JP2842384B2 - リン酸及びフッ素含有廃水の処理方法 - Google Patents

リン酸及びフッ素含有廃水の処理方法

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JP2842384B2 JP16442896A JP16442896A JP2842384B2 JP 2842384 B2 JP2842384 B2 JP 2842384B2 JP 16442896 A JP16442896 A JP 16442896A JP 16442896 A JP16442896 A JP 16442896A JP 2842384 B2 JP2842384 B2 JP 2842384B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体生産工程等
により発生するリン酸及びフッ素を含有する廃水の処理
方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来のリン酸及びフッ素含有廃水の処理
方法では、廃水にカルシウムを添加し、フッ素をCaF2
して固定し、リン酸をCa3(PO4)2 、CaHPO4、Ca5(OH)(PO
4)3 等として固定した後、アルミニウムを添加し、pH
中性領域に調整してAl(OH)3 とし、このAl(OH)3 を凝集
助剤としてCaF2、Ca3(PO4)2 、CaHPO4、Ca5(OH)(PO4)3
とともに凝集沈澱させていた。また、この後フッ素濃度
を数mg/l以下の低濃度まで処理する必要がある場合
は、更にアルミニウムを添加しpH中性領域に調整して
Al(OH)3 とし、このAl(OH)3 にフッ素を吸着させた後、
凝集沈降分離して処理する高度処理工程が行われてい
た。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来法には以下に挙げる問題点があった。
【0004】第1の問題点は、リン酸及びフッ素含有廃
水にカルシウムを添加する際、多量のカルシウムを添加
しなければ十分なフッ素のCaF2化が行えないことであ
る。この問題は、リン酸が共存するとカルシウムがリン
酸とCa3(PO4)2 、CaHPO4、Ca5(OH)(PO4)3 等の塩を作る
ことで消費され、CaF2生成反応を妨害することに起因す
る。
【0005】第2の問題点は、リン酸及びフッ素含有廃
水にカルシウムを添加してフッ素をCaF2として固定した
後、Al(OH)3 にフッ素を吸着させて更にフッ素を低濃度
まで処理する高度処理を行う場合、Al(OH)3 を主成分と
する汚泥が大量に発生することである。この問題は、Al
(OH)3 がゲル状であり水分を内包し易いので、水分を多
量に含んだ汚泥となることに起因する。
【0006】第3の問題点は、リン酸及びフッ素含有廃
水にカルシウムを添加してフッ素をCaF2として固定した
後、Al(OH)3 にフッ素を吸着させて更にフッ素を低濃度
まで処理する高度処理を行う場合、pH調整用の薬品が
多量に必要となることである。この問題は、リン酸及び
フッ素含有廃水にカルシウムを添加し、リン酸を固定す
るにはその塩の溶解度が低くなるpHアルカリ領域にす
る必要があり、さらに後段のフッ素の高度処理工程では
にAl(OH)3 の溶解度が最も低くなるpH中性領域に調整
する必要があることに起因する。
【0007】本発明は、リン酸及びフッ素含有廃水から
リン酸とフッ素を十分かつ簡易に除去する処理方法であ
って、その廃水にカルシウムを添加しフッ素をCaF2とし
て固定する際、多量のカルシウムを添加しなくてもCaF2
を効率よく生成でき、かつ、フッ素の高度処理を伴う場
合の汚泥発生量を低減でき、pH調整薬品の使用量を低
減できるリン酸及びフッ素含有廃水の処理方法を提供す
ることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の上記目的は、リ
ン酸及びフッ素含有廃水に対し、(1)アルミニウムを
添加してpH酸性領域で該リン酸をAlPO4 として固定す
る第1の工程と、(2)該第1の工程の後、カルシウム
を添加して該フッ素をCaF2として固定する第2の工程と
を含むことを特徴とするリン酸及びフッ素含有廃水の処
理方法により達成できる。
【0009】本発明においては、予めリン酸を固定した
後にカルシウムによるCaF2生成反応を行うので、CaF2
成反応へのリン酸の悪影響が無く、多量のカルシウムを
使用しなくともCaF2生成反応が効率的に行える。
【0010】また本発明は、アルミニウムを添加してリ
ン酸をAlPO4 として固定するものであり、このAlPO4
溶解度(pH酸性領域)が従来法のカルシウムにより生
成する塩(Ca3(PO4)2 、CaHPO4、Ca5(OH)(PO4)3 等)の
溶解度(pHアルカリ領域)よりも低いので、従来法よ
りもリン酸をさらに低濃度に処理できる。しかも、この
AlPO4 は従来法のカルシウムにより生成する塩よりもリ
ン酸当たりの分子量が小さいので、リン酸に由来する汚
泥量も削減される。
【0011】また、従来法のカルシウムにより生成する
塩は、pHアルカリ領域で溶解度が低いが、本発明にお
けるAlPO4 はpH酸性領域で溶解度が低い。したがっ
て、従来法では、pHアルカリ領域から中性領域への調
整に多量のpH調整薬品(酸)が必要であったが本発明
ではそれが不要となり、また一般的に酸性であるリン酸
及びフッ素含有廃水に対する処理工程全体を通じてpH
調整を簡略化できる。
【0012】
【発明の実施の形態】次に、本発明の好適な実施形態に
ついて、図面を参照して説明する。
【0013】<第1の実施形態>第1の実施形態は、第
1の工程において、リン酸に対し過剰量のアルミニウム
を添加してpH酸性領域で該リン酸をAlPO4 として固定
した後、pH中性領域に調整することによってリン酸と
反応しなかった余剰のアルミニウムをAl(OH)3 とし、該
Al(OH)3 を凝集助剤として該AlPO4 とともに凝集沈澱さ
せ、該AlPO4 と該Al(OH)3 を固液分離し、第2の工程に
おいて、カルシウムを添加してフッ素をCaF2として固定
した後、該CaF2を固液分離する処理方法である。
【0014】図1は、本発明の第1の実施形態を具体的
に示す模式図である。
【0015】この図に示すように、まずリン酸処理槽1
においてリン酸及びフッ素含有廃水にアルミニウムを添
加し、pH酸性領域でリン酸をAlPO4 として固定する。
このアルミニウムとしては、アルミニウム原子を含む化
合物であって、リン酸とAl 3+の反応によりAlPO4 を生
成させ得る各種アルミニウム化合物が使用できるが、特
に、PAC、Al2(SO4)3 等のAl塩を好適に使用でき
る。その添加量は、本発明において特に制限されない
が、本実施形態では、後の工程においてAl(OH)3 を生成
させるべく、リン酸に対し過剰量(すなわち反応当量よ
りも過剰の量)を添加している。
【0016】次に、第1凝集槽2でpH調整剤及び凝集
剤を添加して、中性領域(pH6〜8程度)に調整す
る。これにより、リン酸処理時のリン酸と反応しなかっ
た余剰のアルミニウムがAl(OH)3 となり、これが凝集助
剤として作用し、AlPO4 が凝集する。この凝集したAl(O
H)3 とAlPO4 は第1沈降槽3で沈降分離(固液分離)
し、汚泥として回収する。
【0017】以上の様にして廃水中からリン酸を除いた
後、フッ素処理槽4でリン酸の影響が無い状態でフッ素
含有廃液にカルシウムを添加し、フッ素をCaF2として固
定する。このカルシウムとしては、カルシウム原子を含
む化合物であって、CaF2を生成させ得る各種カルシウム
化合物が使用できるが、特に、Ca(OH)2 、CaCO3 、CaCl
2 、CaSO4 等のCa塩を好適に使用できる。その添加量
は、本発明において特に制限されず、廃水中のフッ素の
含有量などに応じて適宜設定すればよい。
【0018】次に、第2凝集槽5で、pH調整剤、凝集
剤及び凝集助剤を添加し離溶性CaF2を凝集させる。凝集
したCaF2は第2凝集槽5で沈降分離(固液分離)し、Ca
F2汚泥として回収する。沈降分離後の廃液は処理水とし
て放流する。
【0019】本実施形態においては、リン酸の固定に要
するアルミニウムのうち未反応アルミニウムをAl(OH)3
とすることで、凝集処理時の凝集助剤としての有効利用
が可能となる。
【0020】<第2の実施形態>第2の実施形態は、第
1の工程において、リン酸に対し過剰量のアルミニウム
を添加してpH酸性領域で該リン酸をAlPO4 として固定
し、第2の工程において、カルシウムを添加してフッ素
をCaF2として固定した後、pH中性領域に調整すること
によって該リン酸と反応しなかった余剰のアルミニウム
をAl(OH)3 とし、該Al(OH)3 を凝集助剤として該AlPO4
と該CaF2とともに凝集沈澱させ、該AlPO4と該CaF2と該A
l(OH)3 を固液分離する処理方法である。
【0021】図2は、本発明の第2の実施形態を具体的
に示す模式図である。
【0022】この図に示すように、まずリン酸処理槽1
1においてリン酸及びフッ素含有廃水に過剰量のアルミ
ニウム(Al塩)を添加してpH酸性領域でリン酸をAl
PO4として固定する。次に、フッ素処理槽12でカルシ
ウム(Ca塩)を添加しフッ素をCaF2として固定する。
次に、第1凝集槽13でpH調整剤及び凝集剤を添加し
て、pH中性領域にする。これにより、リン酸と反応し
なかった余剰のアルミニウムがAl(OH)3 となり、これが
凝集助剤として作用し、AlPO4 及びCaF2が同時に凝集す
る。凝集したAl(OH)3 とAlPO4 及びCaF2は汚泥として回
収する。沈降分離後の廃液は処理水として放流する。
【0023】なお、本実施形態における、アルミニウム
又はカルシウムの種類や添加量などの諸条件について
は、第1の実施形態と同様である。
【0024】<第3の実施形態>第3の実施形態は、第
2の工程において、カルシウムを添加してフッ素をCaF2
として固定した後、AlPO4 とCaF2を固液分離し、その後
アルミニウムを添加しpH中性領域に調整してAl(OH)3
とし、該Al(OH)3 にフッ素を吸着させる高度処理工程
と、該高度処理工程で発生したAl(OH)3 を前記第1の工
程のAlPO4 生成反応のアルミニウム源として再利用する
ために、該Al(OH)3 を含む汚泥をリン酸及びフッ素含有
廃水に返送する工程とを更に含む処理方法である。
【0025】図3は、本発明の第3の実施形態を具体的
に示す模式図である。
【0026】この図に示すように、まずリン酸処理槽2
1においてリン酸及びフッ素含有廃水にアルミニウム
(Al(OH)3 汚泥)を添加してpH酸性領域でリン酸をAl
PO4 として固定する。次に、フッ素処理槽22でカルシ
ウム(Ca塩)を添加しフッ素をCaF2として固定する。
次に、第1凝集槽23でpH調整剤及び凝集剤を添加し
生成したAl(OH)3 とAlPO4 及びCaF2を凝集させる。凝集
したAl(OH)3 とAlPO4 及びCaF2は第1沈降槽24で沈降
分離し汚泥として回収する。さらに、フッ素吸着槽25
でAl塩を添加し、Al(OH)3 を生成させフッ素を吸着処
理する。フッ素を吸着したAl(OH)3 は第2凝集槽26で
凝集し、第2沈降槽27で沈降分離された後リン酸処理
のAl源としてリン酸処理槽21に返送し再利用する。
沈降分離後の廃液は処理水として排出する。
【0027】本実施形態におけるように、Al(OH)3 にフ
ッ素を吸着させて低濃度まで処理する高度処理を行え
ば、フッ素濃度を数mg/l以下の低濃度まで処理でき
る。しかも汚泥を廃水に返送し再利用することにより、
効率良い工程が可能となる。
【0028】なお、本実施形態における、アルミニウム
又はカルシウムの種類や添加量などの諸条件について
は、第1及び第2の実施形態と同様である。
【0029】
【発明の効果】以上説明した本発明のリン酸及びフッ素
含有廃水の処理方法によれば、CaF2生成反応へのリン酸
の悪影響が無く、多量のカルシウムを使用しなくともCa
F2生成反応が効率的に行える。従来法よりもリン酸をさ
らに低濃度に処理できる。
【0030】またフッ素の高度処理を行う場合も、リン
酸に由来する汚泥量が削減され、pH調整薬品の使用量
を低減でき、pH調整を簡略化できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を示す模式図である。
【図2】本発明の第2の実施形態を示す模式図である。
【図3】本発明の第3の実施形態を示す模式図である。
【符号の説明】
1、11、21 リン酸処理槽 2、13、23 第1凝集槽 3、14、24 第1沈降槽 4、12、22 フッ素処理槽 5、26 第2凝集槽 6、27 第2沈降槽 25 フッ素吸着槽

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 リン酸及びフッ素含有廃水に対し、
    (1)アルミニウムを添加してpH酸性領域で該リン酸
    をAlPO4 として固定する第1の工程と、(2)該第1の
    工程の後、カルシウムを添加して該フッ素をCaF2として
    固定する第2の工程とを含むことを特徴とするリン酸及
    びフッ素含有廃水の処理方法。
  2. 【請求項2】 第2の工程において、カルシウムを添加
    してフッ素をCaF2として固定した後、AlPO4 とCaF2を固
    液分離する請求項1記載のリン酸及びフッ素含有廃水の
    処理方法。
  3. 【請求項3】 第1の工程において、リン酸に対し過剰
    量のアルミニウムを添加してpH酸性領域で該リン酸を
    AlPO4 として固定した後、pH中性領域に調整すること
    によってリン酸と反応しなかった余剰のアルミニウムを
    Al(OH)3 とし、該Al(OH)3 を凝集助剤として該AlPO4
    ともに凝集沈澱させ、該AlPO4 と該Al(OH)3 を固液分離
    し、 第2の工程において、カルシウムを添加してフッ素をCa
    F2として固定した後、該CaF2を固液分離する請求項1記
    載のリン酸及びフッ素含有廃水の処理方法。
  4. 【請求項4】 第1の工程において、リン酸に対し過剰
    量のアルミニウムを添加してpH酸性領域で該リン酸を
    AlPO4 として固定し、 第2の工程において、カルシウムを添加してフッ素をCa
    F2として固定した後、pH中性領域に調整することによ
    って該リン酸と反応しなかった余剰のアルミニウムをAl
    (OH)3 とし、該Al(OH)3 を凝集助剤として該AlPO4 と該
    CaF2とともに凝集沈澱させ、該AlPO4 と該CaF2と該Al(O
    H)3 を固液分離する請求項1記載のリン酸及びフッ素含
    有廃水の処理方法。
  5. 【請求項5】 AlPO4 とCaF2を固液分離した後、アルミ
    ニウムを添加しpH中性領域に調整してAl(OH)3 とし、
    該Al(OH)3 にフッ素を吸着させる高度処理工程と、 該高度処理工程で発生したAl(OH)3 を前記第1の工程の
    AlPO4 生成反応のアルミニウム源として再利用するため
    に、該Al(OH)3 を含む汚泥をリン酸及びフッ素含有廃水
    に返送する工程とを更に含む請求項2記載のリン酸及び
    フッ素含有廃水の処理方法。
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CN105293744B (zh) * 2014-05-27 2017-11-03 中国石油化工股份有限公司 一种含氟含磷废水的处理方法
CN104944501B (zh) * 2015-05-26 2017-05-31 北京科技大学 一种耦合吸附处理高含氟地下水的方法
CN115340204B (zh) * 2022-06-28 2023-11-17 江苏中电创新环境科技有限公司 一种基于流化床的连续生产型除氟系统

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