタクリルアミド３４．１ｇをラウリルブロ
マイド４９．９ｇで４級塩化し合成したモノマーと、ジ
エチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０ｇをエ
チルブロマイド５４．５ｇで４級塩化し合成したモノマ
ーとを２：５のモル比で共重合させて合成した共重合体
からなる本発明Ｇと、感湿層として上記従来技術にて例
示したメタクリルアミドプロピルトリエチルアンモニウ
ムブロマイドの重合体を用いた従来例Ａとの相対湿度に
対する抵抗値特性比較を行った結果、図８に示す通りと
なった。
ノプロピルメタクリルアミド３４．１ｇをラウリルブロ
マイド４９．９ｇで４級塩化し合成したモノマーと、ジ
エチルアミノプロピルメタクリルアミド９９．０ｇをエ
チルブロマイド５４．５ｇで４級塩化し合成したモノマ
ーとを２：５のモル比で共重合させて合成した共重合体
からなる本発明Ｇと、感湿層として上記従来技術にて例
示したメタクリルアミドプロピルトリエチルアンモニウ
ムブロマイドの重合体を用いた従来例Ａとの相対湿度に
対する抵抗値特性比較を行った結果、図８に示す通りと
なった。
【００２８】（実施例−８）感湿層としてジメチルアミ
ノプロピルメタクリルアミドとオクチルクロライドとの
反応によって合成したモノマーと、ジエチルアミノプロ
ピルメタクリルアミドとエチルクロライドとの反応によ
って合成したモノマーと、更にジエチルアミノプロピル
メタクリルアミドとイソプロピルクロライドとの反応に
よって合成したモノマーとを１：１：１のモル比で共重
合させて合成した共重合体からなる本発明Ｈと、感湿層
として上記従来技術にて例示したメタクリルアミドプロ
ピルトリエチルアンモニウムクロライドの重合体を用い
た従来例Ｂとの高温（８５℃乾燥雰囲気）放置下におけ
る経時特性及び高湿（５０℃，９０％ＲＨ雰囲気）放置
下における経時特性比較を行った結果、図９及び図１０
に示す通りとなった。
ノプロピルメタクリルアミドとオクチルクロライドとの
反応によって合成したモノマーと、ジエチルアミノプロ
ピルメタクリルアミドとエチルクロライドとの反応によ
って合成したモノマーと、更にジエチルアミノプロピル
メタクリルアミドとイソプロピルクロライドとの反応に
よって合成したモノマーとを１：１：１のモル比で共重
合させて合成した共重合体からなる本発明Ｈと、感湿層
として上記従来技術にて例示したメタクリルアミドプロ
ピルトリエチルアンモニウムクロライドの重合体を用い
た従来例Ｂとの高温（８５℃乾燥雰囲気）放置下におけ
る経時特性及び高湿（５０℃，９０％ＲＨ雰囲気）放置
下における経時特性比較を行った結果、図９及び図１０
に示す通りとなった。
【００２９】（実施例−９）感湿層としてジメチルアミ
ノプロピルメタクリルアミドとラウリルクロライドとの
反応によって合成したモノマーと、ジメチルアミノプロ
ピルメタクリルアミドとセチルクロライドとの反応によ
って合成したモノマーと、更にジエチルアミノプロピル
メタクリルアミドとエチルクロライドとの反応によって
合成したモノマーをそれぞれ１：１：３のモル比で共重
合させて合成した共重合体からなる本発明Ｉと、感湿層
として上記従来技術にて例示したメタクリルアミドプロ
ピルトリエチルアンモニウムクロライドの重合体を用い
た従来例Ｂとの高温（８５℃乾燥雰囲気）放置下におけ
る経時特性及び高湿（５０℃，９０％ＲＨ雰囲気）放置
下における経時特性比較を行った結果、図１１及び図１
２に示す通りとなった。
ノプロピルメタクリルアミドとラウリルクロライドとの
反応によって合成したモノマーと、ジメチルアミノプロ
ピルメタクリルアミドとセチルクロライドとの反応によ
って合成したモノマーと、更にジエチルアミノプロピル
メタクリルアミドとエチルクロライドとの反応によって
合成したモノマーをそれぞれ１：１：３のモル比で共重
合させて合成した共重合体からなる本発明Ｉと、感湿層
として上記従来技術にて例示したメタクリルアミドプロ
ピルトリエチルアンモニウムクロライドの重合体を用い
た従来例Ｂとの高温（８５℃乾燥雰囲気）放置下におけ
る経時特性及び高湿（５０℃，９０％ＲＨ雰囲気）放置
下における経時特性比較を行った結果、図１１及び図１
２に示す通りとなった。
【００３０】図２〜図８から明らかなように、従来例Ａ
と比較して本発明Ａ〜本発明Ｇのものは直線性に優れて
いることを示し、また図９〜図１２から明らかなよう
に、従来例Ｂのものが高温及び高湿雰囲気下における相
対湿度の経時変化が大きいのに対し、本発明Ｈ及び本発
明Ｉのものは高温及び高湿両雰囲気下の１０００時間経
過時点でも変化率は±３％ＲＨ以内に納まっており、経
時劣化が小さいことを示した。
と比較して本発明Ａ〜本発明Ｇのものは直線性に優れて
いることを示し、また図９〜図１２から明らかなよう
に、従来例Ｂのものが高温及び高湿雰囲気下における相
対湿度の経時変化が大きいのに対し、本発明Ｈ及び本発
明Ｉのものは高温及び高湿両雰囲気下の１０００時間経
過時点でも変化率は±３％ＲＨ以内に納まっており、経
時劣化が小さいことを示した。
【００３１】
【発明の効果】本発明によれば、相対湿度と抵抗値の関
係が対数直線性に優れているために、回路的に利用度が
高く、高温及び高湿雰囲気下でも経時劣化が小さく初期
特性が維持でき、しかも湿度ヒステリシスの小さい高信
頼性の湿度センサを得ることができる。
係が対数直線性に優れているために、回路的に利用度が
高く、高温及び高湿雰囲気下でも経時劣化が小さく初期
特性が維持でき、しかも湿度ヒステリシスの小さい高信
頼性の湿度センサを得ることができる。
【図１】本発明の一実施例に係る湿度センサを示す正面
図である。
図である。
【図２】相対湿度に対する抵抗値を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図３】相対湿度に対する抵抗値を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図４】相対湿度に対する抵抗値を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図５】相対湿度に対する抵抗値を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図６】相対湿度に対する抵抗値を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図７】相対湿度に対する抵抗値を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図８】相対湿度に対する抵抗値を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図９】高温放置における経時特性を示す特性曲線図で
ある。
ある。
【図１０】高湿放置における経時特性を示す特性曲線図
である。
である。
【図１１】高温放置における経時特性を示す特性曲線図
である。
である。
【図１２】高湿放置における経時特性を示す特性曲線図
である。
である。
１，２ 櫛形電極 ３ 絶縁基板 ４ 感湿層 ５，６ 端子導出部 ７ はんだ ８，９ リ−ド端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 審査官 黒田 浩一 (56)参考文献 特開 昭62−269053（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−250241（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−83642（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−223052（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−167258（ＪＰ，Ｕ) 特公 平２−5268（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭62−7976（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 27/00 - 27/22
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁基板上に形成した一対の電極間に、
ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドをオクチルハ
ライド，デシルハライド，ラウリルハライド，ミリスチ
ルハライド，セチルハライド又はステアリルハライドで
４級塩化し合成したモノマーのうち少なくとも１種と、
ジエチルアミノプロピルメタクリルアミドをメチルハラ
イド，エチルハライド又はイソプロピルハライドで４級
塩化し合成したモノマ−のうち少なくとも１種との共重
合体からなる感湿層を設けたことを特徴とする湿度セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31534691A JP2874025B2 (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31534691A JP2874025B2 (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 湿度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05332979A JPH05332979A (ja) | 1993-12-17 |
| JP2874025B2 true JP2874025B2 (ja) | 1999-03-24 |
Family
ID=18064310
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31534691A Expired - Fee Related JP2874025B2 (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2874025B2 (ja) |
-
1991
- 1991-11-01 JP JP31534691A patent/JP2874025B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05332979A (ja) | 1993-12-17 |
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