JP2865187B2 - 微粒子成分分析装置及びこの装置を用いた等価粒径測定方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】例えば半導体の製造現場であるク
リーンルーム等では半導体製品の品質を向上させるた
め，クリーンルーム中に浮遊する阻害要因としての元素
の大きさと種類を監視し，その元素の発生原因を知ると
共に発生を阻止する必要がある。本発明は例えばクリー
ンルーム内に浮遊する微粒子を収集しマイクロ波誘導プ
ラズマを利用して元素分析を行なう微粒子成分分析装置
に関し，微粒子の正確な等価粒径表示をはかった微粒子
成分分析装置及びこの装置を用いた分析方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】始めに従来から知られているマイクロ波
誘導プラズマを利用した微粒子成分分析装置について図
１を用いて簡単に説明する。図１において１はディスパ
ーサであり，この中には測定すべき固体微粒子（図示せ
ず）が付着したフィルタ２が配置されている。３は同じ
くディスパーサ１内に配置されたアスピレータで，フィ
ルタ２に付着した固体微粒子を吸引し反応管４に供給す
る。なお，ディスパーサ１内は吸引ポンプ５により空気
が排出された後置換ガス導入口８からＨｅガスが導入さ
れて大気圧より僅かに高い圧力に維持されている。９は
キャリアガス（Ｈｅ）導入口，７ａ〜７ｄは開閉弁であ
る。１３はマイクロ波源，１４はマイクロ波源からのマ
イクロ波が導入されたキャビティである。

【０００３】１６は反応管４の他端に設けられた検出
窓，１７は検出窓１６に向けて設けられた光学窓であ
る。１８は集光系であって凹面鏡１８ａと反射鏡１８ｂ
を有している。１９は反射鏡１８ｂで反射した光を信号
処理部２０に導くスリットである。信号処理部２０には
４本の光ファイバ２０ｃを介してそれぞれ光を受光する
４台の分光器２０ｂ及びこれらの分光器の出力が入力さ
れるＣＰＵが配置されている。

【０００４】上記の構成において，マイクロ波源１３か
ら周波数が２．４５ＧＨｚのマイクロ波をキャビティ１
４内に導くと，反応管４内に４０００°Ｋ程度のプラズ
マが生成される。一方ディスパーサ１から反応管４内に
導かれた固体微粒子はプラズマ中で原子化・イオン化さ
れ，更に励起されて基底状態に落ちるときに発光する。
この発光スペクトルは反応管４から軸方向に取り出さ
れ，光学窓１７を介して集光系１８内に導かれて集光さ
れ，その後，スリット１９を通り分光器２０ｂで分光さ
れてＣＰＵで信号処理され試料中の元素が測定表示され
る。なお，分光器には選択された波長の光の強さに応じ
た電気信号を出力する光電変換器２０ｃが備えられてい
る。また，光電変換器２０ｃの後段には光電変換器の出
力信号を増幅する増幅器２１を含んでおり，微粒子の大
きさは増幅器の出力信号の大きさに応じて例えば大，
中，小の３種類に分類している。

【０００５】また，フィルタ２は所定の面積を有するも
のであり，アスピレータ３は図２に示すようにフィルタ
上を複数回（例えば１５回）スキャンし各回とも同じ量
の微粒子を吸入するように構成されている。また，この
装置では前提としてこれらの元素がフィルタ上にその含
有量に応じて同じ割合で分布しているものとする。即ち
上記複数回のスキャンにより吸引される元素数は常に同
じ割合とし，分光器は１スキャン毎に一つの波長に設定
して一つの元素を分析するものを使用するものとする。
発光元素と波長の関係は実用上２７種類（Ａｌ，Ｆｅ，
Ｃ，Ｐ，Ｓｉ，Ｃｕ，Ｂ，Ｋ，Ｎａ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｃ
ａ，Ｃｌ，Ｆ，Ｎ，Ｗ，Ｔｉ，Ｍｏ，Ｍｇ，Ｚｎ，Ａ
ｕ，Ｃｏ，Ｍｎ，Ｐｂ，Ｏ，Ｓ，Ｂｒ）の元素を分析対
象としている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで，例えば半導
体の製造工程における品質阻害要因は実質的には元素
（組成）と大きさ（重量）であり単に平均的な元素の量
を分析するだけでは不十分である。本発明は上記従来技
術の問題を解決するために成されたもので，上記微粒子
の粒子１個の元素毎の大きさを等価粒径で表示すること
により，半導体製造装置等においてきめ細かな管理を可
能とした微粒子成分分析装置及びこれを用いた分析方法
を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の構成は，請求項１においては，フィルタ上に
捕集された微粒子の一部をアスピレータによりスキャン
しながら吸引し，前記吸引した微粒子をマイクロ波を利
用して励起・発光させ，発光した波長の異なる複数の光
をそれぞれ異なる波長を測定できるように測定波長が設
定された複数の分光器に導き，その分光器の後段に配置
された光電変換器により電気信号に変換し，複数の元素
の特定を行う微粒子成分分析装置において，前記光電変
換器の後段にその光電変換器の出力の３乗根を求める手
段を設け，予め球状に加工された基準及び測定対象とな
る元素微粒子の直径に対応した３乗根の出力比を求め，
次に測定サンプル元素からの出力の３乗根を求めて前記
基準元素に対する３乗根の出力比を乗じることにより，
元素間感度が補正された等価粒径を得るようにしたこと
を特徴とするものであり，

【０００８】請求項２においては，フィルタ上に捕集さ
れた微粒子の一部をアスピレータによりスキャンしなが
ら吸引し，前記吸引した微粒子をマイクロ波を利用して
原子化・イオン化して励起・発光させ，発光した波長の
異なる複数の光をそれぞれ異なる波長を測定できるよう
に測定波長が設定された複数の分光器に導き，その分光
器の後段に配置された光電変換器により電気信号に変換
し，複数の元素の特定を行う微粒子成分分析装置からな
り，前記光電変換器の後段にその光電変換器の出力の３
乗根を求める手段を設けた微粒子成分の分析方法におい
て， １） 直径と元素名が既知の複数の基準サンプルを用
い，任意の前記基準サンプルに対する他の基準サンプル
の出力の３乗根を求め，その３乗根の出力比を演算する
工程と， ２） 少なくとも一つの測定対象元素を含む測定サンプ
ルを前記分析装置を用いて測定し，測定サンプルに含ま
れる元素の種類と大きさに応じた３乗根を得る工程と， ３） 前記工程１により求めた３乗根の出力比と前記工
程２により求めた３乗根との積を演算する工程，を含む
ことを特徴とするものであり，

【０００９】請求項３においては、複数の分光器のうち
の一つの分光器を基準分光器と定め、この基準分光器の
出力を基準として、他の分光器の出力を前記基準分光器
の出力に対して規格化し、その規格化した値に基づいて
他の分光器の出力を補正するようにしたことを特徴とす
る微粒子分析装置であり、請求項４においては、複数の
分光器のうちの一つの分光器を基準分光器と定める工程
と 、 この基準分光器の出力を基準として他の分光器の出
力を前記基準分光器の出力に対して規格化する工程と、
その規格化した値に基づいて他の分光器の出力を補正す
る工程、を含むことを特徴とする微粒子分析方法であ
る。

【００１０】

【作用】請求項１，２においては，光電変換器の後段に
入力の３乗根を出力する手段を設けることにより，予め
球状に加工された基準及び測定対象となる元素微粒子の
直径に対応した出力比を求め，次に測定サンプルの元素
の３乗根出力を求めて前記基準元素に対する出力比を乗
じることにより元素間感度が補正された元素毎の等価粒
径を得ることができる。その元素の粒径から体積を求め
これに密度を乗じて微粒子の重さを求める。

【００１１】

【実施例】図３は本発明の微粒子成分分析方法の処理工
程を示す流れ図であり，図１に示すＣＰＵ２０ａ内の処
理フローを示している。なお，図３において工程１〜７
で演算した値は装置のメモリに記憶しておくものとし，
測定サンプルの分析は実質上工程８〜１０が実施され
る。また，本実施例においては，分光器２０ｂの発光は
光電変換器で電気信号に変換された後，その後段に配置
された３乗根アンプにより処理されてＡ／Ｄ変換されて
ＣＰＵに取り込まれるものとし，分光器の数が４台の場
合について説明する。

【００１２】始めに工程１において，任意の球状元素を
フィルタ上に捕集する。このフィルタへの捕集装置とし
ては例えば図４に示すような構成のものを用いる。図４
において，３０はテーブル３１上に散布された例えば公
称粒径５μｍのＳｉの標準サンプルでありこのような標
準サンプルは市販されている。３ａは吸引口３２ａを有
するアスピレータで，この吸引口をテーブル３１の表面
に近接させ矢印３２ｂから気体（例えば窒素，空気，ヘ
リウム等）を吹き込むことにより標準サンプルを吸い込
む。アスピレータの出口３２ｃ側にはフィルタ２が配置
されその表面に標準サンプル３０が付着する。

【００１３】図５はフィルタ２の表面に付着したシリコ
ン粒子の一部を示すＳＥＭ写真であり，粒子一つひとつ
が分離して付着している。なお，このように粒子一つひ
とつが分離するのは，アスピレータ３ａ内に気体を注入
した際に生ずる衝撃波によるものである（図によれば公
称５μｍの粒子とは言え粒径にバラツキがあることがわ
かる）。

【００１４】次に工程２において前記ＳＥＭ写真をもと
に画像解析装置を用いて粒径の測定を行う。図６は粒径
とその分布状態を％表示（斜線を入れた棒線で示す…黒
い棒線は後の工程で説明する）したもので，直径４．５
μｍのものが約２２％で一番多く，次いで直径５μｍの
ものが約２１％あり，これらを境に大小の直径のものも
見られる。

【００１５】次に工程３においてこのフィルタを図１に
示す装置に装着し，分光器の後段に配置された光電変換
器２０ｃは粒径の大きさに応じた電気信号を出力する。
この場合，アスピレータ３はフィルタ２上の定められた
範囲を所定の時間（例えば４分）の間にスキャンし，吸
引された粒子の数に対応した数の電圧信号を出力する。
次に工程４において，工程３で得た電圧信号を入力に対
して３乗根の値を出力する３乗根アンプに入力する。図
６の黒い棒線は３乗根アンプ出力のバラツキの状態を％
表示したもので，工程２で示す粒径分布にほぼ対応して
いることが分かる。

【００１６】次に工程５において，図６の分布図を元に
各粒径に対する出力を特定する。本発明者等の実験によ
れば粒径５μｍにおける３乗根アンプの出力は例えば
２．５２５Ｖ（アンプゲインにより変動する）であっ
た。次に工程６において，例えばＦｅ，Ａｌ，Ｃｕ，Ｐ
等の粒径の既知（例えば公称５μｍ）な元素について上
記工程１〜５を繰り返し，各元素における粒径と出力の
関係を求める。この場合同じ粒径であっても発光強度は
元素により異なったものとなる。

【００１７】次に工程７において，例えばＳｉを基準と
して工程６で求めた発光強度の比を算出する。この値は
ＣＰＵのメモリーに記憶し補正係数として利用する。次
に工程８において，測定対象元素を含む測定サンプル
（例えばクリーンルーム内の空気を所定の時間集塵器で
吸入して捕集し微粒子をフィルタに付着させたもの）を
作製する。

【００１８】次に工程９において，上記工程８で作製し
た微粒子が付着したフィルタを装置に装着し，測定サン
プルに含まれる元素の発光強度に比例した３乗根アンプ
の出力を得る。なお，この装置では４台の分光器を備え
ているので，分光器の設定波長をそれぞれ変えることに
より同時に４元素の測定を行う。

【００１９】次に工程１０において得られた各元素毎の
３乗根アンプの出力に工程７で記憶した補正係数を乗じ
て補正を行い，各元素の等価粒径を算出する。なお，本
発明では光電変換器からの出力の３乗根を求めているの
で信号が圧縮されダイナミックレンジが拡大する。

【００２０】上記の構成によれば，各元素毎の体積の大
きさを等価粒径から得ることができる。なお，測定サン
プル中には化合物として存在する場合も考えられる。そ
の場合例えば図７に示すようなＦｅとＮｉの化合物があ
り，４台の分光器の設定波長のうちそれらの波長に設定
していたとするとその化合物の出力は同期するので図８
の様にＮｉとＦｅが同時に発光する。その場合も化合の
割合に応じて発光の度合（出力の大きさ）が異なるので
割合に応じた等価粒径を求めることができる。

【００２１】なお，上記実施例においては光電変換器の
後段に３乗根増幅器を配置してアナログ的に処理する場
合を示したが，３乗根を求める手段としては光電変換器
からの信号をＡ／Ｄ変換器でデジタル信号に変換した後
ＣＰＵ内でデジタル的に処理することも可能である。要
は微粒子の元素と大きさに対応した光電変換器の出力の
３乗根を求める手段であればよい。

【００２２】図９は分光器毎に設けられた光電変換器２
０ｃからの出力信号をＡ／Ｄ変換器でデジタル信号に変
換する場合の、光電変換器２０ｃ１個当たりの構成を示
すものである。 図において光電変換器２０ｃからの出
力は例えば３台のアンプ５０ａ，５０ｂ，５０ｃに入力
される。５１ａ，５１ｂ，５１ｃはアンプ５０の後段に
配置されたピークホールド回路，５２はアンプ出力を取
り込むマルチプレクサ、５３はマルチプレクサからの出
力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器である。

【００２３】５４はＣＰＵでこのＣＰＵはアンプ５０ａ
〜５０ｃに対してアンプゲインの設定や，ピークホール
ド回路５１ａ〜５１ｃのリセットを行ったりＡ／Ｄ変換
器５２からバス５５を介してデータを受け取りゲインに
応じたデータ処理を行う。ＣＰＵ５４の出力は上位のＣ
ＰＵ２０ａに送られて光電変換器２０ｃの出力信号に対
応した粒径を決定する３乗根の演算が行われる。

【００２４】図１０は図９の処理フローを示す説明図で
ある。フローに従って説明する。始めにＣＰＵ５４によ
りアンプ５０ａ〜５０ｃのゲインを例えば０，２０，４
０ｄＢに設定する。次にピークホールド回路５１のホー
ルド値をリセットし，サンプル時間であるか否かを判断
し，予め定められたシーケンスに従ってマルチプレクサ
５２に入力するチャンネルを選択する（このリセット，
サンプル時間およびチャンネルの選択はＣＰＵが内蔵す
るクロックに従って行われる）。

【００２５】マルチプレクサ５２に取り込まれた信号は
Ａ／Ｄ変換器５３でデジタル信号に変換され，バス５５
を介してＣＰＵ５４に送られる。ＣＰＵ５４はその信号
が所定のレベルに達しているか否かを判断しイエスの場
合はゲインに応じたデータ処理を行って上位ＣＰＵ２０
ａに伝送する。ノーの場合はその信号は上位ＣＰＵ２０
ａに送らず，ＣＰＵ５４はピークホールド回路５１ｂが
ホールドしている信号を取り込むようにマルチプレクサ
５２に指令する。

【００２６】マルチプレクサ５２に取り込まれたアンプ
５０ｂで１０倍（２０ｄＢ）に増幅された信号はＡ／Ｄ
変換器５３でデジタル信号に変換され，バス５５を介し
てＣＰＵ５４に送られる。ＣＰＵ５４はその信号が所定
のレベルに達しているか否かを判断しイエスの場合はゲ
インに応じたデータ処理を行って上位ＣＰＵ２０ａに伝
送する。ノーの場合はその信号は上位ＣＰＵ２０ａに送
らず，ＣＰＵ５４はピークホールド回路５１ｃがホール
ドしている信号を取り込むようにマルチプレクサ５２に
指令する。

【００２７】マルチプレクサ５２に取り込まれたアンプ
５０ｃで１００倍（４０ｄＢ）に増幅された信号はＡ／
Ｄ変換器５３でデジタル信号に変換され，バス５５を介
してＣＰＵ５４に送られる。ＣＰＵ５４はその信号のゲ
インに応じたデータ処理を行って上位ＣＰＵ２０ａに伝
送する。上記の構成によれば例えば一つのアンプで対応
した場合の０〜１０の出力範囲を０〜１０００の範囲に
広げることができる。

【００２８】このようにダイナミックレンジが広がると
特に微粒子の大きさ（体積）を等価粒径として表示する
ような場合に有効である。なお，上記の実施例ではアン
プの数を３として説明したが２又は４以上であってもよ
く，ＣＰＵ５４が始めにマルチプレクサのチャンネル１
を選択するようにしておけばアンプ５０ａの後段のピー
クホールド回路５１ａはなくてもよい。またＣＰＵ５４
と２０ａを一つのもの（ブロック）として表示してもよ
い。

【００２９】上記の実施例ではアンプ５０ａ〜５０ｃの
増幅率を０，２０，４０ｄＢとしたが，逆に４０，２
０，０ｄＢとしＣＰＵ５４で出力が飽和しているか否か
を判断するようにし，もし飽和していたらアンプ５０ｂ
のホールド値を選択して飽和か否かを判断し，飽和の場
合は更にアンプ５０ｃのホールド値を選択するようにし
てもよい。

【００３０】図１１は各アンプ５０ａ〜５０ｃの出力を
直接Ａ／Ｄ変換器５３ａ〜５３ｃに入力し，ＣＰＵ５４
はＡ／Ｄ変換器５３ａ〜５３ｃの出力を順次直接読み出
すようにしたものである。図１２は図１１の処理フロー
を示す説明図である。フローに従って説明する。始めに
ＣＰＵ５４によりアンプ５０ａ〜５０ｃのゲインを例え
ば０，２０，４０ｄＢに設定する。

【００３１】次にサンプル時間であるか否かを判断し，
予め定められたシーケンスに従ってＡ／Ｄ変換器５３ａ
でデジタル信号に変換され，バス５５を介してＣＰＵ５
４に送られる。ＣＰＵ５４はその信号が所定のレベルに
達しているか否かを判断しイエスの場合はゲインに応じ
たデータ処理を行って上位ＣＰＵ２０ａに伝送する。ノ
ーの場合はその信号は上位ＣＰＵ２０ａに送らず，ＣＰ
Ｕ５４はアンプ５０ｂで１０倍（２０ｄＢ）に増幅され
たＡ／Ｄ変換器５３ｂの信号を取り込む。

【００３２】そして，ＣＰＵ５４はその信号が所定のレ
ベルに達しているか否かを判断しイエスの場合はゲイン
に応じたデータ処理を行って上位ＣＰＵ２０ａに伝送す
る。ノーの場合はその信号は上位ＣＰＵ２０ａに送ら
ず，アンプ５０ｃで１００倍（４０ｄＢ）に増幅された
Ａ／Ｄ変換器５３ｃの信号を取り込んでその信号のゲイ
ンに応じたデータ処理を行って上位ＣＰＵ２０ａに伝送
する。上記の構成によれば図９の構成と比較してマルチ
プレクサを経由しないので，その分処理速度を向上させ
ることができる。

【００３３】ところで，上記の装置では４台の分光器及
び３乗根アンプを用いて４種類の元素を同時に測定して
いるが，これらの機器には個体差があり同じ粒径の元素
を同時に測定した場合に出力差が生じる。そこで，本発
明においては任意の分光器の出力を例えば１とし，これ
を基準として他の分光器の出力を例えば０．９や１．１
のように規格化し，その規格化した値に基づいて各分光
器の出力を補正する。このことにより，各分光器間の出
力補正を図ることができる。

【００３４】

【発明の効果】以上詳しく説明したような本発明によれ
ば，固体微粒子の分析に際し，微粒子の大きさを等価粒
径で表示することにより，半導体製造装置等においてき
め細かな管理を可能とし，ダイナミックレンジの拡大し
た微粒子成分分析方法を実現することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明及び従来例の説明に用いる分析装置の構
成説明図である。

【図２】アスピレータがフィルタ上をスキャンする状態
を示す説明図である。

【図３】本発明の分析方法の手順を示す流れ図である。

【図４】微粒子捕集装置の一例を示す構成図である。

【図５】フィルタに付着した微粒子のＳＥＭ写真図であ
る。

【図６】粒度の分布状態と分析装置の出力の状態を示す
説明図である。

【図７】微粒子が化合物として存在する状態を示す図で
ある。

【図８】分光器が４台の場合の出力の状態を示す説明図
である。

【図９】分光器毎に設けられた光電変換器からの出力信
号をＡ／Ｄ変換器でデジタル信号に変換する場合の，光
電変換器１個当たりの構成を示す図である。

【図１０】図９の処理フローを示す説明図である。

【図１１】図９の他の実施例を示す説明図である。

【図１２】図１１の処理フローを示す説明図である。

【符号の説明】

１ ディスパーサ ２ フィルタ ３ アスピレータ ４ 反応管 ８ 置換ガス導入口 ９ キャリアガス導入口 １３ マイクロ波源 １４ キャビティ １７ 光学窓 １８ 集光系 １９ スリット ２０ 信号処理部 ２０ａ，５４ ＣＰＵ署名 ２０ｂ 分光器 ２０ｃ 光電変換器 ２１ ３乗根アンプ ５０ａ〜５０ｃ アンプ ５１ａ〜５１ｃ ピークホールド回路 ５２ マルチプレクサ ５３，５３ａ〜５３ｃ Ａ／Ｄ変換器

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平７−146240（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−186157（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−113747（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−172750（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−113404（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−326044（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−5564（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−5554（ＪＰ，Ａ) Ｊ．ＮＵＣＬ．ＳＣＩ．ＴＥＣＨＮＯ Ｌ．ＶＯＬ．23，ＮＯ．11，ｐ1023− 1025（1986) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G01N 21/71 - 21/74 G01N 15/14 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フィルタ上に捕集された微粒子の一部をア
   スピレータによりスキャンしながら吸引し，前記吸引し
   た微粒子をマイクロ波を利用して原子化・イオン化して
   励起・発光させ，発光した波長の異なる複数の光をそれ
   ぞれ異なる波長を測定できるように測定波長が設定され
   た複数の分光器に導き，その分光器の後段に配置された
   光電変換器により電気信号に変換し，複数の元素の特定
   を行う微粒子成分分析装置において，前記光電変換器の
   後段にその光電変換器の出力の３乗根を求める手段を設
   け，予め球状に加工された基準及び測定対象となる元素
   微粒子の直径に対応した３乗根の出力比を求め，次に測
   定サンプル元素からの出力の３乗根を求めて前記基準元
   素に対する３乗根の出力比を乗じることにより，元素間
   感度が補正された等価粒径を得るようにしたことを特徴
   とする微粒子成分分析装置。
2. 【請求項２】フィルタ上に捕集された微粒子の一部をア
   スピレータによりスキャンしながら吸引し，前記吸引し
   た微粒子をマイクロ波を利用して原子化・イオン化して
   励起・発光させ，発光した波長の異なる複数の光をそれ
   ぞれ異なる波長を測定できるように測定波長が設定され
   た複数の分光器に導き，その分光器の後段に配置された
   光電変換器により電気信号に変換し，複数の元素の特定
   を行う微粒子成分分析装置からなり，前記光電変換器の
   後段にその光電変換器の出力の３乗根を求める手段を設
   けた微粒子成分の分析方法において， １） 直径と元素名が既知の複数の基準サンプルを用
   い，任意の前記基準サンプルに対する他の基準サンプル
   の出力の３乗根を求め，その３乗根の出力比を演算する
   工程と， ２） 少なくとも一つの測定対象元素を含む測定サンプ
   ルを前記分析装置を用いて測定し，測定サンプルに含ま
   れる元素の種類と大きさに応じた３乗根を得る工程と， ３） 前記工程１により求めた３乗根の出力比と前記工
   程２により求めた３乗根との積を演算する工程，を含む
   ことを特徴とする微粒子成分分析方法。
3. 【請求項３】複数の分光器のうちの一つの分光器を基準
   分光器と定め，この基準分光器の出力を基準として他の
   分光器の出力を前記基準分光器の出力に対して規格化
   し，その規格化した値に基づいて他の分光器の出力を補
   正するようにしたことを特徴とする請求項１記載の微粒
   子成分分析装置。
4. 【請求項４】複数の分光器のうちの一つの分光器を基準
   分光器と定める工程と，この基準分光器の出力を基準と
   して他の分光器の出力を前記基準分光器の出力に対して
   規格化する工程と，その規格化した値に基づいて他の分
   光器の出力を補正する工程，を含むことを特徴とする請
   求項２記載の微粒子成分分析方法。