JP2874021B2 - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
- Publication number
- JP2874021B2 JP2874021B2 JP31534291A JP31534291A JP2874021B2 JP 2874021 B2 JP2874021 B2 JP 2874021B2 JP 31534291 A JP31534291 A JP 31534291A JP 31534291 A JP31534291 A JP 31534291A JP 2874021 B2 JP2874021 B2 JP 2874021B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moisture
- halide
- sensitive layer
- humidity
- humidity sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、有機高分子材料を感湿
層として用い、湿度の変化を電気抵抗あるいは容量の変
化として検出する湿度センサに関する。
層として用い、湿度の変化を電気抵抗あるいは容量の変
化として検出する湿度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、有機高分子材料は水分子の吸脱
着に優れているため、この有機高分子材料を感湿層とし
て利用し得ることが知られている。
着に優れているため、この有機高分子材料を感湿層とし
て利用し得ることが知られている。
【０００３】従来、これら有機高分子材料を感湿層とし
て用いた湿度センサは、例えば特開昭５９−１３３４５
３号公報によって提案されている。
て用いた湿度センサは、例えば特開昭５９−１３３４５
３号公報によって提案されている。
【０００４】この技術内容は、例えばアルミナやガラス
などからなる公知の絶縁基板上に形成した一対の電極間
に、有機高分子材料としてのメタクリルアミドプロピル
トリメチルアンモニウムハライドの重合体又は共重合体
を液体化させてなる感湿剤を塗布して感湿層を形成し、
この感湿層の電気抵抗の湿度に対する変化を利用したも
のである。
などからなる公知の絶縁基板上に形成した一対の電極間
に、有機高分子材料としてのメタクリルアミドプロピル
トリメチルアンモニウムハライドの重合体又は共重合体
を液体化させてなる感湿剤を塗布して感湿層を形成し、
この感湿層の電気抵抗の湿度に対する変化を利用したも
のである。
【０００５】しかしながら、上記のような有機高分子材
料からなる感湿層は、本発明者の検討結果から、 高温度雰囲気での経時安定性に欠ける。
料からなる感湿層は、本発明者の検討結果から、 高温度雰囲気での経時安定性に欠ける。
【０００６】高湿度雰囲気での経時安定性に欠ける。
【０００７】相対湿度と電気抵抗値の関係が対数直線
的でない。（直線性に欠ける）などの問題点を有し、よ
り高い信頼性を得る上で、実用上必ずしも好ましいもの
となっていないことが確認された。
的でない。（直線性に欠ける）などの問題点を有し、よ
り高い信頼性を得る上で、実用上必ずしも好ましいもの
となっていないことが確認された。
【０００８】このため、例えば感湿層上にエチルセルロ
−スなどを塗布しオーバーコートを施すなどの方法を採
用し、上記問題点の解消を試みてみたが、この試みによ
って上記問題点の一時的な解消に貢献することができる
が、構造が複雑化し、かつ工数が増し高価になることは
元より、長期的な使用下での経時変化による特性劣化が
あり、上記問題点の基本的な解消には至らなかった。
−スなどを塗布しオーバーコートを施すなどの方法を採
用し、上記問題点の解消を試みてみたが、この試みによ
って上記問題点の一時的な解消に貢献することができる
が、構造が複雑化し、かつ工数が増し高価になることは
元より、長期的な使用下での経時変化による特性劣化が
あり、上記問題点の基本的な解消には至らなかった。
【０００９】このことは、上記した有機高分子材料自体
に起因するものであり、上記問題点の基本的な解消に貢
献できる有機高分子材料の改良が必要であった。
に起因するものであり、上記問題点の基本的な解消に貢
献できる有機高分子材料の改良が必要であった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来提案
されている有機高分子材料を感湿層とした湿度センサ
は、感湿層を構成する有機高分子材料自体に起因して、
信頼性に欠け、所望の性能を得ることができなかった。
されている有機高分子材料を感湿層とした湿度センサ
は、感湿層を構成する有機高分子材料自体に起因して、
信頼性に欠け、所望の性能を得ることができなかった。
【００１１】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、従来技術において問題点とされ
ていた、 高温及び高湿下での経時的安定性に欠ける。
ためになされたもので、従来技術において問題点とされ
ていた、 高温及び高湿下での経時的安定性に欠ける。
【００１２】直線性に欠ける。 などの欠点を解消し、高温及び高湿雰囲気での経時特性
にも優れ、かつ直線性に優れ、しかも湿度ヒステリシス
の小さい湿度センサを提供することを目的とするもので
ある。
にも優れ、かつ直線性に優れ、しかも湿度ヒステリシス
の小さい湿度センサを提供することを目的とするもので
ある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明になる湿度センサ
は、絶縁基板上に形成した一対の電極間に、ジメチルア
ミノプロピルメタクリルアミドをオクチルハライド，デ
シルハライド，ラウリルハライド，ミリスチルハライ
ド，セチルハライド又はステアリルハライドで４級塩化
し合成したモノマーの中の１種の重合体又は２種以上の
共重合体からなる感湿層を設けたことを特徴とするもの
である。
は、絶縁基板上に形成した一対の電極間に、ジメチルア
ミノプロピルメタクリルアミドをオクチルハライド，デ
シルハライド，ラウリルハライド，ミリスチルハライ
ド，セチルハライド又はステアリルハライドで４級塩化
し合成したモノマーの中の１種の重合体又は２種以上の
共重合体からなる感湿層を設けたことを特徴とするもの
である。
【００１４】
【作用】このように構成された湿度センサによれば、感
湿層がジメチルアミノプロピルメタクリルアミドをオク
チルハライド，デシルハライド，ラウリルハライド，ミ
リスチルハライド，セチルハライド又はステアリルハラ
イドで４級塩化し合成したモノマーの中の１種の重合体
又は２種以上の共重合体から構成されるものとなり、こ
の感湿層は湿度センサとして要求される室温中ではもち
ろん、高温及び高湿中でも経時安定性に優れ、かつ直線
性が良く、湿度ヒステリシスも小さい性能を発揮するこ
とから、高信頼性化に大きく貢献する。
湿層がジメチルアミノプロピルメタクリルアミドをオク
チルハライド，デシルハライド，ラウリルハライド，ミ
リスチルハライド，セチルハライド又はステアリルハラ
イドで４級塩化し合成したモノマーの中の１種の重合体
又は２種以上の共重合体から構成されるものとなり、こ
の感湿層は湿度センサとして要求される室温中ではもち
ろん、高温及び高湿中でも経時安定性に優れ、かつ直線
性が良く、湿度ヒステリシスも小さい性能を発揮するこ
とから、高信頼性化に大きく貢献する。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。
【００１６】図１に示すように、表面に白金，金などか
らなる一対の櫛形電極１，２を印刷などによって形成し
た、例えばアルミナ、又はガラスなどからなる無機質の
絶縁基板３を、以下に述べる感湿剤溶液に浸漬させ、し
かる後１００℃中で２０分間乾燥させて、前記一対の櫛
形電極１，２間及びこの櫛形電極１，２面上に感湿層４
を形成する。
らなる一対の櫛形電極１，２を印刷などによって形成し
た、例えばアルミナ、又はガラスなどからなる無機質の
絶縁基板３を、以下に述べる感湿剤溶液に浸漬させ、し
かる後１００℃中で２０分間乾燥させて、前記一対の櫛
形電極１，２間及びこの櫛形電極１，２面上に感湿層４
を形成する。
【００１７】上記感湿剤溶液は、次の手段で作製する。
すなわち、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドと
オクチルブロマイド，デシルブロマイド，ラウリルブロ
マイド，ミリスチルブロマイド，セチルブロマイド，ス
テアリルブロマイド、オクチルクロライド，デシルクロ
ライド，ラウリルクロライド，ミリスチルクロライド，
セチルクロライド又はステアリルクロライドをアセトン
に溶解させ、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを合
成し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空乾
燥して白色固形物の４級塩化させたモノマーを得、この
モノマーをベンゼン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解さ
せ、これを真空下３０℃で２０時間反応させて得た重合
体（ポリマー）、又はこれらの２種以上の共重合体をメ
タノール，酢酸エチル等で精製を行い、乾燥後に再度メ
タノールに溶解させて調製する。
すなわち、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドと
オクチルブロマイド，デシルブロマイド，ラウリルブロ
マイド，ミリスチルブロマイド，セチルブロマイド，ス
テアリルブロマイド、オクチルクロライド，デシルクロ
ライド，ラウリルクロライド，ミリスチルクロライド，
セチルクロライド又はステアリルクロライドをアセトン
に溶解させ、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを合
成し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空乾
燥して白色固形物の４級塩化させたモノマーを得、この
モノマーをベンゼン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解さ
せ、これを真空下３０℃で２０時間反応させて得た重合
体（ポリマー）、又はこれらの２種以上の共重合体をメ
タノール，酢酸エチル等で精製を行い、乾燥後に再度メ
タノールに溶解させて調製する。
【００１８】次に、前記一対の櫛形電極１，２の端子導
出部５，６それぞれに、例えばはんだ７を介してリ−ド
端子８，９を取着して湿度センサを完成するものであ
る。
出部５，６それぞれに、例えばはんだ７を介してリ−ド
端子８，９を取着して湿度センサを完成するものであ
る。
【００１９】以上のような構成になる湿度センサによれ
ば、感湿層４がジメチルアミノプロピルメタクリルアミ
ドをオクチルハライド，デシルハライド，ラウリルハラ
イド，ミリスチルハライド，セチルハライド又はステア
リルハライドで４級塩化し合成したモノマーの重合体又
は共重合体から構成されるものとなり、室温中ではもち
ろん、高温及び高湿中でも経時安定性に優れ、長時間安
定した特性を維持できると同時に、直線性が良く、湿度
ヒステリシスも小さい性能を発揮することから、各種回
路に組み込み使用した湿度センサの高信頼性化に大きく
貢献できる優れた効果を得ることができる利点を有す
る。
ば、感湿層４がジメチルアミノプロピルメタクリルアミ
ドをオクチルハライド，デシルハライド，ラウリルハラ
イド，ミリスチルハライド，セチルハライド又はステア
リルハライドで４級塩化し合成したモノマーの重合体又
は共重合体から構成されるものとなり、室温中ではもち
ろん、高温及び高湿中でも経時安定性に優れ、長時間安
定した特性を維持できると同時に、直線性が良く、湿度
ヒステリシスも小さい性能を発揮することから、各種回
路に組み込み使用した湿度センサの高信頼性化に大きく
貢献できる優れた効果を得ることができる利点を有す
る。
【００２０】このことは、以下に述べる本発明と従来例
の特性比較を行った実験結果によって実証された。 （本発明Ａ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
８５．２ｇ、オクチルブロマイド９６．５ｇをアセトン
に溶解し、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを合成
し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空乾燥
して白色固形物のモノマーを得、このモノマーをベンゼ
ン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真空下
３０℃で２０時間反応させて重合体（ポリマー）を得た
後、これをメタノール，酢酸エチル等で精製を行い、乾
燥後に再度メタノールに溶解させて調製した感湿剤溶液
によって形成した感湿層を用いた図１に示す構造の湿度
センサ。 （本発明Ｂ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
８５．２ｇ、デシルブロマイド１１０．５ｇをアセトン
に溶解し、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを合成
し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空乾燥
して白色固形物のモノマーを得、このモノマーをベンゼ
ン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真空下
３０℃で２０時間反応させて重合体（ポリマー）を得た
後、これをメタノール，酢酸エチル等で精製を行い、乾
燥後に再度メタノールに溶解させて調製した感湿剤溶液
によって形成した感湿層を用いた図１に示す構造の湿度
センサ。 （本発明Ｃ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
８５．２ｇ、ラウリルブロマイド１２４．５ｇをアセト
ンに溶解し、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを合
成し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空乾
燥して白色固形物のモノマーを得、このモノマーをベン
ゼン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真空
下３０℃で２０時間反応させて重合体（ポリマー）を得
た後、これをメタノール，酢酸エチル等で精製を行い、
乾燥後に再度メタノールに溶解させて調製した感湿剤溶
液によって形成した感湿層を用いた図１に示す構造の湿
度センサ。 （本発明Ｄ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
８５．２ｇ、ミリスチルブロマイド１３８．５ｇをアセ
トンに溶解し、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを
合成し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空
乾燥して白色固形物のモノマーを得、このモノマーをベ
ンゼン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真
空下３０℃で２０時間反応させて重合体（ポリマー）を
得た後、これをメタノール，酢酸エチル等で精製を行
い、乾燥後に再度メタノールに溶解させて調製した感湿
剤溶液によって形成した感湿層を用いた図１に示す構造
の湿度センサ。 （本発明Ｅ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
８５．２ｇ、セチルブロマイド１５２．５ｇをアセトン
に溶解し、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを合成
し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空乾燥
して白色固形物のモノマーを得、このモノマーをベンゼ
ン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真空下
３０℃で２０時間反応させて重合体（ポリマー）を得た
後、これをメタノール，酢酸エチル等で精製を行い、乾
燥後に再度メタノールに溶解させて調製した感湿剤溶液
によって形成した感湿層を用いた図１に示す構造の湿度
センサ。 （本発明Ｆ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
８５．２ｇ、ステアリルブロマイド１６６．５ｇをアセ
トンに溶解し、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを
合成し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空
乾燥して白色固形物のモノマーを得、このモノマーをベ
ンゼン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真
空下３０℃で２０時間反応させて重合体（ポリマー）を
得た後、これをメタノール，酢酸エチル等で精製を行
い、乾燥後に再度メタノールに溶解させて調製した感湿
剤溶液によって形成した感湿層を用いた図１に示す構造
の湿度センサ。
の特性比較を行った実験結果によって実証された。 （本発明Ａ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
８５．２ｇ、オクチルブロマイド９６．５ｇをアセトン
に溶解し、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを合成
し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空乾燥
して白色固形物のモノマーを得、このモノマーをベンゼ
ン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真空下
３０℃で２０時間反応させて重合体（ポリマー）を得た
後、これをメタノール，酢酸エチル等で精製を行い、乾
燥後に再度メタノールに溶解させて調製した感湿剤溶液
によって形成した感湿層を用いた図１に示す構造の湿度
センサ。 （本発明Ｂ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
８５．２ｇ、デシルブロマイド１１０．５ｇをアセトン
に溶解し、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを合成
し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空乾燥
して白色固形物のモノマーを得、このモノマーをベンゼ
ン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真空下
３０℃で２０時間反応させて重合体（ポリマー）を得た
後、これをメタノール，酢酸エチル等で精製を行い、乾
燥後に再度メタノールに溶解させて調製した感湿剤溶液
によって形成した感湿層を用いた図１に示す構造の湿度
センサ。 （本発明Ｃ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
８５．２ｇ、ラウリルブロマイド１２４．５ｇをアセト
ンに溶解し、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを合
成し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空乾
燥して白色固形物のモノマーを得、このモノマーをベン
ゼン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真空
下３０℃で２０時間反応させて重合体（ポリマー）を得
た後、これをメタノール，酢酸エチル等で精製を行い、
乾燥後に再度メタノールに溶解させて調製した感湿剤溶
液によって形成した感湿層を用いた図１に示す構造の湿
度センサ。 （本発明Ｄ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
８５．２ｇ、ミリスチルブロマイド１３８．５ｇをアセ
トンに溶解し、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを
合成し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空
乾燥して白色固形物のモノマーを得、このモノマーをベ
ンゼン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真
空下３０℃で２０時間反応させて重合体（ポリマー）を
得た後、これをメタノール，酢酸エチル等で精製を行
い、乾燥後に再度メタノールに溶解させて調製した感湿
剤溶液によって形成した感湿層を用いた図１に示す構造
の湿度センサ。 （本発明Ｅ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
８５．２ｇ、セチルブロマイド１５２．５ｇをアセトン
に溶解し、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを合成
し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空乾燥
して白色固形物のモノマーを得、このモノマーをベンゼ
ン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真空下
３０℃で２０時間反応させて重合体（ポリマー）を得た
後、これをメタノール，酢酸エチル等で精製を行い、乾
燥後に再度メタノールに溶解させて調製した感湿剤溶液
によって形成した感湿層を用いた図１に示す構造の湿度
センサ。 （本発明Ｆ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
８５．２ｇ、ステアリルブロマイド１６６．５ｇをアセ
トンに溶解し、５０℃，３０時間反応させ、モノマーを
合成し、これをエーテル中に投入して、ろ別を行い真空
乾燥して白色固形物のモノマーを得、このモノマーをベ
ンゼン中に過酸化ベンゾイルと共に溶解させ、これを真
空下３０℃で２０時間反応させて重合体（ポリマー）を
得た後、これをメタノール，酢酸エチル等で精製を行
い、乾燥後に再度メタノールに溶解させて調製した感湿
剤溶液によって形成した感湿層を用いた図１に示す構造
の湿度センサ。
【００２１】以上、本発明Ａ、本発明Ｂ、本発明Ｃ、本
発明Ｄ、本発明Ｅ、本発明Ｆと、感湿層として上記従来
技術にて例示したメタクリルアミドプロピルトリメチル
アンモニウムブロマイドの重合体を感湿層として用いた
従来例Ａとの相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った
結果、図２〜図７に示す通りとなった。 （本発明Ｇ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
にラウリルクロライドを本発明Ｃの場合と同様に反応さ
せてモノマーを調製し、メタクリルアミドプロピルジメ
チルラウリルアンモニウムクロライドを得て、このメタ
クリルアミドプロピルジメチルラウリルアンモニウムク
ロライドの重合体を感湿層として用いた図１に示す構造
の湿度センサ。 （本発明Ｈ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
とオクチルクロライドとの反応によって合成したモノマ
−と、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドとラウ
リルクロライドとの反応によって合成したモノマ−をそ
れぞれ１：１の比で共重合させたポリマ−を感湿層とし
て用いた図１に示す構造の湿度センサ。 （本発明Ｉ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
とオクチルクロライドとの反応によって合成したモノマ
−と、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドとラウ
リルクロライドとの反応によって合成したモノマ−と、
更にジメチルアミノプロピルメタクリルアミドとセチル
クロライドとの反応によって合成したモノマ−をそれぞ
れ１：１：１の比で共重合させたポリマ−を感湿層とし
て用いた図１に示す構造の湿度センサ。
発明Ｄ、本発明Ｅ、本発明Ｆと、感湿層として上記従来
技術にて例示したメタクリルアミドプロピルトリメチル
アンモニウムブロマイドの重合体を感湿層として用いた
従来例Ａとの相対湿度に対する抵抗値特性比較を行った
結果、図２〜図７に示す通りとなった。 （本発明Ｇ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
にラウリルクロライドを本発明Ｃの場合と同様に反応さ
せてモノマーを調製し、メタクリルアミドプロピルジメ
チルラウリルアンモニウムクロライドを得て、このメタ
クリルアミドプロピルジメチルラウリルアンモニウムク
ロライドの重合体を感湿層として用いた図１に示す構造
の湿度センサ。 （本発明Ｈ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
とオクチルクロライドとの反応によって合成したモノマ
−と、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドとラウ
リルクロライドとの反応によって合成したモノマ−をそ
れぞれ１：１の比で共重合させたポリマ−を感湿層とし
て用いた図１に示す構造の湿度センサ。 （本発明Ｉ）ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
とオクチルクロライドとの反応によって合成したモノマ
−と、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドとラウ
リルクロライドとの反応によって合成したモノマ−と、
更にジメチルアミノプロピルメタクリルアミドとセチル
クロライドとの反応によって合成したモノマ−をそれぞ
れ１：１：１の比で共重合させたポリマ−を感湿層とし
て用いた図１に示す構造の湿度センサ。
【００２２】以上、本発明Ｇ、本発明Ｈ、本発明Ｉと、
感湿層として上記従来技術にて例示したメタクリルアミ
ドプロピルジメチルブチルアンモニウムクロライドの重
合体を感湿層として用いた従来例Ｂとの高温（８５℃乾
燥雰囲気）放置下における経時特性及び高湿（５０℃，
９０％ＲＨ雰囲気）放置下における経時特性比較を行っ
た結果、図８〜図１３に示す通りであった。
感湿層として上記従来技術にて例示したメタクリルアミ
ドプロピルジメチルブチルアンモニウムクロライドの重
合体を感湿層として用いた従来例Ｂとの高温（８５℃乾
燥雰囲気）放置下における経時特性及び高湿（５０℃，
９０％ＲＨ雰囲気）放置下における経時特性比較を行っ
た結果、図８〜図１３に示す通りであった。
【００２３】図２〜図７から明らかなように、従来例Ａ
と比較して本発明Ａ、本発明Ｂ、本発明Ｃ、本発明Ｄ、
本発明Ｅ及び本発明Ｆのものは、直線性に優れているこ
とを示し、また図８及び図１３から明らかなように、従
来例Ｂのものが高温及び高湿雰囲気下における相対湿度
の経時変化が大きいのに対し、本発明Ｇ、本発明Ｈ及び
本発明Ｉのものは高温及び高湿両雰囲気下の１０００時
間経過時点でも変化率は±３％ＲＨ以内に納まってお
り、経時劣化が小さいことを示した。
と比較して本発明Ａ、本発明Ｂ、本発明Ｃ、本発明Ｄ、
本発明Ｅ及び本発明Ｆのものは、直線性に優れているこ
とを示し、また図８及び図１３から明らかなように、従
来例Ｂのものが高温及び高湿雰囲気下における相対湿度
の経時変化が大きいのに対し、本発明Ｇ、本発明Ｈ及び
本発明Ｉのものは高温及び高湿両雰囲気下の１０００時
間経過時点でも変化率は±３％ＲＨ以内に納まってお
り、経時劣化が小さいことを示した。
【００２４】
【発明の効果】本発明によれば、相対湿度と抵抗値の関
係が対数直線性に優れているために、回路的に利用度が
高く、高温及び高湿雰囲気下でも経時劣化が小さく初期
特性が維持でき、しかも湿度ヒステリシスの小さい高信
頼性の湿度センサを得ることができる。
係が対数直線性に優れているために、回路的に利用度が
高く、高温及び高湿雰囲気下でも経時劣化が小さく初期
特性が維持でき、しかも湿度ヒステリシスの小さい高信
頼性の湿度センサを得ることができる。
【図１】本発明の一実施例に係る湿度センサを示す正面
図である。
図である。
【図２】相対湿度に対する抵抗値を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図３】相対湿度に対する抵抗値を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図４】相対湿度に対する抵抗値を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図５】相対湿度に対する抵抗値を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図６】相対湿度に対する抵抗値を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図７】相対湿度に対する抵抗値を示す特性曲線図であ
る。
る。
【図８】高温放置における経時特性を示す特性曲線図で
ある。
ある。
【図９】高湿放置における経時特性を示す特性曲線図で
ある。
ある。
【図１０】高温放置における経時特性を示す特性曲線図
である。
である。
【図１１】高湿放置における経時特性を示す特性曲線図
である。
である。
【図１２】高温放置における経時特性を示す特性曲線図
である。
である。
【図１３】高湿放置における経時特性を示す特性曲線図
である。
である。
１，２ 櫛形電極 ３ 絶縁基板 ４ 感湿層 ５，６ 端子導出部 ７ はんだ ８，９ リ−ド端子
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き 審査官 黒田 浩一 (56)参考文献 特開 昭62−269053（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−250241（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−167258（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−83642（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−223052（ＪＰ，Ａ) 特公 平２−5268（ＪＰ，Ｂ２) 特公 昭62−7976（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 27/00 - 27/22
Claims (1)
- 【請求項１】 絶縁基板上に形成した一対の電極間に、
ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドをオクチルハ
ライド，デシルハライド，ラウリルハライド，ミリスチ
ルハライド，セチルハライド又はステアリルハライドで
４級塩化し合成したモノマーの中の１種の重合体又は２
種以上の共重合体からなる感湿層を設けたことを特徴と
する湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31534291A JP2874021B2 (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31534291A JP2874021B2 (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 湿度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05332975A JPH05332975A (ja) | 1993-12-17 |
| JP2874021B2 true JP2874021B2 (ja) | 1999-03-24 |
Family
ID=18064260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31534291A Expired - Fee Related JP2874021B2 (ja) | 1991-11-01 | 1991-11-01 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2874021B2 (ja) |
-
1991
- 1991-11-01 JP JP31534291A patent/JP2874021B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05332975A (ja) | 1993-12-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO1982000362A1 (en) | Moisture-sensitive element,moisture-sensitive material and manufacturing method for same | |
| JPS59202052A (ja) | 感湿素子 | |
| JP2874021B2 (ja) | 湿度センサ | |
| JPS6156952A (ja) | 感湿抵抗素子 | |
| JPH0414301B2 (ja) | ||
| JP2874026B2 (ja) | 湿度センサ | |
| JPH0412418B2 (ja) | ||
| JP2874023B2 (ja) | 湿度センサ | |
| JP2874024B2 (ja) | 湿度センサ | |
| JP2874022B2 (ja) | 湿度センサ | |
| JP2874025B2 (ja) | 湿度センサ | |
| JP3448799B2 (ja) | 湿度センサ | |
| JPH0317087B2 (ja) | ||
| JPH04315040A (ja) | 結露検知素子 | |
| JPS6236549A (ja) | 感湿素子 | |
| CN201096744Y (zh) | 一种聚合物接枝碳黑复合电阻型薄膜湿敏元件 | |
| JPH0318750A (ja) | 湿度センサ素子 | |
| JPS6291847A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6237339B2 (ja) | ||
| JPH0225458B2 (ja) | ||
| JPH0718832B2 (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6047949A (ja) | 感湿抵抗体 | |
| JPS6235253A (ja) | ガスセンサ− | |
| JPS6288951A (ja) | 感湿素子とその製造方法 | |
| JPS62245149A (ja) | 感湿素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080114 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090114 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090114 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100114 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |