JP2852079B2 - ラッププレートの成形装置 - Google Patents
ラッププレートの成形装置Info
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- JP2852079B2 JP2852079B2 JP1225623A JP22562389A JP2852079B2 JP 2852079 B2 JP2852079 B2 JP 2852079B2 JP 1225623 A JP1225623 A JP 1225623A JP 22562389 A JP22562389 A JP 22562389A JP 2852079 B2 JP2852079 B2 JP 2852079B2
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- Press-Shaping Or Shaping Using Conveyers (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体ウェハ等を研磨する際に用いられる
ラッププレートを成形する装置に関する。
ラッププレートを成形する装置に関する。
［従来の技術］ 周知の如く、例えば半導体ウェハをラッピングする際
には、このウェハを載置するラッププレートが使用され
ている。
には、このウェハを載置するラッププレートが使用され
ている。
従来、こうしたラッププレートは、例えば第２図〜第
４図に示す如く製造されている。即ち、 まず、第２図に示す如く金属製の円板状マンドレル1,
ゴム製の円筒体２及びゴム製の円板状蓋３からなる型を
用いて、成形体を得る。つまり、前記蓋３を開放した状
態で型内にアルミナ造粒粉４を充填した後、蓋３を閉め
て押圧して成形体５を形成する。次に、この成形体５を
型から取り出す。この成形体５の形状は実際には第３図
に示すように中央部がへこんでいる。
４図に示す如く製造されている。即ち、 まず、第２図に示す如く金属製の円板状マンドレル1,
ゴム製の円筒体２及びゴム製の円板状蓋３からなる型を
用いて、成形体を得る。つまり、前記蓋３を開放した状
態で型内にアルミナ造粒粉４を充填した後、蓋３を閉め
て押圧して成形体５を形成する。次に、この成形体５を
型から取り出す。この成形体５の形状は実際には第３図
に示すように中央部がへこんでいる。
次に、第３図図示の成形体５をターニングマシンによ
り削り、表面が平坦化した例えば厚み約15mmの成形体
（第４図図示）を得る。
り削り、表面が平坦化した例えば厚み約15mmの成形体
（第４図図示）を得る。
［発明が解決しようとする課題］ しかし、従来技術によれば、アルミナ造粒粉４を型内
に充填して成形しただけでは第３図に示すように中央部
に凹みが発生し、ターニングマシンによる面加工が必要
となる。また、製品寸法に応じて型をその都度用意しな
ければならない。更に、製品が大型化（φ480mm）する
につれ、大型のCIP（Cold Isortatic Press）装置が必
要となる。
に充填して成形しただけでは第３図に示すように中央部
に凹みが発生し、ターニングマシンによる面加工が必要
となる。また、製品寸法に応じて型をその都度用意しな
ければならない。更に、製品が大型化（φ480mm）する
につれ、大型のCIP（Cold Isortatic Press）装置が必
要となる。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、成形体の
寸法精度が高く面加工を回避できるとともに、製品寸法
に対するフレキシビリティが高いラッププレートの成形
装置を提供することを目的とする。
寸法精度が高く面加工を回避できるとともに、製品寸法
に対するフレキシビリティが高いラッププレートの成形
装置を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段と作用］ 本発明は、第１平行平面板と、この第１平行平面板と
平行に配置され，中央部にアルミナ混練物を通過させる
貫通口を有した第２平行平面板と、前記第１・第２平行
平面板を平行に保持する固定手段と、前記第２平行平面
板の貫通口に連結され，この貫通口からアルミナ混練物
を前記第１・第２平行平面板間に押出す押出成形機とを
具備することを特徴とするラッププレートの成形装置で
ある。
平行に配置され，中央部にアルミナ混練物を通過させる
貫通口を有した第２平行平面板と、前記第１・第２平行
平面板を平行に保持する固定手段と、前記第２平行平面
板の貫通口に連結され，この貫通口からアルミナ混練物
を前記第１・第２平行平面板間に押出す押出成形機とを
具備することを特徴とするラッププレートの成形装置で
ある。
本発明において、第１・第２平行平面板を平行に保持
する固定手段としては、例えばボルト及びナット等が挙
げられる。ここに、固定手段により、対向する平行平面
板の距離を調整して得られる成形体の厚みを調整する。
する固定手段としては、例えばボルト及びナット等が挙
げられる。ここに、固定手段により、対向する平行平面
板の距離を調整して得られる成形体の厚みを調整する。
本発明において、前記第１・第２平行平面板の形状は
夫々任意に設定可能であるが、ウェハの形状を考慮して
円板状が好ましい。
夫々任意に設定可能であるが、ウェハの形状を考慮して
円板状が好ましい。
［作 用］ 本発明によれば、成形体の寸法精度が高く面加工を回
避できるとともに、成形工程において製品寸法に対する
フレキシビリティを高くする事ができる。即ち、成形体
の厚さは、対向する平行平面板間の距離を適宜変えるこ
とにより、調整することができる。更に、アルミナ混練
物は平行平面板の中央から供給されて同心円状に充填さ
れていくため、成形体の大きさはアルミナ混練物の充填
量を変化させることにより調整することができる。
避できるとともに、成形工程において製品寸法に対する
フレキシビリティを高くする事ができる。即ち、成形体
の厚さは、対向する平行平面板間の距離を適宜変えるこ
とにより、調整することができる。更に、アルミナ混練
物は平行平面板の中央から供給されて同心円状に充填さ
れていくため、成形体の大きさはアルミナ混練物の充填
量を変化させることにより調整することができる。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を第１図を参照して説明す
る。
る。
図中の11は、例えば円板状の第１平行平面板である。
この第１平行平面板11の周縁部には、例えば４個の第１
貫通穴が開口されている。前記第１平行平面板11は、支
柱12より支持されている。
この第１平行平面板11の周縁部には、例えば４個の第１
貫通穴が開口されている。前記第１平行平面板11は、支
柱12より支持されている。
前記第１平行平面板11の上方には、該平面板１と適宜
距離をおいて円板状の第２平行平面板13が配置されてい
る。この第２平行平面板13の周縁部には、前記第１平行
平面板11の第１貫通穴に対応して第２貫通穴が開口され
ている。前記第２平行平面板13の中央部には、アルミナ
混練物を通過させる貫通口14が開口されている。前記第
１平行平面板11の第１貫通穴と第２平行平面板13の第２
貫通穴には隙間調整用ボルト15が装着され、このボルト
15の一端側にはナット16が螺合されている。これらのボ
ルト15及びナット16により、前記第１・第２平行平面板
間の隙間Ｄが調整される。
距離をおいて円板状の第２平行平面板13が配置されてい
る。この第２平行平面板13の周縁部には、前記第１平行
平面板11の第１貫通穴に対応して第２貫通穴が開口され
ている。前記第２平行平面板13の中央部には、アルミナ
混練物を通過させる貫通口14が開口されている。前記第
１平行平面板11の第１貫通穴と第２平行平面板13の第２
貫通穴には隙間調整用ボルト15が装着され、このボルト
15の一端側にはナット16が螺合されている。これらのボ
ルト15及びナット16により、前記第１・第２平行平面板
間の隙間Ｄが調整される。
前記第２平行平面板13の貫通口14には、押出成形機17
が連結されている。この押出成形機17には、押出成形用
スクリュー18が設けられている。なお、図中の19は、ア
ルミナ混練物である。
が連結されている。この押出成形機17には、押出成形用
スクリュー18が設けられている。なお、図中の19は、ア
ルミナ混練物である。
次に、こうした構成のラッププレートの成形装置を用
いてラッププレートを成形する方法について説明する。
いてラッププレートを成形する方法について説明する。
まず、アルミナ原料（商品名AES−11E、住友化学社
製）100重量部、炭酸マグネシウム（商品名；徳山、徳
山曹達社製）0.3重量部及びイオン交換水100重量部をボ
ールミルに入れ、48時間混合解砕を行う。この結果、解
砕スリップが得られる。
製）100重量部、炭酸マグネシウム（商品名；徳山、徳
山曹達社製）0.3重量部及びイオン交換水100重量部をボ
ールミルに入れ、48時間混合解砕を行う。この結果、解
砕スリップが得られる。
次に、この解砕スリップを120℃で24時間乾燥させ、
アルミナ乾粉とする。つづいて、このアルミナ乾粉100
重量分に、バインダー（商品名430M、ユケン工業社製）
５重量分，プロピレングリコール（試薬）１重量分及び
イオン交換水17重量部を加え、高速混合機で２分間混合
を行う。
アルミナ乾粉とする。つづいて、このアルミナ乾粉100
重量分に、バインダー（商品名430M、ユケン工業社製）
５重量分，プロピレングリコール（試薬）１重量分及び
イオン交換水17重量部を加え、高速混合機で２分間混合
を行う。
次に、得られたアルミナ混練物19を押出成形機17によ
り第２平行平面板の貫通口14を経て第１・第２平行平面
板11、13の隙間に押し出す。その結果、アルミナ混練物
19が前記貫通口14付近から外側方向へ同心円状に充填さ
れていき、円板状の成形体となる。
り第２平行平面板の貫通口14を経て第１・第２平行平面
板11、13の隙間に押し出す。その結果、アルミナ混練物
19が前記貫通口14付近から外側方向へ同心円状に充填さ
れていき、円板状の成形体となる。
次に、前記ボルト15,ナット16を第１・第２平行平面
板11,13から外した後、ピアノ線を用いて平行平面板よ
り成形体を切りはなし、成形体を十分乾燥させる。
板11,13から外した後、ピアノ線を用いて平行平面板よ
り成形体を切りはなし、成形体を十分乾燥させる。
次に、通常のセラミックスの焼成法にしたがって、前
記成形体を1600℃で２時間保持して焼成を行う。つづい
て、得られた焼成体を仕上げ加工し、ラッププレートを
製造する。
記成形体を1600℃で２時間保持して焼成を行う。つづい
て、得られた焼成体を仕上げ加工し、ラッププレートを
製造する。
しかして、上記実施例に係るラッププレートの成形装
置は、主として支柱12より支持された円板状の第１平行
平面板11と、この第１平行平面板11の上方に配置され，
中央部にアルミナ混練物を通過させる貫通口14が開口さ
れた円板状の第２平行平面板13と、上記第１・第２平行
平面板11,13を隙間Ｄおいて平行に保持するボルト15及
びナット16と、前記第２平行平面板13の貫通口14に連結
された押出成形機17とから構成されている。従って、押
出成形機17から適宜な粘性を有したアルミナ混練物19
を、第２平行平面板13の貫通口14を経て第１・第２平行
平面板11、13の隙間に押し出すと、アルミナ混練物19が
前記貫通口14付近から外側方向へ同心円状にゆっくり広
がって円板状の成形体を形成する。その結果、従来のよ
うにターニングマシンを必要とすることなく、ピアノ線
を用いることにより表面が略平坦な寸法精度が高いラッ
ププレートを得ることができる。また、本発明によれ
ば、第１・第２平行平面板11,13の形状をある程度大き
くすることにより、製品の寸法が大きくなっても、製品
寸法に対するフレキシビリティが高い。
置は、主として支柱12より支持された円板状の第１平行
平面板11と、この第１平行平面板11の上方に配置され，
中央部にアルミナ混練物を通過させる貫通口14が開口さ
れた円板状の第２平行平面板13と、上記第１・第２平行
平面板11,13を隙間Ｄおいて平行に保持するボルト15及
びナット16と、前記第２平行平面板13の貫通口14に連結
された押出成形機17とから構成されている。従って、押
出成形機17から適宜な粘性を有したアルミナ混練物19
を、第２平行平面板13の貫通口14を経て第１・第２平行
平面板11、13の隙間に押し出すと、アルミナ混練物19が
前記貫通口14付近から外側方向へ同心円状にゆっくり広
がって円板状の成形体を形成する。その結果、従来のよ
うにターニングマシンを必要とすることなく、ピアノ線
を用いることにより表面が略平坦な寸法精度が高いラッ
ププレートを得ることができる。また、本発明によれ
ば、第１・第２平行平面板11,13の形状をある程度大き
くすることにより、製品の寸法が大きくなっても、製品
寸法に対するフレキシビリティが高い。
上記実施例では、ボルト及びナットにより第１・第２
平行平面板の間隔を一定に保持する場合について述べた
が、これに限らない。例えば、第５図に示す如く、平行
平面板21と、内面にネジ切りされたフランジ22をボルト
23で固定し、外周部にネジ切りされた取手24aを有する
平行平面板24を前記フランジ22下部にねじ込んで平行平
面板21と平行平面板24を支持し、平行平面板24の位置を
変える事により成形体の厚さを調整するようにしてもよ
い。
平行平面板の間隔を一定に保持する場合について述べた
が、これに限らない。例えば、第５図に示す如く、平行
平面板21と、内面にネジ切りされたフランジ22をボルト
23で固定し、外周部にネジ切りされた取手24aを有する
平行平面板24を前記フランジ22下部にねじ込んで平行平
面板21と平行平面板24を支持し、平行平面板24の位置を
変える事により成形体の厚さを調整するようにしてもよ
い。
［発明の効果］ 以上詳述した如く本発明によれば、成形体の寸法精度
が高く面加工を回避できるとともに、製品寸法に対する
フレキシビリティが高い高信頼性のラッププレートの成
形装置を提供できる。
が高く面加工を回避できるとともに、製品寸法に対する
フレキシビリティが高い高信頼性のラッププレートの成
形装置を提供できる。
第１図は本発明の一実施例に係るラッププレートの成形
装置の説明図、第２図は従来のラッププレートの成形装
置の説明図、第３図は第２図の装置により得られた成形
体の断面図、第４図は第３図の成形体を平坦化した状態
の断面図、第５図は本発明の他の実施例に係るラッププ
レートの成形装置の説明図である。 11,13,21,24……平行平面板、12……アルミナ混練物、1
4……貫通口、15……隙間調整用ボルト、16……ナッ
ト、17……押出成形機、18……押出成形用スクリュー、
22……フランジ。
装置の説明図、第２図は従来のラッププレートの成形装
置の説明図、第３図は第２図の装置により得られた成形
体の断面図、第４図は第３図の成形体を平坦化した状態
の断面図、第５図は本発明の他の実施例に係るラッププ
レートの成形装置の説明図である。 11,13,21,24……平行平面板、12……アルミナ混練物、1
4……貫通口、15……隙間調整用ボルト、16……ナッ
ト、17……押出成形機、18……押出成形用スクリュー、
22……フランジ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−7914（ＪＰ，Ａ) 特開 昭46−4633（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−32906（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−173606（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B28B 3/20,1/24
Claims (1)
- 【請求項１】第１平行平面板と、この第１平行平面板と
平行に配置され，中央部にアルミナ混練物を通過させる
貫通口を有した第２平行平面板と、前記第１・第２平行
平面板を平行に保持する固定手段と、前記第２平行平面
板の貫通口に連結され，この貫通口からアルミナ混練物
を前記第１・第２平行平面板間に押出す押出成形機とを
具備することを特徴とするラッププレートの成形装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1225623A JP2852079B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | ラッププレートの成形装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1225623A JP2852079B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | ラッププレートの成形装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0387206A JPH0387206A (ja) | 1991-04-12 |
| JP2852079B2 true JP2852079B2 (ja) | 1999-01-27 |
Family
ID=16832213
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1225623A Expired - Fee Related JP2852079B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | ラッププレートの成形装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2852079B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07186126A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-25 | Toyota Kihan:Kk | 型枠締結用ねじ部材の締緩装置 |
| US5714104A (en) * | 1995-06-12 | 1998-02-03 | Outboard Marine Corporation | Method of molding FRP parts |
-
1989
- 1989-08-31 JP JP1225623A patent/JP2852079B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0387206A (ja) | 1991-04-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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