JPH0530122Y2 - - Google Patents
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- JPH0530122Y2 JPH0530122Y2 JP1987132204U JP13220487U JPH0530122Y2 JP H0530122 Y2 JPH0530122 Y2 JP H0530122Y2 JP 1987132204 U JP1987132204 U JP 1987132204U JP 13220487 U JP13220487 U JP 13220487U JP H0530122 Y2 JPH0530122 Y2 JP H0530122Y2
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
-
- G—PHYSICS
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- G—PHYSICS
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-
- G—PHYSICS
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0051—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance
- G01L9/0052—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements
- G01L9/0055—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in ohmic resistance of piezoresistive elements bonded on a diaphragm
-
- G—PHYSICS
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- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
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Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案はセラミツクス製の圧力検出器に係り、
特にセラミツクス製のダイヤフラムの圧力に対応
する変形に基づいて出力される抵抗体の抵抗値変
化によつて圧力を検出するようにした圧力検出器
に関するものである。
特にセラミツクス製のダイヤフラムの圧力に対応
する変形に基づいて出力される抵抗体の抵抗値変
化によつて圧力を検出するようにした圧力検出器
に関するものである。
（従来の技術）
自動車等の内燃機関の燃焼室や油圧機構の圧力
測定装置として、抵抗器歪み計を使用した装置の
一つが、特公昭62−12458号公報に開示されてい
る。この装置は、圧力検出部であるダイヤフラム
部に厚膜抵抗回路を設けたセラミツクス圧力検出
素子を用いているところから、温度特性がよく、
また圧力ヒステリシスが小さいために、正確な圧
力の検出が可能となつている。
測定装置として、抵抗器歪み計を使用した装置の
一つが、特公昭62−12458号公報に開示されてい
る。この装置は、圧力検出部であるダイヤフラム
部に厚膜抵抗回路を設けたセラミツクス圧力検出
素子を用いているところから、温度特性がよく、
また圧力ヒステリシスが小さいために、正確な圧
力の検出が可能となつている。
一方、このような利点を有するセラミツクス圧
力検出素子を用いた圧力測定装置は、また、
SAEペーパーNo.860474（1986）にも開示されてい
る。第９図を参照して、その構成を説明すると、
セラミツクス圧力検出素子２は、抵抗体（図示せ
ず）を設けたダイヤフラム部２１とセラミツクス
カプセル１０とが封着ガラス層１１によつて結合
されている。また、セラミツクス圧力検出素子２
は、Ｏリング１５を介して、圧力導入孔１４を有
する下部ハウジング１３と上部ハウジング１２と
により相挟まれ、保持されている。
力検出素子を用いた圧力測定装置は、また、
SAEペーパーNo.860474（1986）にも開示されてい
る。第９図を参照して、その構成を説明すると、
セラミツクス圧力検出素子２は、抵抗体（図示せ
ず）を設けたダイヤフラム部２１とセラミツクス
カプセル１０とが封着ガラス層１１によつて結合
されている。また、セラミツクス圧力検出素子２
は、Ｏリング１５を介して、圧力導入孔１４を有
する下部ハウジング１３と上部ハウジング１２と
により相挟まれ、保持されている。
なお、下部ハウジング１３と上部ハウジング１
２とは、それらの外周部において、金属ハウジン
グ４によつて把持されている。また、セラミツク
スカプセル１０のダイヤフラム部２１側の面とは
反対側の面には、電子回路１６が設けられ、該電
子回路１６からの信号取出しおよびダイヤフラム
部２１の抵抗体への電力供給のためのリード線９
の一端が電子回路１６に取り付けられ、他端は上
部ハウジング１２を挿通して、外部へ延長されて
いる。
２とは、それらの外周部において、金属ハウジン
グ４によつて把持されている。また、セラミツク
スカプセル１０のダイヤフラム部２１側の面とは
反対側の面には、電子回路１６が設けられ、該電
子回路１６からの信号取出しおよびダイヤフラム
部２１の抵抗体への電力供給のためのリード線９
の一端が電子回路１６に取り付けられ、他端は上
部ハウジング１２を挿通して、外部へ延長されて
いる。
（考案が解決しようとする問題点）
しかしならが、かかる従来の圧力検出器にあつ
ては、セラミツクス圧力検出素子への電源負荷お
よび圧力検出素子からの信号取出しのための電気
的導体手段は、単にリード線をセラミツクス圧力
検出素子に直接取付けることにより行なわれてい
るので、自動車等の振動が加わる部位の圧力測定
に使用される場合には、振動により、断線或いは
リード線同志或いはリード線と他の金属部材、例
えば金属ハウジング等と短絡が生じ易い欠点があ
つた。
ては、セラミツクス圧力検出素子への電源負荷お
よび圧力検出素子からの信号取出しのための電気
的導体手段は、単にリード線をセラミツクス圧力
検出素子に直接取付けることにより行なわれてい
るので、自動車等の振動が加わる部位の圧力測定
に使用される場合には、振動により、断線或いは
リード線同志或いはリード線と他の金属部材、例
えば金属ハウジング等と短絡が生じ易い欠点があ
つた。
また、被測定流体の圧力は圧力導入孔を介して
ダイヤフラム部に伝達されるため、内燃機関の燃
焼ガスのように、煤が混在する流体の圧力検出の
場合には、かかる煤が圧力導入孔を塞いだり、検
出部に蓄積したり、また過渡的な圧力変化時に、
圧力導入孔の空間内において共鳴が発生し、ダイ
ヤフラムが該圧力に追随せず、その結果正確な圧
力値を検出できない欠点を有している。
ダイヤフラム部に伝達されるため、内燃機関の燃
焼ガスのように、煤が混在する流体の圧力検出の
場合には、かかる煤が圧力導入孔を塞いだり、検
出部に蓄積したり、また過渡的な圧力変化時に、
圧力導入孔の空間内において共鳴が発生し、ダイ
ヤフラムが該圧力に追随せず、その結果正確な圧
力値を検出できない欠点を有している。
そしてまた、圧力検出素子はハウジングに挟持
され、更に金属ハウジングによつて把持されてい
るため、内燃機関の燃焼室等の高温流体の圧力を
測定する場合には、セラミツクス圧力検出素子お
よびハウジング材との熱膨張差による応力発生が
認められ、上記従来構造では、それを解消する構
成になつていないところに、問題が内在していた
のである。
され、更に金属ハウジングによつて把持されてい
るため、内燃機関の燃焼室等の高温流体の圧力を
測定する場合には、セラミツクス圧力検出素子お
よびハウジング材との熱膨張差による応力発生が
認められ、上記従来構造では、それを解消する構
成になつていないところに、問題が内在していた
のである。
さらに、圧力の検出に際しては、被測定流体の
圧力による抵抗値変化をダイヤフラム部から外部
へ電圧変化或いは電流変化の信号として取り出す
ことが必要であるが、その取出手段は、ガラス層
を通じて行なうか、その他の手段を必要とする、
設計上の問題を残していた。
圧力による抵抗値変化をダイヤフラム部から外部
へ電圧変化或いは電流変化の信号として取り出す
ことが必要であるが、その取出手段は、ガラス層
を通じて行なうか、その他の手段を必要とする、
設計上の問題を残していた。
このように、セラミツクス圧力検出素子を、内
燃機関等の燃焼室等の圧力検出に応用する場合に
は、高温、圧力変化速度を考慮すると共に、過酷
な振動を考慮した圧力検出器の構造が必要とされ
ているのである。
燃機関等の燃焼室等の圧力検出に応用する場合に
は、高温、圧力変化速度を考慮すると共に、過酷
な振動を考慮した圧力検出器の構造が必要とされ
ているのである。
（問題点を解決するための手段）
ここにおいて、本考案は、かかる従来の圧力検
出器の問題点を解決するために為されたものであ
つて、その要旨とするところは、ブリツジ抵抗体
を有するダイヤフラム部を底部にして、その周縁
部に外周壁を設け、内側に空間を形成すると共
に、該外周壁の前記底部とは反対側の端面にそれ
ぞれ露呈するように、前記ブリツジ抵抗体から延
びる複数の導体路を、該外周壁に設けてなるセラ
ミツクス圧力検出素子と、該セラミツクス圧力検
出素子の前記導体路にそれぞれ電気的に接続せし
められる複数の導体手段が表面または内部に独立
して形成され、一端において該セラミツクス圧力
検出素子の外周壁の前記底部とは反対側の端面を
直接に若しくは間接的に押圧せしめることによ
り、該セラミツクス圧力検出素子の導体路に対す
る前記導体手段の直接的若しくは間接的な電気的
接続を実現する電気絶縁性の固定部材と、該セラ
ミツクス圧力検出素子および該固定部材を収容す
るハウジングと、前記固定部材の他端において該
固定部材を前記セラミツクス圧力検出素子方向に
押圧する押圧手段とを備えていることを特徴とす
る圧力検出器にある。
出器の問題点を解決するために為されたものであ
つて、その要旨とするところは、ブリツジ抵抗体
を有するダイヤフラム部を底部にして、その周縁
部に外周壁を設け、内側に空間を形成すると共
に、該外周壁の前記底部とは反対側の端面にそれ
ぞれ露呈するように、前記ブリツジ抵抗体から延
びる複数の導体路を、該外周壁に設けてなるセラ
ミツクス圧力検出素子と、該セラミツクス圧力検
出素子の前記導体路にそれぞれ電気的に接続せし
められる複数の導体手段が表面または内部に独立
して形成され、一端において該セラミツクス圧力
検出素子の外周壁の前記底部とは反対側の端面を
直接に若しくは間接的に押圧せしめることによ
り、該セラミツクス圧力検出素子の導体路に対す
る前記導体手段の直接的若しくは間接的な電気的
接続を実現する電気絶縁性の固定部材と、該セラ
ミツクス圧力検出素子および該固定部材を収容す
るハウジングと、前記固定部材の他端において該
固定部材を前記セラミツクス圧力検出素子方向に
押圧する押圧手段とを備えていることを特徴とす
る圧力検出器にある。
（作用）
このような本考案に従う圧力検出器にあつて
は、固定部材には、圧力検出素子に電気的に接続
する手段を設けてあるので、振動が負荷されても
断線等が発生せず、信頼性が向上することとなる
のである。
は、固定部材には、圧力検出素子に電気的に接続
する手段を設けてあるので、振動が負荷されても
断線等が発生せず、信頼性が向上することとなる
のである。
また、本考案の圧力検出器では、圧力検出素子
のダイヤフラム部が検出器の先端部に設けられ、
圧力導入孔を介せずに直接被測定流体に接するよ
うに構成されているので、被測定流体に煤等の固
形物が含有されていても正確な圧力検出が可能で
あり、しかも過渡的な圧力変化に対しても共鳴が
生じないので、圧力変化をダイヤフラム部が鋭敏
に捕らえ、測定誤差を有利に少なくなし得る利点
が達成される。
のダイヤフラム部が検出器の先端部に設けられ、
圧力導入孔を介せずに直接被測定流体に接するよ
うに構成されているので、被測定流体に煤等の固
形物が含有されていても正確な圧力検出が可能で
あり、しかも過渡的な圧力変化に対しても共鳴が
生じないので、圧力変化をダイヤフラム部が鋭敏
に捕らえ、測定誤差を有利に少なくなし得る利点
が達成される。
さらに、本考案の圧力検出器においては、ハウ
ジングと固定部材或いはセラミツクス圧力検出素
子との間に生ずる熱膨張差は、押圧手段によつて
セラミツクス圧力検出素子をハウジング内に固定
するように作用して緩衝され、被測定流体の圧力
に正確に対応することができるので、高温の流体
の圧力測定た達成出来る。
ジングと固定部材或いはセラミツクス圧力検出素
子との間に生ずる熱膨張差は、押圧手段によつて
セラミツクス圧力検出素子をハウジング内に固定
するように作用して緩衝され、被測定流体の圧力
に正確に対応することができるので、高温の流体
の圧力測定た達成出来る。
（実施例）
以下、本考案に従う圧力検出器の幾つかの実施
例を、図面に基づいて、詳細に説明することとす
る。
例を、図面に基づいて、詳細に説明することとす
る。
先ず、第１図に示される圧力検出器１は、内部
空所を有する有底状のセラミツクス圧力検出素子
２が金属ハウジング４の被測定流体側の開口部４
１に配置された構造となつている。
空所を有する有底状のセラミツクス圧力検出素子
２が金属ハウジング４の被測定流体側の開口部４
１に配置された構造となつている。
この圧力検出器１において、セラミツクス圧力
検出素子２は、第６図に示されるように、底部に
ダイヤフラム部２１が形成され、そしてその内底
面上にはブリツジ抵抗体２２が設けられ、また外
周壁２４内には該抵抗体２２に導通する複数の導
体路２３が設けられ、更に外周壁２４の端面２５
上には該導体路２３に接続する電極２６がそれぞ
れ独立して形成されている。このような構造のセ
ラミツクス圧力検出素子２は、公知のセラミツク
ス材料、例えばアルミナ、ジルコニア、ムライト
等の焼成済のセラミツクス板に白金、金、銀、パ
ラジウム等の導体及び抵抗材料を印刷したダイヤ
フラム層と焼成済の外周壁層をガラスなどで接着
して形成される。また、セラミツクス圧力検出素
子２としては、その他、セラミツクスグリーンシ
ートに白金、金、銀、パラジウム等の導体及び抵
抗材料を印刷したダイヤフラム層及びセラミツク
スグリーンシートを以て外周壁層とするグリーン
シートを積層後、一体焼成して得られるものがあ
り、特にこの一体焼成体が小型化、耐圧性の観点
から好適に用いられることとなる。
検出素子２は、第６図に示されるように、底部に
ダイヤフラム部２１が形成され、そしてその内底
面上にはブリツジ抵抗体２２が設けられ、また外
周壁２４内には該抵抗体２２に導通する複数の導
体路２３が設けられ、更に外周壁２４の端面２５
上には該導体路２３に接続する電極２６がそれぞ
れ独立して形成されている。このような構造のセ
ラミツクス圧力検出素子２は、公知のセラミツク
ス材料、例えばアルミナ、ジルコニア、ムライト
等の焼成済のセラミツクス板に白金、金、銀、パ
ラジウム等の導体及び抵抗材料を印刷したダイヤ
フラム層と焼成済の外周壁層をガラスなどで接着
して形成される。また、セラミツクス圧力検出素
子２としては、その他、セラミツクスグリーンシ
ートに白金、金、銀、パラジウム等の導体及び抵
抗材料を印刷したダイヤフラム層及びセラミツク
スグリーンシートを以て外周壁層とするグリーン
シートを積層後、一体焼成して得られるものがあ
り、特にこの一体焼成体が小型化、耐圧性の観点
から好適に用いられることとなる。
また、セラミツクス圧力検出素子２のダイヤフ
ラム部２１の外周部は、第１図に示されるよう
に、座金５１を介して金属ハウジング４の開口部
４１に押圧、固定されていることが好ましい。そ
して、かかるセラミツクス圧力検出素子２の端面
２５を押圧する固定部材３が、金属ハウジング４
に収容されている。
ラム部２１の外周部は、第１図に示されるよう
に、座金５１を介して金属ハウジング４の開口部
４１に押圧、固定されていることが好ましい。そ
して、かかるセラミツクス圧力検出素子２の端面
２５を押圧する固定部材３が、金属ハウジング４
に収容されている。
この固定部材３は、第２図に示されるように、
セラミツクス或いはガラス或いは金属の表面にガ
ラスまたはセラミツクスを被服した円柱状の電気
絶縁材の外周面上に複数の導体層３１が導体手段
としてそれぞれ独立して形成されており、更に該
導体層３１は、上端部及びその近傍部分と下端部
を除いて、絶縁層３２で被覆されている。この絶
縁層３２は、金属ハウジング４と導体層３１とが
短絡しないように形成される。また、導体層３１
は、ニツケル、タングステン、モリブデン、白金
等の電気良導体金属を用いて、厚膜手法により形
成される。なお、絶縁層３２としては、セラミツ
クス、ガラス、ポリイミド或いはシリコン等の耐
熱性樹脂を使用して、形成される。
セラミツクス或いはガラス或いは金属の表面にガ
ラスまたはセラミツクスを被服した円柱状の電気
絶縁材の外周面上に複数の導体層３１が導体手段
としてそれぞれ独立して形成されており、更に該
導体層３１は、上端部及びその近傍部分と下端部
を除いて、絶縁層３２で被覆されている。この絶
縁層３２は、金属ハウジング４と導体層３１とが
短絡しないように形成される。また、導体層３１
は、ニツケル、タングステン、モリブデン、白金
等の電気良導体金属を用いて、厚膜手法により形
成される。なお、絶縁層３２としては、セラミツ
クス、ガラス、ポリイミド或いはシリコン等の耐
熱性樹脂を使用して、形成される。
また、かかる固定部材３の下端部は、前記セラ
ミツクス圧力検出素子２の外周壁の上端面２５を
確実に押圧し、導体層３１と電極２６との電気的
導通を確実にするため、円筒状に構成されてい
る。なお、固定部材３の導体層３１とセラミツク
ス圧力検出素子２の電極２６との導通は、第２図
に示されるように、絶縁リング７の内周面にコの
字状の金属片７１を設けて、この金属片７１を介
して導通せしめると、一層確実になる。
ミツクス圧力検出素子２の外周壁の上端面２５を
確実に押圧し、導体層３１と電極２６との電気的
導通を確実にするため、円筒状に構成されてい
る。なお、固定部材３の導体層３１とセラミツク
ス圧力検出素子２の電極２６との導通は、第２図
に示されるように、絶縁リング７の内周面にコの
字状の金属片７１を設けて、この金属片７１を介
して導通せしめると、一層確実になる。
そして、金属ハウジング４は、前記したよう
に、開口部４１近傍においてセラミツクス圧力検
出素子２と固定部材３を収容するが、その外周形
状としては、第１図に示されるように、内燃機関
の燃焼室等に取り付けるために、燃焼室の外壁に
ネジ止めするためのネジ部４３及び六角形等の頭
部４４を有するボルト状とする構成が有利に採用
されることとなる。
に、開口部４１近傍においてセラミツクス圧力検
出素子２と固定部材３を収容するが、その外周形
状としては、第１図に示されるように、内燃機関
の燃焼室等に取り付けるために、燃焼室の外壁に
ネジ止めするためのネジ部４３及び六角形等の頭
部４４を有するボルト状とする構成が有利に採用
されることとなる。
そして、固定部材３の導体層３１の上端部に
は、金属端子７２の一端が弾性的に取り付けられ
る一方、他端には、リード線９が圧着され、また
該リード線９の端末には、図示されていないが、
セラミツクス圧力検出素子２への電源及び圧力信
号処理回路が接続されている。
は、金属端子７２の一端が弾性的に取り付けられ
る一方、他端には、リード線９が圧着され、また
該リード線９の端末には、図示されていないが、
セラミツクス圧力検出素子２への電源及び圧力信
号処理回路が接続されている。
また、前記金属端子７２及びリード９を収容、
固定すると共に、後で説明する固定部材を圧力検
出素子方向に押圧する押圧力を伝達するソケツト
８が、金属ハウジング４と固定部材３との間に挿
入されている。このソケツト８は、金属ハウジン
グ４と金属端子７２或いはリード線９との間を電
気絶縁する一方、押圧力を伝達するため、セラミ
ツクス、ガラス或いは硬質プラスチツク材にて構
成されている。また、第３図に示されるように、
該ソケツト８とリード線９との間には、先行技術
に記載されている信号制御用の電子回路１６を設
けてもよい。この場合、該電子回路を高温に晒さ
れるセラミツクス圧力検出素子から離れた位置に
設けることができるので、圧力検出流体の温度の
影響を受けない利点がある。
固定すると共に、後で説明する固定部材を圧力検
出素子方向に押圧する押圧力を伝達するソケツト
８が、金属ハウジング４と固定部材３との間に挿
入されている。このソケツト８は、金属ハウジン
グ４と金属端子７２或いはリード線９との間を電
気絶縁する一方、押圧力を伝達するため、セラミ
ツクス、ガラス或いは硬質プラスチツク材にて構
成されている。また、第３図に示されるように、
該ソケツト８とリード線９との間には、先行技術
に記載されている信号制御用の電子回路１６を設
けてもよい。この場合、該電子回路を高温に晒さ
れるセラミツクス圧力検出素子から離れた位置に
設けることができるので、圧力検出流体の温度の
影響を受けない利点がある。
さらに、該ソケツト８の上端には、前記リード
線９を囲繞する位置に、押圧手段としてのコイル
バネ５が設けられている。このコイルバネ５は、
金属ハウジング４の一端部でかしめられた肩部６
１を備えた金属ハウジングキヤツプ６内に収容さ
れており、該肩部６１でコイルバネ５の一端が保
持されている。一方、コイルバネ５の他端は、ソ
ケツト８で保持されており、これによつてコイル
バネ５の弾性押圧力は、ソケツト８および固定部
材３を経て、セラミツクス圧力検出素子２を金属
ハウジング４の開口部４１に押圧、固定するよう
に作用しているのである。
線９を囲繞する位置に、押圧手段としてのコイル
バネ５が設けられている。このコイルバネ５は、
金属ハウジング４の一端部でかしめられた肩部６
１を備えた金属ハウジングキヤツプ６内に収容さ
れており、該肩部６１でコイルバネ５の一端が保
持されている。一方、コイルバネ５の他端は、ソ
ケツト８で保持されており、これによつてコイル
バネ５の弾性押圧力は、ソケツト８および固定部
材３を経て、セラミツクス圧力検出素子２を金属
ハウジング４の開口部４１に押圧、固定するよう
に作用しているのである。
そして、金属ハウジングキヤツプ６の他端は、
前記リード線９の外周に設けられた、電気的ノイ
ズを防止するためのシールド管９１の外周を囲繞
している。また、シールド管９１は、例えば金網
メツシユなどから形成されている。
前記リード線９の外周に設けられた、電気的ノイ
ズを防止するためのシールド管９１の外周を囲繞
している。また、シールド管９１は、例えば金網
メツシユなどから形成されている。
なお、本考案に従う圧力検出器は、前述した第
１図の実施例のものに限られるものでは決してな
く、例えば固定部材３としては、第４図に示され
るように、柱状の電気絶縁体の内部にスルーホー
ル導体層３３を形成した構成にしてもよい。この
スルーホール導体層３３は、予め円筒にスルーホ
ールを穿設し、該スルーホールに導体金属、例え
ばニツケル、銀、白金ガラスの粉末をペースト状
にしたものを流し込み、次いで焼成することによ
つて形成したり、タングステン、モリブデン、ニ
ツケル、白金等の金属ワイヤーの周囲にセラミツ
クス粉末を圧縮して円筒体を成形した後、焼結し
て、得てもよい。
１図の実施例のものに限られるものでは決してな
く、例えば固定部材３としては、第４図に示され
るように、柱状の電気絶縁体の内部にスルーホー
ル導体層３３を形成した構成にしてもよい。この
スルーホール導体層３３は、予め円筒にスルーホ
ールを穿設し、該スルーホールに導体金属、例え
ばニツケル、銀、白金ガラスの粉末をペースト状
にしたものを流し込み、次いで焼成することによ
つて形成したり、タングステン、モリブデン、ニ
ツケル、白金等の金属ワイヤーの周囲にセラミツ
クス粉末を圧縮して円筒体を成形した後、焼結し
て、得てもよい。
さらに、第５図に示されるように、固定部材３
は、円筒状の電気絶縁体の内壁に導体層３４を設
けた構造にしても、何等差支えないのである。
は、円筒状の電気絶縁体の内壁に導体層３４を設
けた構造にしても、何等差支えないのである。
また、本考案に用いられるセラミツクス圧力検
出素子にあつては、第６図に示されるように、セ
ラミツクス圧力検出素子２の外周壁の端面２５を
径方向内側に向つて延出させ、固定部材３が当接
しない部分にトリミング抵抗体２７を設けると、
ダイヤフラム部２１に形成されたブリツジ抵抗体
２２の抵抗を所定の値により有利に調整出来るの
で、精密な圧力検出素子を得ることが出来る。つ
まり、ブリツジ抵抗体２２は、適当な公知のブリ
ツジ構造、例えば第１０図に示されるようなホイ
ートストンブリツジ回路を構成しており、被測定
圧力に基づいてダイヤフラム部２１が変形せしめ
られることによつて、それぞれのブリツジ抵抗体
２２の抵抗値の減少乃至は抵抗値の増加に従つて
所定の出力が得られるのであり、更にトリミング
抵抗体２７を調整することにより、出力の零点調
整及び感度調整を行なうことが出来るようになつ
ているのである。なお、抵抗をトリミングする必
要のないときには、第７図に示されるように、ダ
イヤフラム部２１と外周壁２４とで、有底円筒形
状のセラミツクス圧力検出素子２を構成してもよ
い。
出素子にあつては、第６図に示されるように、セ
ラミツクス圧力検出素子２の外周壁の端面２５を
径方向内側に向つて延出させ、固定部材３が当接
しない部分にトリミング抵抗体２７を設けると、
ダイヤフラム部２１に形成されたブリツジ抵抗体
２２の抵抗を所定の値により有利に調整出来るの
で、精密な圧力検出素子を得ることが出来る。つ
まり、ブリツジ抵抗体２２は、適当な公知のブリ
ツジ構造、例えば第１０図に示されるようなホイ
ートストンブリツジ回路を構成しており、被測定
圧力に基づいてダイヤフラム部２１が変形せしめ
られることによつて、それぞれのブリツジ抵抗体
２２の抵抗値の減少乃至は抵抗値の増加に従つて
所定の出力が得られるのであり、更にトリミング
抵抗体２７を調整することにより、出力の零点調
整及び感度調整を行なうことが出来るようになつ
ているのである。なお、抵抗をトリミングする必
要のないときには、第７図に示されるように、ダ
イヤフラム部２１と外周壁２４とで、有底円筒形
状のセラミツクス圧力検出素子２を構成してもよ
い。
そしてまた、抵抗体２２は、腐食性或いは煤等
の固形成分を含む流体の圧力測定の場合には、第
６図或いは第７図のように、ダイヤフラム部２１
の流体に露出しない面、即ち内面に形成されるこ
とが好ましいが、流体の種類或いは抵抗体を耐熱
性、耐食性及び抵抗温度係数を考慮した材料を選
択するとことによつて、流体に露出する側のダイ
ヤフラム面、即ち外面に形成することが出来る。
の固形成分を含む流体の圧力測定の場合には、第
６図或いは第７図のように、ダイヤフラム部２１
の流体に露出しない面、即ち内面に形成されるこ
とが好ましいが、流体の種類或いは抵抗体を耐熱
性、耐食性及び抵抗温度係数を考慮した材料を選
択するとことによつて、流体に露出する側のダイ
ヤフラム面、即ち外面に形成することが出来る。
さらに、第１図の実施例では、セラミツクス圧
力検出素子のダイヤフラム部が、金属ハウジング
の開口において、直接に被測定流体に接触する例
を示されているが、第８図ａに示されるように、
金属ハウジング４の被測定流体に露出する部分を
ステンレス等の金属で有底状に形成し、該底部を
ダイヤフラム部４２として作用するようにしても
よい。この場合の圧力検出は、金属ダイヤフラム
４２とセラミツクス圧力検出素子２のダイヤフラ
ム部２１とが一体となつて変位する状態におい
て、行なわれることとなる。
力検出素子のダイヤフラム部が、金属ハウジング
の開口において、直接に被測定流体に接触する例
を示されているが、第８図ａに示されるように、
金属ハウジング４の被測定流体に露出する部分を
ステンレス等の金属で有底状に形成し、該底部を
ダイヤフラム部４２として作用するようにしても
よい。この場合の圧力検出は、金属ダイヤフラム
４２とセラミツクス圧力検出素子２のダイヤフラ
ム部２１とが一体となつて変位する状態におい
て、行なわれることとなる。
また、第８図ｂに示されるように、金属ダイヤ
フラム４２とセラミツクス圧力検出素子２との間
に変位伝達棒４５を入れ、金属ダイヤフラム４２
と変位伝達棒４５とセラミツクス圧力検出素子の
ダイヤフラム部２１とが一体となつて変位するよ
うにした構成にしても、何等差支えない。
フラム４２とセラミツクス圧力検出素子２との間
に変位伝達棒４５を入れ、金属ダイヤフラム４２
と変位伝達棒４５とセラミツクス圧力検出素子の
ダイヤフラム部２１とが一体となつて変位するよ
うにした構成にしても、何等差支えない。
要するに、本考案に用いられるセラミツクス圧
力検出素子は、圧力導入孔を設けず、直接被検出
流体の圧力変化に追随可能にしたダイヤフラム部
を有することを特徴とされているのである。
力検出素子は、圧力導入孔を設けず、直接被検出
流体の圧力変化に追随可能にしたダイヤフラム部
を有することを特徴とされているのである。
また、セラミツクス圧力検出素子を金属ハウジ
ングの開口部に押圧、固定するために、第１図の
実施例では、コイルバネによる押圧手段を用いて
いるが、該コイルバネ以外にも、皿バネ単独或い
はコイルバネとの併用したり、図示はしないが、
金属ハウジングキヤツプにひだ部を形成し、該ひ
だ部の弾性によつて押圧する構成を採用すること
が可能である。
ングの開口部に押圧、固定するために、第１図の
実施例では、コイルバネによる押圧手段を用いて
いるが、該コイルバネ以外にも、皿バネ単独或い
はコイルバネとの併用したり、図示はしないが、
金属ハウジングキヤツプにひだ部を形成し、該ひ
だ部の弾性によつて押圧する構成を採用すること
が可能である。
（考案の効果）
以上の説明から明らかなように、本考案に係る
圧力検出器にあつては、固定部材に、圧力検出素
子に電気的に接続する導体手段が設けられ、それ
が押圧手段による押圧作用によつて該圧力検出素
子に設けられた導体路にそれぞれ直接的に若しく
は間接的に接続せしめられるようになつているの
で、振動が負荷されたり、高温流体を測定する場
合に、断線等が惹起されず、従つて信頼性が著し
く向上され得るのである。
圧力検出器にあつては、固定部材に、圧力検出素
子に電気的に接続する導体手段が設けられ、それ
が押圧手段による押圧作用によつて該圧力検出素
子に設けられた導体路にそれぞれ直接的に若しく
は間接的に接続せしめられるようになつているの
で、振動が負荷されたり、高温流体を測定する場
合に、断線等が惹起されず、従つて信頼性が著し
く向上され得るのである。
また、本考案の圧力検出器は、圧力検出素子が
圧力導入孔を介せずに、直接被測定流体を接する
ように構成されているので、被測定流体に煤等が
含有されていても正確な圧力検出が可能であり、
しかも圧力減衰も生じないので、測定誤差が少な
い利点がある。
圧力導入孔を介せずに、直接被測定流体を接する
ように構成されているので、被測定流体に煤等が
含有されていても正確な圧力検出が可能であり、
しかも圧力減衰も生じないので、測定誤差が少な
い利点がある。
さらに、本考案に従う圧力検出器においては、
ハウジングと固定部材或いはセラミツクス圧力検
出素子との間に生ずる熱膨張差は、押圧手段によ
つて緩衝され、且つセラミツクス圧力検出素子を
ハウジング内に固定するように作用し、被測定流
体の圧力に正確に対応することが出来るので、高
温の流体の圧力測定が有利に達成できる効果があ
る。
ハウジングと固定部材或いはセラミツクス圧力検
出素子との間に生ずる熱膨張差は、押圧手段によ
つて緩衝され、且つセラミツクス圧力検出素子を
ハウジング内に固定するように作用し、被測定流
体の圧力に正確に対応することが出来るので、高
温の流体の圧力測定が有利に達成できる効果があ
る。
第１図は、本考案に従う圧力検出器の一実施例
を示す半截断面図、第２図は、第１図の部分分解
斜視図、第３図及び第８図ａ，ｂは、それぞれ本
考案の圧力検出器の一実施例の要部を示す一部断
面図、第４図及び第５図は、それぞれ本考案の構
成要件である固定部材の一実施例を示す断面図、
第６図は、第１図の圧力検出素子の断面図、第７
図は、本考案の構成要件である圧力検出素子の一
実施例を示す断面図、第９図は、従来の圧力検出
器の断面説明図であり、第１０図は、ブリツジ回
路の一例を示す回路図である。 １……圧力検出器、２……セラミツクス圧力検
出素子、３……固定部材、４……金属ハウジン
グ、５……コイルバネ、６……金属ハウジングキ
ヤツプ、７……絶縁リング、８……ソケツト、９
……リード線、１０……セラミツクカプセル、１
１……封着ガラス層、１２……上部ハウジング、
１３……下部ハウジング、１４……圧力導入孔、
１５……Ｏリング、１６……電子回路、２１……
ダイヤフラム部、２２……抵抗体、２３……導体
路、２４……外周壁、２５……外周壁の端面、２
６……電極、２７……トリミング抵抗体、３１…
…導体層、３２……絶縁層、３３……スルーホー
ル導体層、３４……導体層、４１……金属ハウジ
ングの開口部、４２……金属ダイヤフラム部、４
２……ネジ部、４４……頭部、４５……変位伝達
棒、５１……座金、６１……肩部、７１……金属
片、７２……金属端子、９１……シールド管。
を示す半截断面図、第２図は、第１図の部分分解
斜視図、第３図及び第８図ａ，ｂは、それぞれ本
考案の圧力検出器の一実施例の要部を示す一部断
面図、第４図及び第５図は、それぞれ本考案の構
成要件である固定部材の一実施例を示す断面図、
第６図は、第１図の圧力検出素子の断面図、第７
図は、本考案の構成要件である圧力検出素子の一
実施例を示す断面図、第９図は、従来の圧力検出
器の断面説明図であり、第１０図は、ブリツジ回
路の一例を示す回路図である。 １……圧力検出器、２……セラミツクス圧力検
出素子、３……固定部材、４……金属ハウジン
グ、５……コイルバネ、６……金属ハウジングキ
ヤツプ、７……絶縁リング、８……ソケツト、９
……リード線、１０……セラミツクカプセル、１
１……封着ガラス層、１２……上部ハウジング、
１３……下部ハウジング、１４……圧力導入孔、
１５……Ｏリング、１６……電子回路、２１……
ダイヤフラム部、２２……抵抗体、２３……導体
路、２４……外周壁、２５……外周壁の端面、２
６……電極、２７……トリミング抵抗体、３１…
…導体層、３２……絶縁層、３３……スルーホー
ル導体層、３４……導体層、４１……金属ハウジ
ングの開口部、４２……金属ダイヤフラム部、４
２……ネジ部、４４……頭部、４５……変位伝達
棒、５１……座金、６１……肩部、７１……金属
片、７２……金属端子、９１……シールド管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ブリツジ抵抗体を有するダイヤフラム部を底部
にして、その周縁部に外周壁を設け、内側に空間
を形成すると共に、該外周壁の前記底部とは反対
側の端面にそれぞれ露呈するように、前記ブリツ
ジ抵抗体から延びる複数の導体路を、該外周壁に
設けてなるセラミツクス圧力検出素子と、 該セラミツクス圧力検出素子の前記導体路にそ
れぞれ電気的に接続せしめられる複数の導体手段
が表面または内部に独立して形成され、一端にお
いて該セラミツクス圧力検出素子の外周壁の前記
底部とは反対側の端面を直接に若しくは間接的に
押圧せしめることにより、該セラミツクス圧力検
出素子の導体路に対する前記導体手段の直接的若
しくは間接的な電気的接続を実現する電気絶縁性
の固定部材と、 該セラミツクス圧力検出素子および該固定部材
を収容するハウジングと、 前記固定部材の他端において該固定部材を前記
セラミツクス圧力検出素子方向に押圧する押圧手
段とを、 備えていることを特徴とする圧力検出器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987132204U JPH0530122Y2 (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 | |
| US07/234,571 US4916426A (en) | 1987-08-28 | 1988-08-22 | Pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987132204U JPH0530122Y2 (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6437636U JPS6437636U (ja) | 1989-03-07 |
| JPH0530122Y2 true JPH0530122Y2 (ja) | 1993-08-02 |
Family
ID=15075826
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987132204U Expired - Lifetime JPH0530122Y2 (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4916426A (ja) |
| JP (1) | JPH0530122Y2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2549712B2 (ja) * | 1988-07-27 | 1996-10-30 | 日本碍子株式会社 | 応力検出器 |
| DE4206592A1 (de) * | 1992-03-03 | 1993-09-09 | Nowak Klaus | Verfahren und vorrichtung zur leistungsmessung von motoren |
| US5406852A (en) * | 1992-03-18 | 1995-04-18 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Pressure sensor having a resistor element on a glass dryer with electrodes connected thereto |
| US5559280A (en) * | 1994-11-14 | 1996-09-24 | Eaton Corporation | Combustion chamber pressure transducer and method of making same |
| DE10004614A1 (de) * | 2000-02-03 | 2001-08-16 | Siemens Ag | Drucksensor zum Erfassen des Druckes einer Flüssigkeit |
| JP4085834B2 (ja) * | 2003-02-17 | 2008-05-14 | 株式会社デンソー | 圧力検出装置 |
| JP2005275629A (ja) * | 2004-03-23 | 2005-10-06 | Nec Corp | マルチプロセッサシステム、及び、メモリアクセス方法 |
| ITTO20121130A1 (it) | 2012-12-21 | 2014-06-22 | Metallux Sa | Sensore di pressione |
| US20150096804A1 (en) * | 2013-10-04 | 2015-04-09 | Ultra Analytical Group, LLC | Apparatus, System and Method for Measuring the Properties of a Corrosive Liquid |
| US20150096369A1 (en) * | 2013-10-04 | 2015-04-09 | Ultra Analytical Group, LLC | Apparatus, System and Method for Measuring the Properties of a Corrosive Liquid |
| EP2894450A1 (en) | 2014-01-13 | 2015-07-15 | Danfoss A/S | A sensor for measuring fluid variables in a corrosive environment |
| US11243130B2 (en) * | 2016-09-14 | 2022-02-08 | National University Corporation Kobe University | Force sensor and force sensor manufacturing method |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54111873A (en) * | 1978-02-21 | 1979-09-01 | Nippon Denso Co Ltd | Knocking detector for internal combustion engines |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4068206A (en) * | 1976-06-25 | 1978-01-10 | Midland-Ross Corporation | Pressure-sensing semiconductor transducer |
| US4311980A (en) * | 1978-10-12 | 1982-01-19 | Fabrica Italiana Magneti Marelli, S.P.A. | Device for pressure measurement using a resistor strain gauge |
| US4431981A (en) * | 1982-09-22 | 1984-02-14 | Chrysler Corporation | Pressure unit assembly |
-
1987
- 1987-08-28 JP JP1987132204U patent/JPH0530122Y2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-08-22 US US07/234,571 patent/US4916426A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54111873A (en) * | 1978-02-21 | 1979-09-01 | Nippon Denso Co Ltd | Knocking detector for internal combustion engines |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6437636U (ja) | 1989-03-07 |
| US4916426A (en) | 1990-04-10 |
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