JP2861919B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents
圧電アクチュエータInfo
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- JP2861919B2 JP2861919B2 JP8075052A JP7505296A JP2861919B2 JP 2861919 B2 JP2861919 B2 JP 2861919B2 JP 8075052 A JP8075052 A JP 8075052A JP 7505296 A JP7505296 A JP 7505296A JP 2861919 B2 JP2861919 B2 JP 2861919B2
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- piezoelectric actuator
- spring
- thermal expansion
- actuator
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電アクチュエー
タに関し、特に、その温度補償方法に関する。
タに関し、特に、その温度補償方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電性を示す粉末セラミック材料を焼結
し、分極してなる圧電アクチュエータは、温度が上昇す
ると残留分極が消失することから、温度の上昇に伴って
全長が縮むという、見掛け上、負の熱膨張係数を有して
いる。そこで、従来、その温度変化に基づく変位量の変
化に対して、様々な温度補償方法が考えられている。
し、分極してなる圧電アクチュエータは、温度が上昇す
ると残留分極が消失することから、温度の上昇に伴って
全長が縮むという、見掛け上、負の熱膨張係数を有して
いる。そこで、従来、その温度変化に基づく変位量の変
化に対して、様々な温度補償方法が考えられている。
【０００３】例えば、特開平５ー８４１２号公報や特開
平４ー１３３７５３号公報には、図５に示すような、温
度補償を施した圧電アクチュエータを組み込んだ印字ヘ
ッドが開示されている。図５を参照して、この図に示さ
れる印字ヘッドのフレーム８には、圧電アクチュエータ
１と、その端面に固着された温度補償部材９とが組み込
まれている。大きな正の熱膨張係数を有する温度補償部
材９は、圧電アクチュエータ１に直列に接続されてい
る。従って、例えば温度が上昇したときは、圧電アクチ
ュエータ１の縮みと温度補償部材９の伸びとが互いに打
ち消し合う。圧電アクチュエータは予め圧縮荷重が加え
られた（プレロードの掛かった）状態でフレーム８に組
み込まれており、アクチュエータ１の全長の変化が印字
ピン１０の位置の変化となるが、温度補償部材９により
アクチュエータ１の温度による全長変化を補償し、印字
ピン１０の位置が変化することを防いでいる。
平４ー１３３７５３号公報には、図５に示すような、温
度補償を施した圧電アクチュエータを組み込んだ印字ヘ
ッドが開示されている。図５を参照して、この図に示さ
れる印字ヘッドのフレーム８には、圧電アクチュエータ
１と、その端面に固着された温度補償部材９とが組み込
まれている。大きな正の熱膨張係数を有する温度補償部
材９は、圧電アクチュエータ１に直列に接続されてい
る。従って、例えば温度が上昇したときは、圧電アクチ
ュエータ１の縮みと温度補償部材９の伸びとが互いに打
ち消し合う。圧電アクチュエータは予め圧縮荷重が加え
られた（プレロードの掛かった）状態でフレーム８に組
み込まれており、アクチュエータ１の全長の変化が印字
ピン１０の位置の変化となるが、温度補償部材９により
アクチュエータ１の温度による全長変化を補償し、印字
ピン１０の位置が変化することを防いでいる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述した公報記載の温
度補償方法によれば、温度補償部材９をアクチュエータ
１に直列に固着しなければならない。つまり、温度補償
部材９を含む装置全体としての長さは、アクチュエータ
１の全長に温度補償部材９の長さを加えたものになる。
この場合、確実に温度補償を行うには、温度補償部材９
の温度による変化量とアクチュエータ１の温度による変
化量とは、絶対値が等しくなければならない。このこと
は、アクチュエータ１本来の発生変位量を大きくするた
めに、その長さを大きくすると、温度補償部材９の長さ
もそれに伴って長くしなければならず、装置としての全
長が非常に長くなってしまう結果となることを意味す
る。
度補償方法によれば、温度補償部材９をアクチュエータ
１に直列に固着しなければならない。つまり、温度補償
部材９を含む装置全体としての長さは、アクチュエータ
１の全長に温度補償部材９の長さを加えたものになる。
この場合、確実に温度補償を行うには、温度補償部材９
の温度による変化量とアクチュエータ１の温度による変
化量とは、絶対値が等しくなければならない。このこと
は、アクチュエータ１本来の発生変位量を大きくするた
めに、その長さを大きくすると、温度補償部材９の長さ
もそれに伴って長くしなければならず、装置としての全
長が非常に長くなってしまう結果となることを意味す
る。
【０００５】したがって本発明は、圧電アクチュエータ
本来の変位量を増大させるためにアクチュエータの全長
を伸ばした場合でも、これに温度補償を施す場合に、装
置の全長増加分が純粋にアクチュエータの全長増加分だ
けで済み、温度補償するための余計な増加分がないよう
にすることを目的とするものである。
本来の変位量を増大させるためにアクチュエータの全長
を伸ばした場合でも、これに温度補償を施す場合に、装
置の全長増加分が純粋にアクチュエータの全長増加分だ
けで済み、温度補償するための余計な増加分がないよう
にすることを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の圧電アクチュエ
ータは、圧電性材料からなり外部から与えられた電圧に
応じて変位を発生する圧電アクチュエータと、前記圧電
アクチュエータに予め発生変位の方向を示す軸に沿う圧
縮力を加えるばね系とを備え、前記圧電アクチュエータ
の熱膨張による熱変形量と、前記ばね系の熱膨張による
前記圧縮力の変化に伴う圧電アクチュエータの弾性変形
量とが等しくなるように構成したことを特徴とする。
ータは、圧電性材料からなり外部から与えられた電圧に
応じて変位を発生する圧電アクチュエータと、前記圧電
アクチュエータに予め発生変位の方向を示す軸に沿う圧
縮力を加えるばね系とを備え、前記圧電アクチュエータ
の熱膨張による熱変形量と、前記ばね系の熱膨張による
前記圧縮力の変化に伴う圧電アクチュエータの弾性変形
量とが等しくなるように構成したことを特徴とする。
【０００７】圧電アクチュエータは負の熱膨張係数を有
している。一方、ばね系は正の熱膨張係数を有してい
る。従って、温度上昇に伴い、圧電アクチュエータは全
長が縮む。一方、ばね系はアクチュエータにプレロード
を印加しているのであるが、温度の上昇と共にばね系の
原点が熱変形により移動し、プレロードが低下する。こ
のとき、圧電アクチュエータはプレロードの低下分に見
合う分、弾性変形により伸びることになる。この伸び量
は、圧電アクチュエータとばね系のばね定数、ばね系の
熱変形量によりバランスした量となる。
している。一方、ばね系は正の熱膨張係数を有してい
る。従って、温度上昇に伴い、圧電アクチュエータは全
長が縮む。一方、ばね系はアクチュエータにプレロード
を印加しているのであるが、温度の上昇と共にばね系の
原点が熱変形により移動し、プレロードが低下する。こ
のとき、圧電アクチュエータはプレロードの低下分に見
合う分、弾性変形により伸びることになる。この伸び量
は、圧電アクチュエータとばね系のばね定数、ばね系の
熱変形量によりバランスした量となる。
【０００８】上記圧電アクチュエータの熱変形による縮
みと、プレロードの低下による弾性変形の大きさとを等
しくすると、両者は互いに打ち消し合って温度補償がな
される。
みと、プレロードの低下による弾性変形の大きさとを等
しくすると、両者は互いに打ち消し合って温度補償がな
される。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。図１（ａ）は、本発明の
第１の実施の形態による金属ケース組込み構造の圧電ア
クチュエータの断面を示す図である。図１（ａ）を参照
して、圧電アクチュエータ１の両端には金属部材２ａ，
２ｂが固着されている。そして、薄肉パイプの円周方向
にひだを設けたばね性を有するベローズ３が、金属部材
２ａ，２ｂに溶接やろうず付けなどにより固着されてい
る。ベローズ３は、引き延ばした状態で金属部２ａ，２
ｂに固着されていて、圧電アクチュエータ１にプレロー
ドを掛けている。
て、図面を参照して説明する。図１（ａ）は、本発明の
第１の実施の形態による金属ケース組込み構造の圧電ア
クチュエータの断面を示す図である。図１（ａ）を参照
して、圧電アクチュエータ１の両端には金属部材２ａ，
２ｂが固着されている。そして、薄肉パイプの円周方向
にひだを設けたばね性を有するベローズ３が、金属部材
２ａ，２ｂに溶接やろうず付けなどにより固着されてい
る。ベローズ３は、引き延ばした状態で金属部２ａ，２
ｂに固着されていて、圧電アクチュエータ１にプレロー
ドを掛けている。
【００１０】金属部材２ｂは、リード端子４ａ，４ｂを
備えている。このリード端子４ａ，４ｂを介して、アク
チュエータ１に駆動電圧が印加される。本実施の形態の
圧電アクチュエータでは、ベローズ３はプレロードを加
えるためのばねとケースとを兼ねている。この構造によ
れば、アクチュエータ１が金属製ケースにより封止され
るので、信頼性が非常に高い。
備えている。このリード端子４ａ，４ｂを介して、アク
チュエータ１に駆動電圧が印加される。本実施の形態の
圧電アクチュエータでは、ベローズ３はプレロードを加
えるためのばねとケースとを兼ねている。この構造によ
れば、アクチュエータ１が金属製ケースにより封止され
るので、信頼性が非常に高い。
【００１１】図１（ｂ）に、本実施の形態における作用
効果を説明するための、モデル図を示す。図１（ｂ）を
参照して、アクチュエータ１とばね系（この場合は、ベ
ローズ）３とをそれぞれ毎に、温度により長さが変化す
る剛体と、温度により変化しない理想ばねとの直列接続
構造により示すこととする。ここで、アクチュエータ１
及びばね系３それぞれのばね定数をｋA ，ｋS （Ｎ／
ｍ）とし、又、それぞれが単体であるときの温度による
全長の変化量をそれぞれαA ，αS （ｍ／Ｋ）とする。
更に、ばね系３と共に組み込んだときの圧電アクチュエ
ータ１の全長の温度による変化量を、β（ｍ／Ｋ）とす
る。
効果を説明するための、モデル図を示す。図１（ｂ）を
参照して、アクチュエータ１とばね系（この場合は、ベ
ローズ）３とをそれぞれ毎に、温度により長さが変化す
る剛体と、温度により変化しない理想ばねとの直列接続
構造により示すこととする。ここで、アクチュエータ１
及びばね系３それぞれのばね定数をｋA ，ｋS （Ｎ／
ｍ）とし、又、それぞれが単体であるときの温度による
全長の変化量をそれぞれαA ，αS （ｍ／Ｋ）とする。
更に、ばね系３と共に組み込んだときの圧電アクチュエ
ータ１の全長の温度による変化量を、β（ｍ／Ｋ）とす
る。
【００１２】図２に、或る温度を基準とし、アクチュエ
ータ１の一方の端を基点としたときの変位の様子を示
す。図２を参照して、アクチュエータ１は温度の上昇と
共に縮むので、傾きαA の直線Ａで表される変位特性を
示す。逆に、ばね系３は金属製であるので、温度の上昇
に伴って傾きαS の直線で示される変位特性を示す。と
ころが、アクチュエータ１とばね系３とは固定されてい
るので、お互いのばね性が釣り合う点、すなわち直線Ａ
と直線ＢとをｋS ：ｋA に内分する直線Ｃが、ケースに
組み込まれた状態でのアクチュエータ１の全長の変化量
βを示す。この直線Ｃの傾きβは、下記の式で与えら
れる。
ータ１の一方の端を基点としたときの変位の様子を示
す。図２を参照して、アクチュエータ１は温度の上昇と
共に縮むので、傾きαA の直線Ａで表される変位特性を
示す。逆に、ばね系３は金属製であるので、温度の上昇
に伴って傾きαS の直線で示される変位特性を示す。と
ころが、アクチュエータ１とばね系３とは固定されてい
るので、お互いのばね性が釣り合う点、すなわち直線Ａ
と直線ＢとをｋS ：ｋA に内分する直線Ｃが、ケースに
組み込まれた状態でのアクチュエータ１の全長の変化量
βを示す。この直線Ｃの傾きβは、下記の式で与えら
れる。
【００１３】 β＝（ｋS ・αS ＋ｋA ・αA ）／（ｋS ＋ｋA ） 温度補償を行うには、上の式において、β＝０である
ことが必要である。従って、 ｋS ・αS ＝−ｋA ・αA を満たすようにすれば良い。以下に、具体例を示す。
ことが必要である。従って、 ｋS ・αS ＝−ｋA ・αA を満たすようにすれば良い。以下に、具体例を示す。
【００１４】図１（ａ）に示す金属製ベローズケース組
込みの圧電アクチュエータで、アクチュエータ１は、ヤ
ング率４×１０8 Ｎ／ｍ2 、線熱膨張係数−４ｐｐｍ／
Ｋの材料からなる。寸法は、５ｍｍ×５ｍｍ×１００ｍ
ｍである。従って、上式において、ｋA ＝１×１０5
Ｎ／ｍ、αA ＝−４×１０-7ｍ／Ｋとなるので、ｋS・
αS ＝４×１０-2となる。ばね系３にこのような特性を
持たせることにより、温度補償ができる。ばね系３の材
料をステンレス鋼（線熱膨張係数＝１６ｐｐｍ／Ｋ）と
する。ばね系３の全長はアクチュエータ１の全長に等し
いので、αS ＝１．６×１０6 ｍ／Ｋとなり、ｋS ＝
２．５×１０4 Ｎ／ｍとなるようにばね系３の構造を決
めれば良い。ばね系３のばね定数ｋS は、材質、板厚、
ひだの大きさ、形状、数、熱処理条件によって調整でき
る。但し、材質の変更は、熱膨張係数αS の変化をもた
らすので、目標とするばね定数ｋS の設計値を変更する
必要がある。
込みの圧電アクチュエータで、アクチュエータ１は、ヤ
ング率４×１０8 Ｎ／ｍ2 、線熱膨張係数−４ｐｐｍ／
Ｋの材料からなる。寸法は、５ｍｍ×５ｍｍ×１００ｍ
ｍである。従って、上式において、ｋA ＝１×１０5
Ｎ／ｍ、αA ＝−４×１０-7ｍ／Ｋとなるので、ｋS・
αS ＝４×１０-2となる。ばね系３にこのような特性を
持たせることにより、温度補償ができる。ばね系３の材
料をステンレス鋼（線熱膨張係数＝１６ｐｐｍ／Ｋ）と
する。ばね系３の全長はアクチュエータ１の全長に等し
いので、αS ＝１．６×１０6 ｍ／Ｋとなり、ｋS ＝
２．５×１０4 Ｎ／ｍとなるようにばね系３の構造を決
めれば良い。ばね系３のばね定数ｋS は、材質、板厚、
ひだの大きさ、形状、数、熱処理条件によって調整でき
る。但し、材質の変更は、熱膨張係数αS の変化をもた
らすので、目標とするばね定数ｋS の設計値を変更する
必要がある。
【００１５】このように、本実施の形態においては、ア
クチュエータ１本来の発生変位量を増大させるためにそ
の全長を変更した場合でも、アクチュエータ１に並行な
ベローズケース３の全長をそれに合せて変更するだけで
済むので、装置としての全長増加は、純粋にアクチュエ
ータ１の全長増加分だけで済む。
クチュエータ１本来の発生変位量を増大させるためにそ
の全長を変更した場合でも、アクチュエータ１に並行な
ベローズケース３の全長をそれに合せて変更するだけで
済むので、装置としての全長増加は、純粋にアクチュエ
ータ１の全長増加分だけで済む。
【００１６】次に、本発明の第２の実施の形態につい
て、説明する。図３は、本発明の第２の実施の形態によ
る圧電アクチュエータの断面図である。図３を参照し
て、アクチュエータ１の一端に固着されたケース５は、
アクチュエータを取り囲むような形状をしている。そし
て、アクチュエータ５の変位発生端面とこれに向き合う
ケース５内壁との間に支持されたコイルばね６が、アク
チュエータ１の変位発生端面に作用し、アクチュエータ
１にプレロードを加えている。本実施の形態では、ケー
ス５のばね性はばね６のばね性より極めて小さく無視し
得るので、式，におけるばね系のばね定数ｋS は、
ばね６のばね定数であると考えて良い。しかし、式，
におけるばね系３の熱膨張量αS は、ばね６がケース
５に支持されていることから、ケース５の熱膨張量から
コイルばね６の熱膨張量を差し引いたものとなり、ケー
ス５とばね６双方の材質、ばね６の形状、大きさによっ
て調整できる。尚、コイルばね６に替えて皿ばねを用い
れば、ばねを薄く出来るので、より小型化して、本実施
の形態におけると同様の効果を得ることができる。
て、説明する。図３は、本発明の第２の実施の形態によ
る圧電アクチュエータの断面図である。図３を参照し
て、アクチュエータ１の一端に固着されたケース５は、
アクチュエータを取り囲むような形状をしている。そし
て、アクチュエータ５の変位発生端面とこれに向き合う
ケース５内壁との間に支持されたコイルばね６が、アク
チュエータ１の変位発生端面に作用し、アクチュエータ
１にプレロードを加えている。本実施の形態では、ケー
ス５のばね性はばね６のばね性より極めて小さく無視し
得るので、式，におけるばね系のばね定数ｋS は、
ばね６のばね定数であると考えて良い。しかし、式，
におけるばね系３の熱膨張量αS は、ばね６がケース
５に支持されていることから、ケース５の熱膨張量から
コイルばね６の熱膨張量を差し引いたものとなり、ケー
ス５とばね６双方の材質、ばね６の形状、大きさによっ
て調整できる。尚、コイルばね６に替えて皿ばねを用い
れば、ばねを薄く出来るので、より小型化して、本実施
の形態におけると同様の効果を得ることができる。
【００１７】更には、図４に示す本発明の第３の実施の
形態のように、プレロードをダイヤフラム７によって加
える構造としても良い。この第３の実施の形態では、ば
ね系３のばね定数ｋS はダイヤフラム７により決まる。
一方、熱膨張量αS はケース５により決定する。
形態のように、プレロードをダイヤフラム７によって加
える構造としても良い。この第３の実施の形態では、ば
ね系３のばね定数ｋS はダイヤフラム７により決まる。
一方、熱膨張量αS はケース５により決定する。
【００１８】これまで、圧電アクチュエータを金属製ケ
ースに組み込んだ例について説明したが、ケースを用い
ずに組み込む構造であっても、全く同様の効果を得るこ
とができる。但し、図５に示す従来の圧電アクチュエー
タにおいては、フレーム８も温度により伸縮するので、
印字ピン１０の位置を一定にするには、前述の式にお
いて、組込み後の熱膨張量βをフレームの熱膨張量と一
致させるようにすれば良い。同様に、式における熱膨
張量βを任意の値（αA ＜β＜αS ）とすることによ
り、組み込んだ圧電アクチュエータの熱膨張量を設定で
きることは、言うまでもない。
ースに組み込んだ例について説明したが、ケースを用い
ずに組み込む構造であっても、全く同様の効果を得るこ
とができる。但し、図５に示す従来の圧電アクチュエー
タにおいては、フレーム８も温度により伸縮するので、
印字ピン１０の位置を一定にするには、前述の式にお
いて、組込み後の熱膨張量βをフレームの熱膨張量と一
致させるようにすれば良い。同様に、式における熱膨
張量βを任意の値（αA ＜β＜αS ）とすることによ
り、組み込んだ圧電アクチュエータの熱膨張量を設定で
きることは、言うまでもない。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の圧電アク
チュエータは、圧電性材料からなり外部から与えられた
電圧に応じて変位を発生する圧電アクチュエータと、そ
の圧電アクチュエータに予め発生変位の方向を示す軸に
沿う圧縮力を加えるばね系とを備え、圧電アクチュエー
タの熱膨張による熱変形量と、ばね系の熱膨張による圧
縮力の変化に伴う圧電アクチュエータの弾性変形量とが
等しくなるようにされている。
チュエータは、圧電性材料からなり外部から与えられた
電圧に応じて変位を発生する圧電アクチュエータと、そ
の圧電アクチュエータに予め発生変位の方向を示す軸に
沿う圧縮力を加えるばね系とを備え、圧電アクチュエー
タの熱膨張による熱変形量と、ばね系の熱膨張による圧
縮力の変化に伴う圧電アクチュエータの弾性変形量とが
等しくなるようにされている。
【００２０】これにより本発明によれば、アクチュエー
タ本来の変位量を増大させるためにアクチュエータの全
長を長くした場合でも、装置としての全長の増加分は純
粋にアクチュエータの全長増加分だけで済み、温度補償
のための余計な全長増加分はないようにすることができ
る。
タ本来の変位量を増大させるためにアクチュエータの全
長を長くした場合でも、装置としての全長の増加分は純
粋にアクチュエータの全長増加分だけで済み、温度補償
のための余計な全長増加分はないようにすることができ
る。
【図１】本発明の第１の実施の形態による圧電アクチュ
エータの断面図および、本発明の作用原理を説明するた
めのモデル図である。
エータの断面図および、本発明の作用原理を説明するた
めのモデル図である。
【図２】本発明の作用原理を説明するための、モデルの
各部分の温度ー変位特性を示す図である。
各部分の温度ー変位特性を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態による圧電アクチュ
エータの断面図である。
エータの断面図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態による圧電アクチュ
エータの断面図である。
エータの断面図である。
【図５】温度補償を施した圧電アクチュエータの従来の
ものの一例の断面図である。
ものの一例の断面図である。
１ 圧電アクチュエータ ２，２ａ，２ｂ 金属部材 ３ ベローズ ４，４ａ，４ｂ リイド端子 ５ ケース ６ ばね ７ ダイアフラム ８ フレーム ９ 温度補償部材 １０ 印字ピン
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H02N 2/00 H01L 41/08
Claims (6)
- 【請求項１】 圧電性材料からなり外部から与えられた
電圧に応じて変位を発生する圧電アクチュエータと、前
記圧電アクチュエータに予め発生変位の方向を示す軸に
沿う圧縮力を加えるばね系とを備え、 前記圧電アクチュエータの熱膨張による熱変形量と、前
記ばね系の熱膨張による圧縮力の変化に伴う圧電アクチ
ュエータの弾性変形量とが等しくなるように構成したこ
とを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 【請求項２】 請求項１記載の圧電アクチュエータにお
いて、 前記圧電アクチュエータにおける熱膨張による熱変形量
及びばね定数をそれぞれαA 、ｋA とし、前記ばね系に
おける熱膨張による熱変形量及びばね定数をそれぞれα
S 、ｋS としたとき、 αS ・ｋS ＝αA ・ｋA となるようにしたことを特徴とする圧電アクチュエー
タ。 - 【請求項３】 圧電性材料からなり外部から与えられた
電圧に応じて変位を発生する圧電アクチュエータと、 上蓋及び下蓋を備え、側壁には蛇腹構造によって長手方
向にばね性を付与された金属製筒状のケースであって、
前記上蓋及び下蓋がそれぞれ前記圧電アクチュエータの
変位発生端面に固着されて、前記アクチュエータを、発
生変位の方向を示す軸に沿う圧縮力が加わった状態で、
収納するケースとを含んでなり、 前記圧電アクチュエータにおける熱膨張による熱変形量
及びばね定数をそれぞれαA 、ｋA とし、前記ケースに
おける熱膨張による熱変形量及びばね定数をそれぞれα
S 、ｋS としたとき、 αS ・ｋS ＝αA ・ｋA となるようにしたことを特徴とする圧電アクチュエー
タ。 - 【請求項４】 圧電性材料からなり外部から与えられた
電圧に応じて変位を発生する圧電アクチュエータと、 上蓋及び下蓋を備える金属製筒状のケースであって、前
記下蓋は前記圧電アクチュエータの一方の変位発生端面
に固着され、前記上蓋の内壁と前記圧電アクチュエータ
の他方の変位発生端面との間にはコイルばねが設けられ
て、前記圧電アクチュエータを、発生変位の方向を示す
軸に沿う圧縮力が加わった状態で、収納するケースとを
含んでなり、 前記圧電アクチュエータにおける熱膨張による熱変形量
及びばね定数をそれぞれαA 、ｋA とし、前記ケースに
おける熱膨張による熱変形量及びばね定数をそれぞれα
S 、ｋS としたとき、 αS ・ｋS ＝αA ・ｋA となるようにしたことを特徴とする圧電アクチュエー
タ。 - 【請求項５】 請求項４記載の圧電アクチュエータにお
いて、 前記コイルばねに替えて、皿ばねを設けたことを特徴と
する圧電アクチュエータ。 - 【請求項６】 圧電性材料からなり外部から与えられた
電圧に応じて変位を発生する圧電アクチュエータと、 上蓋及び下蓋を備える金属製筒状のケースであって、前
記下蓋は前記圧電アクチュエータの一方の変位発生端面
に固着され、前記上蓋は筒の側壁を支持枠とするダイア
フラムをなして、前記圧電アクチュエータを、発生変位
の方向を示す軸に沿う圧縮力が加わった状態で、収納す
るケースとを含んでなり、 前記圧電アクチュエータにおける熱膨張による熱変形量
及びばね定数をそれぞれαA 、ｋA とし、前記ケースに
おける熱膨張による熱変形量及びばね定数をそれぞれα
S 、ｋS としたとき、 αS ・ｋS ＝αA ・ｋA となるようにしたことを特徴とする圧電アクチュエー
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8075052A JP2861919B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 圧電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8075052A JP2861919B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 圧電アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09271181A JPH09271181A (ja) | 1997-10-14 |
| JP2861919B2 true JP2861919B2 (ja) | 1999-02-24 |
Family
ID=13565053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8075052A Expired - Lifetime JP2861919B2 (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 圧電アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2861919B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4562878B2 (ja) * | 2000-08-04 | 2010-10-13 | Ｎｅｃトーキン株式会社 | 圧電アクチュエータ |
| JP5521553B2 (ja) * | 2008-01-29 | 2014-06-18 | コニカミノルタ株式会社 | アクチュエータ機構 |
| CN114294460A (zh) * | 2016-10-20 | 2022-04-08 | Asml荷兰有限公司 | 压力控制阀、用于光刻设备的流体处理结构和光刻设备 |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP8075052A patent/JP2861919B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09271181A (ja) | 1997-10-14 |
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