JP2839607B2 - 内燃機関の燃焼室内で圧力を検出するためのプレツシヤセンサ - Google Patents
内燃機関の燃焼室内で圧力を検出するためのプレツシヤセンサInfo
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- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 title claims description 20
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims description 10
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 9
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 7
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 5
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 230000036316 preload Effects 0.000 claims description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 32
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 29
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 28
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 229910021489 α-quartz Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910001235 nimonic Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G01L23/08—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically
- G01L23/10—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid operated electrically by pressure-sensitive members of the piezoelectric type
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- G01—MEASURING; TESTING
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- G01L23/00—Devices or apparatus for measuring or indicating or recording rapid changes, such as oscillations, in the pressure of steam, gas, or liquid; Indicators for determining work or energy of steam, internal-combustion, or other fluid-pressure engines from the condition of the working fluid
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- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/008—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using piezoelectric devices
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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Description
【発明の詳細な説明】 背景技術 本発明は請求項1の上位概念に記載のプレッシャセン
サから出発する。このような形式の公知のプレッシャセ
ンサでは、単数または複数の石英の圧電特性を利用し
て、内燃機関の燃焼室内での時間的圧力経過が前記石英
への力作用を介して測定される。この力を伝達する要素
は著しい機械的プレロードをかけられて石英に押圧され
る。しかし、この公知のプレッシャセンサは大きな動的
温度誤差を有していて、比較的迅速に汚れてしまう。さ
らに、純機械的な摩擦接続に基づき、著しいシグナルノ
イズが生ぜしめられる。この公知のプレッシャセンサは
温度変動と充分に無関係でない。動的温度誤差は、燃焼
室に対する表面近傍範囲における周期的な温度変化に基
づき、機関サイクルで石英に加えられる付加的な力によ
って生ぜしめられる。
サから出発する。このような形式の公知のプレッシャセ
ンサでは、単数または複数の石英の圧電特性を利用し
て、内燃機関の燃焼室内での時間的圧力経過が前記石英
への力作用を介して測定される。この力を伝達する要素
は著しい機械的プレロードをかけられて石英に押圧され
る。しかし、この公知のプレッシャセンサは大きな動的
温度誤差を有していて、比較的迅速に汚れてしまう。さ
らに、純機械的な摩擦接続に基づき、著しいシグナルノ
イズが生ぜしめられる。この公知のプレッシャセンサは
温度変動と充分に無関係でない。動的温度誤差は、燃焼
室に対する表面近傍範囲における周期的な温度変化に基
づき、機関サイクルで石英に加えられる付加的な力によ
って生ぜしめられる。
ダイアフラムとケーシングの周縁部とによって形成さ
れるプレッシャセンサの端面に作用する力のうち、一部
は直接にケーシングによって受け止められ、残りの部分
は間接的にプランジャと石英の対応受けとを介して、や
はりケーシングによって受け止められる。この場合、石
英に作用する力Kは次の関係式に基づいて得られる: K=力 p=圧力 Aeff=有効面積 cM=ダイアフラムリングのばね定数 CS,Q=プランジャおよび石英のばね定数 したがって、石英に作用する力Kは主として圧力/力
変換の有効面積Aeffによって規定される。この場合にダ
イアフラムリングは、ケーシング縁部に緊締されてプラ
ンジャ短縮による負荷の際に弾性的に変形させられるば
ねのように把持されていなければならない。これによ
り、p・Aeffによって限定された力成分のうち、ダイア
フラムリングによる二次的な力伝達経路に基づき一部は
再び直接にケーシングによって受け止めらる。前記力成
分はダイアフラムリングのばね定数cMとプランジャおよ
び石英のばね定数cS,Qとの比に関連している。測定さ
れた力Kと圧力pとの間の明瞭な関係を得るためには、
有効面積Aeffおよびばね定数cMもしくはcS,Qが圧力お
よび温度と十分に無関連でなければならない。ばね定数
cMが十分に小さいと、このような関連性は不都合に作用
しなくなる。
れるプレッシャセンサの端面に作用する力のうち、一部
は直接にケーシングによって受け止められ、残りの部分
は間接的にプランジャと石英の対応受けとを介して、や
はりケーシングによって受け止められる。この場合、石
英に作用する力Kは次の関係式に基づいて得られる: K=力 p=圧力 Aeff=有効面積 cM=ダイアフラムリングのばね定数 CS,Q=プランジャおよび石英のばね定数 したがって、石英に作用する力Kは主として圧力/力
変換の有効面積Aeffによって規定される。この場合にダ
イアフラムリングは、ケーシング縁部に緊締されてプラ
ンジャ短縮による負荷の際に弾性的に変形させられるば
ねのように把持されていなければならない。これによ
り、p・Aeffによって限定された力成分のうち、ダイア
フラムリングによる二次的な力伝達経路に基づき一部は
再び直接にケーシングによって受け止めらる。前記力成
分はダイアフラムリングのばね定数cMとプランジャおよ
び石英のばね定数cS,Qとの比に関連している。測定さ
れた力Kと圧力pとの間の明瞭な関係を得るためには、
有効面積Aeffおよびばね定数cMもしくはcS,Qが圧力お
よび温度と十分に無関連でなければならない。ばね定数
cMが十分に小さいと、このような関連性は不都合に作用
しなくなる。
しかし、ダイアフラムのばね定数cMの許容最大値は、
動的温度誤差を抑えるという要求によってさらに小さく
なる。このためには、ばね定数cMができるだけ小さくな
ければならない。すなわち、ダイアフラムリングができ
るだけ薄くなければならない。このような要求は公知の
プレッシャセンサでは満たされていない。
動的温度誤差を抑えるという要求によってさらに小さく
なる。このためには、ばね定数cMができるだけ小さくな
ければならない。すなわち、ダイアフラムリングができ
るだけ薄くなければならない。このような要求は公知の
プレッシャセンサでは満たされていない。
発明の利点 請求項1の特徴部に記載した本発明によるプレッシャ
センサには、従来のものに比べて次のような利点があ
る。すなわち、検出された力信号が圧力変動および温度
変動とはほとんど無関係である。
センサには、従来のものに比べて次のような利点があ
る。すなわち、検出された力信号が圧力変動および温度
変動とはほとんど無関係である。
ダイアフラムリングの記載した厚さに基づき、このダ
イアフラムリングは小さくて測定時に十分に一定となる
所要のばね定数cMを有している。これによって、公知の
プレッシャセンサに比べて動的温度誤差を著しく小さく
することができる。
イアフラムリングは小さくて測定時に十分に一定となる
所要のばね定数cMを有している。これによって、公知の
プレッシャセンサに比べて動的温度誤差を著しく小さく
することができる。
使用された結合形式、つまり溶接と接着とによって著
しい機械的プレロードが無くなるので、測定を誤める付
加的な妨害可能性、特に温度によるプレロード変化に基
づく妨害可能性は生じない。さらに、接着と溶接とによ
って得られるスペース収益はプレッシャセンサの、より
小さな直径を可能にし、このような直径は点火プラグの
ハウジングへの組込みを可能にする。上記の力の流れに
位置する部分にかかる加工手間は減少する。測定信号と
ベースノイズとの間の比は改善される。
しい機械的プレロードが無くなるので、測定を誤める付
加的な妨害可能性、特に温度によるプレロード変化に基
づく妨害可能性は生じない。さらに、接着と溶接とによ
って得られるスペース収益はプレッシャセンサの、より
小さな直径を可能にし、このような直径は点火プラグの
ハウジングへの組込みを可能にする。上記の力の流れに
位置する部分にかかる加工手間は減少する。測定信号と
ベースノイズとの間の比は改善される。
溶接されたキャップ形ダイアフラムが使用されると、
外径を比較的小さくして、構造を単純にすることができ
る。さらに、比較的大きな有効面積Aeff、ひいてはプレ
ッシャセンサの比較的大きな感度が達成される。キャッ
プ形ダイアフラムは後処理によるケーシングと内部構造
との間の長さ補償を不要にする。キャップ形ダイアフラ
ムはキャップ縁部によってセンタリングされる。機械的
に固くてガス密でなければならない縁溶接部はもやはダ
イアフラムリングの制限部を形成しない。
外径を比較的小さくして、構造を単純にすることができ
る。さらに、比較的大きな有効面積Aeff、ひいてはプレ
ッシャセンサの比較的大きな感度が達成される。キャッ
プ形ダイアフラムは後処理によるケーシングと内部構造
との間の長さ補償を不要にする。キャップ形ダイアフラ
ムはキャップ縁部によってセンタリングされる。機械的
に固くてガス密でなければならない縁溶接部はもやはダ
イアフラムリングの制限部を形成しない。
熱抵抗に関するプレッシャセンサの構造は燃焼室側を
セルフクリーニング温度にまで到達させ、このようなセ
レフクリーニング温度は連続使用を可能にする。この場
合に石英の温度は150℃よりも上に上昇しないので、圧
電率、ひいては感圧性に関して著しく温度に依存した範
囲は回避される。付加的な水冷却は不要である。
セルフクリーニング温度にまで到達させ、このようなセ
レフクリーニング温度は連続使用を可能にする。この場
合に石英の温度は150℃よりも上に上昇しないので、圧
電率、ひいては感圧性に関して著しく温度に依存した範
囲は回避される。付加的な水冷却は不要である。
相応するプランジャジオメトリおよび石英ジオメトリ
において、これによって生じるプレッシャセンサの、よ
り低い感圧性と、プランジャのより低い固有周波数と、
より高い加速感度とが許容範囲にあると、石英温度を高
めることなくプランジャと石英との間の熱導出フィルム
を無くして構造を単純にすることができる。これによ
り、プランジャ用のねじ込まれるべき対応受けをも無く
すことができる。
において、これによって生じるプレッシャセンサの、よ
り低い感圧性と、プランジャのより低い固有周波数と、
より高い加速感度とが許容範囲にあると、石英温度を高
めることなくプランジャと石英との間の熱導出フィルム
を無くして構造を単純にすることができる。これによ
り、プランジャ用のねじ込まれるべき対応受けをも無く
すことができる。
プレッシャセンサは固有のケーシングを備えた独立の
ユニットとして製造されて、既にプラグ碍子の組込み前
に点火プラグのハウジングに挿入され得る。このユニッ
トは前方円錐形のねじを用いて簡単に座部に押圧され得
る。
ユニットとして製造されて、既にプラグ碍子の組込み前
に点火プラグのハウジングに挿入され得る。このユニッ
トは前方円錐形のねじを用いて簡単に座部に押圧され得
る。
横断面正方形のセンサブロックの使用によってボンデ
ィングワイヤのためのスペースが得られ、このボンディ
ングワイヤを介して測定電圧を石英から取り出すことが
できる。既に導電性接着剤を用いて接着された比較的大
きな石英/電極板ユニットをソーイングすることによっ
て小さなセンサブロックを製造することは、僅か0.2mm
の厚さの石英板の端面における個別接着時に導電性接着
剤の流出に基づいて生じる絶縁問題を回避して、前記板
の接着を著しく楽にする。
ィングワイヤのためのスペースが得られ、このボンディ
ングワイヤを介して測定電圧を石英から取り出すことが
できる。既に導電性接着剤を用いて接着された比較的大
きな石英/電極板ユニットをソーイングすることによっ
て小さなセンサブロックを製造することは、僅か0.2mm
の厚さの石英板の端面における個別接着時に導電性接着
剤の流出に基づいて生じる絶縁問題を回避して、前記板
の接着を著しく楽にする。
請求項2以下に記載した手段により、請求項1に記載
したプレッシャセンサの有利な改良が可能となる。
したプレッシャセンサの有利な改良が可能となる。
図面 図面には本発明の実施例が示されており、以下にこれ
を詳しく説明する。第1図はプレッシャセンサの断面図
を示しており、第2図は組込まれたプレッシャセンサを
有する点火プラグのハウジングの断面図を示しており、
第3図は第2図の詳細図を示しており、第4図はキャッ
プ形ダイアフラムの断面図を示している。
を詳しく説明する。第1図はプレッシャセンサの断面図
を示しており、第2図は組込まれたプレッシャセンサを
有する点火プラグのハウジングの断面図を示しており、
第3図は第2図の詳細図を示しており、第4図はキャッ
プ形ダイアフラムの断面図を示している。
実施例の説明 第1図には、内燃機関の燃焼室内の圧力を検出するた
めのプレッシャセンサ11のケーシングが符号10で示され
ている。このケーシングは数回段付けされた中心の貫通
孔12を有している。燃焼室に向いた開口13はエッチング
されたダイアフラム14によって閉鎖される。貫通孔12が
開口13の範囲で円錐状に構成されているので、ダイアフ
ラム14の曲げ範囲は自由に曲がることができる。ダイア
フラム14の外側リングはケーシングの端面に溶接されて
いる。外側リングと等しい厚さを有するダイアフラム14
の中央範囲には、プランジャ16の一方の端部が溶接され
ており、このプランジャの他方の端部は熱伝導フィルム
17と接着されている。プランジャ16は貫通孔12内に案内
されている。センサブロック18は2つの石英板19,20と
から成っていて、両石英板の間には、中間電極21が導出
電極として接着されている。センサブロック18は熱伝導
フィルム17と対応受け23との間に接着されており、この
対応受けは熱伝導フィルム17をケーシング10の肩部に押
圧している。石英の範囲における全ての接着は耐高熱性
の導電性接着剤、たとえば銀粉を有するエポキシ樹脂を
用いて実施される。対応受け23は押圧スリーブ24と、貫
通孔12にねじ込まれた閉鎖ねじ25とによって前記貫通孔
12に固定される。さらに、対応受け23は貫通孔12に対し
てほぼ軸平行に延びる貫通孔27を有しており、この貫通
孔においてセラミック管28内を中間電極21の導出導線29
が案内される。この導出導線29はトランジスタ30を通じ
ているか、もしくは直接に、遮蔽された導出ケーブル31
に通じている。この導出ケーブル31は閉鎖ねじ25に設け
られた孔32に突入した押圧スリーブ24の短管33内に固定
されている。測定値は前記導出ケーブル31を介して評価
回路(図示しない)と内燃機関の制御装置とに伝送され
る。
めのプレッシャセンサ11のケーシングが符号10で示され
ている。このケーシングは数回段付けされた中心の貫通
孔12を有している。燃焼室に向いた開口13はエッチング
されたダイアフラム14によって閉鎖される。貫通孔12が
開口13の範囲で円錐状に構成されているので、ダイアフ
ラム14の曲げ範囲は自由に曲がることができる。ダイア
フラム14の外側リングはケーシングの端面に溶接されて
いる。外側リングと等しい厚さを有するダイアフラム14
の中央範囲には、プランジャ16の一方の端部が溶接され
ており、このプランジャの他方の端部は熱伝導フィルム
17と接着されている。プランジャ16は貫通孔12内に案内
されている。センサブロック18は2つの石英板19,20と
から成っていて、両石英板の間には、中間電極21が導出
電極として接着されている。センサブロック18は熱伝導
フィルム17と対応受け23との間に接着されており、この
対応受けは熱伝導フィルム17をケーシング10の肩部に押
圧している。石英の範囲における全ての接着は耐高熱性
の導電性接着剤、たとえば銀粉を有するエポキシ樹脂を
用いて実施される。対応受け23は押圧スリーブ24と、貫
通孔12にねじ込まれた閉鎖ねじ25とによって前記貫通孔
12に固定される。さらに、対応受け23は貫通孔12に対し
てほぼ軸平行に延びる貫通孔27を有しており、この貫通
孔においてセラミック管28内を中間電極21の導出導線29
が案内される。この導出導線29はトランジスタ30を通じ
ているか、もしくは直接に、遮蔽された導出ケーブル31
に通じている。この導出ケーブル31は閉鎖ねじ25に設け
られた孔32に突入した押圧スリーブ24の短管33内に固定
されている。測定値は前記導出ケーブル31を介して評価
回路(図示しない)と内燃機関の制御装置とに伝送され
る。
プレッシャセンサの機能は一般に知られているので、
ここでは詳しく説明しない。ダイアフラム14とプランジ
ャ16とを介してセンサブロック18に作用する力は、分極
化によって生ぜしめられた石英板19,20の表面電荷を発
生させる。表面電荷によって生ぜしめられた電圧は測定
信号として中間電極21と導出導線29とを介して取り出さ
れる。
ここでは詳しく説明しない。ダイアフラム14とプランジ
ャ16とを介してセンサブロック18に作用する力は、分極
化によって生ぜしめられた石英板19,20の表面電荷を発
生させる。表面電荷によって生ぜしめられた電圧は測定
信号として中間電極21と導出導線29とを介して取り出さ
れる。
熱伝導フィルム17は、燃焼室側で約600℃の範囲の高
い温度にもかかわらずプレッシャセンサ表面の十分なセ
ルフクリーニングを得るために、センサブロック18の温
度が最大150℃になることに寄与している。しかし、こ
のためには主としてプランジャ16の高い熱抵抗が役立っ
ており、この熱抵抗は使用された材料(V4A)の僅かな
熱伝導率とプランジャジオメトリとによって生ぜしめら
れる。150℃の限界値は、圧電率d11の温度関連性に基づ
いて得られ、使用されたα−石英の場合、圧電率の値は
150℃を越えると急激に低下する。圧電率d11はα−石英
の結晶特性に基づいている。α−石英は面垂線を仮想配
置した場合に力方向であるα−石英の結晶x−方向に対
して平行に、力によって形成された電荷の量を規定す
る。
い温度にもかかわらずプレッシャセンサ表面の十分なセ
ルフクリーニングを得るために、センサブロック18の温
度が最大150℃になることに寄与している。しかし、こ
のためには主としてプランジャ16の高い熱抵抗が役立っ
ており、この熱抵抗は使用された材料(V4A)の僅かな
熱伝導率とプランジャジオメトリとによって生ぜしめら
れる。150℃の限界値は、圧電率d11の温度関連性に基づ
いて得られ、使用されたα−石英の場合、圧電率の値は
150℃を越えると急激に低下する。圧電率d11はα−石英
の結晶特性に基づいている。α−石英は面垂線を仮想配
置した場合に力方向であるα−石英の結晶x−方向に対
して平行に、力によって形成された電荷の量を規定す
る。
ダイアフラム14はエッチングされた環状の凹部をもっ
て製造されている。これによって可能な、圧力とはでき
るだけ無関係で規定し易い圧力−力変換のための有効面
積Aeffを得るためには、ケーシング10の端面に固定され
ているダイアフラム14の厚い外リングの溶接部と、プラ
ンジャ16に接着しているダイアフラム14の中央範囲の溶
接部とができるだけ前記凹部の縁部に密接するように案
内されている。
て製造されている。これによって可能な、圧力とはでき
るだけ無関係で規定し易い圧力−力変換のための有効面
積Aeffを得るためには、ケーシング10の端面に固定され
ているダイアフラム14の厚い外リングの溶接部と、プラ
ンジャ16に接着しているダイアフラム14の中央範囲の溶
接部とができるだけ前記凹部の縁部に密接するように案
内されている。
ダイアフラム14としては、たとえば250μmの厚さの
ニモニック(Nimonic)90−フィルムを使用することが
でき、このフィルムに1mmの幅の環状の凹部がエッチン
グされている。これによって生じたダイアフラムリング
はダイアフラム14の曲げ範囲として60〜80μmの厚さを
有している。このダイアフラムリングは所望の小さなば
ね定数cMを有している。この場合にばね定数cMに影響を
与えることなく、ダイアフラム14をあまり敏感でない厚
い範囲で溶接することができる。石英板に対する最小の
プレロードを得るためには、溶接前にケーシング端部と
プランジャ端部とが後処理において、同一平面に位置す
るように研削される。
ニモニック(Nimonic)90−フィルムを使用することが
でき、このフィルムに1mmの幅の環状の凹部がエッチン
グされている。これによって生じたダイアフラムリング
はダイアフラム14の曲げ範囲として60〜80μmの厚さを
有している。このダイアフラムリングは所望の小さなば
ね定数cMを有している。この場合にばね定数cMに影響を
与えることなく、ダイアフラム14をあまり敏感でない厚
い範囲で溶接することができる。石英板に対する最小の
プレロードを得るためには、溶接前にケーシング端部と
プランジャ端部とが後処理において、同一平面に位置す
るように研削される。
ダイアフラムの厚さは、製作条件から可能である限り
小さく設定される(検査圧力300バール)。したがっ
て、ダイアフラムリングのばね定数cMは極めて小さく、
この場合、周期的な温度変化を起因とする石英への力作
用、つまりばね定数cMもしくはダイアフラム厚さの3乗
に比例して大きさが増大する力作用は同じくできるだけ
小さくなる。これにより動的温度誤差は最小限に抑えら
れる。ダイアフラムからプランジャと石英と中間層と対
応受けとを介してケーシングにまで通じる力伝達経路の
形成において機械的プレロードを溶接および接着に代え
ることは、既に述べたような利点を有する。
小さく設定される(検査圧力300バール)。したがっ
て、ダイアフラムリングのばね定数cMは極めて小さく、
この場合、周期的な温度変化を起因とする石英への力作
用、つまりばね定数cMもしくはダイアフラム厚さの3乗
に比例して大きさが増大する力作用は同じくできるだけ
小さくなる。これにより動的温度誤差は最小限に抑えら
れる。ダイアフラムからプランジャと石英と中間層と対
応受けとを介してケーシングにまで通じる力伝達経路の
形成において機械的プレロードを溶接および接着に代え
ることは、既に述べたような利点を有する。
第2図には、点火プラグ37のハウジング36に組み込ま
れた、固有のユニットとして製造されたプレッシャセン
サ11aが示されている。このために、点火プラグ37のプ
ラグ碍子に用いられる孔38は中心外に構成されている。
これによって生じる肉厚の部分39に構成された孔40に、
プレッシャセンサ11aが配置されている。第1図に示し
た実施例とは異なり、プレッシャセンサ11aは第4図に
詳しく図示したキャップ形ダイアフラム42として構成さ
れたダイアフラムを有している。プランジャ16aは第1
図に示したプランジャに比べて、より大きな長さと、よ
り小さな直径とを有している。これによってこのプラン
ジャ16aの熱抵抗は増大させられており、この場合、よ
り薄い石英板43,44と相まって熱伝導フィルムを不要に
することができる。センサブロック18aは導電性接着剤
を用いて、隣接したプランジャ16aおよび閉鎖ねじ50と
結合されている。センサブロック18aは第3図から詳し
く判るように2つの石英板43,44を有しており、両石英
板のx−軸は互いに逆の方向、つまり互いに逆方向の分
極化を有している。石英板43,44の間には中間電極45が
位置しており、さらに石英板43,44の上下には各1つの
カバープレート46が位置している。個々のプレート43〜
46は導電性接着剤を用いて互いに接着されている。接着
は、より大きなプレートで既に実施される。接着された
大きなプレートユニットは硬化後に、たとえば正方形の
小さなセンサブロック(1.8×1.8mm2)にソーイングさ
れる。これにより、電極を接触接続する目的で半導体技
術のボンディング法を用いるために充分なスペースが生
じるので、接触接続のための所要スペースが下側のプラ
ンジャ直径を越えて突出することはない。カバープレー
ト46に用いられる材料としては、鉄またはボンディング
特性を有する別の材料を使用することができる。ボンデ
ィングワイヤ47を用いて中間電極が導出導線29aと接続
されていて、第2のボンディングワイヤ48を用いて両カ
バープレート46が互いに接続されている。
れた、固有のユニットとして製造されたプレッシャセン
サ11aが示されている。このために、点火プラグ37のプ
ラグ碍子に用いられる孔38は中心外に構成されている。
これによって生じる肉厚の部分39に構成された孔40に、
プレッシャセンサ11aが配置されている。第1図に示し
た実施例とは異なり、プレッシャセンサ11aは第4図に
詳しく図示したキャップ形ダイアフラム42として構成さ
れたダイアフラムを有している。プランジャ16aは第1
図に示したプランジャに比べて、より大きな長さと、よ
り小さな直径とを有している。これによってこのプラン
ジャ16aの熱抵抗は増大させられており、この場合、よ
り薄い石英板43,44と相まって熱伝導フィルムを不要に
することができる。センサブロック18aは導電性接着剤
を用いて、隣接したプランジャ16aおよび閉鎖ねじ50と
結合されている。センサブロック18aは第3図から詳し
く判るように2つの石英板43,44を有しており、両石英
板のx−軸は互いに逆の方向、つまり互いに逆方向の分
極化を有している。石英板43,44の間には中間電極45が
位置しており、さらに石英板43,44の上下には各1つの
カバープレート46が位置している。個々のプレート43〜
46は導電性接着剤を用いて互いに接着されている。接着
は、より大きなプレートで既に実施される。接着された
大きなプレートユニットは硬化後に、たとえば正方形の
小さなセンサブロック(1.8×1.8mm2)にソーイングさ
れる。これにより、電極を接触接続する目的で半導体技
術のボンディング法を用いるために充分なスペースが生
じるので、接触接続のための所要スペースが下側のプラ
ンジャ直径を越えて突出することはない。カバープレー
ト46に用いられる材料としては、鉄またはボンディング
特性を有する別の材料を使用することができる。ボンデ
ィングワイヤ47を用いて中間電極が導出導線29aと接続
されていて、第2のボンディングワイヤ48を用いて両カ
バープレート46が互いに接続されている。
導出導線29aは絶縁性の合成樹脂を充てんされた閉鎖
ねじ50の側方孔52に固定されている。点火プラグのハウ
ジング36の他方の平面(図示しない)にしっかりと、か
つ交換可能に組み付けられた接続ケーブルとの接続部は
たとえば接触ねじ53を用いて形成され、この接触ねじは
接続ワイヤ54を導出導線29aの端部に押し付けている。
閉鎖ねじ50、ひいてはプレッシャセンサ11aのケーシン
グ10aは側方から挿入された前方円錐形のねじ51によっ
て孔40の周壁に押圧されて、点火プラグ37のハウジング
36に固定される。ケーシング10aと孔40との嵌合はでき
るだけ遊びなしに形成されると望ましい。点火プラグ37
のハウジング36への規定の熱伝達を得るためには、プレ
ッシャセンサ11aの挿入前に、ねじ51によって生じた座
着部の範囲にシリコーングリースが塗布されると望まし
い。
ねじ50の側方孔52に固定されている。点火プラグのハウ
ジング36の他方の平面(図示しない)にしっかりと、か
つ交換可能に組み付けられた接続ケーブルとの接続部は
たとえば接触ねじ53を用いて形成され、この接触ねじは
接続ワイヤ54を導出導線29aの端部に押し付けている。
閉鎖ねじ50、ひいてはプレッシャセンサ11aのケーシン
グ10aは側方から挿入された前方円錐形のねじ51によっ
て孔40の周壁に押圧されて、点火プラグ37のハウジング
36に固定される。ケーシング10aと孔40との嵌合はでき
るだけ遊びなしに形成されると望ましい。点火プラグ37
のハウジング36への規定の熱伝達を得るためには、プレ
ッシャセンサ11aの挿入前に、ねじ51によって生じた座
着部の範囲にシリコーングリースが塗布されると望まし
い。
第4図には、キャップ形ダイアフラム42が詳しく図示
されている。このキャップ形ダイアフラムはポット状に
構成されていて、第80μmの厚さのダイアフラムとして
働く底部55と、より肉厚の、たとえば200μmの厚さの
円筒状の縁部56とを有している。これにより底部55、つ
まりダイアフラムの厚さは簡単に極めて薄く形成するこ
とができ、固定のためには、より肉厚の縁部56が可能に
なる。この縁部56だけがケーシング10aに溶接されてい
る。有効面積Aeffは同じままで、燃焼室に面したケーシ
ング10aの端部における直径を第1図に示した構成に比
べて小さくすることができる。さらに、キャップ形ダイ
アフラム42は自動的にセンタリングされている。キャッ
プ形ダイアフラム42の底部55には、プランジャ16aが溶
接されている。このためには、レーザ溶接が特に適して
いる。キャップ形ダイアフラム42は受圧範囲全体にわた
って均一の感圧性を有していて、温度変化の際に僅かな
測定誤差しか有していない。
されている。このキャップ形ダイアフラムはポット状に
構成されていて、第80μmの厚さのダイアフラムとして
働く底部55と、より肉厚の、たとえば200μmの厚さの
円筒状の縁部56とを有している。これにより底部55、つ
まりダイアフラムの厚さは簡単に極めて薄く形成するこ
とができ、固定のためには、より肉厚の縁部56が可能に
なる。この縁部56だけがケーシング10aに溶接されてい
る。有効面積Aeffは同じままで、燃焼室に面したケーシ
ング10aの端部における直径を第1図に示した構成に比
べて小さくすることができる。さらに、キャップ形ダイ
アフラム42は自動的にセンタリングされている。キャッ
プ形ダイアフラム42の底部55には、プランジャ16aが溶
接されている。このためには、レーザ溶接が特に適して
いる。キャップ形ダイアフラム42は受圧範囲全体にわた
って均一の感圧性を有していて、温度変化の際に僅かな
測定誤差しか有していない。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ハーミツシユ,ハンスヨアヒム ドイツ連邦共和国 D‐1000 ベルリン 19 シユテンデルヴエーク 49 (72)発明者 モーゼル,ヴインフリート ドイツ連邦共和国 D‐7140 ルードヴ イツヒスブルク グルントヴアインベル ゲ 14 (56)参考文献 特開 昭62−140038(JP,A) 特開 昭57−142536(JP,A) 実開 昭61−108947(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01L 23/10 G01L 9/08
Claims (10)
- 【請求項1】内燃機関、特に自動車の燃焼室内で圧力を
検出するためのプレッシャセンサ(11)であって、燃焼
室に面した開口(13)を備えたケーシング(10)と、前
記開口(13)を閉鎖するダイアフラム(14)と、該ダイ
アフラム(14)に結合されかつケーシング(10)内に配
置されたプランジャ(16)と、該プランジャ(16)の他
方の端部に結合されかつケーシング(10)内に配置され
た、圧電効果を有する少なくとも1つの結晶体(19,2
0)とが設けられており、該結晶体にダイアフラム(1
4)とプランジャ(16)とを介して燃焼室内の圧力が導
入されるようになっており、さらに結晶体(19,20)
の、前記ダイアフラム(14)とは反対の側の端部に結合
された対応受け(23)が設けられている形式のものにお
いて、ダイアフラム(14)が曲げ範囲で60〜100μmの
厚さを有しており、圧電効果を有する少なくとも1つの
結晶体(19,20,43,44)への力伝達部が機械的プレロー
ドなしで材料接続によりすき間なく形成されており、前
記ダイアフラム(14)と前記ケーシング(10)との結合
形式が溶接結合であり、前記ダイアフラムとは反対の側
のプランジャ(16)の端部に続いた構成部分(19,20,2
1,23)の全ての制限面が接着結合により結合されている
ことを特徴とする、内燃機関の燃焼室内で圧力を検出す
るためのプレッシャセンサ。 - 【請求項2】ダイアフラム(14)の厚さが曲げ範囲にお
いて60〜80μmである、請求項1記載のプレッシャセン
サ。 - 【請求項3】ダイアフラム(14)とプランジャ(16)と
の結合形式が溶接結合である、請求項1または2記載の
プレッシャセンサ。 - 【請求項4】接着結合部が導電性接着剤を用いて形成さ
れる、請求項1から3までのいずれか1項記載のプレッ
シャセンサ。 - 【請求項5】溶接結合部がレーザ溶接によって形成され
る、請求項1から3までのいずれか1項記載のプレッシ
ャセンサ。 - 【請求項6】ダイアフラムがキャップ形ダイアフラム
(42)として構成されている、請求項1から5までのい
ずれか1項記載のプレッシャセンサ。 - 【請求項7】前記キャップ形ダイアフラム(42)が曲げ
範囲として働く底部(55)を有しており、該底部の厚さ
が縁部(56)の厚さよりも小さく形成されている、請求
項6記載のプレッシャセンサ。 - 【請求項8】結晶体(19,20)とプランジャ(16)との
間に熱伝導フィルム(17)が配置されている、請求項1
から7までのいずれか1項記載のプレッシャセンサ。 - 【請求項9】ダイアフラム(14)と結晶体(19,20)と
の間の熱抵抗ができるだけ高く設定されていて、燃焼室
側で前記ダイアフラム(14)の範囲に、前記燃焼室側の
セルフクリーニングのために十分な温度が生ぜしめら
れ、それに対して前記結晶体(19,20)の範囲における
温度が極めて低く設定されていて、温度に関連した圧電
率(d11)の低下が前記結晶体(19,20)の機能性にほと
んど影響を及ぼさないようになっている、請求項1から
8までのいずれか1項記載のプレッシャセンサ。 - 【請求項10】正方形のセンサブロック(18)が、両結
晶板(43,44)の間に中間電極(45)として配置された
鉄層と、外側に位置する2つの鉄層(46)とから成って
おり、前記中間電極(45)が第1のボンディングワイヤ
(47)によって導出ワイヤ(29)と接続されていて、外
側に位置する前記両鉄層(46)が第2のボンディングワ
イヤ(48)によって互いに接続されている、請求項1か
ら9までのいずれか1項記載のプレッシャセンサ。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE3811311.2 | 1988-04-02 | ||
DE3811311A DE3811311C1 (ja) | 1988-04-02 | 1988-04-02 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03503565A JPH03503565A (ja) | 1991-08-08 |
JP2839607B2 true JP2839607B2 (ja) | 1998-12-16 |
Family
ID=6351353
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1502053A Expired - Fee Related JP2839607B2 (ja) | 1988-04-02 | 1989-02-15 | 内燃機関の燃焼室内で圧力を検出するためのプレツシヤセンサ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5095741A (ja) |
EP (1) | EP0407397B1 (ja) |
JP (1) | JP2839607B2 (ja) |
DE (2) | DE3811311C1 (ja) |
WO (1) | WO1989009384A1 (ja) |
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---|---|---|---|---|
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DE4103706A1 (de) * | 1990-07-18 | 1992-01-30 | Bosch Gmbh Robert | Druckgeber zur druckerfassung im brennraum von brennkraftmaschinen |
DE4103705A1 (de) * | 1990-07-18 | 1992-01-23 | Bosch Gmbh Robert | Druckgeber zur druckerfassung im brennraum von brennkraftmaschinen |
DE4022782A1 (de) * | 1990-07-18 | 1992-01-23 | Bosch Gmbh Robert | Druckgeber zur druckerfassung im brennraum von brennkraftmaschinen |
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-
1988
- 1988-04-02 DE DE3811311A patent/DE3811311C1/de not_active Expired
-
1989
- 1989-02-15 JP JP1502053A patent/JP2839607B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1989-02-15 WO PCT/DE1989/000086 patent/WO1989009384A1/de active IP Right Grant
- 1989-02-15 EP EP19890902228 patent/EP0407397B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-02-15 DE DE8989902228T patent/DE58900405D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1989-02-15 US US07/576,409 patent/US5095741A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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